JPH0316618B2 - - Google Patents
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- JPH0316618B2 JPH0316618B2 JP59187849A JP18784984A JPH0316618B2 JP H0316618 B2 JPH0316618 B2 JP H0316618B2 JP 59187849 A JP59187849 A JP 59187849A JP 18784984 A JP18784984 A JP 18784984A JP H0316618 B2 JPH0316618 B2 JP H0316618B2
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- JP
- Japan
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- gas
- detector
- metal block
- processing chamber
- suction pump
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、処理室から採取された熱い気体試料
の炭化水素濃度を特に測定し、且つ、濃度に対応
する電気的な監視信号を発生する装置に関する。
本装置は、処理室に設置可能で且つ適温にされる
採取ゾンデと、処理室の外に処理室の外縁に隣接
して設置される炭化水素検出器、たとえば炎イオ
ン化検出器と、気体試料の採取のための吸上ポン
プとを備えている。
の炭化水素濃度を特に測定し、且つ、濃度に対応
する電気的な監視信号を発生する装置に関する。
本装置は、処理室に設置可能で且つ適温にされる
採取ゾンデと、処理室の外に処理室の外縁に隣接
して設置される炭化水素検出器、たとえば炎イオ
ン化検出器と、気体試料の採取のための吸上ポン
プとを備えている。
(従来技術)
この種の装置は、たとえば、工業的な塗装工場
の乾燥機の炉室内での炭化水素濃度の監視に適用
される。爆発の危険を避けるために、炭化水素の
濃度は、このような処理室内で所定の値を越えて
はならない。測定装置を用いると、許容値以上へ
の濃度の上昇が確定されると、工場での作業が中
止される。
の乾燥機の炉室内での炭化水素濃度の監視に適用
される。爆発の危険を避けるために、炭化水素の
濃度は、このような処理室内で所定の値を越えて
はならない。測定装置を用いると、許容値以上へ
の濃度の上昇が確定されると、工場での作業が中
止される。
(発明の解決すべき問題点)
処理室から採取される気体試料の温度は、しば
しば250℃かそれ以上であるので、検出器への輸
送路で、気体がより冷たい表面と接触して有機物
蒸気が凝縮するということがないように保証しな
ければならない。このため、炭化水素検出器は、
優先的に処理室の外縁に隣接して配置され、気体
試料に対する輸送路が処理室から検出器まで最短
にされる。測定結果を著しく変質する有機物の凝
縮を避けるため、気体試料と接触しつつあり困難
を生じさせるすべての部分は、一様に時間的な遅
れなしに適温にされねばならない。したがつて、
特に、気体試料が採取ゾンデを通過した後に分析
室に入るときに、分析室では、気体導入部は、熱
い空気で適温にされるが、空気は悪い熱伝導率を
示すので、分析室の各部分での一様な温度分布が
保証されない。
しば250℃かそれ以上であるので、検出器への輸
送路で、気体がより冷たい表面と接触して有機物
蒸気が凝縮するということがないように保証しな
ければならない。このため、炭化水素検出器は、
優先的に処理室の外縁に隣接して配置され、気体
試料に対する輸送路が処理室から検出器まで最短
にされる。測定結果を著しく変質する有機物の凝
縮を避けるため、気体試料と接触しつつあり困難
を生じさせるすべての部分は、一様に時間的な遅
