JPH03181563A - Novel polysilane composition - Google Patents

Novel polysilane composition

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JPH03181563A
JPH03181563A JP31900489A JP31900489A JPH03181563A JP H03181563 A JPH03181563 A JP H03181563A JP 31900489 A JP31900489 A JP 31900489A JP 31900489 A JP31900489 A JP 31900489A JP H03181563 A JPH03181563 A JP H03181563A
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JP
Japan
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polysilane
group
compound
film
polysilane compound
Prior art date
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Pending
Application number
JP31900489A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Kanai
正博 金井
Hisami Tanaka
久巳 田中
Shunkai Sako
酒匂 春海
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH03181563A publication Critical patent/JPH03181563A/en
Priority to US07/689,879 priority patent/US5358987A/en
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  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a composition suitable for various kinds of devices, controllable by conduction type, having excellent solubility in solvent, film forming properties by blending a specific polysilane compound with a specific amount of halogen compound. CONSTITUTION:(A) 100 pts.wt. polysilane compound shown by the formula (R1 is 1-2C alkyl; R2 is 3-8C alkyl, cycloalkyl, aryl, etc.; R3 and R4 are 1-4C alkyl; A and A' are 4-12C alkyl, aryl, aralkyl, etc.; n+m=1, 0<n<=1 and 0<=m<1) and 6,000-200,000, preferably 10,000-80,000 weight-average molecular weight is blended with (B) 1X10<-4>-10 pts.wt. halogen compound shown by the formula [M is element (N, P, Ae, etc.) of the group VA of the periodic table; X is halogen (F, Cl, Br, etc.); a is positive integer] as a substance for forming acceptor order.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、新規なポリシラン組成物及びその製造方法に
関する。より詳細には、本発明は、有機半導体として有
用な新規なポリシランU放物及びその製法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to a novel polysilane composition and a method for producing the same. More specifically, the present invention relates to a novel polysilane U paraboloid useful as an organic semiconductor and a method for producing the same.

〔従来技術の説明〕[Description of prior art]

ポリシランは溶剤不溶のものと報告されていたが〔ザ・
ジャーナル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ
ー;125,2291pp(1924))近年、ポリシ
ランが溶剤可溶性であり、フィルム形成が容易であるこ
とが報告され〔ザ・ジャーナル・オブ・アメリカン・セ
ラミック・ソサエティー;二、504pp(1978)
)注目を集めるようになった。さらにポリシランは紫外
線照射で光分解を起こすためレジストに応用する研究が
報告されている〔特開昭609843I、特開昭6O−
119550)。
Polysilane was reported to be insoluble in solvents [The
Journal of the American Chemical Society; 125, 2291 pp (1924)) Recently, it has been reported that polysilane is soluble in solvents and can be easily formed into films [The Journal of American Ceramic Society; , 504pp (1978)
) began to attract attention. Furthermore, since polysilane photodecomposes when irradiated with ultraviolet rays, research has been reported to apply it to resists [JP-A-609843I, JP-A-6O-
119550).

また、ポリシランは主鎖のσ−結合によって電荷の移動
が可能な光半導体の特性を持ち、〔フィジカル・レビュ
ー B;35.2818pp(1987))電子写真感
光体への応用も期待されるようになった。しかし、この
ような電子材料への適用のためには、ポリシラン化合物
は溶剤可溶性でフィルム形成能があるだけではなく、微
細な欠陥のないフィルム形成、均質性の高いフィルム形
成のできることが必要となる。電子材料においては微細
な欠陥も許されないため、置換基についても構造の明確
でフィルム形成に異常を発生させない高品位のポリシラ
ン化合物を要求されている。
In addition, polysilane has the property of a photosemiconductor in which charge can be transferred through the σ-bonds in its main chain, and its application to electrophotographic photoreceptors is also expected (Physical Review B; 35.2818pp (1987)). became. However, in order to be applied to such electronic materials, polysilane compounds must not only be soluble in solvents and capable of forming films, but also be capable of forming films without minute defects and with high homogeneity. . Since even minute defects are unacceptable in electronic materials, high-quality polysilane compounds are required that have clear substituent structures and do not cause abnormalities in film formation.

従来からポリシラン化合物の合成研究は種々の報告があ
るが、電子材料の用いるにはまだ問題点を残している。
Although there have been various reports on synthetic research on polysilane compounds, there are still problems with their use in electronic materials.

低分子量のポリシラン化合物では全てのSi基に有機基
が置換した構造のものが報告されている〔ザ・ジャーナ
ル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティー(J 
ourna 1or American Chea+1
cal 5ociety; 94+(11)3806p
p(1972))、特公昭63−38033)前者の刊
行物に記載のものはジメチルシランの末端基にメチル基
を置換した構造であり、後者の刊行物に記載のものはジ
メチルシランの末端基にアルコキシ基を置換した構造で
あるが、いずれも重合度が2〜6であり、高分子の特徴
を示さない。つまり、低分子量のためにそのままではフ
ィルム形成能がなく、産業上の利用は難しい、高分子量
のポリシラン化合物で全てのSi基に有機基を置換した
構造のものが最近報告されている〔日経ニューマテリア
ル8月15日号46ページ(1988))、Lかし特殊
な反応中間体を経由するため、合成収率の低下が予想さ
れ工業的な大量生産は困難である。
Among low-molecular-weight polysilane compounds, a structure in which all Si groups are substituted with organic groups has been reported [The Journal of the American Chemical Society (J
ourna 1or American Chea+1
cal 5ociety; 94+(11)3806p
(1972)), Japanese Patent Publication No. 63-38033) The structure described in the former publication has a structure in which the terminal group of dimethylsilane is substituted with a methyl group, and the structure described in the latter publication has a structure in which the terminal group of dimethylsilane is substituted. They have a structure in which an alkoxy group is substituted, but all have a degree of polymerization of 2 to 6 and do not exhibit the characteristics of a polymer. In other words, a high-molecular-weight polysilane compound with a structure in which all Si groups are replaced with organic groups has been recently reported, which is difficult to use industrially because it has no film-forming ability as it is due to its low molecular weight [Nikkei News] Material (August 15th issue, page 46 (1988)), since the process involves a special reaction intermediate, a decrease in the synthesis yield is expected, making industrial mass production difficult.

また、ポリシラン化合物の合成方法がrザ・ジャーナル
・オブ・オルガノメタリック・ケミストリー;198p
p、C27,(1980)又はザ・ジャーナル・オブ・
ポリマー・サイエンス、ポリマー・ケミストリー・エデ
イジョン;Vow。
In addition, methods for synthesizing polysilane compounds are described in The Journal of Organometallic Chemistry; 198p.
p, C27, (1980) or The Journal of
Polymer Science, Polymer Chemistry Edition; Vow.

22.159−170pp  (1984))により報
告されている。しかし、報告されているいずれの合成方
法もポリシラン主鎖の縮合反応のみで、末端基について
は全く言及はない。そしていずれの合成方法の場合も未
反応のクロル基や副反応による副生物の1戒があり、所
望のポリシラン化合物を定常的に得るのは困難である。
22.159-170pp (1984)). However, all of the reported synthesis methods involve only a condensation reaction of the polysilane main chain, and there is no mention of terminal groups. In any of the synthesis methods, unreacted chloro groups and by-products due to side reactions are produced, making it difficult to consistently obtain the desired polysilane compound.

前記のポリシラン化合物を光導電体として使用する例も
、報告されているが(U、 S、  P、 It461
8551、U、S、P、弘4772525、特開昭62
−269964) 、未反応のクロル基や副反応による
副生物の影響が推測される。
Examples of using the above polysilane compounds as photoconductors have also been reported (U, S, P, It461
8551, U, S, P, Hiroshi 4772525, JP-A-62
-269964), the influence of unreacted chloro groups and by-products due to side reactions is presumed.

U、S、P、1k4618551では、前記のポリシラ
ン化合物を電子写真感光体として用いているが、一般の
複写機では印加電位が500〜800■で良いのに、異
常に高い印加電位1000Vを用いている。これは通常
の電位ではポリシランの構造欠陥により電子写真感光体
に欠陥を生し、画像上の斑点状の異常現象を消失させる
ためと考えられる。また、特開昭62−269964で
は前記のポリシラン化合物を用いて電子写真感光体を作
製し、光感度を測定しているが、光感度が遅く、従来知
られているセレン感光体や有機感光体に比べ何の利点も
持たない。
In U, S, P, 1k4618551, the above-mentioned polysilane compound is used as an electrophotographic photoreceptor, but in a general copying machine, the applied potential is only 500 to 800V, but an abnormally high applied potential of 1000V was used. There is. This is thought to be because, at a normal potential, structural defects in polysilane cause defects in the electrophotographic photoreceptor, and the abnormal spot-like phenomenon on the image disappears. In addition, in JP-A No. 62-269964, an electrophotographic photoreceptor was prepared using the above-mentioned polysilane compound and its photosensitivity was measured, but the photosensitivity was slow, and conventionally known selenium photoreceptors and organic photoreceptors has no advantage over .

このような電子材料に利用するためには、まだ数多くの
問題点を残し、産業上に利用できるポリシラン化合物は
未だ提供されていないのが実状である。
There are still many problems that need to be solved before they can be used in such electronic materials, and the reality is that no industrially usable polysilane compound has yet been provided.

特に、このポリシラン化合物においていわゆる有機半導
体として、伝導型制御が出来るか否かが、従来の無機半
導体材料に代えて利用し得るかどうかの重要な分かれ目
であり、早急な検討が社会的要求としである。
In particular, the ability to control the conductivity of polysilane compounds as so-called organic semiconductors is an important deciding factor in whether they can be used in place of conventional inorganic semiconductor materials, and urgent consideration is a social requirement. be.

例えば、前述の資料1において、ドナー順位又はアクセ
プター順位形成用物質の具体的例示はあるものの、電気
特性や調整法に関する具体的説明、示唆は全く無く、今
後更なる検討が必要である。
For example, in Document 1 mentioned above, although there are specific examples of substances for forming donor ranks or acceptor ranks, there are no specific explanations or suggestions regarding electrical properties or adjustment methods, and further study is required in the future.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、重量平均分子量が6000乃至200000
で、その置換基及び末端基の全てが特定の有機基で置換
されているポリシラン化合物に特定の物質を含有させる
ことにより、有機半導体として伝導型制御を可能にした
ポリシラン化合物或物及びその製造方法を提供すること
にある。
The present invention has a weight average molecular weight of 6,000 to 200,000.
A polysilane compound or compound whose substituents and terminal groups are all substituted with a specific organic group and which makes it possible to control the conductivity type as an organic semiconductor by incorporating a specific substance into the polysilane compound, and a method for producing the same. Our goal is to provide the following.

本発明の他の目的は、溶媒溶解性が良く、優れた特性を
有する半導体フィルムの形成を可能にする前記新規なポ
リシラン組成物及びその製造方法を提供することにある
Another object of the present invention is to provide the above-mentioned novel polysilane composition, which has good solvent solubility and enables formation of a semiconductor film having excellent properties, and a method for producing the same.

本発明の更に他の目的は、各種電子デバイス等の作製に
有用な前記新規なポリシランm酸物及びその製造方法を
提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide the novel polysilane m-acid useful for producing various electronic devices and a method for producing the same.

