JPH03216942A - 荷電ビーム装置とその軸合せ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、走査型電子顕微鏡（　Ｓ　Ｅ　Ｍ　；　Ｓｃ
ａｎｎｉｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐ
ｅ）、Ｘ線マイクロアナライザー　電子ビーム露光装置
、走査型オージェ装置、イオンマイクロアナライザー　
Ｆ　Ｉ　Ｂ　（Ｆｏｃｕｓｅｄ　Ｉｏｎ　Ｂｅａｍ）装
置等の荷電ビーム装置、および、その荷電ビームの軸合
せ方法の改良に関する。

（従来技術とその問題点） 以下では、走査型電子顕微鏡を例にとって本発明の説明
を行なう。

走査型電子顕微鏡等の、周期的に電子ビームを２次元方
向に偏向させるための、即ち走査用の偏向器（普通は電
磁コイルを使用する。そのため以下ではこれを走査コイ
ルとも呼ぶ）としては、２段偏向式走査コイルを用いる
のが理想的であり高級機に採用されている。

即ち、第６図ａに走査型電子顕微鏡の要部の概要を示し
たように、集束レンズ１０（以下では、単にレンズと書
く）の機械的中心にアバーチャー板ｌ１が設置され、ア
パーチャー板１ｌのアパーチャ−１１１を電子ビーム１
２（以下では、単にビームと呼ぶ）が常に通過するよう
に、上段の走査コイル１３と下段の走査コイルｌ４の偏
向方向と偏向角が調整されている。１５は試料である。

試料１５上を電子ビームで面積走査し、ビームの照射点
から放出される２次電子を検出器１６で検出し、その検
出量で前記面積走査に同期して走査されるＣＲＴの輝度
を変調して表示することにより、試料表面の形状の拡大
＠（ＳＥＭ画像）を得ている。

第６図ａの従来の装置には次の問題がある。即ち、レン
ズ１０の機械的中心（磁石又は電磁コイルの形状で一意
的に決定される中心）と光学的中心とは必ずしも一致し
ていない。従ってアパーチャ−１１１をレンズＩＯの機
械的中心に置いても、電子ビーム１２はレンズ１０の光
学的中心を通るとは限らず、そのため、軸外収差（ビー
ムがレンズの光軸を外れた所を通るために発生する像の
ひずみ）の影響を受けて、ビーム１２が充分に集束でき
ない場合がしばしばある。また短焦点のレンズの場合は
、レンズの磁極の穴径が小さく、アバーチャー板１１と
アパーチャ−１１１を、レンズｌＯｏ主面１００と光学
的中心１１１に正し《合わせて配置することは極めて困
難となる。但し、ここでいうレンズの主面とは、レンズ
の光学的中心を通り光軸に垂直な面のことである。

従来の走査型電子顕微鏡の中には、第６図ｂに示したよ
うに検出器ｌ６をレンズ１０の上方に設置し、試料ｌ５
から発生した２次電子をレンズ１０を通過させて上方に
導いて検出する方式（いわゆるスルーザレンズ方式、以
下ではＴＴＬ方式と呼ぶ）のものもあるが、この方式の
場合には、２次電子の通過を妨げないようにアパーチャ
ー板１１をレンズ１０および検出器１６の両者よりも上
方に置くことが必要となる。

この場合には、アバーチャー板ｌ１を走査コイル１３．
１４の上方に位置させ、それをビーム（これをＺ方向と
する）に垂直に（ＸＹ方向に）移動可能に配置した方式
が採用されている。そしてこの方式で電子ビームがレン
ズの光学的中心を通るようにする「軸合せ」を行なう際
には、例えば、レンズの電磁コイルに流す電流を加減し
てレンズの焦点を正焦点（Ｊｕｓｔ　Ｆｏｃｕｓ　％　
　ビントが合った時の焦点）の前後に繰り返し移動させ
て、その移動時に得られるＳＥＭ画像の移動量が最小と
なるように、アバーチャ−１１１のＸＹ位直を機械的に
調節して軸合せを行なっている。

