JPH03181806A - 特徴解析方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｗＩＪＩｌｉ！ 本発明は特ｆ＆（ｓｉｇｎａｔｕｒｅ）解析装置に関し
、パラメータの物理的変化、例えば部品の形状又はプロ
フィル又はプロセス内の力又は圧力、の関数として振幅
が変化する１個以上のアナログセンサによって生ずる信
号を取得し解析するために使用する装置に関する。

特に本発明は、圧力流量又は力等の物理的パラメータを
表す特徴の発生、又は部品供給装置において部品のプロ
フィルを表す特徴の発生に関する。

しよ゛と　る 本発明によっ−で製造されたシステムはマイクロコンピ
ュータに基づく制御装置であって、１個以上のセンサか
らアナログ特徴電圧を取得し得る。

入力した又は新しいプロセス信号を解析するときは、プ
ロセスの変化にはよらず測定プロセスに固有のプロセス
特徴の変化を除去することが望ましい０本発明によって
、特徴信号（ｓｉｇｎａｔｕｒｅ　ｓｉｇｎａｌ）を処
理してセンサ出力の周囲値を除去する。

上述の例は回転ボウル部品供給装置（ｒｏｔａｒｙｂｏ
ｗｌ　ｐａｒｔｓ　ｆｅｅｄｅｒ）に関連する問題であ
る０本発明のこの用途の場合、バルクからの部品の分離
供給のプロセスの間にボルト等の部品が適正な形状又は
方向であるか否かを定めることが望ましい。

特に、回転ボウル供給装置は小部品を製造設備に供給す
るために使用されることが多い０本発明は、部品を放射
エネルギ源と放射エネルギに応答するセンサとの間を通
すことによって、部品の形状及び／又は方向が許容可能
か否かを定める。センサの発生する電気符号信号の振巾
は、部１品が光源とセンサとの間を通過する時に経過時
間に対して変化する。

上述の装置には少なくとも２個の問題がある。

第１に、部品が回転ボウル供給装置から供給されるとき
、ボウルの面は均等ではなく、通過部品のプロフィルを
測定する固定センサが使用される点で見掛けの垂直運動
が生じる０本発明はこの問題を解決するために、回転ボ
ウルの浮動基準面（ｆｌｏａｔｉｎｇ　ｄａｔｕｍ　５
ｕｒｆａｃｅ）に関して全ての部品特徴を測定する。そ
れ故、本発明の目的は、発生する信号が浮動基準を有し
、該信号を処理して浮動基準に対して補償を行う信号と
する特徴解析方法を提供することである。

第２の問題は、放射源とセンサとの間を動く部品が均等
な速度で動かない場合、有用な特徴信号の発生にある。

このため、特徴信号の長さは部品速度の増加（Ｎ少）と
共に減少（増加）する、かくして、本発明の他の目的は
、監視する部品の運動速度の変化によって長さの変化す
る信号から正規化された特徴信号を得る特徴信号情報の
処理方法を提供することにある。

遺」０姓 本発明を添付図面を参照して例示的に説明する。

本発明を回転ボウル部品供給装置への応用に間して説明
する。この応用を述べるにあたり、特徴正規化及び浮動
基準補償という特色について説明する。この特色は、回
転ボウル供給装置だけでなく他の用途例えばプロセス内
の圧力監視にも使用できる。従って、この特色は回転ボ
ウル供給装置に限定されない。

第１図において、数字２０は光源又は放射器、例えば赤
外線レーザ源を示す、光源２０と整列してセンサスは受
信器２２を配置する０例えば、光１ｌｌＩ２０とセンサ
２２はケイエンス社のＬＸシリーズ・スルービーム装置
である。光源２０は狭い垂直の光ビーム２４を発生する
。センサ２２はビーム遮断又は阻止の百分率の関数であ
る直接出力電圧を導線２８に発生する。