〔発明の構成・効果〕[Structure and effects of the invention]

本発明は、前記目的を達成すべく本発明者等が鋭意研究
を重ね完成するに至ったものであり、その骨子とすると
ころは、 下記一般式(+)で表され重量平均分子量が6000乃
至200000であるポリシラン化合物に、アクセプタ
ー順位形成用物質として、前記ポリシラン化合物100
重量部に対して、−g弐MXa(ただし、Mは周期律表
VA族に属する元素、Xはハロゲン元素、aは元素Mの
価数に応して決定される正整数を各々示している。)で
表されるハロゲン化合物をlXl0−’乃至10重量部
含有させた新規なポリシランMiIIi物にある。
The present invention has been completed through intensive research by the present inventors in order to achieve the above-mentioned object, and the gist of the present invention is that the present invention is represented by the following general formula (+) and has a weight average molecular weight of 6000 to 200,000, and the polysilane compound 100,000 as an acceptor rank forming substance.
-g2MXa (where M is an element belonging to group VA of the periodic table, X is a halogen element, and a is a positive integer determined according to the valence of the element M, respectively. The present invention is a novel polysilane MiIIIi product containing 1X10-' to 10 parts by weight of a halogen compound represented by .).

RRs A −←−5i→−「−一+3 トシ1−A′・・・(
1)Rz          Ra (但し、式中、R1は、炭素数1又は2のアルキル基、
R2は炭素数3乃至8のアルキル基、シクロアルキル基
、アリール基又はアラルキル基、R1は炭素数1乃至4
のアルキル基、R4は炭素数1乃至4のアルキル基をそ
れぞれ示す。A、A’は、それぞれ炭素数4乃至12の
アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラル
キル基であり、両者は同じであっても或いは異なっても
よい。
RRs A −←−5i→−“−1+3 Toshi1−A′...(
1) Rz Ra (wherein, R1 is an alkyl group having 1 or 2 carbon atoms,
R2 is an alkyl group, cycloalkyl group, aryl group, or aralkyl group having 3 to 8 carbon atoms; R1 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms;
and R4 each represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A and A' each represent an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or an aralkyl group having 4 to 12 carbon atoms, and they may be the same or different.

n、mは、ポリマー中の総モノマーに対するそれぞれの
モノマー数の割合を示すモル比であり、n+m= 1と
なり、Q<n≦1.05m<lである。) なお、−i式(+)で示されるポリシラン化合物におい
て、A及びA′は炭素数5乃至12のアルキル基、又は
シクロアルキル基である。
n and m are molar ratios indicating the ratio of the number of each monomer to the total monomers in the polymer, n+m=1, and Q<n≦1.05m<l. ) In the polysilane compound represented by formula -i (+), A and A' are an alkyl group having 5 to 12 carbon atoms or a cycloalkyl group.

本発明において好適に用いられる一般式(1)で表され
重量平均分子量が6000乃至200000であるポリ
シラン化合物は、クロル基や副反応生成基を全く持たず
全てのSi基が酸素を有さない特定の有機基で置換され
たものであって、毒性がなく、トルエン、ベンゼン、キ
シレン等の芳香族系溶剤、ジクロロメタン、ジクロロエ
タン、クロロホルム、四塩化炭素等のハロゲン化溶剤、
その他テトラヒドロフラン(THF)、ジオキサン等の
溶剤に易溶であり、優れたフィルム形成能を有するもの
である。そして、該ポリシラン化合物をもって形成した
フィルムは均質にして均一膜厚のもので、優れた耐熱性
を有し、硬度に富み且つ靭性(toughness)に
冨むものである。
The polysilane compound represented by the general formula (1) and having a weight average molecular weight of 6,000 to 200,000, which is preferably used in the present invention, has no chlorine group or side reaction product group, and all Si groups have no oxygen. Substituted with an organic group, non-toxic, aromatic solvents such as toluene, benzene, xylene, halogenated solvents such as dichloromethane, dichloroethane, chloroform, carbon tetrachloride, etc.
It is easily soluble in other solvents such as tetrahydrofuran (THF) and dioxane, and has excellent film-forming ability. The film formed using the polysilane compound is homogeneous, has a uniform thickness, has excellent heat resistance, is rich in hardness, and is rich in toughness.

こうしたことから、本発明において好適に用いられる前
記ポリシラン化合物は、電子デバイス、医療機器等への
適用が可能であり、産業上の利用価値の高い高分子物質
である。
For these reasons, the polysilane compound suitably used in the present invention is a polymeric substance that can be applied to electronic devices, medical equipment, etc. and has high industrial utility value.

なお、上記電子デバイスとしては、有機光導電体、電気
伝導体、フォトレジスト、光情報記憶素子等が挙げられ
る。
Note that examples of the electronic device include organic photoconductors, electrical conductors, photoresists, optical information storage elements, and the like.

本発明において用いられる一般式(1)で表されるポリ
シラン化合物は、上述したように、その重量平均分子量
が6000乃至200000のものであるが、溶剤への
溶解性およびフィルム形成能の観点からするより好まし
いものは、重量平均分子量が8000乃至120000
のものであり、最適なものは重量平均分子量が1ooo
o乃至80000のものである。
As mentioned above, the polysilane compound represented by the general formula (1) used in the present invention has a weight average molecular weight of 6,000 to 200,000. More preferable ones have a weight average molecular weight of 8,000 to 120,000.
The optimal one has a weight average molecular weight of 1ooo
o to 80,000.

なお、重量平均分子量について、それが6000以下で
あるものは高分子の特徴を示さず、フィルム形成能がな
い。また、200000以上であるものは溶剤に対して
の溶解性が悪く、所望のフィルム形成が困難である。
In addition, those having a weight average molecular weight of 6,000 or less do not exhibit the characteristics of a polymer and have no film-forming ability. Moreover, those having a molecular weight of 200,000 or more have poor solubility in solvents, making it difficult to form a desired film.

また、本発明において好適に用いられる一般式(+>で
表される上述のポリシラン化合物は、形成するフィルム
について特に強靭性を望む場合、その末端基A及びA′
が、炭素数5乃至12のアルキル基、炭素数5乃至12
のシクロアルキル基、アリール基及びアラルキル基から
なる群から選択される基であることが望ましい。この場
合の最も好ましい本発明のポリシラン化合物は、末端基
A及びA′が炭素数5乃至12のアルキル基及び炭素数
5乃至12のシクロアルキル基の中から選択される基で
ある場合である。
In addition, when the above-mentioned polysilane compound represented by the general formula (+>) preferably used in the present invention is desired to have particularly strong toughness in the film to be formed, the terminal groups A and A'
is an alkyl group having 5 to 12 carbon atoms, and an alkyl group having 5 to 12 carbon atoms.
Desirably, it is a group selected from the group consisting of a cycloalkyl group, an aryl group, and an aralkyl group. In this case, the most preferred polysilane compound of the present invention is one in which the terminal groups A and A' are groups selected from an alkyl group having 5 to 12 carbon atoms and a cycloalkyl group having 5 to 12 carbon atoms.

本発明において好適に用いられる上述のポリシラン化合
物はつぎのようにして合成することができる。即ち、酸
素及び水分を無くした高純度不活性雰囲気下で、ジクロ
ロシランモノマーをアルカリ金属からなる縮合触媒に接
触させてハロゲン脱離と縮重合を行い、中間体ポリマー
を合成し、得られた該中間体ポリマーを未反応のジクロ
ロシランモノマーと分諦し、該中間体ポリマーに所定の
ハロゲン化有機試薬をアルカリ金属からなる縮合触媒の
存在下で反応せしめて、該中間体ポリマーの末端に有機
基を縮合せしめることにまり合成する。このようにして
合成されたポリシラン化合物に、更に、アミン化合物を
添加、含有させることにより本発明の新規なボリンラン
組成物が製造される。
The above-mentioned polysilane compound suitably used in the present invention can be synthesized as follows. That is, under a high-purity inert atmosphere free of oxygen and moisture, dichlorosilane monomer is brought into contact with a condensation catalyst made of an alkali metal to perform halogen elimination and condensation polymerization to synthesize an intermediate polymer. The intermediate polymer is separated from unreacted dichlorosilane monomer, and the intermediate polymer is reacted with a predetermined halogenated organic reagent in the presence of a condensation catalyst consisting of an alkali metal to form an organic group at the end of the intermediate polymer. It is synthesized by condensing. The novel borinlane composition of the present invention is produced by further adding and containing an amine compound to the polysilane compound synthesized in this manner.

上記合成操作にあたっては、出発物質たるジクロロシラ
ンモノマー、前記中間体ポリマー、ハロゲン化有機試薬
及びアルカリ金属縮合触媒は、いずれも酸素や水分との
反応性が高いので、これら酸素や水分が存在する雰囲気
の下では本発明の目的とする上述のポリシラン化合物は
得られない。
In the above synthesis operation, the dichlorosilane monomer as the starting material, the intermediate polymer, the halogenated organic reagent, and the alkali metal condensation catalyst are all highly reactive with oxygen and moisture; Under these conditions, the above-mentioned polysilane compound which is the object of the present invention cannot be obtained.

したがって、本発明において好適に用いられるポリシラ
ン化合物を得る上述の操作は、酸素及び水分のいずれも
が存在しない雰囲気下で実施することが必要である。こ
のため、反応系に酸素及び水分のいずれもが存在すると
ころとならないように反応容器及び使用する試薬の全て
について留意が必要である。例えば、反応容器について
は、グローブボックス中で真空吸引とアルゴンガス置換
を行って水分や酸素の系内への吸着がないようにする。
Therefore, the above-mentioned operation for obtaining the polysilane compound suitably used in the present invention needs to be carried out in an atmosphere in which neither oxygen nor moisture is present. Therefore, care must be taken regarding the reaction container and all reagents used so that neither oxygen nor moisture is present in the reaction system. For example, regarding the reaction vessel, vacuum suction and argon gas replacement are performed in a glove box to prevent adsorption of moisture and oxygen into the system.

使用するアルゴンガスは、いずれの場合にあっても予め
シリカゲルカラムに通し脱水して、ついで銅粉末を1.
00℃に加熱したカラムに通して脱酸素処理して使用す
る。
In any case, the argon gas used is first passed through a silica gel column to dehydrate it, and then the copper powder is mixed with 1.
It is passed through a column heated to 00°C to deoxidize it before use.

出発原料たるジクロロシランモノマーについては、反応
系内への導入直前で脱酸素処理した上述のアルゴンガス
を使用して減圧舊留を行った後に反応系内に導入する。
The dichlorosilane monomer as a starting material is introduced into the reaction system after being distilled under reduced pressure using the above-mentioned argon gas which has been deoxygenated immediately before introduction into the reaction system.

特定の有機基を導入するための上記ハロゲン化有機試薬
及び使用する上記溶剤についても、ジクロロシランモノ
マーと同様に脱水処理した後に反応系内に導入する。な
お、溶剤の脱水処理は、上述の脱酸素処理したアルゴン
ガスを使用して減圧蒸留した後、金属ナトリウムで更に
脱水処理する。
The halogenated organic reagent and the solvent used for introducing a specific organic group are also dehydrated in the same manner as the dichlorosilane monomer before being introduced into the reaction system. Note that the solvent is dehydrated by distilling under reduced pressure using the deoxidized argon gas described above, and then further dehydrating with metallic sodium.

上記縮合触媒については、表面積を大きくするためにワ
イヤー化或いはチップ化して使用するのが好ましく、前
記ワイヤー化又はチップ化は洪水のパラフィン系溶剤中
で行い、酸化が起こらないようにして使用するのが望ま
しい。
The above-mentioned condensation catalyst is preferably used in the form of wires or chips in order to increase its surface area, and the formation of wires or chips is carried out in a flooded paraffinic solvent to prevent oxidation. is desirable.

本発明において用いられる一般式(1)で表されるポリ
シラン化合物の合成時に使用されるジクロロシランモノ
マーとしては、後述する一形式:R,RzSiC6zで
表されるジクロルシラン化合物か又はこれと−形式:R
zR4SiC1zで表されるジクロルシラン化合物が選
択的に使用される。
The dichlorosilane monomer used in the synthesis of the polysilane compound represented by the general formula (1) used in the present invention may be a dichlorosilane compound represented by the following format: R, RzSiC6z, or a dichlorosilane compound represented by the following format: R
A dichlorosilane compound represented by zR4SiC1z is selectively used.