しかし、この方式には次の問題がある。

（１）磁界で作られるレンズによる偏向には、漏洩磁場
によって生じる偏向成分が余分に含まれているのが通常
であり、そのためＳＥＭ画像の移動量が最小になるその
ときに、アパーチャ−１１１のＸＹ位置を通るビーム１
２が、レンズ１０の光学的中心１０１を通っているとは
限らない。また、その余分な偏向成分のため、いわゆる
軸外収差を生じてビームを充分に細く絞ることができな
い。

（２）　　レンズｌＯの焦点距離を変化させる操作と、
アパーチャ−ｌｉｔのＸＹ位置を調節する操作と，ＳＥ
Ｍ画像の移動鼠の判断との三省を同時に行なわなければ
ならないために、軸合せ操作が複雑で熟練を要する。

また、レンズとして永久磁石を使用する場合には、レン
ズの焦点が固定されているため焦点を移動させることが
不可能で、この方式は全《使用できないことになる。

（発明の目的） 本発明は、ビームがレンズの光学的中心を通っているか
否かを的確に判断でき、従ってレンズの軸合せを正確且
つ容易に行なうことができるようにした荷電ビームの軸
合せ装置及び軸合せ方法を提供することを目的とする。

（問題を解決するための手段） 本発明は、荷電ビーム源と、荷電ビームを集束するレン
ズと、荷電ビームを偏向乃至走査させる偏向器と、軸合
せ用機構とを備えた荷電ビーム装置において、該偏向器
が、該荷電ビームを偏向させて、走査中心点が該レンズ
の前方焦点よりも該荷電ビーム源側に位置する態様で該
レンズの主面上の一定領域を面積走査させる機能を備え
る荷電ビーム装置によって前記目的を達成するものであ
る。

その偏向器がさらに、該荷電ビームを該レンズの主面上
の一点を通過して角度走査させる機能をも備える時一帰
の効果がもたれされる。

上記装置を使用することで、荷電ビームを偏向させて走
査中心点が該レンズの前方焦点よりも該荷電ビーム源側
に位置させるように該レンズの主面上の一定領域を面積
走査させ、該面積走査で得られる走査像の分解能情報に
基づいて、該荷電ビームの軸合せを行なう荷電ビームの
軸合せ方法が実現できる。

（実施例） 以下、本発明をＴＴＬ方式の走査型電子顕微鏡の軸合せ
装置の場合につき図を用いて説明するが、第６図ａｓ　
　ｂと同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。

第１図においては、レンズ１０の上方に偏向器群として
上下２段の走査コイル１３．１４があり、その上方に軸
合せ用走査コイル２４と、軸合せコイル２３、更にその
上方にアパーチャ２１１を持つアパーチャー板２１が設
けられている。

軸合せ用走査コイル２４はレンズ１０の前方焦点ＦＦよ
りも上方に設けられている。

詳細の図示は省略しているが、これらの各走査コイルは
それぞれ、Ｘ１　Ｙ方向用の２対の走査コイルが１組と
なっているのを簡略化して表示しているものである。

そして、走査電源２５からアンプ２５１，２５２．２５
３（図示を略したが、これらも走査コイルに対応して２
対が１組となっている）を経て、各走査コイルに流すそ
れぞれの走査電流は、スイッチＡ，　　Ｂ，　　Ｃによ
りＯＮ●ＯＦＦができるようになっている。

なお以下では、軸合せ用走査コイルによって電子ビーム
がレンズの主面上を走査する時、レンズ主面と交わる走
査ビームの「振れの仮想的中心点」（図の２６）を「走
査中心点」と呼ぶことにする。

即ち、軸上を直進して来たビームは、軸合せ用走査コイ
ルによって周期的に偏向されて、レンズの主面と交わる
位置では扇状に広がっているが、その扇の要（かなめ）
に当たる仮想点を走査中心点と呼ぶことにするのである
。

本例のように走査コイルが１段の場合は、走査コイルの
中心と走査中心点が一致する。

さてこの装置の動作をモードに分けて説明すると、下記
のようになる。

［軸合せモード］ 第１図において、スイッチＡをＯＮ，　　スイッチＢ．
　　ＣをＯＦＦにし、軸合せ用走査コイル２４だけにＸ
Ｙ走査用鋸歯状波電流を流す。すると、ビ一ム１２は走
査中心点２６を中心（要）としてレンズｌＯの主而１０
０上の一定の領域を面積走査する。即ち前記ＸＹ走査用
鋸歯状波電流に対応してビームが偏向され、ビームとレ
ンズの主面１００の交点が、主面１００上の一定の領域
を第１図のように周期的に移動し、レンズ主面上の一定
領域を面積走査する。主面を通過した後のビーム１２は
、レンズ１０で集束されて試料１５を照射することにな
るが、ビーム１２はレンズ１０でその「振り戻し作用」
を受けるので、試料１５上ではレンズの主面上の面積走
査の面積よりも小さい一定の面積を走査する。

