JPH03200358A - Lead frame and manufacture thereof - Google Patents
Lead frame and manufacture thereofInfo
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路装置に使用されるリードフレ
ーム及びその製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a lead frame used in a semiconductor integrated circuit device and a manufacturing method thereof.
従来、この種のリードフレームは、金属薄板などをエツ
チングなどの手法を用いて型抜きし所定パターンに成形
したものであり、第5図に示すように、リードフレーム
1は、例えば帯状の金属薄板2中に、複数のフレーム部
3が並設した状態で構成され、このフレーム部3のほぼ
中心に半導体チップの載置部4が配置されている。そし
て前記フレーム部3と前記載置部4とに吊りリード部5
が連続して載置部4を支持し、この載置部4の周囲には
インナーリード部6が放射状に離間して形成されている
とともに、前記載置部4を囲むようにして空間部7が位
置し、また前記インナーリード部6には外方に延びるア
ウターリード部8が連続し、このアウターリード部8が
前記フレーム部3に連続しているものであった。Conventionally, this type of lead frame has been made by cutting out a thin metal plate or the like using a technique such as etching and forming it into a predetermined pattern.As shown in FIG. 2, a plurality of frame portions 3 are arranged in parallel, and a semiconductor chip mounting portion 4 is disposed approximately at the center of the frame portion 3. A hanging lead portion 5 is attached to the frame portion 3 and the mounting portion 4.
supports the placing part 4 continuously, and inner lead parts 6 are formed radially apart from each other around the placing part 4, and a space 7 is located so as to surround the placing part 4. Further, an outer lead portion 8 extending outward is continuous with the inner lead portion 6, and this outer lead portion 8 is continuous with the frame portion 3.
ところで上記リードフレーム、すなわち超多ピンに対応
するリードフレームを製造するため、エツチング加工な
どの型抜きを経て、金属薄板に上記パターンが得られた
場合、上記載置部か細い吊りリード部で支持されている
に過ぎず、そしてインナーリード部のリードそれぞれも
片持ち状態となっていることから不安定なものであった
。このため型抜きの後のメツキ加工、テーピング加工(
最終的にリードそれぞれが単独となったときに支持する
ためのもの)などを経る際に、前記載置部やインナーリ
ード部が変形、変位し易く問題となっており、特に帯状
金属薄板を流して連続的にリードフレームを製造しよう
とする量産化の障害となる。By the way, in order to manufacture the above-mentioned lead frame, that is, a lead frame corresponding to an extremely large number of pins, when the above-mentioned pattern is obtained on a thin metal plate through die-cutting such as etching, the above-mentioned mounting section is supported by a thin hanging lead section. Moreover, each lead in the inner lead section was in a cantilevered state, making it unstable. For this reason, plating processing and taping processing (
This is a problem because the mounting part and the inner lead part are easily deformed and displaced when passing through the parts (for supporting each lead when it is finally separated into individual leads). This poses an obstacle to mass production in which lead frames are manufactured continuously.
これらの対処として、例えば特開昭60−136248
号公報に示されているように、インナーリード部の先端
部分が連設するパターンでエツチングを行うようになっ
てきている。これは、第6図と第7図に示すように、載
置部4を囲むように位置して内縁の少なくとも一部が連
続し外縁に前記インナーリード部6が連続している被打
ち抜き部9を設けるようにしたものである(なお、第6
図は第5図のパターンと異なっているが、判断を容易に
するために概略的に記載されている)。そしてインナー
リード部の先端や載置部が支持された状態で、メツキ加
工、テーピング加工を施し、こののち前記被打ち抜き部
9をプレス加工によって打抜分離して、リード先端間で
絶縁が確保されたインナーリード部を得るとともに、載
置部周囲の空間部を得るようにしていた。To deal with these problems, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-136248
As shown in the above publication, etching has come to be performed in a pattern in which the tips of the inner lead portions are connected. As shown in FIGS. 6 and 7, this is a part 9 to be punched, which is located so as to surround the placing part 4, and has at least a part of its inner edge continuous and the inner lead part 6 continuous with its outer edge. (Please note that the sixth
Although the diagram differs from the pattern in Figure 5, it is depicted schematically for ease of understanding). Then, with the tips of the inner lead parts and the mounting part supported, plating and taping are performed, and then the part to be punched 9 is punched and separated by press work to ensure insulation between the lead tips. In addition to obtaining the inner lead portion, a space around the mounting portion is also obtained.
