JPH03201613A - 有極形ｓａｗ共振器フィルタ - Google Patents
有極形ｓａｗ共振器フィルタInfo
- Publication number
- JPH03201613A JPH03201613A JP33832289A JP33832289A JPH03201613A JP H03201613 A JPH03201613 A JP H03201613A JP 33832289 A JP33832289 A JP 33832289A JP 33832289 A JP33832289 A JP 33832289A JP H03201613 A JPH03201613 A JP H03201613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saw
- saw resonator
- electrodes
- filter
- coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 abstract description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6443—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being acoustically coupled
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は有極形ＳＡＷ共振器フィルタの構成に関するも
のである。
のである。
（従来の技術）
近年、無線通信装置の小形化が進められており、マイク
ロ波・：「域用フィルタとして誘電体フィルタや弾性表
面波フィルタが使用されている。しかし、無線通信装置
の小形化が一段と進められるにともない、これら装置に
使用するフィルタ等のデバイスのチップ化が進められる
ようになり、今後、チップ化の要求に対応しゃすいＳＡ
Ｗフィルタが増々使用されると思われる。
ロ波・：「域用フィルタとして誘電体フィルタや弾性表
面波フィルタが使用されている。しかし、無線通信装置
の小形化が一段と進められるにともない、これら装置に
使用するフィルタ等のデバイスのチップ化が進められる
ようになり、今後、チップ化の要求に対応しゃすいＳＡ
Ｗフィルタが増々使用されると思われる。
第２図は従来の弾性表面波（以下、ＳＡＷという）フィ
ルタの一例を示す概略構成図であって、該ＳＡＷフィル
タは一枚の圧電基板１４にインターディジタルトランス
ジューサ（以下、ＩＤＴという）１２．１３を形成し、
ＩＤＴ１２の両端に接続される入力端子１５．１６とＩ
ＤＴ１３の両端に接続される出力端子１７．１８を配置
した構成となっている。
ルタの一例を示す概略構成図であって、該ＳＡＷフィル
タは一枚の圧電基板１４にインターディジタルトランス
ジューサ（以下、ＩＤＴという）１２．１３を形成し、
ＩＤＴ１２の両端に接続される入力端子１５．１６とＩ
ＤＴ１３の両端に接続される出力端子１７．１８を配置
した構成となっている。
次に、上記ＳＡＷフィルタの動作について説明する。電
気信号源Ｅから入力端子１５．１６に印加された電気信
号は入力側のＩＤＴ１２により電気エネルギーからＳＡ
Ｗエネルギーに変換される。
気信号源Ｅから入力端子１５．１６に印加された電気信
号は入力側のＩＤＴ１２により電気エネルギーからＳＡ
Ｗエネルギーに変換される。
ＳＡＷエネルギーに変換されたＳＡＷは圧１１基板１４
を伝搬し、出力側のＩＤ７１３に到達する。
を伝搬し、出力側のＩＤ７１３に到達する。
到達したＳＡＷはＩＤＴ１３によりＳＡＷエネルギーか
ら電気エネルギーに変換され、電気信号として計重端子
１７．１８を介して外部の負荷Ｒへ供給される。なお、
上記ＩＤＴ１２．１３の電極幅はＶｌ／４ｆｏにより決
定される。ここで、Ｖｌは圧電基板１４におけるＳＡＷ
の伝搬速度、ｆｏｌＪｓＡＷフィルタの中心周波数であ
る。また、このＳＡＷフィルタの帯域幅はＩＤＴの対数
により決定される。