但し、「振り戻し作用」とは次記するものを言っている
。即ち、もし、レンズ１０の集束作用がなければ、偏向
されてある角度をもったビームは、そのまま直進して試
料１５に照射される。しかし、レンズ１０に集束作用が
あるので、偏向されて、レンズＩＯの光学的中心から外
れた所を通過したビームは中心方向への偏向力を受ける
。この作用を「振り戻し作用」という。

従って試料１５から発生する２次電子の信号を検出器ｌ
６で検出し、これをビデオアンプを経由して走査電源２
５の走査に同期してＸＹ走査を行なうＣＲＴに供給し、
検出信号の強弱で輝度を変調すればＣＲＴにＳＥＭ画像
が得られる。第２図にそのＳＥＭ画像の実例を写真で示
す。

以上が軸合せモードにおける基本動作の説明であるが、
更に詳しい動作を以下に説明する。

レンズ１０の主面１００の光学的中心１０１から外れた
ビームは、前記した軸外収差の影響を受けて集束時にビ
ームの径ｄを大きくする。主面１００上におけるビーム
の径の増加分Δｄは軸からの距離の２乗にほぼ比例し、
レンズＩＯの光学的中心１０１から、ビームとレンズの
主面１００の交点までの距離をｒとすれば、 △ｄ＝ｋｒ２　　　　ｋ：比例定数 と表される。

従って、距離ｒの増加によってビーム径ｄは急速に大き
くなり、ＳＥＭ画像の分解能は急速に低下する。

一方、軸合せ用走査コイルが１段で構成される場合で説
明すると、その軸合せ用走査コイル２４をレンズ１０の
前方焦点ＦＦよりも上方に設けること、言いかえると、
面積走査の走査中心点２６をレンズ１０の前方焦点ＦＦ
よりも上方に位置させることには重要な意味があり、こ
うすると、軸合せ用走査コイル２４で偏向されたビーム
１２はレンズｌＯの振り戻し作用を強く受けて試料ｌ５
に到達する。即ち、試料１５上におけるビームの偏向距
離１は、レンズ主面１００における前記距離ｒよりもか
なり小さくなる。

その１段である軸合せ用走査コイル２４がレンズ１０の
前方焦点ＦＦ付近あるいはそれよりも下方に設けられて
いる場合は、言い換えると、面債走査の走査中心点２６
をレンズの前方焦点ＦＦよりも下方に位置させた場合は
、捩り戻し作用の効果はわずかであって、距ｉ１ｉ（ｌ
はｒにほぼ等しいか、又は１の方が却って大きくもなる
。しかし前方焦点よりもかなり上方に設けられている第
１図のような場合には振り戻し作用の効果が強く現れ、
１はｒよりも非常に小さくなる。従ってＣＲＴ上で観察
されるＳＥＭ像の倍率（倍率＝［観察用ＣＲＴの辺の長
さ］／［試料上のビーム走査の対応辺の長さコ）は振り
戻し作用がない時と比較して非常に高倍率になり、ビー
ム径の微小な変化が画像に敏感に反映することになる。

上記のビーム径と倍率の２つの相乗効果により、前方焦
点よりもかなり上方に走査中心点が設けられている第１
図のような場合には、レンズ主面１００上のビームの位
置に起因して生じる分解能の低下が容易にＳＥＭ画像上
で認識できるようになる。

以上により、レンズの光学的中心のずれ、即ち軸合せの
状態がＳＥＭ画像に分解能の情報に変換されて表わされ
ることになる。

具体的には、ＳＥＭ画像では、中心部分がシャープで、
周囲に行くに従って同心円的にボケが進んで行くのが第
２図のように観察されるが、この同心円の中心がレンズ
の光学的中心を通った部分である。