センサ２２の出力特性を第２図に示し、同図は光ビーム
２４の垂直方向におけるビーム遮断％に対してセンサ又
は受信器２２の出力電圧をプロットしたものである、光
ビーム２４を１００χ遮断する物体が光＊２０とセンサ
２２との間に介在すれば、センサ２２は最小出力電圧と
なり、遮断のない時のセンサ２２は最大出力電圧を有す
る。

第１図において、光源２０とセンサ２２を含む装置はボ
ルト３０の外形又は特徴の電圧を定めるものとして描か
れており、図示しない手段によって回転され従来の回転
ボウル部品供給装置３３の一部をなす環状面３２によっ
て、ボルト３０はセンサ２２と光源２０との間を動く０
部品供給装置３３はボウル部３４を有し、ボルトは遠心
力によってボウル部３４から環状面３２に動く。ボルト
３０はヘッド３０＾とねじが切られた胴３０Ｂとを有す
る。ボウル供給装置の軸線寸法に沿って光ビーム２４が
遮断されるように、環状面３２は投射される光ビーム２
４に対して垂直位置に位置する。環状面３２はランアウ
ト（ｒｕｎｏｕｔ）を受ける。即ち、ボウル供給装置の
回転につれて、その頂面ば固定の光源２０と固定のセン
サ２２に対して垂直方向上下に動く、環状面３２の垂直
運動はセンサ２２の出力電圧を対応して変化させる。こ
れは、この運動が遮断−される光ビームを変化させるか
らである０本発明のシステムは、後述する方法で環状面
３２の垂直運動における変化を補償する。

ボルト３０が光源２０と受信器２２との間を通るとき、
ボルトによって遮断される光ビームの量はボルトのプロ
フィルの関数である。かくして、ヘッド３０＾はねじの
切られた胴３０Ｂより多くの光ビームを遮断する。

第３図において、マイクロコンピュータ４８はセンサ２
２のアナログ出力電圧を処理するものとして示されてい
る。センサ２２はマイクロコンピュータ４８のアナログ
／ディジタル変換器５０に接続される。

マイクロ計算機４８は更にクロック５１．中央処理装置
（ＣＰＬＩ）５２．　＊数のメモリ場所を有するプレト
リガバッファメモリ５３．複数のメモリ場所を有する未
処理特徴バッファメモリ５４．複数のメモリ場所を有す
る正規化特徴バッファメモリ５６を有する。更にマイク
ロコンピュータ４８は順次に入力アナログセンサ情報を
処理するプログラム又はアルゴリズムを含むメモリ５８
を有する。

第４図は、センサ２２からのアナログ電圧を処理するた
めの一般化したフローチャートを示す、この入力信号情
報を処理して浮動基準補償及び／又は特徴正規化を行う
、浮動基準補償のみを必要とする場合は、入力情報はス
テップ５９．６０によって処理される。正規化のみを希
望すれば、入力情報はステップ６１．６２によって処理
される。浮動基準補償と正規化を共に希望すれば、人力
情報はステップ５９．６０．６２によって処理される。

本発明によるディジタルデータ収集方法を第５図によっ
て説明する。ボルト３０がセンサを通り過ぎた時にセン
サ２２は第５図に示すアナログ電圧波形６４を発生じた
とする。このアナログ電圧は、クロック５１のクロック
速度でアナログ／ディジタル変換器５０によってディジ
タル化される。各点は、アナログ電圧の振幅の関数であ
るディジタル値が得られる時点を表す。

マイクロプロセッサ・システムが浮動基準補償のみを行
うように設定された、即ち第４図に示すステップ５９．
６０を行うように設定されたと仮定する。この作動モー
ドでは、システムはプレトリガ・バッファ５３をディジ
タルデータで満たず、プレトリガ・バッファ５３は、第
５図に示す例では５個の連続したデータ点である長さを
有する。バッファ５３はデータ構造で周知の円形バッフ
ァとして作動する。この機能は第５図に図式的に示され
ている。円形バッファ５３は第５図の左から右に動く窓
として見える。最新のデータ点はバッファ５３に置かれ
てＡとして示され、最も古いデータ点をＢとして示す。