上述の縮合触媒は、ハロゲン脱離して縮合反応をもたら
しめるアルカリ金属が望ましく使用され膝アルカリ金属
の具体例としてリチウム、ナトリウム、カリウムが挙げ
られ、中でもリチウム及びナトリウムが好適である。
As the above-mentioned condensation catalyst, an alkali metal capable of causing a condensation reaction by eliminating halogen is preferably used. Specific examples of the alkali metal include lithium, sodium, and potassium, with lithium and sodium being preferred.

上述のハロゲン化有機試薬は、A及びA′で表される置
換基を導入するためのものであって、ハロゲン化アルキ
ル化合物、ハロゲン化シクロアルキル化合物、ハロゲン
化アリール化合物及びハロゲン化アラルキル化合物から
なる群から選択される適当な化合物、即ち、−形式: 
A−X及び/又は−形式:A’−X(但し、XはCA又
はBr)で表され、後述する具体例の中の適当な化合物
が選択的に使用される。
The above-mentioned halogenated organic reagent is for introducing substituents represented by A and A', and is composed of a halogenated alkyl compound, a halogenated cycloalkyl compound, a halogenated aryl compound, and a halogenated aralkyl compound. A suitable compound selected from the group, i.e. -format:
It is represented by A-X and/or -format: A'-X (where X is CA or Br), and an appropriate compound from the specific examples described below is selectively used.

上述の中間体ポリマーを合成するに際して使用する一般
式: R+ R2S I C1z又はこれと−形式:R
3R4S i CIt zで表されるジクロロシランモ
ノマーは、所定の溶剤に溶解して反応系に導入されると
ころ、該溶剤としては、パラフィン系の無極性炭化水素
溶剤が望ましく使用される。該溶剤の好ましい例として
は、n−へキサン、n−オクタン、n−ノナン、n−ド
デカン、シクロヘキサン及びシクロオクタンが挙げられ
る。
General formula used in synthesizing the intermediate polymers described above: R+ R2S I C1z or this - Format: R
The dichlorosilane monomer represented by 3R4S i CIt z is introduced into the reaction system after being dissolved in a predetermined solvent, and a paraffinic nonpolar hydrocarbon solvent is preferably used as the solvent. Preferred examples of the solvent include n-hexane, n-octane, n-nonane, n-dodecane, cyclohexane and cyclooctane.

そして、生成する中間体ポリマーはこれらの溶剤に不溶
であることから、該中間体ポリマーを未反応のジクロロ
シランモノマーから分離するについて好都合である。分
離した前記中間体ポリマーは、ついで上述のハロゲン化
有機試薬と反応せしめるわけであるが、その際両者は同
じ溶剤に溶解せしめて反応に供される。この場合の溶剤
としてはヘンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族溶剤
が好適に使用される。
Since the resulting intermediate polymer is insoluble in these solvents, it is convenient to separate the intermediate polymer from unreacted dichlorosilane monomer. The separated intermediate polymer is then reacted with the above-mentioned halogenated organic reagent, in which case both are dissolved in the same solvent and subjected to the reaction. In this case, aromatic solvents such as Hensen, toluene, and xylene are preferably used as the solvent.

上述のジクロロシランモノマーを上述のアルカリ金属触
媒を使用して縮合せしめるにあたり、反応温度と反応時
間とを調節することによって、得られる中間体ポリマー
の重合度が適宜制御される。しかしながら、その際の反
応温度は60℃〜130℃の間に設定するのが望ましい
In condensing the above-mentioned dichlorosilane monomer using the above-mentioned alkali metal catalyst, the degree of polymerization of the resulting intermediate polymer can be appropriately controlled by adjusting the reaction temperature and reaction time. However, the reaction temperature at that time is preferably set between 60°C and 130°C.

本発明において用いられる一般式(1)で表される上述
のポリシラン化合物の製造方法の望ましい一態様を以下
に述べる。
A desirable embodiment of the method for producing the above-mentioned polysilane compound represented by the general formula (1) used in the present invention will be described below.

即ち、本発明において好適に用いられる上述のポリシラ
ン化合物の製造方法は、(i)中間体ポリマーを製造す
る工程と(ii ) 3g中間体ポリマーの末端に置換
基A及びA′を導入する工程とからなる。
That is, the method for producing the above-mentioned polysilane compound preferably used in the present invention includes (i) a step of producing an intermediate polymer; and (ii) a step of introducing substituents A and A' to the terminals of the 3g intermediate polymer. Consisting of

上記(i)の工程はつぎのようにして行われる。The step (i) above is performed as follows.

即ち、反応容器の反応系内を酸素及び水分を完全に除い
てアルゴンで置換し、所定の内圧に維持した状態にして
、無水のパラフィン系溶剤と縮を触媒を入れ、ついで無
水のジクロロシランモノマーを入れ、全体を撹拌しなが
ら所定温度に加熱して該モノマーの縮合を行う。この際
前記ジクロロシランモノマーの重合度は、反応温度と反
応時間とを調節し、所望の重合度の中間体ポリマーが生
成されるようにする。
That is, oxygen and water in the reaction system of the reaction vessel are completely removed and replaced with argon, the internal pressure is maintained at a predetermined level, an anhydrous paraffinic solvent and a catalyst are added, and then an anhydrous dichlorosilane monomer is added. The monomers are condensed by heating the entire mixture to a predetermined temperature while stirring. At this time, the degree of polymerization of the dichlorosilane monomer is controlled by adjusting the reaction temperature and reaction time so that an intermediate polymer having a desired degree of polymerization is produced.

この際の反応は、下記の反応式(i)で表されるように
ジクロロシランモノマーのクロル基と触媒が脱塩反応を
起こしてSi基同志が縮合を繰り返してポリマー化して
中間体ポリマーを生成する。
In this reaction, as shown in the reaction formula (i) below, the chloro group of the dichlorosilane monomer and the catalyst cause a desalting reaction, and the Si groups repeat condensation to form a polymer, producing an intermediate polymer. do.

R 2 SiCi!。R 2 SiCi! .

+mR,Rs 触媒 5iCj!、→ 3 Ce  −%i□ 1−)−=−−C1−(i )R,
R。
+mR, Rs catalyst 5iCj! , → 3 Ce −%i□ 1−)−=−−C1−(i)R,
R.

なお、具体的反応操作手順は、パラフィン系溶剤中に縮
合触媒(アルカリ金属)を仕込んでおき、加熱、撹拌し
ながらジクロロシランモノマーを滴下する。重合度は、
反応液をサンプリングして確認する。
The specific reaction procedure is as follows: a condensation catalyst (alkali metal) is placed in a paraffinic solvent, and a dichlorosilane monomer is added dropwise while heating and stirring. The degree of polymerization is
Confirm by sampling the reaction solution.

重合度の簡単な確認は、サンプリング液を採取し、溶剤
を揮発させフィルムが形成できるかで判断できる。縮を
か進み、ポリマーが形成されると白色固体となって反応
系から析出してくる。
A simple confirmation of the degree of polymerization can be made by taking a sample liquid, evaporating the solvent, and determining whether a film can be formed. As the shrinkage progresses and a polymer is formed, it becomes a white solid that precipitates out of the reaction system.

ここで冷却し、反応系から七ツマ−を含む溶媒をデカン
テーションで分離し、中間体ポリマーを得る。
Here, the reaction system is cooled, and the solvent containing the heptamer is separated from the reaction system by decantation to obtain an intermediate polymer.

ついで、前記(blの工程を行う。即ち、得られた中間
体ポリマーの末端基のクロル基をハロゲン化有機試薬と
縮合触媒(アルカリ金属)を用いて脱塩縮合を行いポリ
マー末端基を所定の有機基で置換する。この際の反応は
下記の反応式で表される。
Next, the step (bl) described above is carried out. That is, the chlorine group at the end group of the obtained intermediate polymer is subjected to desalting condensation using a halogenated organic reagent and a condensation catalyst (alkali metal) to convert the polymer end group to a predetermined amount. Substitution with an organic group.The reaction at this time is represented by the reaction formula below.

3 C7!  −←5i→−「−一一一千3+−→コ「−e 2 4 触媒 (2A X+A’ X) 3 A −一%l十門i−+T−A′・・・ (11)RZ
         R4 具体的には、ジクロロシランモノマーの縮合で得られた
中間体ポリマーに芳香族系溶剤を加え溶解する。次に縮
合触媒(アルカリ金属)を仕込み、室温でハロゲン化有
機試薬を滴下する。この置換反応はポリマー末端基同士
の縮合反応と競合するためハロゲン化有機試薬を出発上
ツマ−に対して0、O1〜0.1倍の過剰量添加する。
3 C7! -←5i→-"-111,000 3+-→ko"-e 2 4 Catalyst (2A X+A'
R4 Specifically, an aromatic solvent is added to and dissolved in an intermediate polymer obtained by condensation of dichlorosilane monomers. Next, a condensation catalyst (alkali metal) is charged, and a halogenated organic reagent is added dropwise at room temperature. Since this substitution reaction competes with the condensation reaction between polymer terminal groups, a halogenated organic reagent is added in an excess amount of 0.1 to 0.1 times the starting amount.

徐々に加熱し、80℃〜100℃で1時間加熱撹拌し、
目的の反応を行う。
Gradually heat and stir at 80°C to 100°C for 1 hour,
Perform the desired reaction.

反応終了後冷却し、触媒のアルカリ金属を除去するため
、メタノールを加える。次にポリシランをトルエンで抽
出し、シリカゲルカラムで精製する。かくして、所望の
本発明において好適に用いられるポリシラン化合物が得
られる。
After the reaction is completed, the mixture is cooled and methanol is added to remove the alkali metal of the catalyst. Next, polysilane is extracted with toluene and purified using a silica gel column. In this way, a desired polysilane compound suitably used in the present invention is obtained.

(以下余白) JRl SiCA 2  びR3Ra SiCn zの
具体性)、下記の化合物の中、a−2〜16.18,2
0.21゜23.24がRIR25iCj!zに用いら
れ、a −1゜2.11.17.+9.22.23.2
5がR3Ra S+C+2 、ニ用いられる。
(Space below) Specifications of JRl SiCA 2 and R3Ra SiCn z) Among the following compounds, a-2 to 16.18, 2
0.21°23.24 is RIR25iCj! Used for z, a −1°2.11.17. +9.22.23.2
5 is used as R3Ra S+C+2.

(013) rsic 1 z −1 C31k ” ((Cl3)zCH) zsic l ga−授 ((Cll+> 3C) zsic 1 za−ろ 2矢二ご(丞びA’ −Xの具体例 (C113) 2C1lCI+2(、ACl13(c+
イz)4ct:; Cl13(C1b)sfJ Q13(Q12) +。Cl αZOCβ Oh (CHz) 5Br C1b(CIlz) 1oBr Br −14 −15 −17 本 に だち合 された半導体特性を生ぜしめ るに好適なポリシラン化合物の例 Of。
(013) rsic 1 z -1 C31k ” ((Cl3)zCH) zsic l ga-g ((Cll+> 3C) zsic 1 za-ro 2 arrow two (and specific example of A' -X (C113) 2C1lCI+2 (, ACl13(c+
Iz)4ct:; Cl13(C1b)sfJ Q13(Q12) +. Cl αZOCβ Oh (CHz) 5Br C1b (CIlz) 1oBr Br -14 -15 -17 Examples of polysilane compounds suitable for producing integrated semiconductor properties Of.

口ら C1b (Clh) s−45i +r−(Ch) s
Qh−18 CIl(C11,)。
Mouth C1b (Clh) s-45i +r-(Ch) s
Qh-18 CIl (C11,).