れなしに適温にされねばならない。したがつて、
特に、気体試料が採取ゾンデを通過した後に分析
室に入るときに、分析室では、気体導入部は、熱
い空気で適温にされるが、空気は悪い熱伝導率を
示すので、分析室の各部分での一様な温度分布が
保証されない。
この種の周知の装置のもう一つの欠点は、検出
器での気体試料の分析の後で、気体出口で気体の
凝縮物が生じることである。
器での気体試料の分析の後で、気体出口で気体の
凝縮物が生じることである。
本発明の課題は、検出器によつて測定された気
体試料の炭化水素濃度が処理室での炭化水素濃度
と正確に一致するような測定装置を提供すること
である。
体試料の炭化水素濃度が処理室での炭化水素濃度
と正確に一致するような測定装置を提供すること
である。
(問題点を解決するための手段)
この課題は、本発明により以下のように解決さ
れる。
れる。
処理室から採取された高温の気体試料中の特に
炭化水素濃度を測定し且つこの濃度に対応する電
気信号を発生する装置であつて、該装置は処理室
内に一端が挿入されていて、所定の温度に維持さ
れる採取ゾンデと、この処理室の外壁に隣接して
配置される炭化水素検出器と、気体試料を吸引す
るための吸引ポンプと、上記の処理室の外部に存
在する上記の各部品を取囲む熱絶縁性のハウジン
グとを備えており、上記ハウジング内には、所定
の温度に保持される金属ブロツクが備えられてお
り、この金属ブロツクは、少くとも検出器を一体
的に支持するとともに、測定気体導入部を備え、
この測定気体導入部は上記の採取ゾンデから上記
の検出器へ気体試料を移送するものであり、処理
室内にある上記の採取ゾンデの一端に直結され、
上記の金属ブロツク内に穿孔として形成される。
炭化水素濃度を測定し且つこの濃度に対応する電
気信号を発生する装置であつて、該装置は処理室
内に一端が挿入されていて、所定の温度に維持さ
れる採取ゾンデと、この処理室の外壁に隣接して
配置される炭化水素検出器と、気体試料を吸引す
るための吸引ポンプと、上記の処理室の外部に存
在する上記の各部品を取囲む熱絶縁性のハウジン
グとを備えており、上記ハウジング内には、所定
の温度に保持される金属ブロツクが備えられてお
り、この金属ブロツクは、少くとも検出器を一体
的に支持するとともに、測定気体導入部を備え、
この測定気体導入部は上記の採取ゾンデから上記
の検出器へ気体試料を移送するものであり、処理
室内にある上記の採取ゾンデの一端に直結され、
上記の金属ブロツク内に穿孔として形成される。
(作用)
本発明により、適温にすることが可能な金属ブ
ロツクは、金属の良熱伝導度のために均一な温度
分布を生じ、すべての測定気体導入部を採取ゾン
デと検出器との間の輸送路内に収容する。このた
め、測定気体が接触するようになるすべての部分
が金属ブロツクと同じ温度を有し、したがつて、
測定結果を変化させる凝縮は生じない。
ロツクは、金属の良熱伝導度のために均一な温度
分布を生じ、すべての測定気体導入部を採取ゾン
デと検出器との間の輸送路内に収容する。このた
め、測定気体が接触するようになるすべての部分
が金属ブロツクと同じ温度を有し、したがつて、
測定結果を変化させる凝縮は生じない。
(実施例)
本発明の好ましい構造において、金属ブロツク
には、吸上ポンプが処理室と検出器との間の気体
試料の通路に配置される。
には、吸上ポンプが処理室と検出器との間の気体
試料の通路に配置される。
金属ブロツクは、完全で一体に形成され、個々
の構成部分、すなわち、検出器、吸上ポンプ、気
体フイルタ等は、金属ブロツクの穿孔内に挿入可
能である。
の構成部分、すなわち、検出器、吸上ポンプ、気
体フイルタ等は、金属ブロツクの穿孔内に挿入可
能である。
また、本発明の好ましい実施例においては、金
属ブロツクは2個の分割可能な部分からなり、一
方の部品には検出器が、他方には吸上ポンプが吸
容される。両部品は、相互に良い熱的接触を保つ
て結合することができるので、金属ブロツク全体