これを工程順に示すと、フレーム部3、載置部4、吊り
リード部5、インナーリード部6、アウターリード部8
、そして上記被打ち抜き部9とを有したパターンを金属
薄板2に得る工程から、所定の加工(上記メツキ加工な
ど)を経て、前記インナーリード部6の所望位置をテー
プ固定する工程に移行し、こののちリードフレーム1の
被打ち抜き部9を打抜分離する工程を経るものである。This is shown in the order of steps: frame part 3, mounting part 4, hanging lead part 5, inner lead part 6, outer lead part 8.
, and the step of obtaining a pattern having the punched portion 9 on the thin metal plate 2 through a predetermined process (such as the plating process) to the step of fixing the desired position of the inner lead portion 6 with tape, After this, a step of punching and separating the punched portion 9 of the lead frame 1 is performed.
しかしながら、上記した被打ち抜き部を打ち抜いた際に
、第8図に示すように、抜き型によってリート先端の切
断縁6aと載置部の切断縁4aとが押し出されてリード
フレームの片面側に突出するパリaを生じさせる不都合
がある。そしてこの打ち抜かれた後の複数のリードフレ
ームを積み重ねて取り扱う場合(例えば搬送作業、包装
作業など)などで、前記パリが他のリードフレームのメ
ツキ面を削ったりインナーリード部などを変位、変形さ
せることがあり、またこのパリが他の物品に引っ掛かっ
てインナーリード部や載置部が変位、変形することがあ
るなどの問題が生じていた。 そこで本発明は、インナ
ーリード部と載置部とが被打ち抜き部で連続するパター
ンでエツチング加工され、この被打ち抜き部を型抜きす
る工程を経るリードフレームにおいて、パリが突出する
ことのないようにすることを課題とし、前記パリによる
損傷、変形などが生じず取り扱い容易なリードフレーム
の量産化を図ることを目的とする。However, when the above-mentioned part to be punched is punched out, as shown in FIG. 8, the cut edge 6a of the lead tip and the cut edge 4a of the placement part are pushed out by the cutting die and protrude to one side of the lead frame. There is an inconvenience in that it causes a paris a. When a plurality of punched lead frames are stacked and handled (e.g. during transportation work, packaging work, etc.), the pads may scrape the plating surfaces of other lead frames or displace or deform the inner lead parts. In addition, there have been problems such as the inner lead part and the mounting part being displaced or deformed due to the part getting caught on other articles. Therefore, the present invention is designed to prevent the protrusion of holes in a lead frame in which the inner lead part and the mounting part are etched in a continuous pattern in the part to be punched out, and the part to be punched out is die-cut. The object of the present invention is to mass-produce lead frames that are easy to handle and do not suffer from damage or deformation due to the above-mentioned cracks.