CH(CI+02 C11゜ CH。CH(CI+02 C11゜ CH.

C1l。C1l.

C11゜ CIl。C11゜ CIl.

l3 C1l。l3 C1l.

l13 b C11゜ h l13 113 C)(。l13 b C11゜ h l13 113 C)(.

C113 (C11□)3 CI+3 C11゜ (C)lx)z H3 (C)1□)3 注):上記構造式中のXとYはいずれも重tl−位を示
ず。そしてnは、X/ (X+Y) 、またmは、Y/
 (X→Y)の計算式によりそれぞれ求められる。
C113 (C11□)3 CI+3 C11゜(C)lx)z H3 (C)1□)3 Note): Neither X nor Y in the above structural formula shows a heavy tl-position. And n is X/ (X+Y), and m is Y/
They are each calculated using the calculation formula (X→Y).

〔合成例〕[Synthesis example]

本発明に先だちポリシラン化合物の合成を行ったので、
以下に合成例を挙げて詳しく説明する。
Since the polysilane compound was synthesized prior to the present invention,
A detailed explanation will be given below using synthesis examples.

金座史上 真空吸引とアルゴン置換を行ったグローブボックスの中
に三ツロフラスコを用意し、これにリフランクスコンデ
ンサーと温度計と滴下ロートを取り付けて、滴下ロート
のバイパス管からアルゴンガスを通した。
A Mitsuro flask was prepared in a glove box that had been vacuum-suctioned and replaced with argon by Kinza history, and a reflux condenser, thermometer, and dropping funnel were attached to it, and argon gas was passed through the bypass pipe of the dropping funnel.

この三ツロフラスコ中に、脱水ドデカン100グラムと
ワイヤー状金属ナトリウム0.3モルを仕込み、撹拌し
ながら100℃に加熱した。次にジクロロシランモノマ
ー(チッソ■製)(a−7>0.1モルを脱水ドデカン
30グラムに溶解させて、用意した溶液を反応系にゆっ
くり滴下した。
100 g of dehydrated dodecane and 0.3 mol of wire-shaped sodium metal were placed in this Mitsurofask and heated to 100° C. with stirring. Next, dichlorosilane monomer (manufactured by Chisso ■) (a-7>0.1 mol) was dissolved in 30 grams of dehydrated dodecane, and the prepared solution was slowly added dropwise to the reaction system.

滴下終了後、100℃で1時間縮重合させたところ、白
色固体が析出した。この後冷却し、ドデカンをデカンテ
ーションにて除去し、さらに脱水トルエン100グラム
を加えて白色固体を溶解させ、又、金属ナトリウム0.
01モルを加えた。
After completion of the dropping, condensation polymerization was carried out at 100° C. for 1 hour, and a white solid was precipitated. After cooling, dodecane was removed by decantation, 100 g of dehydrated toluene was added to dissolve the white solid, and 0.0 g of metallic sodium was added.
01 mol was added.

次に、この溶解液を撹拌しつつn−へキシルクロライド
(東京化成製)(b−3)0.01モルをトルエン10
mj+に溶解させて用意した溶液をゆっくりと滴下し、
100℃で1時間加熱、攪拌を続けた。この後冷却し、
過剰の金属ナトリウムを処理するため、メタノール50
m1をゆっくり滴下した。これにより懸濁層とトルエン
層とに分離した。
Next, while stirring this solution, 0.01 mol of n-hexyl chloride (manufactured by Tokyo Kasei) (b-3) was added to 10 mol of toluene.
Slowly drop the prepared solution dissolved in mj+,
Heating and stirring were continued at 100° C. for 1 hour. After this, cool
To dispose of excess sodium metal, methanol 50
ml was slowly added dropwise. This separated the suspended layer and toluene layer.

次に、トルエン層を分離抽出し、減圧濃縮した後シリカ
ゲルカラム、クロマトグラフィーで展開して精製し、ポ
リシラン化合物1ml  (C−1>を得た。収率は6
5%であった。
Next, the toluene layer was separated and extracted, concentrated under reduced pressure, and purified by developing with a silica gel column and chromatography to obtain 1 ml of a polysilane compound (C-1>. The yield was 6
It was 5%.

このポリシラン化合物の重量平均分子量は、GPC法に
よりTHF展開して測定したところ、75.000であ
った(ポリスチレンを標準とした)。
The weight average molecular weight of this polysilane compound was determined to be 75.000 (using polystyrene as a standard) as measured by GPC development using THF.

IRスペクトルはKBrBrペレット製し、N1col
et FT−IR750にコレ−・ジャパン製)により
測定した。また、NMRスペクトルはサンフ゛ルをCD
(1!1にン容解し、FT−NMRFX−90Q(日本
電子型)により測定しポリシラン化合物の同定を行った
。結果を第4表に示す。
IR spectra were made from KBrBr pellets and N1col
et FT-IR750 (manufactured by Collet Japan). In addition, the NMR spectra were obtained using CD samples.
The polysilane compound was identified using FT-NMRFX-90Q (JEOL). The results are shown in Table 4.

なお、木合成例にて合成されたポリシラン化合物におい
ては、未反応の5i−CA、副生成物のSi−〇−3i
、3+−〇−Rに帰属されるIR吸収は全く存在しなか
った。
In addition, in the polysilane compound synthesized in the wood synthesis example, unreacted 5i-CA and by-product Si-〇-3i
, 3+-〇-R was not present at all.

豆衣狙主 真空吸引とアルゴン置換を行ったグローブボックスの中
に三ツロフラスコを用意し、これにリフラックスコンデ
ンサーと温度計と滴下ロートを取り付けて、滴下ロート
のバイパス管がらアルゴンガスを通した。
A Mitsuro flask was prepared in a glove box that had been vacuum-suctioned and replaced with argon, and a reflux condenser, thermometer, and dropping funnel were attached to it, and argon gas was passed through the bypass pipe of the dropping funnel.

この三ツロフラスコ中に、脱水ドデカン100グラムと
1關角の金属リチウム0.3モルを仕込み、撹拌しなが
ら100℃に加熱した。次に、ジクロロシランモノマ−
(チッソG1製)(a−7)0.1モルを脱水ドデカン
30グラムに溶解させて用意した溶液を反応系にゆっく
り滴下した。滴下終了後、100℃で2時間縮重合させ
たところ、白色固体が析出した。この後冷却し、ドデカ
ンをデカンチーシランにて除去し、さらに脱水トルエン
100グラムを加えて白色固体を溶解させ、又、金属リ
チウム0.02モルを加えた。
100 grams of dehydrated dodecane and 0.3 mol of metal lithium per square inch were charged into this Mitsuro flask, and heated to 100° C. with stirring. Next, dichlorosilane monomer
(manufactured by Chisso G1) A solution prepared by dissolving 0.1 mol of (a-7) in 30 grams of dehydrated dodecane was slowly dropped into the reaction system. After the dropwise addition was completed, condensation polymerization was carried out at 100° C. for 2 hours, and a white solid was precipitated. Thereafter, the mixture was cooled, and dodecane was removed with decane silane. 100 grams of dehydrated toluene was added to dissolve the white solid, and 0.02 mole of metallic lithium was added.

次に、この溶解液を攪拌しつつクロルベンゼン(東京化
成製)(t+−7)0.02モルをトルエン10mlに
溶解させて用意した溶液をゆっくりと滴下し、100℃
で1時間加熱、攪拌を続けた。
Next, while stirring this solution, a solution prepared by dissolving 0.02 mol of chlorobenzene (manufactured by Tokyo Kasei) (t+-7) in 10 ml of toluene was slowly added dropwise, and the mixture was heated to 100°C.
The mixture was heated and stirred for 1 hour.

この後冷却し、過剰の金属リチウムを処理するため、メ
タノール50m1をゆっくり滴下した。これによりQi
層とトルエン層とに分離した。
Thereafter, the mixture was cooled, and 50 ml of methanol was slowly added dropwise to remove excess metal lithium. This allows Qi
It was separated into a layer and a toluene layer.

次に、トルエン層を分離抽出し、減圧濃縮した後、シリ
カゲルカラム、クロマトグラフィーで展開して精製し、
ポリシラン化合物1h2 (C−3)を得た。収率は7
2%であり、合成例1と同様に重量平均分子量を測定し
たところ92,000であった。更に、合成例1と同様
に同定を行った結果を第4表に示した。
Next, the toluene layer was separated and extracted, concentrated under reduced pressure, and purified by developing with a silica gel column and chromatography.
Polysilane compound 1h2 (C-3) was obtained. Yield is 7
The weight average molecular weight was measured in the same manner as Synthesis Example 1 and found to be 92,000. Furthermore, the results of identification performed in the same manner as in Synthesis Example 1 are shown in Table 4.

なお、このポリシラン化合物においては未反応のS 1
−CA、副生成物のS i −0−3t、  S i○
−Rに帰属されるIR吸収は全く存在しなかった。
Note that in this polysilane compound, unreacted S 1
-CA, by-product S i -0-3t, S i○
There was no IR absorption attributed to -R.

査迩狙生工 真空吸引とアルゴン置換を行ったグローブボックスの中
に三ツロフラスコを用意し、これにリフラックスコンデ
ンサーと温度計と滴下ロートを取り付けて、滴下ロート
のバイパス管からアルゴンガスを通した。
A Mitsuro flask was prepared in a glove box that had been vacuum-suctioned and replaced with argon, and a reflux condenser, thermometer, and dropping funnel were attached to it, and argon gas was passed through the bypass pipe of the dropping funnel. .

この三ツロフラスコ中に、脱水n−ヘキサン100グラ
ムとIR角の金属ナトリウム0.3モルを仕込み、撹拌
しながら80℃に加熱した。次にジクロロシランモノマ
ー(チッソ側型)(a−7)0、1モルを脱水n−ヘキ
サンに溶解させて用意した溶液を反応系にゆっくりと滴
下した。滴下終了後80℃で3時間縮重合させたところ
、白色固体が析出した。この後冷却し、n−へキサンを
デカンチーシランにて除去し、さらに脱水トルエン10
0グラムを加えて白色固体を熔解させ、又、金属ナトリ
ウム0.01モルを加えた。次に、この溶解/夜を攪拌
しつつベンジルクロライド(東京化成製)(b −12
) 0.01 モルをトルエン10m1に溶解させて用
意した溶液をゆっくりと滴下し、80℃で1時間加熱、
攪拌を続けた・この後冷却し・過剰の金属ナトリウムを
処理するため、メタノール50ml!をゆっくり滴下し
た。これにより懇濁層とトルエン層とに分離した。
100 grams of dehydrated n-hexane and 0.3 mole of IR-metallic sodium were charged into this Mitsuro flask, and heated to 80° C. with stirring. Next, a solution prepared by dissolving 0.1 mole of dichlorosilane monomer (nitrogen type) (a-7) in dehydrated n-hexane was slowly dropped into the reaction system. After completion of the dropwise addition, condensation polymerization was carried out at 80° C. for 3 hours, and a white solid was precipitated. After that, it was cooled, n-hexane was removed with decanethisilane, and then dehydrated toluene was added to
0 grams were added to dissolve the white solid and 0.01 mole of sodium metal was also added. Next, while stirring this dissolution/night, benzyl chloride (manufactured by Tokyo Kasei) (b-12
) A solution prepared by dissolving 0.01 mol in 10 ml of toluene was slowly added dropwise, heated at 80°C for 1 hour,
Continue stirring, then cool, and add 50 ml of methanol to remove excess metal sodium! was slowly dripped. This separated the mixture into a turbid layer and a toluene layer.