を加熱するために、唯一の放熱体だけで十分であ
る。
属ブロツクは2個の分割可能な部分からなり、一
方の部品には検出器が、他方には吸上ポンプが吸
容される。両部品は、相互に良い熱的接触を保つ
て結合することができるので、金属ブロツク全体
を加熱するために、唯一の放熱体だけで十分であ
る。
加熱のために必要な熱伝導は、金属ブロツクが
周囲絶縁体を備えていることにより、減少する。
周囲絶縁体を備えていることにより、減少する。
本発明による装置においては、検出器として、
通常、周知の炎イオン化検出器が役立つ。この検
出器において、電場が炭化水素を含まない空気の
供給の下で燃焼する純水素炎に印加される。気体
試料は炎中に導入され、そこでイオン形成が著し
く行われ、電場中で電流が生じる。増幅された電
流信号は、気体試料中の炭化水素濃度に対する尺
度である。
通常、周知の炎イオン化検出器が役立つ。この検
出器において、電場が炭化水素を含まない空気の
供給の下で燃焼する純水素炎に印加される。気体
試料は炎中に導入され、そこでイオン形成が著し
く行われ、電場中で電流が生じる。増幅された電
流信号は、気体試料中の炭化水素濃度に対する尺
度である。
炎中に導入される気体の量は、比較的にわずか
で、典型的にはml/minになる。
で、典型的にはml/minになる。
本発明の好ましい構成において、正確な測定結
果を得るために、本質的により多い気体の量が処
理室から吸上ポンプによつて採取され、測定気体
は吸上ポンプの圧力側で2本の通路に分割され
る。第一の通路は、検出器に通じ、そして、第二
の通路は、処理室に戻る。第二の通路における気
体の流れは、気体を炎へ導く第一の通路における
よりも著しく大きい。
果を得るために、本質的により多い気体の量が処
理室から吸上ポンプによつて採取され、測定気体
は吸上ポンプの圧力側で2本の通路に分割され
る。第一の通路は、検出器に通じ、そして、第二
の通路は、処理室に戻る。第二の通路における気
体の流れは、気体を炎へ導く第一の通路における
よりも著しく大きい。
安定な気体の流れを達成するために、各通路は
それぞれ毛管を備えている。
それぞれ毛管を備えている。
本発明の好ましい実施例において、吸上ポンプ
の圧力側に予め設けられた圧力スイツチがポンプ
の圧力落差の低下の際に乱れ信号を発生すること
により、測定装置の安全性が高められる。
の圧力側に予め設けられた圧力スイツチがポンプ
の圧力落差の低下の際に乱れ信号を発生すること
により、測定装置の安全性が高められる。
吸上ポンプの圧力側での圧力の安定化のため
と、検出器の炎への第一の通路への気体の流れの
定常性を保つために、本発明の構成においては、
制御空気系が予め備えられ、第二の通路における
定常的な流れが減圧弁により調節される。
と、検出器の炎への第一の通路への気体の流れの
定常性を保つために、本発明の構成においては、
制御空気系が予め備えられ、第二の通路における
定常的な流れが減圧弁により調節される。
検出器の信頼でき再現性のある較正のために、
本発明の好ましい実施例においては、炎の燃焼気
体(H2)と燃焼空気とのための各接続点の他に、
また、炭化水素を含まない気体のための接続点と
所定の炭化水素濃度を有する気体の接続点とが、
炎の方に導かれて結合可能に設けてある。清浄な
空気は、炭化水素を含まない気体として用いるこ
とができる。
本発明の好ましい実施例においては、炎の燃焼気
体(H2)と燃焼空気とのための各接続点の他に、
また、炭化水素を含まない気体のための接続点と
所定の炭化水素濃度を有する気体の接続点とが、
炎の方に導かれて結合可能に設けてある。清浄な
空気は、炭化水素を含まない気体として用いるこ
とができる。
本発明の実施例において、測定装置の完全で全
自動的な特別監視が、採取された気体試料の量が
予め定められた値に達しないときに信号が発生さ
れるように行われる。このため、処理室からの気
体が炎中で断えず解析されることが保証される。