センサ出力電圧波形の部分６６の振幅に相当するデータ
はバッファ５３に記憶されている。波形部分６６は面３
２の垂直運動によるセンサ２２の出力を表す。

即ち、部分６６は放射器２０とセンサ２２との間にボル
トがない場合に生ずる波形である。プレトリガ・バッフ
ァ５３のローディングは第５図のＴＯで開始する。

プレトリガバッファ５３は時間Ｔ１で波形６４にある大
きさの電圧遷移が生ずるまで各り’ｏ−）クバルス毎に
更新され続ける。マイクロプロセッサは電圧波形が第５
図に示すトリガ電圧よりも低い値からこのトリガ電圧よ
り高い値となったことを検出するようにプログラムされ
る。この遷移が生じた時、バッファ５３に対するデータ
・エントリが停止される。第５図において、バッファ５
３が５個のデータ点の長さを持つとした場合に、バッフ
ァ５３内に記憶される最終的なディジタルデータはデー
タ点Ｃ１Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇに相当する。データ点Ｃは最古
のデータであり、Ｐｏｔ　Ｄとよぶ。データ点Ｃはボウ
ル面３２の動きに対応するアナログ電圧値を表し、部品
特徴電圧を反映してはいない。

時間Ｔ１において、ブレトリガ・バッファ５３は上述し
た通りデータで充満される。更に時間ＴＩにおいて未処
理特徴バッファ５４は時間ＴＩ、　Ｔ２の間にディジタ
ルデータ点を受信し記憶する。時間Ｔ２におい°ζ、電
圧６４はトリガ電圧よりも高い値からトリガ電圧よりも
低い値に低下し、マイクロプロセッサはこれを認識する
ようにプログラムされているので、波形部分６６のディ
ジタル化を停止する。この結果、時間ＴＩ、　Ｔ２の間
で波形６４は各クロックパルス毎にディジタル化され、
一連のディジタル化データが未処理特徴バッファ５４内
に記憶される。

上記のようにディジタルデータ処理が完了したときは、
プレトリガバッファ５３はディジタルデータ値Ｃ−Ｇを
収容し、未処理特徴バッファ５４は時間ＴＩ、　Ｔ２の
間の一連のディジタルデータを収容する。

マイクロプロセッサはプレトリガ・バッファ５３内に記
憶されたディジタルデータ（Ｃ−Ｇ）を未処理特徴バッ
ファ５４に挿入するようにプログラムされており、未処
理特徴バッファ５４はデータ点Ｃから時間Ｔ２までの第
５図に示す波形に対応するディジタルデータを収容する
。いま、未処理特徴バッファ５４は、データ点Ｃから時
間Ｔ２までのセンサ２２の出力波形を表すディジタルデ
ータを含む。

未処理特徴バッファ５４内に記憶されている組合わされ
たデータを浮動基準補償を行うために後処理される。こ
の後処理と浮動基準補償作動モードのためのデータ取得
とは、マイクロプロセッサが浮動基準補償を行う際に実
行するプログラム・ステップのフローチャートを示す第
６図で説明される。

第６図において、第１のステップ６８はブレトリガ・バ
ッファ５３のためにブレトリガ・データを取得すること
である。これは既述されており、第５図のデータ点Ｃ−
Ｇを得ることに関係する。ステップ６９において、第５
図のＴＩ−Ｔ２の間のディジタルデータを生威しバッフ
ァメモリ５４に置く。ステップ７０において、ステップ
６８で得たブレトリガ・データをバッファ５４に挿入配
置する。ステップ７１において、Ｐ（ＩＬＩＩ即ち第５
図のデータ値Ｃを識別してバッファ５４内の各データ値
から引く。即ち、ＣからＣを引き、ＤからＣを引き、以
下同様にして第５図のＣとＴ２との間の各データ値から
Ｃを引く。