次に、トルエン層を分離抽出し、減圧濃縮した後、シリ
カゲルカラム、クロマトグラフィーで展開して精製し、
ポリシラン化合物1に3  (C−4)を得た。収率は
61%であり、合成例1と同様に重量平均分子量を測定
したところ47,000であった。更に、合成例1と同
様に同定を行った結果を第4表に示した。
Next, the toluene layer was separated and extracted, concentrated under reduced pressure, and purified by developing with a silica gel column and chromatography.
Polysilane compound 1 to 3 (C-4) was obtained. The yield was 61%, and the weight average molecular weight was measured in the same manner as Synthesis Example 1 and found to be 47,000. Furthermore, the results of identification performed in the same manner as in Synthesis Example 1 are shown in Table 4.

なお、このポリシラン化合物においては未反応(7)S
t−CI!、副生成物の5i−0−3i、5tO−Rに
帰属されるIR吸収は全く存在しなかった。
In addition, in this polysilane compound, unreacted (7)S
t-CI! , 5i-0-3i, and 5tO-R, which are by-products, did not exhibit any IR absorption.

査衣炎土並去空立 第1表に示すジクロロシランモノマーと末端基処理剤を
用いて合成例3と同様に合成を行った。
Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 3 using the dichlorosilane monomer and end group treatment agent shown in Table 1.

合成したポリシランの収率、及び合成例1と同様に重量
平均分子量、IRおよびNMRスペクトルを測定した結
果を第4表に示す。
Table 4 shows the yield of the synthesized polysilane, and the results of measuring the weight average molecular weight, IR and NMR spectra in the same manner as in Synthesis Example 1.

なお、このポリシラン化合物においては未反応(7)S
i−C1、副生成物のSi−〇−3i、5iO−Rに帰
属される[R吸収は全く存在しなかった。
In addition, in this polysilane compound, unreacted (7)S
i-C1, by-products Si-〇-3i, 5iO-R [R absorption was not present at all.

k較立衣史上 合成例3と同様にしてジクロロシランモノマー(チッソ
■製)(a−7)を縮合させポリマーの末端基を処理し
ない以外は実施例3と同様に合或しポリシラン化合物t
hD−1を得た。収率は60%で、合成例1と同様に重
量平均分子量を測定したところ46,000であった。
A dichlorosilane monomer (manufactured by Chisso ■) (a-7) was condensed in the same manner as in Synthesis Example 3, and a polysilane compound was synthesized in the same manner as in Example 3, except that the terminal groups of the polymer were not treated.
hD-1 was obtained. The yield was 60%, and the weight average molecular weight was measured in the same manner as in Synthesis Example 1 and found to be 46,000.

更に、合成例1と同様に同定を行った結果を第4表に示
した。
Furthermore, the results of identification performed in the same manner as in Synthesis Example 1 are shown in Table 4.

なお、このポリシラン化合物においては、末端基には未
反応の5i−Cj!、副生成物の5i−ORに帰属され
るIR吸収が認められた。
In addition, in this polysilane compound, unreacted 5i-Cj! is present in the terminal group. , IR absorption attributed to the by-product 5i-OR was observed.

合成例6〜IO ジクロロシランモノマー及び反応時間、更に末端基処理
剤を第2表に示したように変化させた以外は合成例3と
同様の縮重合反応操作及び精製を行い、ポリシラン化合
物尚6〜10を得た。
Synthesis Examples 6 to IO The same condensation reaction operation and purification as in Synthesis Example 3 were performed except that the dichlorosilane monomer, reaction time, and end group treatment agent were changed as shown in Table 2, and a polysilane compound No. 6 was obtained. I got ~10.

合成したポリシラン化合物の収率、及び合成例1と同様
に重量平均分子量、IRおよびNMRスペクトルを測定
した結果を第4表に示す。
Table 4 shows the yield of the synthesized polysilane compound, and the results of measuring the weight average molecular weight, IR and NMR spectra in the same manner as in Synthesis Example 1.

なお、このポリシラン化合物においては未反応のS 1
−C12、副生成物のS i −0−3t、  S 1
O−Rに帰属されるIR吸収は全くなかった。
Note that in this polysilane compound, unreacted S 1
-C12, by-product S i -0-3t, S 1
There was no IR absorption attributed to OR.

ル校豆底斑又 合成例6において、反応時間を10分とした以外は合成
例6と全く同様に合成しポリシラン化合物思D−2を得
た。
Polysilane compound D-2 was synthesized in exactly the same manner as in Synthesis Example 6 except that the reaction time was changed to 10 minutes.

合成したポリシランの収率、及び合成例1と同様に重量
平均分子量、IRおよびN M Rスペクトルを測定し
た結果を第4表に示す。
Table 4 shows the yield of the synthesized polysilane, and the results of measuring the weight average molecular weight, IR and NMR spectra in the same manner as in Synthesis Example 1.

なお、このポリシラン化合物においては、未反応の5i
−Cj!、副生成物のSi−〇−3t。
Note that in this polysilane compound, unreacted 5i
-Cj! , by-product Si-〇-3t.

5i−0−Rに帰属されるIR吸収は全く存在しなかっ
た。
There was no IR absorption assigned to 5i-0-R.

登載1目−し二り土 第3表に示すジクロロシランモノマーと末端基処理剤を
用いて実施例1と同様にして合成を行った。
Synthesis was carried out in the same manner as in Example 1 using the dichlorosilane monomer and end group treatment agent shown in Table 3.

合成したポリシランの収率、及びを威例1と同様に重量
平均分子量、IRおよびNMRスペクトルを測定した結
果を第4表に示す。
Table 4 shows the yield of the synthesized polysilane, and the results of measuring the weight average molecular weight, IR and NMR spectra in the same manner as in Example 1.

なお、シランモノマーの共重合比はNMRのプロトン数
より求めた。
The copolymerization ratio of the silane monomers was determined from the number of protons in NMR.

比較金虞孤主 真空吸引とアルゴン置換を行ったグローブボックスの中
に三ツロフラスコを用意し、これにリフラックスコンデ
ンサーと温度計と滴下ロートを取り付けて、滴下ロート
のバイパス管からアルゴンガスを通した。
A three-way flask was prepared in a glove box that had been vacuum suctioned and replaced with argon, and a reflux condenser, thermometer, and dropping funnel were attached to it, and argon gas was passed through the bypass pipe of the dropping funnel. .

この三ツロフラスコ中に、脱水ドデカン100グラムと
ワイヤー状金属ナトリウム0.3モルを仕込み、撹拌し
ながら100℃に加熱した。次にジクロロシランモノマ
ー(チッソ■製)を0.1モルを脱水ドデカン30グラ
ムに溶解させて用意した溶液を反応系にゆっくり滴下し
た。滴下終了後、100℃で1時間1i!重合させたと
ころ、白色固体が析出した。この後冷却し、過剰の金属
ナトリウムを処理するため、メタノール50mJをゆっ
くり滴下した。
100 g of dehydrated dodecane and 0.3 mol of wire-shaped sodium metal were placed in this Mitsurofask and heated to 100° C. with stirring. Next, a solution prepared by dissolving 0.1 mole of dichlorosilane monomer (manufactured by Chisso ■) in 30 grams of dehydrated dodecane was slowly added dropwise to the reaction system. After dropping, heat at 100℃ for 1 hour! Upon polymerization, a white solid precipitated. Thereafter, the mixture was cooled, and 50 mJ of methanol was slowly added dropwise to remove excess metal sodium.

次に、白色固体を濾葉し、n−へキサンとメタノールで
洗浄を繰り返し、ポリシラン化合物mD3を得た。
Next, the white solid was filtered and washed repeatedly with n-hexane and methanol to obtain polysilane compound mD3.

このポリシラン化合物はトルエン、クロロホルム、TH
F等の有機溶剤に不溶のため、同定はrRスペクトルに
て行った。結果を第4表に示す。
This polysilane compound contains toluene, chloroform, TH
Since it is insoluble in organic solvents such as F, identification was performed by rR spectrum. The results are shown in Table 4.

比較金底班玉 真空吸引とアルゴン置換を行ったグローブボックスの中
に三ツロフラスコを用意し、これにリフラックスコンデ
ンサーと温度計と滴下ロートを取り付けて、滴下ロート
のバイパス管からアルゴンガスを通した。
Comparison A three-sided flask was prepared in a glove box that had been vacuum-suctioned and replaced with argon, and a reflux condenser, thermometer, and dropping funnel were attached to it, and argon gas was passed through the bypass pipe of the dropping funnel. .

この三ツロフラスコ中に、脱水ドデカン100グラムと
ワイヤー状金属ナトリウム0.3モルを仕込み、撹拌し
ながら100℃に加熱した。
100 g of dehydrated dodecane and 0.3 mol of wire-shaped sodium metal were placed in this Mitsurofask and heated to 100° C. with stirring.

次に、ジフェニルジクロロシランモノマー(ナツツ−製
)を0.1モルを脱水ドデカン30グラムに溶解させて
用意した溶液を反応系にゆっくり滴下した。滴下終了後
、100℃で1時間縮重合させたところ、白色固体が析
出した。
Next, a solution prepared by dissolving 0.1 mole of diphenyldichlorosilane monomer (manufactured by Natsutsu) in 30 grams of dehydrated dodecane was slowly dropped into the reaction system. After completion of the dropping, condensation polymerization was carried out at 100° C. for 1 hour, and a white solid was precipitated.

この後冷却し、過剰の金属ナトリウムを処理するため、
メタノール5 Qrrz2をゆっくり?m下した。
After this, it is cooled and the excess metal sodium is disposed of.
Methanol 5 Qrrz2 slowly? m down.

次に、白色固体を濾葉し、n−へキサンとメタノールで
洗浄を繰り返し、ボ1Jシラン化合物mD−4を得た。
Next, the white solid was filtered and washed repeatedly with n-hexane and methanol to obtain Bo1J silane compound mD-4.

このポリシラン化合物はトルエン、クロロホルム、TH
F等の有機溶剤に不溶のため、同定はIRスペクトルに
て行った。結果を第4表に示す。
This polysilane compound contains toluene, chloroform, TH
Because it is insoluble in organic solvents such as F, identification was performed using IR spectroscopy. The results are shown in Table 4.

前述の合成例において合成されたポリシラン化合物は優
れた成形性を有しフィルム状、粒子状、繊維状に成形す
ることができる。
The polysilane compound synthesized in the above synthesis example has excellent moldability and can be molded into a film, particulate, or fiber shape.

具体的な成形性としては、塗布法、スピンコーティング
法、デイツプ法、電着法、昇華蒸着法、圧縮成形法、カ
レンダー加工法等が挙げられる。
Specific moldability includes a coating method, a spin coating method, a dip method, an electrodeposition method, a sublimation vapor deposition method, a compression molding method, a calendering method, and the like.

更に、本発明において、前記ポリシラン化合物の伝導型
制御のため、即ち、アクセプター準位を形成するのに好
適に用いられる物質、いわゆるドーパント剤としては、
−ff1式MXa  (ただし、Mは周期律表VA族に
属する元素、Xはハロゲン元素、aはMの価数に応じて
決定される正整数を各々示している。)で表されるハロ
ゲン化合物を挙げることができる。具体的に元素Mとし
てはN。
Furthermore, in the present invention, substances suitably used for controlling the conductivity of the polysilane compound, that is, for forming an acceptor level, so-called dopant agents, include:
-ff1 Halogen compound represented by the formula MXa (M is an element belonging to group VA of the periodic table, X is a halogen element, and a is a positive integer determined according to the valence of M.) can be mentioned. Specifically, the element M is N.

P、As、Sbが挙げられ、XとしてはF、CLBr、
1が挙げられる。更に、具体的なノ\ロゲン化合物とし
ては、NF3 、NFS 、NCl3 。
P, As, Sb are mentioned, and X is F, CLBr,
1 is mentioned. Further, specific examples of norogen compounds include NF3, NFS, and NCl3.

