JPH0317574A - Burn-in board tester - Google Patents

Burn-in board tester

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Publication number
JPH0317574A
JPH0317574A JP1151373A JP15137389A JPH0317574A JP H0317574 A JPH0317574 A JP H0317574A JP 1151373 A JP1151373 A JP 1151373A JP 15137389 A JP15137389 A JP 15137389A JP H0317574 A JPH0317574 A JP H0317574A
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JP
Japan
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board
burn
socket
test
axis
Prior art date
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Pending
Application number
JP1151373A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Ikeda
繁雄 池田
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Graphtec Corp
Original Assignee
Graphtec Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0317574A publication Critical patent/JPH0317574A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To judge the quality of a burn-in board by successively mounting a test IC to the IC socket mounted to the burn-in board. CONSTITUTION:A connector 11 is set to a burn-in board 1 and an order is emitted to a controller 55 from a CPU 54 to move X-axis constitution 41, Y-axis constitution 42 and Z-axis constitution 43. A test IC setting mechanism 44 is moved downwardly along a Z-axis to mount a test IC to an objective IC socket 2 and a measuring mechanism 45 is moved downwardly along the Z-axis to bring the test IC into contact with the measuring pin of the mechanism 45. As mentioned above, a closed circuit is constituted between the objective IC socket 2, the burn-in board 1 and the electric constitution part through the mechanism 45 and an LCR measuring part 53 measures the electrical operation value between the burn-in board 1 and the objecting IC socket 2 through respective contact parts 51, 52 and said operation value is compared with the tolerance range value stored in the memory within the CPU 54 to judge whether the burn-in board is normal. By performing the same measurement with respect to the IC socket 2 successively, the quality of the burn-in board can be judged.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ICを検査するためのバーインボードの良否
を判定するバーインボードテスタに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a burn-in board tester for determining the quality of a burn-in board for testing ICs.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ICを検査する装置として、検査すべきICを多数装着
したバーインボードを用い、このバーインボードをIC
試験装置に装着し、所定の動作を行わせた時の出力結果
から、これらバーインボードに装着されたICの良否を
一括して判定する装置があった.このような装置におい
ては、まず、多数のICを保持するバーインボードが良
品であることが不可欠である. このため、バーインボードが良品であるか不良品である
かを検査する検査装置が必要となる。
As a device for testing ICs, a burn-in board with a large number of ICs to be tested is used, and this burn-in board is
There was a device that could collectively judge the quality of ICs installed on these burn-in boards based on the output results when they were installed on test equipment and performed predetermined operations. In such devices, it is essential that the burn-in board that holds a large number of ICs be of good quality. Therefore, an inspection device is required to inspect whether the burn-in board is a good product or a defective product.

従来のバーインボードテスタの一つとして、バーインボ
ード上に多数配置されたICソケットに対し複数個の測
定ピンを直接挿入させて当該ICソケットとバーインボ
ードとの動作(例えば、バ一インボードのコネクタとこ
のICソケットとの間の抵抗値、容量値など)を測定す
る測定機構とこの測定機構をX軸、Y軸およびZ軸方向
に移動させる制御手段とを有した装置があった.〔発明
が解決しようとする問題点〕 このような、従来のバーインボードテスタにおいては、
測定機構の測定ビンを直接ICソケットに挿入する構成
を有していたので、ICソケットまたは測定ピンを損ね
る可能性があった.〔問題点を解決するための手段〕 このため、この装置においては、 バーインボード上に取り付けられたICソケットにテス
トICを装着するテストICセットa横とこのテストI
Cセット機構によりセットされたテストICの接点に複
数の測定ビンを接触させる測定機構を設けている. 〔作用〕 テストIC自体は測定に対応した配線がなされているが
、その形状はテストされるべきICと同一に構或されて
いる。
As one of the conventional burn-in board testers, a plurality of measurement pins are directly inserted into a large number of IC sockets arranged on the burn-in board, and the operation between the IC socket and the burn-in board (for example, the connector of the burn-in board) is There was a device that had a measuring mechanism for measuring the resistance value, capacitance value, etc. between the IC socket and the IC socket, and a control means for moving this measuring mechanism in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. [Problems to be solved by the invention] In such a conventional bar-in-board tester,
Since the measuring mechanism's measuring bottle was configured to be inserted directly into the IC socket, there was a possibility of damaging the IC socket or measuring pin. [Means for solving the problem] For this reason, in this device, there are two test
A measurement mechanism is provided that brings multiple measurement bottles into contact with the contacts of the test IC set by the C-set mechanism. [Operation] Although the test IC itself is wired in a manner suitable for measurement, its shape is the same as that of the IC to be tested.