本発明は、上記した課題を考慮してなされたもので、フ
レーム部と、このフレーム部のほぼ中心に位置する半導
体チップの載置部と、前記フレーム部と前記載置部とに
連続する吊りリード部と、前記載置部の周囲に放射状に
離間して形成されるインナーリード部と、前記載置部を
囲むように位置して外縁に前記インナーリード部が連続
していた被打ち抜き部を打抜分離してなる空間部と、前
記インナーリード部に連続して外方に延び前記フレーム
部に連続しているアウターリード部と、を金属薄板に構
成してなるリードフレームにおいて、被打ち抜き部の打
ち抜きによる打ち抜き切断縁が、金属薄板の板厚内に位
置することを特徴とするリードフレームを提供するもの
である。The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and includes a frame portion, a semiconductor chip mounting portion located approximately in the center of the frame portion, and a hanging portion continuous to the frame portion and the mounting portion. a lead part, an inner lead part formed radially apart around the mounting part, and a part to be punched that is located so as to surround the mounting part and has the inner lead part continuous to the outer edge thereof. In a lead frame formed of a thin metal plate, a space portion formed by punching and separation, and an outer lead portion extending outward continuously from the inner lead portion and continuing to the frame portion, the punched portion The present invention provides a lead frame characterized in that a punched cut edge formed by punching is located within the thickness of the thin metal plate.
また本発明は、フレーム部と、このフレーム部のほぼ中
心に位置する半導体チップの載置部と、前記フレーム部
と前記載置部とに連続する吊りリード部と、前記載置部
の周囲に放射状に離間して形成されるインナーリード部
と、前記載置部を囲むように位置して外縁に前記インナ
ーリード部が連続する被打ち抜き部と、前記インナーリ
ード部に連続して外方に延び前記フレーム部に連続して
いるアウターリード部とを金属薄板に形成する第1の工
程と、前記インナーリード部の所望位置をテープ固定す
る第2の工程と、前記被打ち抜き部にハーフエツチング
を施して被打ち抜き部を極薄にする第3の工程と、前記
被打ち抜き部を打抜分離する第4の工程と、よりなるこ
とを特徴とするリードフレームの製造方法を提供するも
のである。The present invention also provides a frame portion, a semiconductor chip mounting portion located approximately at the center of the frame portion, a suspension lead portion continuous to the frame portion and the mounting portion, and a mounting lead portion extending around the mounting portion. Inner lead parts formed radially apart, a punched part located so as to surround the placement part and having the inner lead part continuous to the outer edge thereof, and a part to be punched which extends outward continuously from the inner lead part. A first step of forming an outer lead portion continuous with the frame portion in a thin metal plate, a second step of fixing a desired position of the inner lead portion with tape, and half etching the punched portion. The present invention provides a method for manufacturing a lead frame, comprising: a third step of making the punched portion extremely thin; and a fourth step of punching and separating the punched portion.
本発明においては、リードフレームの打ち抜き切断縁が
金属薄板の板厚内に位置することから、パリが片面側に
突出せずにリードフレームの表裏両面が平坦であって、
他への引っ掛かりが生じないようになる。またハーフエ
ツチングによって極薄となった被打ち抜き部がこの打ち
抜き工程前まで空間部に位置し、載置部とインナーリー
ド部とがこの被打ち抜き部を介して連続しており、打ち
抜きによって初めて分離され、インナーリード部のリー
ド間の絶縁も行われる。そして金属薄板より薄くなって
いる被打ち抜き部を打ち抜くことから、ハーフエツチン
グ加工部のエッヂ部分で生じる切断縁のズレが金属薄板
の板厚内に納まるようになる。In the present invention, since the punched cut edges of the lead frame are located within the thickness of the thin metal plate, the edges do not protrude to one side and both the front and back sides of the lead frame are flat.
This will prevent you from getting caught by others. In addition, the part to be punched, which has become extremely thin due to half etching, is located in the space until before this punching process, and the mounting part and the inner lead part are continuous through this part to be punched, and are separated only by punching. , insulation between the leads of the inner lead portion is also performed. Since the part to be punched is punched out, which is thinner than the thin metal sheet, the deviation of the cut edge that occurs at the edge of the half-etched part is kept within the thickness of the thin metal sheet.
つぎに、本発明を第1図から第4図に示す一実施例に基
づいて詳細に説明する。なお、第5図から第8図に示す
従来例と構成が重複する部分は同符号を付してその説明
を省略する。Next, the present invention will be explained in detail based on an embodiment shown in FIGS. 1 to 4. It should be noted that portions whose configurations overlap with those of the conventional example shown in FIGS. 5 to 8 are given the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted.