ら電気エネルギーに変換され、電気信号として計重端子
１７．１８を介して外部の負荷Ｒへ供給される。なお、
上記ＩＤＴ１２．１３の電極幅はＶｌ／４ｆｏにより決
定される。ここで、Ｖｌは圧電基板１４におけるＳＡＷ
の伝搬速度、ｆｏｌＪｓＡＷフィルタの中心周波数であ
る。また、このＳＡＷフィルタの帯域幅はＩＤＴの対数
により決定される。
このようなＳＡＷフィルタの原理を応用したものとして
ＳＡＷ共振器を用いたエネルギー閉じ込め形フィルタが
高周波帯のフィルタとして注目されている。前記ＳＡＷ
共振器は第３図に示すように、圧電基板（図示せず）上
にＩＤＴ１９とその両側に隣接してグレーティング反射
器２０．２１とを形成した構成となっている。領域Ａは
電極指が周期的に配設されいるのでこれら電極指による
周期的な反射と摂動により、ＳＡＷの伝搬速度が領域Ａ
の両側の電極指が周期的には配設されていない領域Ｂよ
り低下する。この領域ＡにおけるＳＡＷの伝搬送度Ｖ、
は、圧電基板の自由表面における伝搬速度をｖｏとする
と（１）式により表わされる。
ＳＡＷ共振器を用いたエネルギー閉じ込め形フィルタが
高周波帯のフィルタとして注目されている。前記ＳＡＷ
共振器は第３図に示すように、圧電基板（図示せず）上
にＩＤＴ１９とその両側に隣接してグレーティング反射
器２０．２１とを形成した構成となっている。領域Ａは
電極指が周期的に配設されいるのでこれら電極指による
周期的な反射と摂動により、ＳＡＷの伝搬速度が領域Ａ
の両側の電極指が周期的には配設されていない領域Ｂよ
り低下する。この領域ＡにおけるＳＡＷの伝搬送度Ｖ、
は、圧電基板の自由表面における伝搬速度をｖｏとする
と（１）式により表わされる。
ここで、Ｋ、、、ＫＢ’は基板材料、電極材料、電極膜
ｊ１により決まる定数であり、ｑＴは基板材料から決ま
る定数である。また、均一にメタライズされた領域（高
速領域）におけるＳＡＷの伝搬速度ｖ１は、基板材料の
電気機械結合係数にに２とすると（２）式により表わさ
れる。
ｊ１により決まる定数であり、ｑＴは基板材料から決ま
る定数である。また、均一にメタライズされた領域（高
速領域）におけるＳＡＷの伝搬速度ｖ１は、基板材料の
電気機械結合係数にに２とすると（２）式により表わさ
れる。
５ＡＷＪ（振器の各モードの共振周波数は、上記（１）
式と（２）式から得られる伝搬速度Ｖ、とＶ、を用いる
ことにより求めることができる。
式と（２）式から得られる伝搬速度Ｖ、とＶ、を用いる
ことにより求めることができる。
ところで、２つの同一な上記ＳＡＷ共振器を第４図に示
すように並列に配置し、その１ム１隔が十分に小さい場
合には、これらのＳＡＷ共振器の間に音響結合が生じ、
２つの共振モードが励振される。
すように並列に配置し、その１ム１隔が十分に小さい場
合には、これらのＳＡＷ共振器の間に音響結合が生じ、
２つの共振モードが励振される。
その共振モードのうち一方は前記２つのＳＡＷ共振器の
中心に対して対称な変位分布をもち、他方は該中心に対
して点対称な変位分布をもつ。従って、このようにも−
成されたＳＡＷ共振器を用いることによりエネルギー閉
じ造形フィルタを構成することができ、その２つの共振
モードの周波数差は第４図に示すＳＡＷ共振器の電極指
交叉幅Ｗと結合ギャップＧで決定される。
中心に対して対称な変位分布をもち、他方は該中心に対
して点対称な変位分布をもつ。従って、このようにも−
成されたＳＡＷ共振器を用いることによりエネルギー閉
じ造形フィルタを構成することができ、その２つの共振
モードの周波数差は第４図に示すＳＡＷ共振器の電極指
交叉幅Ｗと結合ギャップＧで決定される。
ｍ５図は上記１ｔＹｉ成方法を応用した従来の有極形５
ＡＷＡ振器フィルタの一例を示すものである。
ＡＷＡ振器フィルタの一例を示すものである。
すなわち、−板の圧７１Ｍ板２５上に３個のＳＡＷ共振
’！４２２ 、 ２３ 、 ２４ 型形成シタち（７）
テ、Ｉｖ共振器２２とＳＡＷ共振器２４を直列にギャ
ップＧ、で配置し、ＳＡＷ共振器２３を前記ＳＡＷ共振
器２２．２３のそれぞれに対し並列に、かつ、ギャップ