このテストICをバーインボード上のICソケットに装
着した場合、このテストICの接点群は露出する。この
露出部に測定機構の測定ビンを所定の圧力で接触させる
When this test IC is installed in an IC socket on a burn-in board, the contacts of this test IC are exposed. A measuring bottle of a measuring mechanism is brought into contact with this exposed portion under a predetermined pressure.

〔実施例〕〔Example〕

第l図、第2図および第3図は、本発明に関わるバーイ
ンボードテスタを説明するそれぞれ説明図で、第1図は
本発明のバーインボードテスタの要部斜視図、第2図は
第1図に示すバーインボードテスタに通用されうるlC
ソケ・冫トまたば【Cの1例を示す構成斜視図、第3図
は第1図のバーインボードテスタの全体的構成を模式的
に示す構成図である。
1, 2, and 3 are explanatory diagrams for explaining the bar-in-board tester according to the present invention, respectively. IC that can be used in the bar-inboard tester shown in the figure
FIG. 3 is a structural perspective view showing an example of the socket/insert board tester [C]. FIG. 3 is a structural diagram schematically showing the overall structure of the burn-in board tester of FIG. 1.

まず、第3図を参照して本発明の1実施例に関わるバー
インボードテスタの全体構成について、説明する. 第3図において、lはバーインボードで、ICソケット
2が多数個整列されて取り付けられている.このバーイ
ンボード1は、後述する電気構成部とコネクタ11によ
り接続している。
First, the overall configuration of a bar-in-board tester according to an embodiment of the present invention will be explained with reference to FIG. In FIG. 3, l represents a burn-in board, on which a large number of IC sockets 2 are arranged and attached. This burn-in board 1 is connected to an electrical component, which will be described later, by a connector 11.

41!.tX柚構成、42はY軸構戒、43はZ軸横成
で、これらが協動してテストICセット機構44と測定
機横45をX,Y,Z軸方向に移動する。
41! .. 42 is a Y-axis configuration, and 43 is a Z-axis configuration, which work together to move the test IC setting mechanism 44 and the measuring machine side 45 in the X, Y, and Z axis directions.

5lはバーインボードlのコネクタ1lの接点群、52
は装置の測定機構45の測定ピン(接点)群、53はL
CR測定部、54はCPU,55はコントローラ、56
はプリンタである.測定に先立ち、バーインボード1を
装置の所定位置に取り付けそのコ不クタl1をセットす
る.この状態でCPU5 4からコントローラ55に指
令が発せられ、X軸構成41、Y軸構威42およびZ軸
横成43を移動する。テストICセット機構44にはテ
スト用のICが保持されており、目的のICソケット2
上に位置づけられる.そして、このテスIICセット機
構44がZ軸下方に移動してテストICを目的のICソ
ケットに装着する。
5l is the contact group of connector 1l of burn-in board l, 52
is a group of measuring pins (contacts) of the measuring mechanism 45 of the device, 53 is L
CR measuring section, 54 is CPU, 55 is controller, 56
is a printer. Prior to measurement, the burn-in board 1 is attached to a predetermined position on the device, and its connector 11 is set. In this state, a command is issued from the CPU 54 to the controller 55 to move the X-axis structure 41, the Y-axis structure 42, and the Z-axis structure 43. The test IC setting mechanism 44 holds a test IC, and the target IC socket 2
It is positioned at the top. Then, this test IIC setting mechanism 44 moves downward on the Z axis to mount the test IC into the target IC socket.

次に、測定IIJ45がこの目的のICソケソト2上に
位置づけられ、Z軸下方に移動される.この時点で、目
的のICソケット2に装着されたテストICと測定機構
45の測定ピンとの接触が達成される。この状態は、目
的のICソケット2とバーインボードlと測定Ja構4
5を介した電気構成部との間に閉回路が構成された状態
である。
Next, the measurement IIJ 45 is positioned on the IC socket 2 for this purpose and moved down the Z axis. At this point, contact between the test IC mounted in the target IC socket 2 and the measurement pin of the measurement mechanism 45 is achieved. In this state, the target IC socket 2, burn-in board l, and measurement Ja structure 4
In this state, a closed circuit is formed between the electric component and the electrical component via 5.