本発明においては、エツチング加工などによる第1の工
程で金属薄板2に所定のパターニング、すなわちフレー
ム部3、載置部4、吊りリード部5、インナーリード部
6、被打ち抜き部9と、アウターリード部8とを有した
バターニングを行い、前記インナーリード部6の所望位
置をテープ固定する第2の工程を経て、被打ち抜き部9
を介して載置部4とインナーリード部6とが連続した状
態となっているリードフレーム1を得る。前記パターン
のリードフレーム1を得るまでの工程は従来と同じであ
り、前記第2の工程であるテーピングの前にメツキ加工
などの所定の加工作業があってもよい。In the present invention, in the first step such as etching, the thin metal plate 2 is patterned into a predetermined pattern, that is, a frame part 3, a mounting part 4, a suspension lead part 5, an inner lead part 6, a part to be punched 9, and an outer lead. A second process is performed in which the desired position of the inner lead part 6 is fixed with tape, and then the part to be punched 9 is formed.
A lead frame 1 is obtained in which the mounting part 4 and the inner lead part 6 are in a continuous state via the lead frame 1. The steps to obtain the patterned lead frame 1 are the same as those of the conventional method, and a predetermined processing operation such as plating may be performed before the second step of taping.
そして第3の工程、すなわちハーフエツチング加工を行
う工程において、被打ち抜き部9を例えば片面側からハ
ーフエツチング加工を施して被打ち抜き部8を極薄に設
け(第1図と第2図参照。In the third step, that is, the half-etching step, the punched portion 9 is half-etched, for example, from one side to make the punched portion 8 extremely thin (see FIGS. 1 and 2).
なお、′第1図に示すパターンは概略的に記載されてい
る。)、こののち前記被打ち抜き部9を打抜分離する第
4の工程へ移行させて、第3図に示すように空間部7を
有してインナーリード部6のリード間の絶縁を確保した
リードフレーム1を得る(おな、第3図のパターンは概
略的に記載されている)。Note that the pattern shown in FIG. 1 is schematically illustrated. ), and then proceed to a fourth step of punching and separating the punched portion 9 to form a lead having a space 7 and ensuring insulation between the leads of the inner lead portion 6, as shown in FIG. Frame 1 is obtained (note that the pattern in FIG. 3 is depicted schematically).
上記第4の工程では、極薄になった被打ち抜き部9を、
ハーフエツチング加工が施されていない側からプレス加
工によって打抜分離するものであって、すなわちハーフ
エツチング加工が施された面のエッヂ部分すをカットラ
インとして打抜分離され、載置部の切断縁4aおよびイ
ンナーリード部の切断縁6aのズレ込みが金属薄板2の
板厚内に納まったリードフレーム1が得られる(第4図
参照)。In the fourth step, the punched part 9 which has become extremely thin is
It is separated by punching from the side that has not been half-etched, that is, the edge of the half-etched side is used as the cut line, and the cut edge of the mounting section is separated. A lead frame 1 is obtained in which the misalignment of the cut edge 4a and the cut edge 6a of the inner lead portion is within the thickness of the thin metal plate 2 (see FIG. 4).
そしてリードフレーム1においては、切断縁4area
が金属薄板2の板厚内に納めであるため、カットライン
部分でパリaが抜き方向の片面に突出することのない平
坦な形状に設けられている。In the lead frame 1, the cutting edge 4area
Since the gap is accommodated within the thickness of the thin metal plate 2, the gap a is provided in a flat shape so that it does not protrude to one side in the punching direction at the cut line portion.