次に、軸合せの具体的方法について第５図ａ１ｂを使っ
て説明する。ビームの軸が合っていない第５図ａの状態
では、レンズの主面１００上における面積走査の中心が
、レンズの光学的中心１０１と一致していないので、第
５図ａの下段に示すように、ボケの同心円の中心はＳＥ
Ｍ画像の中心に位置しない。

こんな時は、軸合せ電源２３０から軸合せコイル２３に
流す直流電流の大きさを調節して、第５ｒＩＩＪｂのよ
うにビームを僅かに偏向させて、第５図ｂの下段のよう
にボケの同心円の中心をＳＥＭ画像の中心に位置させれ
ばよい。この操作によって面積走査の中心はレンズの光
学的中心１０１と一致し、軸合せが直ちに完了する。

［ＳＥＭ画像観察モード］ さて、正式のＳＥＭ画像を観察するときには、スイッチ
ＡをＯ　Ｆ　Ｆ，　スイッチＢ．　　ＣをＯＮにして、
第３図のように、上下２段の走査コイル１３．１４でビ
ーム１２を走査する。上段走査コイル１３と下段走査コ
イルｌ４の偏向角の比と、夫々の偏向方向は予め調節さ
れていて、偏向後のビームはレンズ主而１００上の一点
（この点はスイッチＡ，　　Ｂ，　　ＣのすべてをＯＦ
Ｆにしたときに直進するビームが通る点である）を通過
して角度走査が行なわれることになる。

上記した主面１００上の一点は前述の軸合せ操作によっ
て、既に、レンズの光学的中心１０１と一致するよう軸
合せされているから、ビームは常にレンズの光学的中心
を通って、軸外収差の影響を受けることなく充分に集束
される。これが第３図に図示するビームの動きである。

ビームはレンズの光学的中心を通るので、振り戻し作用
を受けることなく直進して試料面上で比較的大きな一定
の領域を面積走査することになる。

従って、ビームは充分に集束されるとともに視野の広い
良好なＳＥＭ画像が得られる。

第４図に本発明の荷電ビームの軸合せ装置の他の実施例
の概略図をかかげる。

この実施例では、軸合せコイル２３を除去してその代わ
りに、アパーチャー移動機構２７を設け、これに同じ機
能を持たせている。即ち、アパーチャ−２１１をＸＹ方
向に移動させることにより、アパーチャ−２１１を通過
するビーム１２がレンズｌＯの中心軸を通るよう調節し
ているものである。また、この第４図の実施例では、軸
合せ用走査コイル２４を省略して、その機能を上段偏向
コイル１３に兼ねさせている。

その軸合せの操作の順序は、次のようになる。

（１）　　スイッチＣをＯＦＦにし、スイッチＢを直通
の状態にし上段走査コイル１３でビーム１２をレンズ主
面ｌＯＯ上で面積走査させる。

（２）この時のＳＥＭ画像で判断しながらアパーチャー
移動機構２７をＸ，　　Ｙ方向に調節し、軸合せを行な
う。

（３）軸合せ終了後、スイッチＣをＯＮにし、上，下段
走査コイル１３．１４によりビーム１２をレンズ主面１
００上で角度走査（試料面上では面積走査されることに
なる）させる。

第７図に本発明の荷電ビームの軸合せ装置の他の実施例
の概略図をかかげる。

この実施例では、第４図の実施例に対して、■　スイッ
チＢ，Ｃをなくした。

■　下段走査コイルのアンブ２５３の増幅率を可変にし
た。

■　上、下段走査コイル１３、１４の位置を下げ、レン
ズ１０の前方焦点ＦＦ付近に設置した。

０３点の変更がなされている。

この実施例の装置では、軸合せモードの面債走査をする
ためには、下段走査コイルｌ４に流す電流をＳＥＭ画＠
観察モードの時のほぼ半分にする。

この状態では、ビームは軸に平行に近い状態で面積走査
をすることになるが、原理、作用及び軸合せ方法は、第
４図の実施例と同じとなる。

走査コイルが１段の場合は、走査コイルの中心が走査中
心点に一致したが、本例のように走査コイルが２段の場
合は１段の場合とは状況が異なり、走査中心点２６は各
段の走査コイルの位置よりもかなり上方に（第７図では
アパーチャーよりも更に上方）に位置することになる。