Ｇ、、Ｇ２で配置したものである。そして、前記各ＳＡ
Ｗ共振器２２，２３．２４はそれぞれＩＤＴの両端に隣
接してグレーティング反射器を設けることにより構成し
たものである。ここで、前記ギャップＧｔ 、Ｇ２ 、
ＧｓはＳＡＷ共振器２２と２３、ＳＡＷ共振器２３と２
４、ＳＡＷ共振器２２と２４の間の結合を表わす区間で
あり、その結合度は７Ｇ極指交叉幅とピッチとにより決
まる。
’！４２２ 、 ２３ 、 ２４ 型形成シタち（７）
テ、Ｉｖ共振器２２とＳＡＷ共振器２４を直列にギャ
ップＧ、で配置し、ＳＡＷ共振器２３を前記ＳＡＷ共振
器２２．２３のそれぞれに対し並列に、かつ、ギャップ
Ｇ、、Ｇ２で配置したものである。そして、前記各ＳＡ
Ｗ共振器２２，２３．２４はそれぞれＩＤＴの両端に隣
接してグレーティング反射器を設けることにより構成し
たものである。ここで、前記ギャップＧｔ 、Ｇ２ 、
ＧｓはＳＡＷ共振器２２と２３、ＳＡＷ共振器２３と２
４、ＳＡＷ共振器２２と２４の間の結合を表わす区間で
あり、その結合度は７Ｇ極指交叉幅とピッチとにより決
まる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、有極形ＳＡＷ共振器フィルタはオーバー
カップリングを利用するものであって、所望のフィルタ
特性を得るには各々の結合容量を正確に実現することが
要求されるものであるが、上記構成の有極形ＳＡＷ共振
器フィルタでは、フィルタのマスク寸法が一旦決定され
た後は、フィルタ特性がＳＡＷ共振器間のギャップＧの
寸法のみによって一義的に決定されてしまうため、設計
上の制限を受け、また、製遺時にギャップＧの寸法に誤
差が生じた場合所望のフィルタ特性が得られず歩留りが
低下するという欠点があった。
カップリングを利用するものであって、所望のフィルタ
特性を得るには各々の結合容量を正確に実現することが
要求されるものであるが、上記構成の有極形ＳＡＷ共振
器フィルタでは、フィルタのマスク寸法が一旦決定され
た後は、フィルタ特性がＳＡＷ共振器間のギャップＧの
寸法のみによって一義的に決定されてしまうため、設計
上の制限を受け、また、製遺時にギャップＧの寸法に誤
差が生じた場合所望のフィルタ特性が得られず歩留りが
低下するという欠点があった。
本発明は、上記欠点を除去するためになされたものであ
って、前記ギャップＧに電極を設けることにより所望の
結合容量を容易に実現することのできる優れた有極形Ｓ
ＡＷ共振器フィルタ提供することを目的とする。
って、前記ギャップＧに電極を設けることにより所望の
結合容量を容易に実現することのできる優れた有極形Ｓ
ＡＷ共振器フィルタ提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するため、同一の圧電基板上に
３個以上のＳＡＷ共振器を形成し、前記ＳＡＷ共振器間
を音響的に結合してなる有極形ＳＡＷ共振器フィルタに
おいて、前記ＳＡＷ共振器間の前記圧電基板上に電極を
設けたものであ。
３個以上のＳＡＷ共振器を形成し、前記ＳＡＷ共振器間
を音響的に結合してなる有極形ＳＡＷ共振器フィルタに
おいて、前記ＳＡＷ共振器間の前記圧電基板上に電極を
設けたものであ。
（作用）
各ＳＡＷ共振器間のギャップに、同一圧電基板上に形成
した電極は該ＳＡＷ共振器間の結合容量として働き、そ
の大きさは該電極の面積に依存する。従って、前記電極
の面積を：Ａ整することにより結合容ｔａの大きさを変
え、所望の結合容量に設定することができるので所望の
有極形ＳＡＷ共振器フィルタを容易に実現することが可
能となる。
した電極は該ＳＡＷ共振器間の結合容量として働き、そ
の大きさは該電極の面積に依存する。従って、前記電極
の面積を：Ａ整することにより結合容ｔａの大きさを変
え、所望の結合容量に設定することができるので所望の
有極形ＳＡＷ共振器フィルタを容易に実現することが可
能となる。
（実施例）
第１図は本発明の実施例を示す概略構成図であって、１
，２．３はＩＤＴと、該ＩＤＴの両側に隣接して設けた
グレーティング反射器とからなるＳＡＷ共振器、４は圧