ステップ７２において、引算の結果はバッファメモＩＪ
５６に記憶され、該メモリは浮動基準後処理の最終結果
を記憶することになる。

浮動基準補償は、ボルト３０のプロフィルの真のディジ
タル表現を与える。この点に関して、波形部分６４の振
幅は面３２の垂直運動によって変化する。

浮動基準補償を使用すれば、ボルトを支持する面３２の
部分の垂直位置に無関係にボルトのディジタル表示が得
られる。この点に関しては、ＷＪ３２の垂直位置を表す
ディジタル値即ち第５図の点Ｃが求まり、この値はボル
ト３０に先立つ面３２の点に対応する。Ｈちボルト３０
が放射器２０と受信器２２との間を通る直前にディジタ
ル値（点Ｃ）を得て上述の方法によって引算する。

前の例では、ブレトリガ・バッファ５３内の情報は未処
理特徴バッファ５４に挿入され、特徴にはボウルの面か
ら部品特徴への遷移が含まれる。浮動基準補償にブレト
リガ・バッファ５３を使用する場合、ブレトリガ・バッ
ファの内容を未処理特徴バッファに挿入しないでも行い
得る。この場合、ｐａＬｍの値を７１−７２の間のディ
ジタルデータから引き去る。ただし、Ｔ１は未処理特徴
バッファの最初の値である。更に、この場合は第６図の
ステップ７０は使用しない。

正規化手段又は処理の目的は、部品即ちボルト３０の移
動速度の変化を補償することにある。これを説明するた
めに第７図を参照すると、ボルト３０の３種の異なる運
動速度に対応した３個の異なる特ｆｔｌ［を圧波形と、
処理後に作られる結果的な正規化特徴波形を示す。特ｒ
＆ｌｌ、１２．１３として示した電圧波形は単位時間に
対してプロットしたセンサ２２の出力電圧を示す。これ
は−膜化した波形であり、実際の値を示すものではない
。特徴１１は他の２個の特徴よりも遅いボルト３０の運
動速度に対応する。

特徴Ｉ２は最高運動速度に対応し、特徴１３は特徴１１
゜Ｉ２を作る速度の中間の速度に対応する。

正規化手順又は処理の目的は、波形７４によって表され
、正規化された特徴として識別され、一定数のデータサ
ンプル即ちデータ点の長さを有するディジタル化信号を
生成することである。換言すれば、速度の変化によって
生じた特徴の長さの変化は、一定長さの信号７４に変換
される。

上記のことを達成するために第８，９図を参照すると、
第８図は前記の未処理特徴パフファメモリ５４と正規化
特徴バッファメモリ５６とをメモリ５４からメモリ５６
へのデータの転位を示す矢印と共に示す。

第９図はマイクロプロセッサによるプログラム制御の下
で実行されるステップのフローチャートを示す、第９図
に使用する用語を以下のように定義する。

ｎ＝正規化バッファ５６の長さ ｊ　＝特’ｆ＆バンファ５４へのインデックスリー取得
した特徴信号の長さ Ｒ＝正規化比（Ｒ＝ｑ／ｎ＞ ｉ＝正規化バッファ５６へのインデックスＮｉ　−イン
デックスｉにおける正規化バッファの値ｓｉ　＝インデ
ックスｊにおける特徴バッファの値第９図において、特
徴取得として示すステップは、例えば第５図に示す１１
８徴電圧波形６４のディジタル表示を得るために実行す
るステップである。

特徴正規化として示すステップは、第６図の特徴ＩＩの
ような信号を処理して正規化特徴波形を得ることを示す
。

第９図において、「トリガしたか？」はデータ取得の開
始即ち第５図の時間Ｔ１を示す。「完了か？はデータ取
得の終了即ち第５図の時間Ｔ２を示す。

正規化手順又は処理の実施例を本発明の理解を助けるた
めに提示する。ｎ即ち正規化バッファ５６の長さを第７
図の７５に等しいと仮定する。

第１の作動条件として、第７図の特ｆｉｌｌ信号が処理
されていると仮定する。取得された特徴ｑの長さは２０
０である。これに基づいてマイクロプロセッサは次の計
算を行う。