NCj!s +  NBr5.NBs 、N Is 、
PF3 +PFs 、PCl5 、PCl5 、PBr
+、PBrs。
NCj! s + NBr5. NBs, NIs,
PF3 +PFs, PCl5, PCl5, PBr
+, PBrs.

P I 31 A s F ff+ A s F 5 
+ A s C’ z + A s B r s 。
P I 31 A s F ff+ A s F 5
+ A s C' z + A s B r s.

As rff 、5bFs 、5bFs 、5bC1x
 。
As rff , 5bFs , 5bFs , 5bC1x
.

5bCj!s 、5bBra、Sb 13等が゛挙げら
れる。
5bCj! s, 5bBra, Sb 13, etc.

これらのハロゲン化合物は単独又は混合して用いられる
These halogen compounds may be used alone or in combination.

次に、本発明において前記ポリシラン化合物に前記ハロ
ゲン化合物を添加し所望の伝導型を有するポリシラン組
成物を製造する方法、即ちドーピング処理方法として、
具体的には以下に述べる三種類の方法を挙げることがで
きる。
Next, in the present invention, as a method for producing a polysilane composition having a desired conductivity type by adding the halogen compound to the polysilane compound, that is, a doping treatment method,
Specifically, the following three methods can be mentioned.

+11  前記ハロゲン化合物が固体又は液体である場
合には以下の方法を採用することができる。
+11 When the halogen compound is solid or liquid, the following method can be adopted.

まず、前述の合成例で合成したポリシラン化合物を十分
に脱水処理されたベンゼン、トルエン、THF等の有機
溶媒に熔解させた溶液(以降、この溶液を「ポリシラン
溶解液」という。)を調製する。この時のポリシラン溶
解液中のポリシラン化合物の濃度は、好ましくはlXl
0−’g/l乃至2xlO’g/j!、より好ましくは
IxlO−”g/#乃至1xlO”g/l、最適にはI
 X 10”g#!乃至5xLO” gzlとされるの
が望ましい。
First, a solution (hereinafter, this solution will be referred to as a "polysilane solution") is prepared by dissolving the polysilane compound synthesized in the above synthesis example in a sufficiently dehydrated organic solvent such as benzene, toluene, or THF. The concentration of the polysilane compound in the polysilane solution at this time is preferably lXl
0-'g/l to 2xlO'g/j! , more preferably IxlO-"g/# to 1xlO"g/l, optimally I
It is preferable that the range is from 10"g#! to 5xLO"gzl.

一方、ドーパント剤としての前記アミン化合物を単独で
、もしくは前記有機溶媒と相溶性があって十分に脱水処
理された有機溶媒に溶解させた溶液(以降、この溶液を
「ドーパント液」という。)を調製する。この時のドー
パント液中のハロゲン化合物の濃度は、好ましくはI 
X 1.0−6g/A乃至2xlO” g/l、より好
ましくは2xlO−’g/f乃至lXl0”g/l、最
適には1xlO−’g/Il乃至5×]、O’g/if
!とされるのが望ましい。次に、該ドーパント液を前記
ポリシラン溶解液に滴下し、必要に応して加熱しながら
十分攪拌処理を行う。
On the other hand, a solution in which the amine compound as a dopant agent is dissolved alone or in an organic solvent that is compatible with the organic solvent and has been sufficiently dehydrated (hereinafter, this solution is referred to as a "dopant solution") is prepared. Prepare. At this time, the concentration of the halogen compound in the dopant solution is preferably I
X 1.0-6g/A to 2xlO"g/l, more preferably 2xlO-'g/f to lXl0"g/l, optimally 1xlO-'g/Il to 5x], O'g/if
! It is desirable that this is done. Next, the dopant solution is added dropwise to the polysilane solution, and stirred thoroughly while being heated if necessary.

(以降、このような処理を行った溶液を「処理液」とい
う。)この時の加熱温度は、好ましくはポリシラン化合
物のガラス転移点以下の温度に設定されるのが望ましい
(Hereinafter, a solution subjected to such treatment will be referred to as a "treatment liquid.") The heating temperature at this time is preferably set to a temperature below the glass transition point of the polysilane compound.

その後、該処理液を所望の成形装置に移してフィルム状
、粒子状あるいは繊維状等に成形し、本発明のポリシラ
ン組成物を得る。
Thereafter, the treatment liquid is transferred to a desired molding device and molded into a film, particles, fibers, etc. to obtain the polysilane composition of the present invention.

(2)前記ハロゲン化合物が固体又は液体で、昇華ある
いは気化させることができる場合には以下の方法を採用
することができる。
(2) When the halogen compound is solid or liquid and can be sublimed or vaporized, the following method can be adopted.

まず、前述の合成例で合成したポリシラン化合物を十分
に脱水処理されたベンゼン、トルエン、THF等の有機
溶媒に溶解させたポリシラン溶解液を調製する。この時
のポリシラン溶解液中のポリシラン化合物の濃度は、好
ましくはlXl0−3g//乃至2X103g/j!、
より好ましくはI X 10−”g、#乃至lXl0’
g/It、最適にはI X 10−’g/A乃至5×1
0”g/Jとされるのが望ましい。
First, a polysilane solution is prepared by dissolving the polysilane compound synthesized in the above synthesis example in a sufficiently dehydrated organic solvent such as benzene, toluene, or THF. The concentration of the polysilane compound in the polysilane solution at this time is preferably 1X10-3 g// to 2X103 g/j! ,
More preferably IX10-"g, # to lXl0'
g/It, optimally I x 10-'g/A to 5 x 1
It is desirable to set it to 0''g/J.

次に、所望の成形装置に前記ポリシラン溶解液を移しポ
リシランをフィルム状、粒子状あるいは繊維状に成形す
る。更に、該成形物を密封可能なドーピング処理装置に
移し、必要に応して加熱しながら前記ハロゲン化合物の
雰囲気下に曝し、ハロゲン化合物を吸着、含浸処理させ
所望のポリシラン組成物を得る。前記ハロゲン化合物の
雰囲気としては加圧、常圧及び減圧のいずれであっても
よい。また、この時のポリシラン成形物の加熱処理温度
は、好ましくはポリシラン化合物のガラス転移点以下の
温度に設定されるのが望ましい。
Next, the polysilane solution is transferred to a desired molding device and the polysilane is molded into a film, particles, or fibers. Further, the molded product is transferred to a sealable doping treatment device, and exposed to the atmosphere of the halogen compound while heating if necessary to adsorb and impregnate the halogen compound to obtain a desired polysilane composition. The atmosphere of the halogen compound may be any one of pressurized, normal pressure, and reduced pressure. Further, the heat treatment temperature of the polysilane molded product at this time is preferably set to a temperature equal to or lower than the glass transition point of the polysilane compound.

(3)本発明のポリシラン化合物は、電気化学的方法に
よりドーピング処理することができる。
(3) The polysilane compound of the present invention can be doped by an electrochemical method.

具体的には、適宜の電解質溶液中に前述の(2)の方法
の中で説明したのと同様の成形方法にて成形したポリシ
ラン成形物を一方の電極として挿入し、又これに対向し
て他の金属電極を挿入しこれらの電極間に電圧を印加さ
せることによりドーピング処理を行い、所望のポリシラ
ン組成物を得る。
Specifically, a polysilane molded product molded by the same molding method as described in method (2) above was inserted into an appropriate electrolyte solution as one electrode, and a A doping treatment is performed by inserting another metal electrode and applying a voltage between these electrodes to obtain a desired polysilane composition.

前記電解質溶液は、有81溶媒中に前記ノ\ロゲン化合
物を電解質として溶解させたものであり、前記有Ja溶
媒として具体的には、アセトニトリル、プロピレンカー
ボネート、T−ブチロラクトン、クロロベンゼン等が挙
げられる。この時の電解質濃度は、好ましくは5xlO
−6g/6乃至5xlO2g/7!、より好ましくは5
×10−’g/l乃至5X10” g/6.最適にはt
 x i o−’g7t;、乃至1xlO”g/nとさ
れるのが望ましい。
The electrolyte solution is prepared by dissolving the norogen compound as an electrolyte in a Ja-containing solvent, and specific examples of the Ja-containing solvent include acetonitrile, propylene carbonate, T-butyrolactone, and chlorobenzene. The electrolyte concentration at this time is preferably 5xlO
-6g/6 to 5xlO2g/7! , more preferably 5
x10-'g/l to 5X10'' g/6. Optimally t
It is preferable that x io−'g7t; to 1×lO”g/n.

又、前記金属電極としては、具体的には、Pt  Au
、Ag、Cu、Pd等を挙げることができる。
Moreover, specifically, as the metal electrode, PtAu
, Ag, Cu, Pd, etc.

本発明においては、前記ポリシラン成形物を陽極とする
ことによりアクセプター準位が形成される。
In the present invention, an acceptor level is formed by using the polysilane molded product as an anode.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、
本発明は何らこれらに限定されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.
The present invention is not limited to these in any way.

去Iu壓り 本実施例においては、前述のドーピング処理方法(1)
にて本発明のポリシラン組成物を作製した。
In this example, the above-mentioned doping treatment method (1)
A polysilane composition of the present invention was prepared.

まず、十分乾燥、窒素置換を行った三ツロフラスコに、
合成例1において合成したポリシラン化合物(Nal)
10gを取り、窒素気流中で攪拌しながら、2回蒸留乾
燥を行ったテトラヒドロフラン100m6を滴下し溶解
させポリシラン溶解液を調製した。
First, put it in a Mitsuro flask that has been thoroughly dried and replaced with nitrogen.
Polysilane compound (Nal) synthesized in Synthesis Example 1
10 g was taken, and while stirring in a nitrogen stream, 100 m6 of tetrahydrofuran that had been dried by double distillation was added dropwise to dissolve it, thereby preparing a polysilane solution.

次に、ドーパント剤としての液状の5bFSO002μ
lを、三ツロフラスコ中の前記ポリシラン溶解液に窒素
気流中でマイクロシリンジを用いて滴下し、30分間室
温で攪拌を続けた。
Next, liquid 5bFSO002μ as a dopant agent
1 was added dropwise to the polysilane solution in the Mitsuro flask using a microsyringe in a nitrogen stream, and stirring was continued for 30 minutes at room temperature.

撹拌終了後、このポリシラン溶解液を、窒素充填された
グローブボックス内に設置されたスピンコーティング装
置に移し、基板としてコーニング社製#7059ガラス
(1インチ×3インチ)を用い、該ガラス基板上に1.
0μmの厚さでポリシラン組成物のフィルムを形成させ
た。
After stirring, this polysilane solution was transferred to a spin coating device installed in a glove box filled with nitrogen, and #7059 glass (1 inch x 3 inches) manufactured by Corning was used as a substrate. 1.
A film of the polysilane composition was formed with a thickness of 0 μm.

更に、該フィルムを真空乾燥処理して試料胤1とした。Furthermore, the film was subjected to vacuum drying treatment to obtain sample seed 1.

前記ドーパント液の滴下量を0.5μL  5μ150
0、clj!、3m115rr+Jとした以外は同様の
操作及び方法でポリシラン組成物のフィルム試料NQ2
〜6を作製した。
The amount of the dopant solution dropped is 0.5μL 5μ150
0,clj! , 3m115rr+J was used to prepare film sample NQ2 of polysilane composition using the same operation and method.
~6 was produced.