電基板、５，６．７は電極、８．９はＳＡＷ共振器１の
ＥＤＴ電極に接続される入力端子１０．１１はＳＡＷ共
振器３のＩＤＴ電極に接続される出力端子であり、前記
ＳＡＷ共振器１，２．３および電極５．６，７は、−板
の圧電基板４上に蒸着法、スパッタ法等によりアルミニ
ューム、金等の金属を付着し、半導体プロセスを用い形
成したものである。ＳＡＷ共振器ｌ。
，２．３はＩＤＴと、該ＩＤＴの両側に隣接して設けた
グレーティング反射器とからなるＳＡＷ共振器、４は圧
電基板、５，６．７は電極、８．９はＳＡＷ共振器１の
ＥＤＴ電極に接続される入力端子１０．１１はＳＡＷ共
振器３のＩＤＴ電極に接続される出力端子であり、前記
ＳＡＷ共振器１，２．３および電極５．６，７は、−板
の圧電基板４上に蒸着法、スパッタ法等によりアルミニ
ューム、金等の金属を付着し、半導体プロセスを用い形
成したものである。ＳＡＷ共振器ｌ。
２．３は、ＳＡＷ共振器１．２の間隔がギャップＧ、に
、ＳＡＷ共振器２，３の間隔がギャップＧ２に、ＳＡＷ
共振器１．３の間隔がギャップＧ。
、ＳＡＷ共振器２，３の間隔がギャップＧ２に、ＳＡＷ
共振器１．３の間隔がギャップＧ。
となるようにそれぞれ配設されており、前記電極５、
６． ７は該ギャップＧ、、Ｇ２．Ｇ、間にそれぞれ設
けられている。
６． ７は該ギャップＧ、、Ｇ２．Ｇ、間にそれぞれ設
けられている。
次に、本実施例の動作を説明する。電気信号源Ｅからの
電気信号は入力端子８．９を介してＳＡＷ共振器１のＩ
ＤＴ電極に印加される。印加された電気信号は前記ＩＤ
ＴによりＳＡＷに変換され、該ＩＤＴと両側に設けられ
たグレーティング反Ω・１器との相互作用により定在波
をたて、ＳＡＷ共振器１は共振現象を起す。ＳＡＷ共振
器２゜３もＳＡＷ共振器１と同様な構成となっており、
同様な共振現象を起す。前記ＳＡＷ共振器１は第１図に
示すようにＳＡＷ共振器２とギャップＧ１で隣接して配
置されているので音響結合し、エネルギー閉じ込め形フ
ィルタを構成する。同様にして、ＳＡＷ共振器２はＳＡ
Ｗ共振器３と音響結合し、ＳＡＷ共振器１はＳＡＷ共振
器３と音響結合しそれぞれエネルギー閉じ造形フィルタ
を構成する。ところで、これらの結合の大きさはフィル
タの・：１）域幅を決定する重要なパラメータであるの
で、正確の所定の値に設定する必要がある。従来、この
粘合の大きさはＳＡＷ共振器間のギャップの寸法のみに
よって決まっており、設計上、製造上の不都合があった
が、本実施例ではＳＡＷ共振器間に設けた電極５． ６
． ７を用いて結合の大きさを所定の値に設定すること
により上記不都合を解決している。すなわち、第１図に
示す圧電基板４は誘電率が４０以上のＬｉＴａ０ｉ等か
らなっているので、該圧電基板４上に形成した前記電極
５゜６．７は、面積は小さいが所望の結合を得るに十分
な結合容１１Ｃ＋ 、Ｃ２、Ｃｓを有している。そこで
、本実施例では、この電極５，６．７の面積をｙ！Ｊ整
することにより前記結合容ＲＣ１，Ｃ２゜Ｃ１の大きさ
を変え、前記結合の大きさを所定値に設定している。な
お、電極５．６．７の面積は、製逍後においてレーザト
リミング′、７により微調整することもできる。このよ
うにして、前記結合容量Ｃ１によりＳＡＷ共振器１．２
間における所望の粘合を丈現し、結合容量Ｃ２によりＳ
ＡＷ共振器２．３間における所望の結合を丈現し、粘合
容量Ｃ１によりＳＡＷ共振器１．３間における所望の結
合を実現することができ、信号エネルギーの流れる経路
はＳＡＷ共振″５１→電極５→ＳＡＷ共振器２−電極６
→ＳＡＷ共振器３からなる経路と、ＳＡＷ共振″ａ１→
電極７−５ＡＷ共振器３からなる経路とになる。従って
、ＳＡＷ共振器１の入力端子８．９に印加された電気信
号は上記２つの経路を通ってＳＡＷ共振器３の出力端子
１０．１１から負荷Ｒに供給されることになり、上記２
つの経路を別々に通ってくる信号の振幅が同一で、位相
が逆となる周波数において、出力端子１０゜１１からの
出力は大きく減衰する。すなわち、減衰極周波数ｆ。を
有する有極形ＳＡＷ共振器フィルタが実現できたことと
