JPH03191587A - イオンレーザ装置 - Google Patents
イオンレーザ装置Info
- Publication number
- JPH03191587A JPH03191587A JP33205889A JP33205889A JPH03191587A JP H03191587 A JPH03191587 A JP H03191587A JP 33205889 A JP33205889 A JP 33205889A JP 33205889 A JP33205889 A JP 33205889A JP H03191587 A JPH03191587 A JP H03191587A
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- JP
- Japan
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- gimbal
- mirrors
- ion laser
- piezoelectric actuator
- optical resonator
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はジンバル構造を有するイオンレーザ装置に間す
る。
る。
従来のジンバル構造を有するイオンレーザ装置の概略構
成を第２図に示す、レーザ管２１は３本の支柱２２と複
数のプレート２３からなる支持体構造により固定され、
ミラー２４を保持するジンバル２５は３本の調整ネジ２
６を介して支柱２２に接し、調整ネジ２６を調節するこ
とによりジンバル２５の角度を調節する。
成を第２図に示す、レーザ管２１は３本の支柱２２と複
数のプレート２３からなる支持体構造により固定され、
ミラー２４を保持するジンバル２５は３本の調整ネジ２
６を介して支柱２２に接し、調整ネジ２６を調節するこ
とによりジンバル２５の角度を調節する。
ところで上述した従来の調整ネジ２６を用いたジンバル
２５の支持構造は調整機構を調整ネジ２６の調節により
おこなっている。しかし、調整ネジ２６による調節は微
調整がおこないにくく、微調整をより確実に行うために
は、別のネジと組合せて微調整機構を作らねばならず、
装置を複雑なものにしていた。
２５の支持構造は調整機構を調整ネジ２６の調節により
おこなっている。しかし、調整ネジ２６による調節は微
調整がおこないにくく、微調整をより確実に行うために
は、別のネジと組合せて微調整機構を作らねばならず、
装置を複雑なものにしていた。
また調整ネジ２６を用いたジンバルの支持構造は調整ネ
ジ２６の持つガタ等の問題のために、衝撃や振動により
アライメントがずれたり、長期間使用するとアライメン
トが安定しない問題があった。さらに外部よりジンバル
制御を行う場合、ステップモーターを使う方法が用いら
れているが複雑な構造となる。
ジ２６の持つガタ等の問題のために、衝撃や振動により
アライメントがずれたり、長期間使用するとアライメン
トが安定しない問題があった。さらに外部よりジンバル
制御を行う場合、ステップモーターを使う方法が用いら
れているが複雑な構造となる。
本発明は、レーザ管に対向するように設けられた一対の
ミラーを備える光共振器を有するイオンレーザ装置にお
いて、光共振器は一対のミラー角度を調整するジンバル
を具備し、前記ジンバルは複数の圧電式アクチュエータ
を介して光共振器を構成することを特徴とする。より詳
細には、ジンバルは複数のスプリングと３つの圧電式ア
クチュエータを介して、３本の支柱及び複数のプレート
からなる支持体構造に接続される。すなわち、ジンバル
はスプリングを介して弾力をもって支持体構造に接続さ
れ、またジンバルは３つの圧電式アクチュエータを介し
て３本の支柱のそれぞれに接続される。ジンバルの位置
関係はそれぞれ支柱に接触している圧電式アクチュエー
タの厚さによって定まり、これによりジンバルに支持さ
れているミラーの角度も決定される。圧電式アクチュエ
ータは圧電式アクチュエータの両端にかかう電圧によっ
てその厚さが変化する。この電圧の変化に伴う圧電式ア
クチュエータの厚さの変化により、ジンバルすなわち、
ミラーの対向関係を精密に定め、かつその関係を安定的
に保つことを可能とするものである。
ミラーを備える光共振器を有するイオンレーザ装置にお
いて、光共振器は一対のミラー角度を調整するジンバル
を具備し、前記ジンバルは複数の圧電式アクチュエータ
を介して光共振器を構成することを特徴とする。より詳
細には、ジンバルは複数のスプリングと３つの圧電式ア
クチュエータを介して、３本の支柱及び複数のプレート
からなる支持体構造に接続される。すなわち、ジンバル
はスプリングを介して弾力をもって支持体構造に接続さ
れ、またジンバルは３つの圧電式アクチュエータを介し
て３本の支柱のそれぞれに接続される。ジンバルの位置
関係はそれぞれ支柱に接触している圧電式アクチュエー
タの厚さによって定まり、これによりジンバルに支持さ
れているミラーの角度も決定される。圧電式アクチュエ
ータは圧電式アクチュエータの両端にかかう電圧によっ