Ｒ＝　ｑ／ｎ　＝　２００／７５　＝　２．６６ｉ−１
からｎに対し°ζ ｊ　＝ラウンド（ｉＸＲ）　Ｎｉ　＝Ｓｊしたがって ＝１ ｊ＝ニラランド１ｘ２．６６）　＝３ ）ｉ、　−５才 １＝２５ ｊ＝ニラランド２５ｘ２．６６）　＝６６Ｎ門−５６６ １＝７５ ｊ＝−ラウンド（７５ｘ２．６６）　＝２０ＯＮ？！　
　＝ｓｚｅ。

第２の作動条件において、特徴雲３が処理されてい°Ａ
ｎ　＝７５であると仮定する。これに基づいてマイクロ
プロセッサは次の計算を行う。

Ｒ＝ｑ／ｎ　＝１５０／７５＝２ ＋　＝Ｏ ｊ−ラウンド（ＩＸ２）＝２ Ｎ、　＝Ｓｔ ｉ＝２５ ｊ−ラウンド（２５Ｘ２＞＝５Ｏ Ｎ問＝５５゜ １＝７５ ｊ＝ニラランド７５　Ｘ２）＝１５Ｏ Ｎ’？５　”’Ｓ１５゜ 上記の「ラウンド」とは計算が最も近い整数へ丸められ
たことを示す。

バッファの長さは、所与数のクロックパルス又は所与数
の一連のメモリ場所に対応する。

正規化特徴長さ７５を得るに際して、取得された上記の
入力特徴の長さ９は、正規化特徴バッファのｎ個の等間
隔のサンプルをＩＨＩ［バッフ１内のｑ個のサンプルか
ら得るように実際は圧縮される。

つまり、特徴貢１において、未処理特徴バッファ５４の
メモリ場所からのディジタルデータの各ｑ／ｎ個のクロ
ックパルスは正規化特徴バッファ５６に転送される。こ
れは未処理特徴バッファ５４の順次のメモリ場所に生ず
る一部のデータを逐次失うが、クロック速度は十分に高
いため、波形６４によっ°Ｃ表されるディジタルデータ
はセンサ２２に生じた特徴電圧の充分な模写である。こ
の点に関して、第７図の待１ｆｉｌｌ＋を処理している
場合に、第８図のメモリ場所Ｓｌ、　Ｓ２のデータ及び
その後の連続的に生ずるデータは未処理特徴バッファ５
４から正規化符号バッファ５６に転送されない。

本発明に実施に際して、赤外線レーザ以外の感知装置も
使用できる。例えば、誘導近接検出器を使用できる。

浮動基準補償及び正規化を部品供給装置への応用と関連
させて説明した。しかし前述した通り、本発明の諸特色
は一般的用途を有する。例えば、圧力センサの場合、所
定期間に亘って電気信号を発生ずる圧力センサを使用す
ることが必要であり、生ずる信号は何等かのプロフィル
を有する。更に圧力センサの環境出力は例えば温度変化
に伴って変化し得る。このような環境変化は部品供給装
置の而３２のランアウト（ｙｕｎ−ｏｕｔ）に対応する
。浮動基準補償も正規化も圧力センサ信号に適用可能で
ある。