なる。
電気信号は入力端子８．９を介してＳＡＷ共振器１のＩ
ＤＴ電極に印加される。印加された電気信号は前記ＩＤ
ＴによりＳＡＷに変換され、該ＩＤＴと両側に設けられ
たグレーティング反Ω・１器との相互作用により定在波
をたて、ＳＡＷ共振器１は共振現象を起す。ＳＡＷ共振
器２゜３もＳＡＷ共振器１と同様な構成となっており、
同様な共振現象を起す。前記ＳＡＷ共振器１は第１図に
示すようにＳＡＷ共振器２とギャップＧ１で隣接して配
置されているので音響結合し、エネルギー閉じ込め形フ
ィルタを構成する。同様にして、ＳＡＷ共振器２はＳＡ
Ｗ共振器３と音響結合し、ＳＡＷ共振器１はＳＡＷ共振
器３と音響結合しそれぞれエネルギー閉じ造形フィルタ
を構成する。ところで、これらの結合の大きさはフィル
タの・：１）域幅を決定する重要なパラメータであるの
で、正確の所定の値に設定する必要がある。従来、この
粘合の大きさはＳＡＷ共振器間のギャップの寸法のみに
よって決まっており、設計上、製造上の不都合があった
が、本実施例ではＳＡＷ共振器間に設けた電極５． ６
． ７を用いて結合の大きさを所定の値に設定すること
により上記不都合を解決している。すなわち、第１図に
示す圧電基板４は誘電率が４０以上のＬｉＴａ０ｉ等か
らなっているので、該圧電基板４上に形成した前記電極
５゜６．７は、面積は小さいが所望の結合を得るに十分
な結合容１１Ｃ＋ 、Ｃ２、Ｃｓを有している。そこで
、本実施例では、この電極５，６．７の面積をｙ！Ｊ整
することにより前記結合容ＲＣ１，Ｃ２゜Ｃ１の大きさ
を変え、前記結合の大きさを所定値に設定している。な
お、電極５．６．７の面積は、製逍後においてレーザト
リミング′、７により微調整することもできる。このよ
うにして、前記結合容量Ｃ１によりＳＡＷ共振器１．２
間における所望の粘合を丈現し、結合容量Ｃ２によりＳ
ＡＷ共振器２．３間における所望の結合を丈現し、粘合
容量Ｃ１によりＳＡＷ共振器１．３間における所望の結
合を実現することができ、信号エネルギーの流れる経路
はＳＡＷ共振″５１→電極５→ＳＡＷ共振器２−電極６
→ＳＡＷ共振器３からなる経路と、ＳＡＷ共振″ａ１→
電極７−５ＡＷ共振器３からなる経路とになる。従って
、ＳＡＷ共振器１の入力端子８．９に印加された電気信
号は上記２つの経路を通ってＳＡＷ共振器３の出力端子
１０．１１から負荷Ｒに供給されることになり、上記２
つの経路を別々に通ってくる信号の振幅が同一で、位相
が逆となる周波数において、出力端子１０゜１１からの
出力は大きく減衰する。すなわち、減衰極周波数ｆ。を
有する有極形ＳＡＷ共振器フィルタが実現できたことと
なる。
以上、説明したように本実施例では、ＳＡＷ共振器間の
ギャップＧ１．Ｇ２．Ｇ３にそれぞれ設けた電極５，６
．７の大きさにより結合容量ｃ、。
ギャップＧ１．Ｇ２．Ｇ３にそれぞれ設けた電極５，６
．７の大きさにより結合容量ｃ、。
Ｃ２，Ｃ３の大きさを変えて所望の結合係数を実現する
と共に、結合容ｆｆ１ｃｉにより飛び越し結合を実現す
ることにより所望の特性を有する有極形ＳＡＷ共振器フ
ィルタを得ている。
と共に、結合容ｆｆ１ｃｉにより飛び越し結合を実現す
ることにより所望の特性を有する有極形ＳＡＷ共振器フ
ィルタを得ている。
（発明の効果）
以上、詳・細に説明したように本発明によれば、各ＳＡ
Ｗ共振器１８１の各ギャップに電極を設けたので、前記
電極の面積を：Ｊ！Ｊ整することにより結合容量を変え
て粘合係数を所望の値に設定することができ、所望の特
性を有する有極形ＳＡＷ共振器フィルタを容易に実現す
ることができる。
Ｗ共振器１８１の各ギャップに電極を設けたので、前記
電極の面積を：Ｊ！Ｊ整することにより結合容量を変え
て粘合係数を所望の値に設定することができ、所望の特
性を有する有極形ＳＡＷ共振器フィルタを容易に実現す
ることができる。
また、製造等により前記ギャップ寸法に誤差が生じても
従来のような歩留りが低下するということがなくなり、
更に、設計上の自由度が高まるという利点が牛じる。
従来のような歩留りが低下するということがなくなり、