以上説明したように、本発明の構成により、リードフレ
ームにおける載置部の切断縁及びインナーリード部の切
断縁がが金属薄板の板厚内に位置しているので、パリが
リードフレームの片面側に突出せず、他の物品などに引
っ掛かることが無くなる。すなわちリードフレームが平
坦なものとなって取り扱いが容易となり、積重状態から
一枚のリードフレームを引き出す場合でも、損傷、変位
、変形を生じさせることがない。また工程途中や後工程
でリードフレームに対して段付加工を施す場合もあるが
、不要な突起であるパリが突出せず、凸部や凹部が確実
にフントロールされたリードフレームとなる。As explained above, according to the configuration of the present invention, the cutting edge of the mounting part and the cutting edge of the inner lead part of the lead frame are located within the thickness of the thin metal plate, so that the edge is on one side of the lead frame. It will not stick out and will not get caught on other items. In other words, the lead frame becomes flat and easy to handle, and even when a single lead frame is pulled out from a stacked state, no damage, displacement, or deformation will occur. Furthermore, although the lead frame may be stepped during or after the process, the result is a lead frame with no unnecessary projections protruding, and with the convex and concave portions reliably smoothed.
また被打ち抜き部にハーフエツチングを施して被打ち抜
き部を極薄としたのち、この被打ち抜き部を打抜分離す
るので、ハーフエツチング加工が施された面のエッヂ部
分がカットラインとなり、切断縁のズレが金属薄板の板
厚内に納まって、片面側に突出するパリを生じさせるこ
とがなく、このパリの引っ掛かりによる損傷、変位、変
形が防止できるリードフレームが容易に得られるように
なる。さらには極薄となった被打ち抜き部を打抜分離す
ることから、型抜きが小さい圧力で行えるようになり、
よってプレス加工時のリードフレームに変形を生じさせ
ることがなく、一方、抜き型の寿命も長くなるという効
果がある。そして被打ち抜き部を極薄とするハーフエツ
チング加工も、パターニングのためのエツチング加工と
同じように同一製造ライン上で構成でき、ライン以外で
の取り扱い作業を必要とすることなく対処できるなど、
実用性にすぐれた効果を奏するものである。In addition, the part to be punched is half-etched to make it extremely thin, and then the part to be punched is separated by punching, so the edge part of the half-etched surface becomes the cut line, and the cut edge It is possible to easily obtain a lead frame in which the misalignment is contained within the thickness of the metal thin plate and does not cause a protrusion protruding to one side, and can prevent damage, displacement, and deformation due to catching of the protrusion. Furthermore, since the extremely thin part to be punched is separated by punching, die cutting can be performed with less pressure.
Therefore, the lead frame is not deformed during press working, and the life of the cutting die is also extended. Half-etching, which makes the part to be punched extremely thin, can be performed on the same production line in the same way as etching for patterning, and can be handled without the need for handling operations outside the line.
It has excellent practical effects.
第1図は本発明に係るリードフレームの製造方法の一実
施例におけるハーフエツチング加工部分を示す説明図、
第2図は極薄状態となった被打ち抜き部を断面で示す説
明図、第3図は本発明のリードフレームの一実施例にお
ける載置部廻りを示す説明図、第4図は被打ち抜き部を
打抜分離した状態を断面で示す説明図、第5図はリード
フレームを示す説明図、第8図は従来例において被打ち
抜き部を有する状態を示す説明図、第7図は従来例にお
ける被打ち抜き部を断面で示す説明図、第8図は従来例
における被打ち抜き部を打抜分離した状態を示す説明図
である。
第1図
1・・・・・・リードフレーム
2・・・・・・金属薄板
3・・・・・・フレーム部
4・・・・・・載置部
5・・・・・・吊りリード部
6・・・・・・インナーリード部
7・・・・・・空間部
8・・・・・・アウターリード部
9・・・・・・被打ち抜き部
a・・・・・・パリ
4a・・・・・・切断縁
6a・・・・・・切断縁
第2図
第3図
第4図
第5図FIG. 1 is an explanatory diagram showing a half-etched part in an embodiment of the lead frame manufacturing method according to the present invention;
Fig. 2 is an explanatory diagram showing a section of the part to be punched which has become extremely thin, Fig. 3 is an explanatory diagram showing the area around the mounting part in an embodiment of the lead frame of the present invention, and Fig. 4 is an explanatory diagram showing the part to be punched in an extremely thin state. FIG. 5 is an explanatory diagram showing a lead frame in a cross-sectional state, FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which a conventional example has a punched part, and FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram showing a punched portion in cross section, and FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which the punched portion in a conventional example is punched and separated. Fig. 1 1...Lead frame 2...Thin metal plate 3...Frame part 4...Placement part 5...Hanging lead part 6... Inner lead part 7... Space part 8... Outer lead part 9... Part to be punched a... Paris 4a... ...Cut edge 6a...Cut edge Fig. 2 Fig. 3 Fig. 4 Fig. 5