本発明の使用に際して、システムは「教示モード」で使
用され、部品を放射器２０と受信器２２との間を通過さ
せて基準データを上記の方法で得る。

次いで、この基準データをメモリに記憶する。こうして
、システムは部品が放射器と受信器との間を通るときに
得たデータとメモリ内にある基準データとを比較し、部
品の受領又は拒否を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、電気的な特徴信号又はプロフィル信号を発生
する装置付の回転ボウル部品供給装置を示ず図；第２図
は、第１図に使用したセンサの出力特性を示ず図；第３
図は、アナログ情報を処理するマイクロプロセッサ装置
を示す図：第４図は、第３図のマイクロプロセッサ装置
の行うステップのフローチャートを示す図；第５図は、
本発明の理解のための電圧波形の図；第６図は、浮動基
準補償に関するフローチャート；第７図は、センサの出
力信号の正規化の効果を示ず図：　第８図は、正規化を
行うバッファメモリ装置を示す図；第９図は、正規化を
行うフローチャートを示す図である。 ２０・・・光源（ｈ！！、射器）２２・・・センサ（受
信器）２４・・・光ビーム　　　３０・・・ボルト３２
・・・環状面　　　　３４・・・ボウル４８・・・マイ
クロコンピュータ ５０・・・アナログ／ディジタル変換器５１・・・クロ
ック　　　５２・・・ＣＰＵ５３・・・プレトリガ・バ
ッファメモリ５４・・・未処理特徴バッファメモリ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、３ 手ヤがタシくり７ｒ ＦＩＧ、９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、アナログ信号のプロフィル部のプロフィルを表すデ
   ィジタル信号を発生する方法であって、該アナログ信号
   が該プロフィル部に先行する変動性の基準電圧部を含む
   方法において、該基準電圧部の振幅を連続的に表す複数
   の連続的に生ずる第１のディジタルデータ信号を発生し
   て記憶（６８）し、前記プロフィル部の発生の開始時に
   前記第１のディジタルデータ信号の発生と記憶を停止（
   Ｔ１）し、前記プロフィル部の振幅を連続的に表す第２
   のディジタルデータ信号を発生させて記憶（６９）し、
   前記プロフィル部の開始に先行する前記第１のデータ信
   号の一部を前記第２のデータ信号と組合せ（７０、７１
   ）、前記プロフィル部を表し前記基準電圧の変化を補償
   されたディジタル信号を発生（７２）する段階を含む信
   号発生方法。 ２、アナログ信号のプロフィル部を表すディジタル信号
   を発生する方法であって、該アナログ信号が該プロフィ
   ル部に先行する変動性の基準電圧部を含む方法において
   、前記基準電圧部の振幅及び前記プロフィル部の最初の
   部分の振幅を連続的に表す前記基準電圧部の発生の間及
   び前記プロフィル部の前記最初の部分の発生の間に複数
   の連続的に生ずる第１のディジタルデータ信号を発生し
   て記憶し、前記プロフィル部の前記最初の部分で始まる
   前記プロフィル部の振幅を連続的に表す第２のディジタ
   ルデータ信号を発生して記憶し、前記第１のディジタル
   信号とそれに続く前記第２のディジタル信号から成る複
   合ディジタル信号を発生し、前記基準電圧部の一部を表
   す前記第１のデータ信号の少なくとも１個を前記複合デ
   ィジタル信号のディジタル信号と組合せ、前記基準電圧
   の変化を補償されたディジタル信号を発生する段階を含
   む信号発生方法。 ３、測定装置によって生ずる変動性基準電圧および測定
   すべきパラメータを表すプロフィルを有する特徴電圧を
   生ずる測定装置から補償された特徴信号を発生する方法
   において、前記基準電圧の振幅を連続的に表す複数の連
   続的に生ずる第１のディジタルデータ信号を発生して記
   憶し、前記特徴電圧の発生の開始時に前記第１のディジ
   タルデータ信号の発生と記憶を停止し、前記特徴電圧の
   振幅を連続的に表す第２のディジタルデータ信号を発生
   して記憶し、前記特徴電圧の開始に先行する前記第１の
   データ信号の一部を前記第２のデータ信号と組合せ、補
   償されたディジタル特徴信号を発生する段階を含む信号