そして、レンズにおいて発生する振り戻し作用の大小は
レンズに入射するビームの角度によるため、当然のこと
ながら走査コイルの位置ではなく、この走査中心点の位
置により決まるのである。従って本実施例では走査コイ
ルはレンズに接近してレンズの前方焦点付近に設置され
ているにも拘らず、走査中心点は前方焦点よりかなり上
方に位置することになり振り戻し作用も充分に発生し、
先の実施例と同様、レンズの軸ずれの状況が充分にＳＥ
Ｍ画像上で認識できるようになる。

本実施例では走査コイルやアパーチャ一の位置をレンズ
に接近させて設置できるため、スペースが倹約できると
いうメリットがある。

なお、第７図では走査中心点がレンズの上方（荷電ビー
ム源側）に存在するものを示した。しかし、レンズに入
射するビームが下方に向かって狭くなり、交点即ち走査
中心点がレンズの下方（荷電ビーム源と反対側）に存在
するように設定することもできる。

このように、走査中心点がレンズ下方に存在する場合で
も、走査中心点がレンズの後方焦点より下方にある限り
、電子の捩り戻し作用が強く発生してレンズの軸ずれの
状況がＳＥＭ画像上で認識できるようになる。これらの
関係を第８図に示す。

（ａ）は走査中心点２６が前方焦点ＦＦ付近にある例で
あり、振り戻し作用が極めて弱く、軸合せができない例
。

（ｂ）は走査中心点２６がレンズの前方焦点ＦＦより上
方にあり、振り戻し作用が強く発生し軸合せができる例
。

（Ｃ）は走査中心点２６が上方無限遠にあり、振り戻し
作用が強く発生し、軸合せができる例。

（ｄ）は走査中心点２６が後方焦点ＢＦより下方にあり
、捩り戻し作用が強く発生し軸合せができる例である。

これらの図では、走査コイルが１段の場合を示している
が、当然ながら走査コイルが２段以上であっても、走査
中心点の位置がこの各図に対応する位置になっていれば
その作用と効果は同じである。

さて上記は本発明を幾つかの実施例で説明したもので、
内容は極めて限定されている。本発明は上記のほか次記
するように様々な態様でこれを実施することが可能であ
る。

（１）　　ビームとしては電子ビームで説明したが、こ
れはイオンビームでもよい。一般的に荷電ビームであれ
ばよい。

（２）レンズ、偏向器は電磁偏向方式（コイル）で説明
したが、これらは静電偏向方式（電極）でもよい。

（３）アバーチャー板を偏向器の上方に設ける場合は、
これを必ずしも偏向器群の最上方に設ける必要はない。

例えば、第１図に示すように、軸合せ用偏向コイル２４
のやや下方の２１０の位置に設けてもほぼ同じ効果が得
られる。

（４）面積走査して観察する像を試料形状を表すＳＥＭ
像で説明したが、必ずしもＳＥＭ像に限られる必要はな
い。例えば、走査したときの分解能を別の方法で測定し
、その変化量を走査像として表示して光学的中心の位置
を示すこともできる。

具体例としては、検出器からの信号を走査線の輻軸に入
れて走査する、いわゆる、Ｙ−Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ走
査を行ない、次にその変化の鋭さ（微分値の大きさ）を
明るさに変化させて表示することなどがある。一般的に
走査像の分解能で表わされる情報により、レンズの光学
的中心位置が示されるようになっていればよい。

（５）而債走査による走査像は必ずしも目視できる形で
表示される必要はない。例えば、軸合せコイルをコンピ
ューターで制御し、走査像を入力されるとコンピュータ
ーがその分解能情報に基づいて自動的に軸合せを行なう
ようにすることもできる。

（６）　　レンズは対物レンズ（試料に最も近いレンズ
）で説明したが、必ずしもこれに限られない。例えば、
コンデンサーレンズ（対物レンズより上方のレンズ）で
あっても支障はない。

（７）上記では軸合せコイル２３と軸合せ用走査コイル
２４を別々に設けたが、軸合せ電源２３０と走査電源２
５の出力をミックスアンプで混ぜ合わせることで１つの
コイルに前記２つのコイルの機能をもたせることができ
る。またさらに、下部走査コイル１４のスイッチＣのＯ
Ｎ／ＯＦＦにより、前記機能を上部走査コイルｌ３にも
たせることもできる。