この時点において、LCR測定部53は各接点群5l、
52を介してバーインボードlと目的のICソケット2
との間のインダクタンス値、抵抗値および容量値等の電
気的動作を測定する。この電気的動作値は、CPU54
内のメモリにあらかじめ格納されている許容範囲値と比
較され正常であるか否かが判定される。
At this point, the LCR measurement unit 53 has each contact group 5l,
52 to the bar-in board l and the target IC socket 2
Measure the electrical behavior such as inductance, resistance, and capacitance between the This electrical operating value is
It is compared with the allowable range value stored in advance in the internal memory to determine whether it is normal or not.

次々と、バーインボード1上にあるICソケット2に関
して同様の測定が行われ、プリンタ56にその測定の結
果が印字される.これらにより、バーインボードlの良
否を判定する。
Similar measurements are performed on the IC sockets 2 on the burn-in board 1 one after another, and the results of the measurements are printed on the printer 56. Based on these, the quality of the burn-in board 1 is determined.

第2図はこのバーインボードテスタlに適用されうる種
々の構戒部品を示している。
FIG. 2 shows various structural parts that can be applied to this bar-in-board tester I.

第2図(a)に示すように、ICソケット2は、例えば
上部構成と下部構成とから成り、第2図中)にれる構造
を有している。
As shown in FIG. 2(a), the IC socket 2 includes, for example, an upper structure and a lower structure, and has a structure shown in FIG. 2(a).

今、第2図(b)に示す状態にICソケット2があると
すると接点群21はその上部構造に対して相対的に上方
の位置にある。この状態にある時、第2図(C)に示す
IC(またはテストIC)3をその開口部に挿入する。
Now, assuming that the IC socket 2 is in the state shown in FIG. 2(b), the contact group 21 is located at an upper position relative to its upper structure. In this state, the IC (or test IC) 3 shown in FIG. 2(C) is inserted into the opening.

ICソケット2の上部構造が図示しないスプリングの作
用により上昇し、IC3の接点群31とICソケット2
の接点群2lとが接触保持される。
The upper structure of the IC socket 2 rises due to the action of a spring (not shown), and the contact group 31 of the IC 3 and the IC socket 2
are held in contact with the contact group 2l.

このようなICソケット2が多数個配置されて、第2図
(d)に示すようにバーインボードlが構成される。
A burn-in board 1 is constructed by arranging a large number of such IC sockets 2 as shown in FIG. 2(d).

第1図は、第2図(d)に示されたようなバーインボー
ドlを用いたバーインボードテスタの要部構成図である
FIG. 1 is a diagram showing the main part of a burn-in board tester using a burn-in board l as shown in FIG. 2(d).

Z軸構戒43は、Y軸構成42のレール421に沿って
Y軸方向に移動可能に支持されている。
The Z-axis structure 43 is supported so as to be movable in the Y-axis direction along the rails 421 of the Y-axis structure 42.

なお、Y軸構成42は第3図に示すX軸構成41により
X軸方向に移動可能である。
Note that the Y-axis structure 42 is movable in the X-axis direction by the X-axis structure 41 shown in FIG.

このZ軸構戒43には、テストICセント機構44と測
定機構45とが設けられている。テスト!Cセット機構
44は、IC吸着ブロック441とこのブロック441
を着脱可能に保持する基台442とを有している。IC
吸着ブロック441には球状にくびれた4つの突起Tと
後述する吸引パイプ444との結合のためのパイプ受け
Uが形成されているとともに基台442の下面にはこれ
ら4つの突起Tとパイプ受けUとに結合するロック付き
凹部が形成されており着脱構造443を構成している.
基台442は、レール431を介してZ軸構成43にZ
軸方向に移動可能に支持されている.一方、IC吸着ブ
ロック441には吸着部441aが形成されており、こ
のIC吸着ブロック441を上記着脱構造443を介し
て基台442に取り付けた時、吸引パイプ444が上記
吸着部441aに結合するよう構或されている。従って
、吸引パイブ444が図示しない空気吸引ポンプと結合
してテストIC3をその吸着部441aにより保持する
ことができる。
This Z-axis structure 43 is provided with a test IC center mechanism 44 and a measurement mechanism 45. test! The C set mechanism 44 includes an IC adsorption block 441 and this block 441.
It has a base 442 that removably holds the. IC
The suction block 441 is formed with four spherically constricted projections T and a pipe holder U for coupling with a suction pipe 444, which will be described later. A recessed portion with a lock is formed to be connected to the recess, forming an attachment/detachment structure 443.
The base 442 connects to the Z-axis configuration 43 via the rail 431.
It is supported so that it can move in the axial direction. On the other hand, a suction section 441a is formed in the IC suction block 441, and when this IC suction block 441 is attached to the base 442 via the above-mentioned detachable structure 443, the suction pipe 444 is connected to the above-mentioned suction section 441a. It is structured. Therefore, the suction pipe 444 is coupled with an air suction pump (not shown), and the test IC 3 can be held by its suction portion 441a.