次いで、各試料を真空蒸着装置にセットし、I X 1
0−5Torr程度の真空度においてP【をギヤツブ電
極形成用の蒸着金属として用い、電子ビーム蒸着法によ
り、電気伝導率測定用のギャップ中I50μm、長さ3
cmの櫛型電極、及び熱起電力測定用のギャップ中10
0μm、長さ5關の平行ギャップ電極をそれぞれ100
0人の膜厚で形成した。蒸着時は特に試料の加熱は行わ
なかった。
Next, each sample was set in a vacuum evaporation device, and I
At a vacuum level of about 0-5 Torr, P was used as the vapor-deposited metal for gear electrode formation, and by electron beam evaporation method, a gap of I50 μm and a length of 3 was formed in the gap for measuring electrical conductivity.
cm comb-shaped electrode and 10 cm in the gap for thermoelectromotive force measurement
100 parallel gap electrodes each with a length of 0 μm and a length of 5
It was formed with a film thickness of 0. The sample was not particularly heated during vapor deposition.

取り出し後、微小電流計HP4140Bを用い、印加電
圧30Vにて、暗電流を測定し、暗中電気伝導率σa 
 (S/01m)を求め、更に熱起電力測定装置を用い
て伝導型ρ判定を行った。測定、評価結果を第5表に示
した。
After taking it out, the dark current was measured using a microammeter HP4140B at an applied voltage of 30 V, and the dark electrical conductivity σa
(S/01m) was determined, and conduction type ρ was further determined using a thermoelectromotive force measuring device. The measurement and evaluation results are shown in Table 5.

これらの結果より、試料1ml及び6以外はすべて良好
な電気特性を示すことが判った。
From these results, it was found that all samples except Samples 1 ml and 6 exhibited good electrical characteristics.

更に、市販のセロテープを巾5u、長さ1c11に切っ
てポリシラン組成物のフィルムに貼り、5分後このセロ
テープを剥がし、形成された前記フィルムの基板との密
着性試験を行ったところ、すべて良好な密着性を示した
Furthermore, a piece of commercially available cellophane tape was cut to a width of 5u and a length of 1c11 and applied to a film of the polysilane composition.After 5 minutes, the cellotape was peeled off and an adhesion test of the formed film to the substrate was conducted, all of which were found to be good. It showed good adhesion.

又、ダイヤモンド針を用いて引っかき試験を行ったとこ
ろ、針圧2gまでは引っかき傷は生しなかった。
Further, when a scratch test was conducted using a diamond needle, no scratches were observed up to a needle pressure of 2 g.

去社u41 実施例1において、ポリシラン化合物(弘1)の代わり
に、合成例13で合成したポリシラン化合物(1m13
)を用いた以外は同様の操作及び方法で、ドーピング量
の異なる6種類のポリシラン組成物フィルム試料を作製
したゆ 得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第5表に示した。
In Example 1, the polysilane compound synthesized in Synthesis Example 13 (1m13) was used instead of the polysilane compound (Hiro 1).
) were used to prepare six types of polysilane composition film samples with different amounts of doping using the same procedures and methods. It is shown in Table 5.

ドーパント液の滴下量を0.02μi及び5mj!とし
て作製した以外のフィルム試料にて良好な電気特性を示
すことが判った。
The amount of dopant liquid dropped is 0.02μi and 5mj! It was found that film samples other than those prepared as shown in Table 1 showed good electrical properties.

又、密着性及び耐引っかき慣性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
Furthermore, the adhesion and scratch resistance inertia were as good as the results obtained in Example 1.

失施撚立 実施例1において、ポリシラン化合物(F&L l )
の代わりに、合成例9で合成したポリシラン化合物(隘
9)を用い、又、ドーパント剤としてはSbF、の代わ
りに乾燥ベンゼン1000m7!にドーパント剤として
の5bC1x0.5gを溶解したドーパント液を用いた
以外は同様の操作及び方法で、ドーピング量の異なる6
種類のボIJシランm底物フィルム試料を作製した。な
お、ドーパント液の滴下量は5μL  10.c+L 
 100μl。
In Example 1, a polysilane compound (F&L l )
The polysilane compound synthesized in Synthesis Example 9 (9) was used instead of SbF, and 1000 m7 of dry benzene was used instead of SbF as a dopant agent. 6 with different doping amount using the same operation and method except that a dopant solution containing 0.5 g of 5bC1 as a dopant agent was used.
Various kinds of IJ silane film samples were prepared. Note that the amount of dopant solution dropped is 5 μL 10. c+L
100 μl.

1mC10m6.50m1とした。It was set as 1mC10m6.50m1.

得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第5表に示した。
Each of the obtained samples was measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 5.

ドーパント液の滴下量を5μl及び50m6として作製
した以外のフィルム試料にて良好な電気特性を示すこと
が判った。
It was found that film samples other than those prepared with the dopant solution dropped in an amount of 5 μl and 50 m6 exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき慣性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
Furthermore, the adhesion and scratch resistance inertia were as good as the results obtained in Example 1.

大施拠土 本実施例においては、前述のドーピング処理方法(2)
にて本発明のポリシラン組成物を作製した。
In the large construction site example, the above-mentioned doping treatment method (2)
A polysilane composition of the present invention was prepared.

まず、十分乾燥、窒素置換を行った三ツロフラスコに、
合成例2において合成したポリシラン化合物(m2)1
0gを取り、窒素気流中で攪拌しながら、2回蒸留乾燥
を行ったトルエン100m1lを滴下し溶解させポリシ
ラン熔解液を調製した。
First, put it in a Mitsuro flask that has been thoroughly dried and replaced with nitrogen.
Polysilane compound (m2) 1 synthesized in Synthesis Example 2
0 g was taken, and while stirring in a nitrogen stream, 100 ml of toluene that had been dried by double distillation was added dropwise to dissolve it to prepare a polysilane melt.

次に、このポリシラン溶解液を、窒素充填されたグロー
ブボックス内に設置されたスピンコーティング装置に移
し、基板としてコーニング社製#7059ガラス(1イ
ンチ×3インチ)を用い、該ガラス基板上に1.0μm
の厚さでポリシランフィルムを形成させた。
Next, this polysilane solution was transferred to a spin coating apparatus installed in a glove box filled with nitrogen, and using Corning #7059 glass (1 inch x 3 inches) as a substrate, a coating film was coated on the glass substrate. .0μm
A polysilane film was formed to a thickness of .

更に、該ポリシランフィルムを真空処理装置内に設置さ
れたフィルムホルダーにセットし、該フィルムホルダー
を40℃に加熱しつつ真空乾燥した。
Further, the polysilane film was set in a film holder installed in a vacuum processing apparatus, and vacuum-dried while heating the film holder to 40°C.

ひき続き、前記真空処理装置内の圧力が500Torr
となるまでガス状のAsF5を導入し、前記圧力を保ち
つつ前記ポリシランフィルムをASFS雰囲気下に2時
間曝すことでドーピング処理を行った。
Subsequently, the pressure in the vacuum processing apparatus is set to 500 Torr.
A doping treatment was performed by introducing gaseous AsF5 until the temperature reached , and exposing the polysilane film to an ASFS atmosphere for 2 hours while maintaining the above pressure.

以下、真空処理装置内の圧力を300Torr 。Hereinafter, the pressure inside the vacuum processing apparatus was set to 300 Torr.

100Torr 、  50Torr 、  10To
rrとした以外は同様の操作でドーピング処理を行った
100Torr, 50Torr, 10Torr
Doping treatment was performed in the same manner except that rr was used.

このようにして作製された各ポリシラン組成物のフィル
ム試料について、実施例1と同様の測定、評価を行った
結果を第6表に示した。
The film samples of each polysilane composition produced in this way were subjected to the same measurements and evaluations as in Example 1, and the results are shown in Table 6.

真空処理装置内の圧力を10Torrとして作製した以
外のフィルム試料にて良好な電気特性を示すことが判っ
た。
It was found that film samples other than those produced with the pressure in the vacuum processing apparatus set at 10 Torr exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき慣性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
Furthermore, the adhesion and scratch resistance inertia were as good as the results obtained in Example 1.

失権拠1 実施例4において、ポリシラン化合物(M2)の代わり
に、合成例6で合成したポリシラン化合物(隘6)を用
い、ドーパント剤としてAsF。
Forfeiture 1 In Example 4, the polysilane compound (6) synthesized in Synthesis Example 6 was used instead of the polysilane compound (M2), and AsF was used as the dopant agent.

のかわりにPF、を用いた以外は同様の操作及び方法で
、ドーピング量の異なる6種類のポリシラン組成物フィ
ルム試料を作製した。
Six types of polysilane composition film samples having different doping amounts were prepared using the same operation and method except that PF was used instead of PF.

得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第6表に示した。
Each of the obtained samples was measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 6.

真空処理装置内の圧力をl0Torrとして作製した以
外のフィルム試料にて良好な電気特性を示すことが判っ
た。
It was found that film samples other than those produced with the pressure in the vacuum processing apparatus set to 10 Torr exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき偏性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
In addition, the adhesion and scratch resistance were as good as the results obtained in Example 1.

大旋里i 本実施例においては、前述のドーピング処理方法(3)
にて本発明のポリシラン組成物を作製した。
In this example, the above-mentioned doping treatment method (3)
A polysilane composition of the present invention was prepared.

まず、十分乾燥、窒素置換を行った三ツロフラスコに、
合成例11において合成したポリシラン化合物(lkl
、1)10gを取り、窒素気流中で攪拌しながら、2回
蒸留乾燥を行ったトルエン100m1lを滴下し溶解さ
せポリシラン溶解液を調製した。
First, put it in a Mitsuro flask that has been thoroughly dried and replaced with nitrogen.
Polysilane compound synthesized in Synthesis Example 11 (lkl
1) 10 g was taken, and while stirring in a nitrogen stream, 100 ml of twice-distilled and dried toluene was added dropwise to dissolve it to prepare a polysilane solution.

次に、このポリシラン溶解液を、窒素充填されたグロー
ブボックス内に設置されたバーコーティング装置に移し
、基板としてコーニング社製#7059ガラス(1イン
チ×3インチ)を用い、該ガラス基板上に5.0μmの
厚さでポリシランフィルムを形成させた。
Next, this polysilane solution was transferred to a bar coating device installed in a glove box filled with nitrogen, and #7059 glass manufactured by Corning (1 inch x 3 inches) was used as a substrate. A polysilane film was formed with a thickness of .0 μm.

更に、該フィルムを窒素気流下で、30℃に加熱しなが
ら十分乾燥を行った後、真空蒸着装置にセットし、抵抗
加熱蒸着法によりφ3nのA1ド・7ト電極を蒸着した
。ワイヤーボングーにて、前記A1ドツト電極にPt線
全全結線た後、これを定電圧電#装置の(+)電圧側に
導線を用いて接続しポリシラン電極とした。
Further, the film was thoroughly dried under a nitrogen stream while being heated to 30° C., and then set in a vacuum evaporation apparatus, and an A1 dot/7 dot electrode of φ3n was deposited by a resistance heating evaporation method. After all the Pt wires were connected to the A1 dot electrode using a wire bong, this was connected to the (+) voltage side of a constant voltage voltage device using a conductive wire to form a polysilane electrode.

一方、プロピレンカーボネート1ffi中に、5bFs
 5gを溶解させた電解質溶液を調製し、該電解質溶液
中に定電圧電源装置の(−)電圧側に接続したptt電
極(20mmX 5 Q mX l fl)、及び前述
の操作で作製したポリシランフィルム電極を浸し両電極
間に0.5 Vの定電圧を印加しつつ、2時間ドーピン
グ処理を行った。
On the other hand, in 1ffi of propylene carbonate, 5bFs
Prepare an electrolyte solution in which 5 g of PTT electrode (20 mm x 5 Q m While applying a constant voltage of 0.5 V between both electrodes, doping treatment was performed for 2 hours.