てその厚さが変化する。この電圧の変化に伴う圧電式ア
クチュエータの厚さの変化により、ジンバルすなわち、
ミラーの対向関係を精密に定め、かつその関係を安定的
に保つことを可能とするものである。
才な、本発明によれば検出器で出力をモニターし、モニ
ター信号を圧電アクチュエータにフィードバックし発振
状態を自動制御する回路を設けたイオンレーザ装置が得
られる。
ター信号を圧電アクチュエータにフィードバックし発振
状態を自動制御する回路を設けたイオンレーザ装置が得
られる。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例のイオンレーザ装置の概
略構成図である。レーザ管１１は３本の支柱１２と複数
のプレート１３からなる支持体構造により固定され、ミ
ラー１４を保持するジンバル１５は３個の位置調整用圧
電式アクチュエータ１６を介して支柱１２に接し、圧電
式アクチュエータ１６の両端の電圧を変化させることに
より、圧電式アクチュエータ１６の厚さを変化させ、ジ
ンバル１５及びミラー１４の対向関係を調整する。なお
圧電式アクチュエータ１６には支柱接触用の接点１７が
とりつけられている。またジンバル１５と支柱１２の間
には固定用として複数のスプリング１８がある。
略構成図である。レーザ管１１は３本の支柱１２と複数
のプレート１３からなる支持体構造により固定され、ミ
ラー１４を保持するジンバル１５は３個の位置調整用圧
電式アクチュエータ１６を介して支柱１２に接し、圧電
式アクチュエータ１６の両端の電圧を変化させることに
より、圧電式アクチュエータ１６の厚さを変化させ、ジ
ンバル１５及びミラー１４の対向関係を調整する。なお
圧電式アクチュエータ１６には支柱接触用の接点１７が
とりつけられている。またジンバル１５と支柱１２の間
には固定用として複数のスプリング１８がある。
第３図は圧電式アクチュエータを用いた自動発ｆｉ調整
機構を具備した本発明の第２の実施例の概略構成図であ
る。基本的な構成は本発明の第１の実施例と同様である
が、出力側ジンバル部にビームスプリッタ３９を設け、
太陽電池４０によってレーザ出力をモニターし、制御回
路４１を通して圧電式アクチュエータ３６にかかる電圧
を変化させ、ジンバル、ミラーの対向関係をレーザ出力
が最大となるように調整する。
機構を具備した本発明の第２の実施例の概略構成図であ
る。基本的な構成は本発明の第１の実施例と同様である
が、出力側ジンバル部にビームスプリッタ３９を設け、
太陽電池４０によってレーザ出力をモニターし、制御回
路４１を通して圧電式アクチュエータ３６にかかる電圧
を変化させ、ジンバル、ミラーの対向関係をレーザ出力
が最大となるように調整する。
以上説明したように本発明は、ジンバルと３本の支柱及
び複数のプレートを有する支持体構造を圧電式アクチュ
エータを介して接続し、圧電式アクチュエータの厚さの
変化という物理的変位によリジンパル及びミラーの対向
関係を調整するという方法を用いることにより、精密な
かつ安定した対向間係を保持することを可能にしな０丈
な本発明は、圧電式アクチュエータという電気部品を用
いることにより外部からの遠隔調整操作を容易にし、レ
ーザ装置の安全性の向上という点で大きな利点をもたら
す。またフィードバック回路を設けることにより、発振
状態を常に最適化できるので、自己発熱や外部よりの熱
による光共振器の変位を補正することができる。
び複数のプレートを有する支持体構造を圧電式アクチュ
エータを介して接続し、圧電式アクチュエータの厚さの
変化という物理的変位によリジンパル及びミラーの対向
関係を調整するという方法を用いることにより、精密な
かつ安定した対向間係を保持することを可能にしな０丈
な本発明は、圧電式アクチュエータという電気部品を用
いることにより外部からの遠隔調整操作を容易にし、レ
ーザ装置の安全性の向上という点で大きな利点をもたら
す。またフィードバック回路を設けることにより、発振
状態を常に最適化できるので、自己発熱や外部よりの熱
による光共振器の変位を補正することができる。
第１図は本発明の第１の実施例の概略構成図、第２図は
従来の技術の概略構成図、第３図は本発明の第２の実施
例の概略構成図である。 １１．２１．３１・・・レーザ管、１２，２２゜３２・
・・支柱、１３．２３．３３・・・プレート、１４゜２
４．３４・・・ミラー、１５，２５．３５・・・ジンバ
ル、１６．３６・・・圧電式アクチュエータ、１７゜３
７・・・接点、１８．３８・・・スプリング、２６・・
・調整ネジ、 ３ ９・・・ビームスプリッタ、 ０・・・太陽電 池、 １・・・制御回路。
従来の技術の概略構成図、第３図は本発明の第２の実施
例の概略構成図である。 １１．２１．３１・・・レーザ管、１２，２２゜３２・
・・支柱、１３．２３．３３・・・プレート、１４゜２
４．３４・・・ミラー、１５，２５．３５・・・ジンバ
ル、１６．３６・・・圧電式アクチュエータ、１７゜３
７・・・接点、１８．３８・・・スプリング、２６・・