測定機横45は、測定ブロック451と、この測定プロ
ノク451を着脱可能に保持する基台452を有してい
る.この測定機構45の基台452はZ軸横成43に形
成されているレール432に沿って、上下(Z軸方向)
に移動可能な構成を有している。測定ブロンク451の
下部には、多数の測定ビン451aが設けられている。
The side of the measuring machine 45 has a measuring block 451 and a base 452 for detachably holding the measuring block 451. The base 452 of this measurement mechanism 45 is mounted vertically (in the Z-axis direction) along the rail 432 formed on the Z-axis horizontal structure 43.
It has a movable structure. A large number of measurement bins 451a are provided at the bottom of the measurement bronck 451.

なお、この測定ブロック451は、基台452に対して
着脱自在にその着脱構造453を介して取り付けられて
いる。なお、この着脱構造453は先に述べたテストI
Cセット機構44の着脱構造443と同様に構戒されて
いる. 今、第l図に示すようにx,y,zそれぞれの軸構或4
1,42、43により、バーインボードl上の目的のI
Cソケット2上に、テストICセット機構44が位置づ
けられたとする.テストICセット機構44は、Z軸構
成43によりZ軸下方に下降せられる。IC吸着ブロッ
ク441の側方下端部がICソケット2の上部構成を押
し下げ、その保持するテストIC3をその間口部に挿入
する。この時点で、吸引パイプ444による空気吸引を
停止し、テストIC3をICソケット2内に格納する。
Note that this measurement block 451 is detachably attached to a base 452 via an attachment/detachment structure 453. Note that this attachment/detachment structure 453 was tested in Test I mentioned earlier.
It is constructed in the same manner as the attachment/detachment structure 443 of the C set mechanism 44. Now, as shown in Figure 1, the x, y, and z axis configurations are
1, 42, 43, the objective I on the bar-inboard l
Assume that the test IC setting mechanism 44 is positioned on the C socket 2. The test IC setting mechanism 44 is lowered down the Z-axis by the Z-axis configuration 43. The lower side end of the IC suction block 441 pushes down the upper structure of the IC socket 2, and the test IC 3 held therein is inserted into the opening thereof. At this point, air suction by the suction pipe 444 is stopped, and the test IC 3 is stored in the IC socket 2.

テストICセット機構44を上昇させることにより、I
Cソケント2の接点群21(第2図)とテスl−[C3
の接点群31とを確実に接続させることができる。この
時点で、Z軸構戒34を矢印A方向に移動させてこのI
Cソケット2の直上に測定プロンク45’lを位置づけ
る.測定ブロック451を所定量だけZ軸下方にダウン
させ所定の圧力で多数の測定ビン45laをそれぞれI
Cソケット2に保持されたテストICの接点群31に接
触させる。この段階で、第3図に示す電気構成部を動作
させてこのICソケット2とバーインボード1との接続
の正否を測定する. この測定が終了すると、今度は次のICソケット2につ
いての測定を行うための!1!備動作を開始する.m定
ブロック451を上昇させ、再度、テストICセント機
構44を測定が終了したICソケット2の直上に位置づ
ける。そして、テストICセット機構44をダウンさせ
て目的のICソケット2の上部構造を押し下げテストl
c3をフリーにする.この時点で吸引パイプ444の吸
引動作を開始してテストIC3を吸着し、テストICセ
ット機構44を上昇させて、この準備動作が完了する. このような一連の測定動作を次々とバーインボードl上
に取り付けられたICソケット2のすべてについて行う
ことで、すべての測定動作が終了する. なお、この発明においては、テスIICセント機構44
および測定機構45とがそれぞれの基台442、452
に着脱構造443、453を介して着脱自在に保持され
るように構戒されている。
By raising the test IC setting mechanism 44, the I
Contact group 21 of C socket 2 (Fig. 2) and test l-[C3
The contact group 31 can be reliably connected to the contact group 31. At this point, move the Z-axis structure 34 in the direction of arrow A to
Position the measuring prong 45'l directly above the C socket 2. The measurement block 451 is moved down the Z-axis by a predetermined amount, and a large number of measurement bottles 45la are individually moved with a predetermined pressure.
It is brought into contact with the contact group 31 of the test IC held in the C socket 2. At this stage, the electrical components shown in FIG. 3 are operated to determine whether the connection between the IC socket 2 and the burn-in board 1 is correct or not. When this measurement is completed, it is time to measure the next IC socket 2! 1! Start preparations. The fixed block 451 is raised and the test IC centering mechanism 44 is again positioned directly above the IC socket 2 where the measurement has been completed. Then, the test IC setting mechanism 44 is lowered and the upper structure of the target IC socket 2 is pushed down to perform the test.
Make c3 free. At this point, the suction operation of the suction pipe 444 is started to adsorb the test IC 3, and the test IC setting mechanism 44 is raised to complete this preparatory operation. All measurement operations are completed by performing this series of measurement operations one after another for all the IC sockets 2 mounted on the burn-in board l. In addition, in this invention, the Tes IIC cent mechanism 44
and the measurement mechanism 45 on the respective bases 442 and 452.
It is configured to be detachably held via detachable structures 443 and 453.