Claims (2)
する半導体チップの載置部と、前記フレーム部と前記載
置部とに連続する吊りリード部と、前記載置部の周囲に
放射状に離間して形成されるインナーリード部と、前記
載置部を囲むように位置して外縁に前記インナーリード
部が連続していた被打ち抜き部を打抜分離してなる空間
部と、前記インナーリード部に連続して外方に延び前記
フレーム部に連続しているアウターリード部と、を金属
薄板に構成してなるリードフレームにおいて、被打ち抜
き部の打ち抜きによる打ち抜き切断縁が、金属薄板の板
厚内に位置することを特徴とするリードフレーム。(1) A frame portion, a semiconductor chip placement portion located approximately at the center of the frame portion, a suspension lead portion continuous to the frame portion and the placement portion, and a radially extending portion around the placement portion. an inner lead part formed apart from each other; a space formed by punching and separating a part to be punched that is located so as to surround the placement part and on which the inner lead part is continuous on the outer edge; and the inner lead part. In a lead frame formed of a thin metal plate, the outer lead portion extends outwardly from the frame portion and is continuous with the frame portion. A lead frame characterized by being located within.
する半導体チップの載置部と、前記フレーム部と前記載
置部とに連続する吊りリード部と、前記載置部の周囲に
放射状に離間して形成されるインナーリード部と、前記
載置部を囲むように位置して外縁に前記インナーリード
部が連続する被打ち抜き部と、前記インナーリード部に
連続して外方に延び前記フレーム部に連続しているアウ
ターリード部とを金属薄板に形成する第1の工程と、前
記インナーリード部の所望位置をテープ固定する第2の
工程と、 前記被打ち抜き部にハーフエッチングを施して被打ち抜
き部を極薄にする第3の工程と、 前記被打ち抜き部を打抜分離する第4の工程と、よりな
ることを特徴とするリードフレームの製造方法。(2) a frame portion, a semiconductor chip placement portion located approximately in the center of the frame portion, a suspension lead portion continuous to the frame portion and the placement portion, and a radially extending portion around the placement portion; an inner lead part formed apart from each other; a punched part located so as to surround the placement part and having the inner lead part continuous to the outer edge thereof; and a part to be punched which extends outward continuously from the inner lead part and the frame. a first step of forming an outer lead portion that is continuous with the outer lead portion on a thin metal plate; a second step of fixing the desired position of the inner lead portion with tape; and half-etching the punched portion to cover it. A method for manufacturing a lead frame, comprising: a third step of making the punched portion extremely thin; and a fourth step of punching and separating the punched portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34210289A JPH03200358A (en) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | Lead frame and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34210289A JPH03200358A (en) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | Lead frame and manufacture thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03200358A true JPH03200358A (en) | 1991-09-02 |
Family
ID=18351170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34210289A Pending JPH03200358A (en) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | Lead frame and manufacture thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03200358A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5391439A (en) * | 1990-09-27 | 1995-02-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Leadframe adapted to support semiconductor elements |
JP2010192857A (en) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Leadframe and method of manufacturing the same |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP34210289A patent/JPH03200358A/en active Pending
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
US5391439A (en) * | 1990-09-27 | 1995-02-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Leadframe adapted to support semiconductor elements |
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