ドーピング処理後、ポリシラン電極を取り出し真空乾燥
を行い、ポリシランIJ1威物フィルム試料を作製した
After the doping treatment, the polysilane electrode was taken out and vacuum dried to produce a polysilane IJ1 film sample.

更に、印加電圧をIV、5V、IOV、50Vとした以
外は同様の操作でドーピング処理を行い、ポリシラン組
成物フィルム試料を作製した。
Further, doping treatment was performed in the same manner except that the applied voltages were changed to IV, 5V, IOV, and 50V to prepare polysilane composition film samples.

得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第7表に示した。
Each of the obtained samples was measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 7.

印加電圧を0.5V、50Vとして作製した以外のフィ
ルム試料にて良好な電気特性を示すことが判った。
It was found that film samples other than those produced with applied voltages of 0.5 V and 50 V exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき偏性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
In addition, the adhesion and scratch resistance were as good as the results obtained in Example 1.

失施斑工 実施例6において、ポリシラン化合物(NIl、1)の
代わりに、合成例3で合成したポリシラン化合物(階3
)を用い、又、ドーパント剤としては5bFSの代わり
にAsBr3を用いた以外は同様の操作及び方法で、ド
ーピング量の異なる5種類のポリシラン組成物フィルム
試料を作製した。
In Example 6, the polysilane compound synthesized in Synthesis Example 3 (layer 3) was used instead of the polysilane compound (NIl, 1).
) and using AsBr3 instead of 5bFS as the dopant agent, five types of polysilane composition film samples with different doping amounts were prepared using the same operation and method.

得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第7表に示した。
Each of the obtained samples was measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 7.

印加電圧を0.5V、50Vとして作製した以外のフィ
ルム試料にて良好な電気特性を示すことが判った。
It was found that film samples other than those produced with applied voltages of 0.5 V and 50 V exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき偏性は、実施例Iで得られた
結果と同様良好であった。
Also, the adhesion and scratch resistance were good, similar to the results obtained in Example I.

大旌斑1 実施例6において、ポリシラン化合物(lbll)の代
わりに、合成例7で合成したポリシラン化合物(阻7)
を用いた以外は同様の操作及び方法で、ドーピング量の
異なる5種類のポリシラン&III放物フィルム試料を
作製した。
In Example 6, the polysilane compound (lbll) synthesized in Synthesis Example 7 was used instead of the polysilane compound (lbll).
Five types of polysilane & III parabolic film samples with different doping amounts were prepared using the same operation and method except that .

得られた各試料について、実施例1と同様の測定、評価
を行った結果を第7表に示した。
Each of the obtained samples was measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 7.

印加電圧を0.5V、50Vとして作製した以外のフィ
ルム試料にて良好な電気特性を示すことが判った。
It was found that film samples other than those produced with applied voltages of 0.5 V and 50 V exhibited good electrical characteristics.

又、密着性及び耐引っかき偏性は、実施例1で得られた
結果と同様良好であった。
In addition, the adhesion and scratch resistance were as good as the results obtained in Example 1.

実施燃主 実施例3において、ポリシラン化合物(隘9)の代わり
に、合成例4で合成したポリシラン化合物(弘4)を用
い、又、ドーパント剤としては5bC1sの代わりにP
CI、を用いたドーパント液を用い、更に、基板をコー
ニング社製#7059ガラスの代わりにAgを1μm蒸
着したステンレススチール製基板(5インチク5インチ
、厚さIn)を用いた以外は同様の操作及び方法で、ポ
リシラン組成物フィルム試料を作製した。なお、ドーパ
ント液の滴下量は500μlとした。
In the actual combustion example 3, the polysilane compound (Hiroshi 4) synthesized in Synthesis Example 4 was used instead of the polysilane compound (9), and P was used instead of 5bC1s as a dopant agent.
The same operation was performed, except that a dopant solution using CI was used, and a stainless steel substrate (5 inches thick, 5 inches thick, In) with 1 μm of Ag deposited was used instead of Corning #7059 glass. A polysilane composition film sample was prepared by the method. Note that the amount of the dopant solution dropped was 500 μl.

ひき続き、ポリシラン組成物フィルム上に、φ5nのA
u薄膜を電子ビーム蒸着法にて100人蒸着した。また
、該Au薄膜にワイヤーボンダーにて電流取り出し用の
導線をボンディングし、微小電流計HP4140Bを用
いてダイオード特性を評価した。
Subsequently, on the polysilane composition film, A of φ5n was applied.
The u thin film was deposited by 100 people using the electron beam evaporation method. Further, a conductive wire for taking out current was bonded to the Au thin film using a wire bonder, and diode characteristics were evaluated using a microammeter HP4140B.

その結果、ダイオード因子はn−1,40±0.05で
あり、良好なダイオード特性を示した。
As a result, the diode factor was n-1,40±0.05, indicating good diode characteristics.

欠粒」LL見 実施例4において、ポリシラン化合物(弘2)の代わり
に、合成例14で合成したポリシラン化合物(11kL
14)を用い、基板は実施例9で行ったのと同様の処理
を行ったステンレススチール製基板を用いた以外は同様
の操作及び方法で、ポリシラン組成物フィルム試料を作
製した。なお、真空処理装置内の圧力は100 Tor
rとした。
In Example 4, the polysilane compound (11 kL) synthesized in Synthesis Example 14 was used instead of the polysilane compound (Ko 2).
A polysilane composition film sample was prepared in the same manner as in Example 9, except that a stainless steel substrate treated in the same manner as in Example 9 was used. The pressure inside the vacuum processing equipment is 100 Torr.
It was set as r.

ひき続き、得られた各試料のポリシラン&fl底物フィ
ルム上に、φ5 mmのPt薄膜を電子ビーム蒸着法に
て100人蒸着した。また、該pt薄膜にワイヤーボン
ダーにて電流取り出し用の導線をボンディングし、微小
電流計HP4140Bを用いてダイオード特性を評価し
た。
Subsequently, a Pt thin film having a diameter of 5 mm was deposited by 100 people on the polysilane & fl bottom film of each sample using the electron beam evaporation method. Further, a conductive wire for taking out current was bonded to the PT thin film using a wire bonder, and diode characteristics were evaluated using a microammeter HP4140B.

その結果、ダイオード因子はn−1,35±0.05で
あり、良好なダイオード特性を示した。
As a result, the diode factor was n-1,35±0.05, indicating good diode characteristics.

大旌拠上上 実施例6において、ポリシラン化合物(lthll)の
代わりに、合成例8で合成したポリシラン化合物(ll
&L8 )を用い、基板は実施例9で行ったのと同様の
処理を行ったステンレススチール製基板を用いた以外は
同様の操作及び方法で、ポリシラン組成物フィルム試料
を作製した。なお、印加電圧はIOVとした。
As a general rule, in Example 6, the polysilane compound (llthll) synthesized in Synthesis Example 8 was used instead of the polysilane compound (llthll).
A polysilane composition film sample was prepared using the same procedure and method, except that a stainless steel substrate treated in the same manner as in Example 9 was used. Note that the applied voltage was IOV.

ひき続き、得られた各試料のポリシラン組成物フィルム
上に、φ5fiのPtl膜を電子ビーム蒸着法にて]、
 00人蒸着した。また、該pt薄膜にワイヤーボンダ
ーにて電流取り出し用の導線をボンディングし、微小電
流計HP4140Bを用いてダイオード特性を評価した
Subsequently, a Ptl film of φ5fi was deposited on the polysilane composition film of each sample by electron beam evaporation.
00 people were deposited. Further, a conductive wire for taking out current was bonded to the PT thin film using a wire bonder, and diode characteristics were evaluated using a microammeter HP4140B.

その結果、ダイオード因子はn−1,40±0.05で
あり、良好なダイオード特性を示した。
As a result, the diode factor was n-1,40±0.05, indicating good diode characteristics.

第  1  表 第 表 第 表 〔発明の効果の概略〕 以上説明したように、本発明のポリシラン組成物ハ、ジ
クロロシランモノマーからハロゲン脱離を行って縮重合
し、さらにそのポリシランの末端基をハロゲン化有機基
やアルコール置換有機基とアルカリ金属存在下に、脱塩
縮合することにより台底されたポリシラン化合物に、更
に、特定量のハロゲン化合物を含有させることによって
良好な電気特性(アクセプター準位)を生せしめること
ができる。
Table 1 Table 1 [Summary of Effects of the Invention] As explained above, the polysilane composition of the present invention is subjected to condensation polymerization by eliminating halogen from a dichlorosilane monomer, and then converting the end groups of the polysilane into halogens. Good electrical properties (acceptor level) can be achieved by adding a specific amount of a halogen compound to the polysilane compound, which has been stabilized by desalination condensation with an organic group or an alcohol-substituted organic group in the presence of an alkali metal. can be produced.

又、このポリシラン組成物は溶媒への溶解性、フィルム
形成能に優れているとともに、密着性、フィルム強度に
冨んでいる。
Furthermore, this polysilane composition has excellent solubility in solvents and film-forming ability, as well as excellent adhesion and film strength.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)一般式( I )で表され重量平均分子量が600
0乃至200000であるポリシラン化合物に、アクセ
プター順位形成用物質として、前記ポリシラン化合物1
00重量部に対して、一般式MXa(ただし、Mは周期
律表VA族に属する元素、Xはハロゲン元素、aは元素
Mの価数に応じて決定される正整数を各々示している。 )で表されるハロゲン化合物を1×10^−^4乃至1
0重量部含有させたことを特徴とするポリシラン組成物
。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・( I ) (但し、式中、R_1は炭素数1又は2のアルキル基、
R_2は炭素数3乃至8のアルキル基、シクロアルキル
基、アリール基又はアラルキル基、R_3は炭素数1乃
至4のアルキル基、R_4は炭素数1乃至4のアルキル
基をそれぞれ示す。A、A′は、それぞれ炭素数4乃至
12のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基又は
アラルキル基であり、両者は同じであっても或いは異な
ってもよい。n、mは、ポリマー中の総モノマーに対す
るそれぞれのモノマー数の割合を示すモル比であり、n
+m=1となり、0<n≦1、0≦m<1である。)
(1) Represented by general formula (I) and has a weight average molecular weight of 600
0 to 200,000, and the polysilane compound 1 as an acceptor rank forming substance.
00 parts by weight, the general formula MXa (where M is an element belonging to group VA of the periodic table, X is a halogen element, and a is a positive integer determined according to the valence of the element M, respectively. ) 1×10^-^4 to 1
A polysilane composition characterized in that it contains 0 parts by weight. ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(I) (However, in the formula, R_1 is an alkyl group with 1 or 2 carbon atoms,
R_2 represents an alkyl group having 3 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group, an aryl group, or an aralkyl group, R_3 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R_4 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A and A' each represent an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or an aralkyl group having 4 to 12 carbon atoms, and they may be the same or different. n and m are molar ratios indicating the ratio of the number of each monomer to the total monomers in the polymer, and n
+m=1, 0<n≦1, 0≦m<1. )
(2)一般式( I )で示されるポリシラン化合物にお
いて、A及びA′が炭素数5乃至12のアルキル基、又
はシクロアルキル基である請求項(1)に記載のポリシ
ラン組成物。
(2) The polysilane composition according to claim (1), wherein in the polysilane compound represented by general formula (I), A and A' are an alkyl group having 5 to 12 carbon atoms or a cycloalkyl group.
(3)前記VA族に属する元素はN、P、As、Sbで
ある請求項(1)に記載のポリシラン組成物。
(3) The polysilane composition according to claim 1, wherein the elements belonging to the VA group are N, P, As, and Sb.
(4)前記ハロゲン元素はF、Cl、Br、Iである請
求項(1)に記載のポリシラン組成物。
(4) The polysilane composition according to claim 1, wherein the halogen element is F, Cl, Br, or I.
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