・調整ネジ、 ３ ９・・・ビームスプリッタ、 ０・・・太陽電 池、 １・・・制御回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ管に対向するように設けられた一対のミラー
を備える光共振器を有するイオンレーザ装置において、
光共振器は一対のミラー角度を調整するジンバルを具備
し、前記ジンバルは複数の圧電式アクチュエータを介し
て光共振器を構成することを特徴とするイオンレーザ装
置。 ２、検出器で出力をモニターし、モニター信号を圧電ア
クチュエータにフィードバックし発振状態を自動制御す
る回路を設けたことを特徴とする請求項１記載のイオン
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33205889A JPH03191587A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | イオンレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33205889A JPH03191587A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | イオンレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03191587A true JPH03191587A (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=18250672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33205889A Pending JPH03191587A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | イオンレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03191587A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0851546A2 (en) * | 1996-12-24 | 1998-07-01 | Alimenterics Inc. | Variable length optical chamber and gas laser incorporating the same |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01260877A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-18 | Komatsu Ltd | 固体レーザ発振器の内部光モニタ方法及び内部光モニタ付き固体レーザ発振器 |
| JPH0239479A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-08 | Rion Co Ltd | レーザ発振器 |
| JPH0294583A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Komatsu Ltd | 狭帯域発振エキシマレーザ装置 |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP33205889A patent/JPH03191587A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01260877A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-18 | Komatsu Ltd | 固体レーザ発振器の内部光モニタ方法及び内部光モニタ付き固体レーザ発振器 |
| JPH0239479A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-08 | Rion Co Ltd | レーザ発振器 |
| JPH0294583A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Komatsu Ltd | 狭帯域発振エキシマレーザ装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0851546A2 (en) * | 1996-12-24 | 1998-07-01 | Alimenterics Inc. | Variable length optical chamber and gas laser incorporating the same |
| EP0851546A3 (en) * | 1996-12-24 | 1999-05-06 | Alimenterics Inc. | Variable length optical chamber and gas laser incorporating the same |
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