更に、設計上の自由度が高まるという利点が牛じる。
第１図は本発明の実施例の概略構成図、第２図は従来の
引１性表面波フィルタの概略構成図、第３図はＳＡＷ共
振器の概略構成図、第４図は並列に配置したＳＡＷ共振
器の概略構成図、第５図は従来の有極形ＳＡＷ共振器フ
ィルタの概略構成図である。 １．２．３・・・ＳＡＷ共振器、４・・・圧電基板、５
゜６．７・・・電極、８．９・・・入力端子、１０．１
１・・・出力端子。
引１性表面波フィルタの概略構成図、第３図はＳＡＷ共
振器の概略構成図、第４図は並列に配置したＳＡＷ共振
器の概略構成図、第５図は従来の有極形ＳＡＷ共振器フ
ィルタの概略構成図である。 １．２．３・・・ＳＡＷ共振器、４・・・圧電基板、５
゜６．７・・・電極、８．９・・・入力端子、１０．１
１・・・出力端子。
Claims (1)
- 同一の圧電基板上に３個以上のＳＡＷ共振器を形成し、
前記ＳＡＷ共振器間を音響的に結合してなる有極形ＳＡ
Ｗ共振器フィルタにおいて、前記ＳＡＷ共振器間の前記
圧電基板上に電極を設けたことを特徴とする有極形ＳＡ
Ｗ共振器フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832289A JPH03201613A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832289A JPH03201613A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201613A true JPH03201613A (ja) | 1991-09-03 |
Family
ID=18317052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33832289A Pending JPH03201613A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03201613A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5929724A (en) * | 1998-07-28 | 1999-07-27 | Com Dev Ltd. | Low loss saw filters with non-sequential coupling and method of operation thereof |
| US7304553B2 (en) * | 2002-03-25 | 2007-12-04 | Epcos Ag | Filter with acoustically coupled resonators |
| US7414494B2 (en) * | 2004-10-28 | 2008-08-19 | Tdk Corporation | Surface acoustic wave apparatus |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP33832289A patent/JPH03201613A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5929724A (en) * | 1998-07-28 | 1999-07-27 | Com Dev Ltd. | Low loss saw filters with non-sequential coupling and method of operation thereof |
| US7304553B2 (en) * | 2002-03-25 | 2007-12-04 | Epcos Ag | Filter with acoustically coupled resonators |
