JPH03193903A - クリーンルーム用空気吸引式防塵フードシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はクリーンルーム内の作業者が頭部に着用する防
塵フード（帽子）システムに係り、人体からの発塵の中
でも最も発塵に影響を与える人体頭部からの発塵を制御
するためのクリーンルーム用空気吸引式防塵フードシス
テムに関するものである。

（従来の技術） 近年の産業分野の発展は著しく、電子、精密機械、医療
、醗酵、食品工業等においては清浄空間でしかその製造
がなし得ないものが多くなってきている。

特に半導体製造においては、その発展が目覚ましく、ス
ーパークリーンルームと称されるクラス１以下の超洗浄
空間で生産されるようになってきた。

このようなりリーンルームでは、作業者からの発塵も制
御することが必要で、クリーンルーム専用の防塵衣、即
ち、頭部を覆うフード、胴体部を覆うジャンプスーツ、
手を覆うグローブ、足を覆うシューズなどが使用されて
いる。

なお、上記の防塵衣の性能を高めるために、既に防塵衣
胴体内部の空気を外部吸引装置によって強制的に吸引し
、手首、襟首及び足首等からの塵の発生を減少させる提
案が特開昭６３−１０８１４０によってなされている。

（発明が解決しようとする課題） 従来は、上記のような防塵衣の着用で必要な塵の制御は
可能であったが、今後の超集積回路製造においては防塵
衣のなかでもより積極的且つ高度な塵制御が必要となっ
てくる。なかでも、人体頭部からの発塵が最も悪影響を
与えやすいので、頭部からの発塵を如何に制御するかが
重要となってきている。

即ち、防塵衣を着用した状態での人体からの発塵におい
て、最も問題となる箇所は頭部、特に顔面からの発塵で
ある。通常の防塵衣では、詰襟部が人体の首の周囲に密
着しており、上記の吸引装置では胴体又は首までの空気
吸引システムであるから最も問題となる頭部の発塵を制
御できない。

上記のように、最も防塵が重要になる頭部においてフー
ド着用時に顔面が一部露出している場合顔面の皮膚の一
部が離脱し飛散する現象よりも、むしろ作業者が首を動
かした時にフード内部の気圧が変動して、いわゆるボン
ピング現象によってフードで覆われている頭髪部からの
塵が顔面正面開口部へ移動し、外部へ飛散してしまう問
題を有していた。ボンピング現象は、フードの素材が塵
を通過させない密な構造はど発生しやすく、逆に粗な素
材構造をしていると、素材を通して塵が外部へ流出して
しまう危険性がある。このような密な構造をした素材を
使用しなければならないので口及び鼻を覆い、目の部分
のみが露出する構造のフードでは作業者の呼吸性、快適
性に悪影響を与えている。

（課題を解決するための手段） 上記のような問題点を解決するにあたって、まず人体頭
部を覆うフードのデザインはできるだけ人体の露出部を
少なくする必要がある。

従って、顕微鏡を覗く動作の容易性を確保するために目
の部分のみを露出させ、鼻、口及び頭髪部は完全に覆わ
れた構造でなければならない。

この構造においてフード内部の汚染された空気が開口部
から外部に流出する要因は、首振り動作によるボンピン
グ現象と呼吸時の吐気である。

従って、上記２つの空気移動現象、即ちボンピング現象
によって発生する空気量と作業者が呼吸する時の吐気に
よる空気量を足した値以上のフード内空気量を常に外部
装置によって強制的に吸引し、悪影響を与えない位置か
ら排出すれば良い。

吸引によってフード内圧は負圧になろうとするから、そ
の分だけフード正面の開口部からフード内部に常に多量
の新鮮な空気が流入するので、呼吸が容易でしかも蒸れ
ずに快適な作業性を維持することができる。

又、フード内空気が吸引される時、フード内壁と人体表
面が密着し、空気のスムーズな移動を確保できなくなる
おそれがあるが、フード内壁と人体表面に適度な隙間を
保持するようなフード構造にすることによってこの問題
も解決できる。

（作用） 本発明は、フード着用時にボンピング現象による汚染空
気及び呼吸時の吐気をフード開口部である目の周りから
外部へ流出させないために外部から吸引装置を用いてそ
の空気を他の場所へ排気するものである。

しかもフード内部に専用の吸気パイプを設けることによ
って、フード内部の空気を外部の吸引ユニットから吸引
する時、フードが潰れてしまわないように人体表面とフ
ード内壁の間に一定の空間が保持され、従ってフード内
部の空気吸引がスムーズに行われるので、フード内部で
発生する塵が全て吸引され、その防塵が完璧になる。又
、このスムーズな空気の流れを確保することで、鼻及び
口が覆われた構造でありながら、新鮮な空気を常にフー
ド内部へ供給するので、息苦しさや蒸れを生じさせず、
快適な作業性を付与することが可能になる。

本発明における空気吸引式フードシステムにおける吸引
ユニットは、その排気部から更にホースによって人体の
膝部まで空気が導かれてから排気されるので、クリーン
ルーム内で気流乱れを発生し難く、従って塵が舞い上が
るおそれがない。