尚、本発明の装置とは、構成、原理、作用、目的が全く
異なるものの、一部分に限定してこれを見れば、構成が
類似している従来装置があるのでそれについて述べる。

例えば、通常のＳＥＭ画像観察モードの時に、ビームを
レンズ主面上で面積走査させる例がある。

図で説明すると、これは第６図８にて、偏向コイル１３
あるいは１４を除去したものに対応する。

しかしこの従来装置では、アバーチャー板を通過するま
でのビームは径が非常に太いビーム、具体的にはレンズ
主面上での面積走査の大きさよりも太いビームを使用す
ることが必要条件となっている。この場合には、レンズ
主面のアバーチャー板上で太いビームが面積走査してい
るものの、アバーチャーがレンズ主面の中心に置かれて
いるため、アパーチャーを通過して試料に照射されるビ
ームは、常にレンズ主面の中心を通っていることになる
ものである。つまり、画像形成に寄与するビームは実質
的には角度走査していることになる。

従ってこの場合には振り戻し作用は全く発生せず、視野
の広いＳＥＭ像が観察できることになる。

こうした装置は構造が簡単なため、廉価型のＳＥＭにそ
の例が多い。

またこの従来装置でも、アパーチャー板を正確にレンズ
主面上ではなく、多少ずれて（上方に）設置している場
合がある。この場合には厳密には振り戻し作用が多少発
生するし、またレンズ主面上で角度走査しながら、若干
面積走査するビームがそのまま試料に照射されることに
なる。

しかしその場合は、通常のＳＥＭ観察に影響が出ない範
囲内で「ずれ」が許容されているに過ぎないことは言う
までもない。

このように、一見して本発明と構成が類似していても、
本発明とはその構成、動作原理、作用、目的は全く異な
るものである。

（発明の効果） 本発明の荷電ビームの軸合せ装置によれば、ＳＥＭ画像
のぼけを観察し、最もシャープな部分を画像の中心に移
動させるだけで、軸合せが正確、且つ容易に行なえる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の荷電ビームの軸合せ装置の概
要図。第２図は［軸合せモードコにおけるＳＥＭ画像の
図。第３図は［ＳＥＭ画像観察モードコにおける本発明
の実施例の荷電ビームの軸合せ装置の概要図。第４図及
び第７図は本願発明の別の実施例の図。第５図ａ，　　
ｂは本願発明の軸合せ方法をＳＥＭ像の模式図を示して
説明する図。 第６図ａ％　　ｂは従来の荷電ビームの軸合せ装置の概
要図。第８図ａＳｂ％　　Ｃ％　　ｄは走査中心点の位
置の様々な例を示す図である。 １０・・・レンズ、１３．１４・・・走査コイル、２４
・・・軸合せ用走査コイル、２３・・・軸合せコイル、
２ｌ１・・・アパーチャ、２１・・・アパーチャー板、
ＦＦ・・・前方焦点、ＢＦ・・・後方焦点、２５・・・
走査電源、２５１，２５２，２５３・・・アンプ、Ａ．
　　Ｂ．　　Ｃ・・・スイッチ、２６・・・走査中心点
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）荷電ビーム源と、荷電ビームを集束するレンズと
   、荷電ビームを偏向乃至走査させる偏向器と、軸合せ用
   機構とを備えた荷電ビーム装置において、 該偏向器が、該荷電ビームを偏向させて、走査中心点が
   該レンズの前方焦点又は後方焦点よりもレンズから遠い
   ところに位置する態様で該レンズの主面上の一定領域を
   面積走査させる機能を備えることを特徴とする荷電ビー
   ム装置。
2. （２）荷電ビーム源と、荷電ビームを集束するレンズと
   、荷電ビームを偏向乃至走査させる偏向器と、軸合せ用
   機構とを備える荷電ビーム装置の軸合せ方法において、 該荷電ビームを偏向させて走査中心点が該レンズの前方
   焦点又は後方焦点よりもレンズから遠いところに位置す
   る態様で該レンズの主面上の一定領域を面積走査させ、
   該面積走査で得られる走査像の分解能情報に基づいて、
   該荷電ビームの軸合せを行なうようにすることを特徴と
   する荷電ビームの軸合せ方法。