   発生方法。 ４、前記第１のデータ信号の一部を前記第２のデータ信
   号から引算する請求項３記載の方法。 ５、運動する部品のプロフィルを表す特徴信号を発生す
   る方法において、振幅と長さが前記部品のプロフィルと
   長さとに対応する特徴電圧を発生するセンサを通過して
   前記部品を移動させてアナログ特徴直接電圧を発生し、
   複数の連続的に生ずるディジタルデータ信号を発生して
   、該信号を、前記部品が前記センサを通過する時間に相
   当する時間の間前記アナログ特徴電圧の連続的に生ずる
   振幅に対応する第１のメモリの複数のメモリ場所に記憶
   し、前記第１のメモリのメモリ場所から第２のメモリの
   メモリ場所にディジタルデータを転送し、前記第２のメ
   モリ内のデータが一定数のデータ信号値を表す段階を含
   む信号発生方法。 ６、前記センサは放射エネルギに応答し、前記部品は該
   センサと放射エネルギ源との間を通過する請求項５記載
   の方法。 ７、前記部品は回転可能な部品支持面によって支持され
   該部品にセンサを通過させる請求項５記載の方法。 ８、部品（３０）のプロフィルを表すディジタル信号を
   発生する装置であって、センサ（２２）と、部品を支持
   し該部品を移動させて前記センサを通過させる可動の部
   品支持手段（３２）であって、前記センサに前記部品の
   プロフィルを表すアナログ電圧を発生させる手段と、前
   記アナログ電圧に応答して前記部品のプロフィルのディ
   ジタル表示を発生するディジタルデータ処理手段（４８
   ）であって、前記部品の運動速度が変化しても長さが変
   化しない前記部品のディジタル表示を発生する処理手段
   とを含むディジタル信号発生装置。 ９、前記部品支持手段（３２）は前記センサ（２２）に
   電圧を発生させる位置にあり、前記ディジタル処理手段
   （４８）は前記センサによって発生される電圧に変動を
   生じさせる方向での前記部品支持手段の動きによって生
   じた電圧変化を補償する手段を含む請求項８記載の装置
   。 １０、運動する部品（３０）のプロフィルを表すディジ
   タル信号を発生する装置であって、監視すべき部品をセ
   ンサ手段（２２）を通過させるよう支持し運動させる可
   動の部品キャリア（３２）であって、該部品キャリアと
   部品とが前記センサ手段に対して、該センサ手段が部品
   支持運動面にほぼ直角の方向での前記部品キャリアの運
   動に応答して値の変化する基準アナログ電圧と前記部品
   のプロフィルの関数として値の変化する特徴アナログ電
   圧とを発生するように位置する部品キャリアと、前記基
   準電圧の連続的な値を表す第１の連続的に発生するディ
   ジタルデータ信号を発生し記憶する手段（４８）と、前
   記特徴電圧の連続的な値を表す第２の連続的に発生する
   ディジタルデータ信号を発生し記憶する手段（４８）と
   、前記第２のディジタルデータ信号を少なくとも１個の
   前記第１のディジタル信号と組合せて部品支持運動面に
   直角な前記方向での前記部品キャリアの運動を補償され
   たディジタル信号を発生する手段（４８）とを含む信号
   発生装置。 １１、部品支持面によって支持され運動される部品（３
   ０）のプロフィルを表すディジタル信号を発生する方法
   であって、該面と部品とが、前記部品の運動方向にほぼ
   直角の方向での前記面の運動によって発生される第１の
   可変電圧部と前記部品がセンサ手段を通過する時に発生
   されて前記部品のプロフィルを表す第２の可変電圧部と
   を有するアナログ電圧を発生させるセンサ手段（２２）
   を通過して運動する方法において、前記第２の電圧部が
   発生する直前の前記第１の電圧部を表す複数の連続的に
   生ずる第１のディジタル信号を発生して記憶し、前記第
   ２の電圧部を表す連続的に生ずる第２のディジタル信号
   を発生して記憶し、少なくとも１個の前記第１のディジ
   タル信号を前記第２のディジタル信号と組合せ、前記部
   品のプロフィルを表し前記部品の運動にほぼ直角の方向
   での前記面の運動を補償されたディジタル信号を発生す
   る段階を含む信号発生方法。 １２、前記少なくとも１個の第１のディジタル信号が前
   記第２のディジタル信号から引算される請求項１１記載
   の方法。