又、各部の連結は着脱が可能で、必要に応じて洗浄、殺
菌が容易である。

空気吸引装置は、電動ファン、再充電可能な電池及び運
転に必要な電子回路で構成されており、必要に応じては
エアーフィルターが装着される。

エアーフィルターは非吸水性の濾材及び枠体で構成され
ており、液体滅菌洗浄が容易に行われる。

（実施例） 本発明の具体的な実施態様について添付する図面に示す
ものに則して説明する。

第１図は本発明の概要を示したものである。

即ち、第１図において、フード部１と空気吸引装置本体
部３はホース２で連結される。更に、空気吸引装置本体
部３の空気出口側には排気ホース４が連結されており、
排気ホース４の末端から排気される。

空気吸引装置本体部３は防塵ベルト５によって作業者の
腰に固定される。

フード部１はマスク一体型又は前面部が透明な材料でで
きた全面シールド型であってもよい。このフード部１の
下端側１９は胴体衣の裸部６の内側に入れられ、裸部（
首部）を境界にしフード内部と胴体衣内部では空気の流
動はない。

従って、フード部１内部の空気はホース２を経由して空
気吸引装置本体部３へのみ移動する。空気が吸引された
分だけ、マスタ一体型のフードにおいては、目の周りの
開口部から、又全面シールドフードにおいては適当な位
置に設けられた空気流入部から新鮮な空気がフード内部
へ流入する。

第２図はフードの内部構造を示した一例である。

即ちこの第２図において、フード本体１１の内側に着脱
可能な吸気部１２が装着されている。

吸気部１２はリング状のパイプ１３と空気吸引装置部に
連結される前記ホース２のための接続部１５で構成され
ており、リング状のパイプ１３には複数の吸気孔１４が
設けである。

この内部構造によって着用者の人体表面とフード本体１
１の内壁との間には適度な空間が確保され、内部の空気
が容易に吸気孔１４に導かれる。

第３図は空気吸引装置３の一例を示したものである。

即ち、空気吸引装置部は空気吸引用電動ファン３１、再
充電可能な電池３２、操作用電気回路３３を一体化した
空気吸引装置本体部と排気ホース４で構成される。

この場合、必要に応じて空気清浄フィルター３４が排気
口側に装着される。−船釣には空気清浄フィルターを使
用するのが望ましい。

この空気清浄フィルター３４は液体洗浄、液体滅菌を行
い、しかも、できるだけコンパクトにするために超低圧
力損失且つ高捕集効率のＰＴＦＥ性の濾材を用いること
が望ましい。

従来、女性のクリーンルーム作業者の場合には大きな発
塵原因となるため顔面に化粧を施したままでの作業は禁
じられていたが、本発明による防塵フードシステムを用
いると、女性のクリーンルーム作業者が化粧を施したま
ま半導体製造作業を行っても何らの問題な（塵の制御が
可能であることが確認された。

４、発明の詳細 な説明した本発明によれば、今後ますます超清浄空間を
要求する半導体製造分野等において、クリーンルーム作
業者からの発塵を極限まで制御して、僅かな塵でも不良
となる半導体製品の歩留りを向上させ、又近未来に量産
される超超集積回路の試作研究においても大いに貢献す
るものであって、工業的に効果の大きい発明である。

５゜

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の技術的内容を示すものであって、第１図
は本発明の概要を示す説明図、第２図は本発明における
フード部の内部構造を示す説明図、第３図は本発明に使
用する空気吸引装置の一例を示すものである。これらの
各図面において、１はフード部、２はホース、３は空気
吸引装置本体部、４は排気ホース、５は防塵ベルト、６
は胴体衣の裸部、１９はフード部の下端部、１１はフー
ド本体、１２は吸気部、１３はリング上のパイプ、１４
は吸気孔、１５は接続部、３１は空気吸引用電動ファン
、３２は再充電可能な電池、３３は操作用電気回路、３
４は空気清浄フィルターである。 （Ａン 第・ 図 ＣＢ） 第 図 手 続 補 正書湧光） ！Ｊ、ｙ！！、３．補

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）クリーンルーム内で作業者が頭部に着用する防塵
   フードであって、防塵フード部及びそれに連結された空
   気吸引装置で構成され、防塵フード部内部の塵埃を含ん
   だ空気を空気吸引装置によって常に吸引しながら使用す
   ることを特徴とするクリーンルーム用空気吸引式防塵フ
   ードシステム。
2. （２）フード部はフード本体とその内部へ着脱可能な吸
   気パイプで構成され、それぞれ洗浄、殺菌が可能なこと
   を特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載のクリーン
   ルーム用空気吸引式防塵フードシステム。
3. （３）フード本体内壁と着用者の頭部との間で一定の隙
   間が保持されるようにするために、着脱可能な吸気パイ
   プはリング状であり、装着時にフード着用者の顔の周り
   を一周する構造となっていることを特徴とする、特許請
   求の範囲第１項に記載のクリーンルーム用空気吸引式防
   塵フードシステム。
4. （４）吸引ファン、充電可能な電池、交換可能な空気濾
   過用フィルター及び運転に必要な電子回路で構成された
   一体型構造の携帯型空気吸引装置で、空気濾過用フィル
   ターは着脱可能で液体洗浄、殺菌しても性能劣化が起き
   ないように、非吸水性の濾材を使用した空気濾過用フィ
   ルターを用いたことを特徴とする、特許請求の範囲第１
   項にクリーンルーム用空気吸引式防塵フードシステム。