| US7414494B2 (en) * | 2004-10-28 | 2008-08-19 | Tdk Corporation | Surface acoustic wave apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11128279B2 (en) | Acoustic wave resonator, acoustic wave filter, multiplexer, communication apparatus, and method designing acoustic wave resonator | |
| US3886504A (en) | Acoustic surface wave resonator devices | |
| US7327205B2 (en) | Demultiplexer and surface acoustic wave filter | |
| KR100688885B1 (ko) | 탄성 표면파 필터, 분파기, 통신기 | |
| KR100401421B1 (ko) | 표면 탄성파 공진자, 표면 탄성파 장치 및 통신장치 | |
| US5694095A (en) | Surface acoustic wave resonance device adapted to simple and precise adjustment of resonant frequency | |
| US11196404B2 (en) | Surface acoustic wave element | |
| JP3839492B2 (ja) | 薄膜圧電素子 | |
| JP2001077662A (ja) | 表面波装置及び通信機装置 | |
| JPH03222512A (ja) | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ | |
| JP2002237738A (ja) | 圧電共振子、圧電フィルタおよびデュプレクサ | |
| CN110048691A (zh) | 声波谐振器、滤波器和复用器 | |
| KR20010032683A (ko) | 스플릿 공진기를 갖는 ｓａｗ 래더 필터 및 그 제공 방법 | |
| JPH11191720A (ja) | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ | |
| KR100308220B1 (ko) | 이중 반사 격자를 갖는 음향파 공진기 및 필터 | |
| JP3068140B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| KR100400426B1 (ko) | 탄성표면파필터 | |
| JPH03201613A (ja) | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ | |
| US4255726A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JP2005260484A (ja) | 圧電共振器およびそれを備えた電子部品 | |
| JP3310132B2 (ja) | 弾性表面波装置及びそれを用いたアンテナ分波器 | |
| JP3366477B2 (ja) | 縦型複合４重モードｓａｗフィルタ | |
| JP4821079B2 (ja) | 弾性表面波用のくし型電極部、弾性表面波装置、通信装置 | |
| US6356167B1 (en) | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave filter, duplexer communications apparatus and surface acoustic wave apparatus, and production method of surface acoustic wave resonator | |
| US20240313739A1 (en) | Acoustic wave device with multi-period arccosine apodization |