従って、バーインボードlに取り付けられて測定されう
るICに応じたテストICセット機構44および測定機
構45を交換して用いることができる.この場合には、
これらをx,y,z軸に移動するコントローラの処理プ
ログラムを変更することがない利点がある. 〔発明の効果〕 以上、説明したように、本発明によればテストICをバ
ーインボードに取り付けられたICソケットに次々と装
着して個々のICソケットとバーインボードとの接続の
良否を判定するよう構威しているので確実な測定が可能
である.
Therefore, the test IC setting mechanism 44 and the measuring mechanism 45 can be used interchangeably depending on the IC that can be mounted on the bar-in board 1 and measured. In this case,
This has the advantage that there is no need to change the processing program of the controller that moves these in the x, y, and z axes. [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the test ICs are successively mounted on the IC sockets attached to the burn-in board to determine the quality of the connection between each IC socket and the burn-in board. This allows reliable measurements to be made.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図、第2図および第3図は、本発明に関わるバーイ
ンボードテスタを説明するそれぞれ説明図で、第1図は
本発明のバーインボードテスタの要部斜視図、第2図は
第1図に示すバーインボードテスタに通用されうるIC
ソケントまたはICの1例を示す構成斜視図、第3図は
第1図のバーインボードテスタの全体的構成を模式的に
示す構成図である。 1−−−−−−−−−バーインボード 2−−−一・川Cソケット 44−・−・−・−テストICセット機構45−・一一
−一−−測定機構
1, 2, and 3 are explanatory diagrams for explaining a bar-in-board tester according to the present invention. FIG. 1 is a perspective view of main parts of the bar-in-board tester of the present invention, and IC that can be used in the bar-inboard tester shown in the figure
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a sockent or IC, and FIG. 3 is a view schematically showing the overall structure of the bar-in-board tester shown in FIG. 1. 1-----------Bar-in-board 2----1・C socket 44-・--・--Test IC setting mechanism 45-・11-1--Measuring mechanism

Claims (1)

【特許請求の範囲】  多数のICを保持する多数のICソケットを有しこれ
らのICソケットに装着されたICを測定するために使
用されるバーインボードの良否を判定するバーインボー
ドテスタにおいて、 上記バーインボード上に取り付けられたICソケットの
それぞれに対して位置づけ可能なテスト用のICを保持
可能なテストICセット機構と上記テスト用のICがI
Cソケットに保持されている時上記テストICに接触可
能な測定ピンを有した測定機構とを設け、上記テストI
Cセット機構により所定のICソケットにテストICを
セットし、上記測定機構の測定ピンを当該ICソケット
の接点群または当該ICソケットに保持されたテストI
Cの接点群に接続させて、当該ICソケットと上記バー
インボードとの接続の良否を判定するよう構成されてな
るバーインボードテスタ。
[Claims] A burn-in board tester that has a large number of IC sockets holding a large number of ICs and is used to measure the ICs mounted on these IC sockets. A test IC set mechanism capable of holding test ICs that can be positioned with respect to each of the IC sockets installed on the board;
A measuring mechanism having a measuring pin that can be contacted with the test IC when held in the C socket is provided, and the test IC is
A test IC is set in a predetermined IC socket by the C setting mechanism, and the measurement pin of the measurement mechanism is connected to the contact group of the IC socket or the test IC held in the IC socket.
A burn-in board tester is configured to be connected to a contact group of C to determine whether the connection between the IC socket and the burn-in board is good or bad.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996009556A1 (en) * 1994-09-22 1996-03-28 Advantest Corporation Method and apparatus for automatic inspection of semiconductor device
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