自動的な特別監視が、採取された気体試料の量が
予め定められた値に達しないときに信号が発生さ
れるように行われる。このため、処理室からの気
体が炎中で断えず解析されることが保証される。
測定装置の安全性は、また、次ようにして高め
られる。検出器の出力信号は、ある予定値で監視
され、検出器または吸上ポンプ等の突然の作動停
止の際に警告信号が出力される。
られる。検出器の出力信号は、ある予定値で監視
され、検出器または吸上ポンプ等の突然の作動停
止の際に警告信号が出力される。
本発明の実施例が、以下に添付した図面を参照
して説明される。
して説明される。
第1図は、測定装置の金属ブロツク10を示
す。検出器12(炎イオン化検出器)が金属ブロ
ツク10に挿入されている。金属ブロツク10
は、図示しない処理室の縁部に直接に隣接して取
り付けられ、そして、吸上ポンプ14が備えられ
る。吸上ポンプ14は、図示しない採取ゾンデを
経て処理室からの気体試料を金属ブロツク10に
吸引する。吸上ポンプ14の原動部は、第1図に
参照番号16で示される。
す。検出器12(炎イオン化検出器)が金属ブロ
ツク10に挿入されている。金属ブロツク10
は、図示しない処理室の縁部に直接に隣接して取
り付けられ、そして、吸上ポンプ14が備えられ
る。吸上ポンプ14は、図示しない採取ゾンデを
経て処理室からの気体試料を金属ブロツク10に
吸引する。吸上ポンプ14の原動部は、第1図に
参照番号16で示される。
金属ブロツク10は、第1図と第2図とに示す
ように、2個の部品18,20に分割される。両
部品は、ねじにより相互に良い熱接触を保つて結
合できる、放熱体22は、金属ブロツク部品18
に挿入可能であり、全金属ブロツクを均一に熱す
る。
ように、2個の部品18,20に分割される。両
部品は、ねじにより相互に良い熱接触を保つて結
合できる、放熱体22は、金属ブロツク部品18
に挿入可能であり、全金属ブロツクを均一に熱す
る。
気体フイルタ24は、パツキンとクランプリン
グ46により金属ブロツク10内に固定され、矢
印48で示される測定気体の通路の入口にある。
グ46により金属ブロツク10内に固定され、矢
印48で示される測定気体の通路の入口にある。
測定気体は、第1図の矢印48の方向に金属ブロ
ツク10内に入る。
ツク10内に入る。
第2図は、測定装置を通つての測定気体の通路
のそれ以上の延長を示す。測定気体は、金属ブロ
ツク部品20内に収容された吸上ポンプ14を通
り、金属ブロツクを毛管K1から炎イオン化検出
器12へ導かれる。吸上ポンプ14は、膜40を
有する膜ポンプとして形成される。炎イオン化検
出器12は、金属ブロツク10内の穿孔中に挿入
される。第1図において、周囲絶縁物34が、金
属ブロツク10に対する上蓋42と共に示されて
いる。この周囲絶縁物34は、放熱体22により
生じる加熱効率を減少させる。金属ブロツク10
の温度は、温度センサ44により検出される。金
属ブロツク10の両部品18,20は、金属ブロ
ツク部品20が遅延なく金属ブロツク部品18の
温度になるように、パツキン56により相互に結
合可能である。
のそれ以上の延長を示す。測定気体は、金属ブロ
ツク部品20内に収容された吸上ポンプ14を通
り、金属ブロツクを毛管K1から炎イオン化検出
器12へ導かれる。吸上ポンプ14は、膜40を
有する膜ポンプとして形成される。炎イオン化検
出器12は、金属ブロツク10内の穿孔中に挿入
される。第1図において、周囲絶縁物34が、金
属ブロツク10に対する上蓋42と共に示されて
いる。この周囲絶縁物34は、放熱体22により
生じる加熱効率を減少させる。金属ブロツク10
の温度は、温度センサ44により検出される。金
属ブロツク10の両部品18,20は、金属ブロ
ツク部品20が遅延なく金属ブロツク部品18の
温度になるように、パツキン56により相互に結
合可能である。
第3図に、測定気体や他の気体の配管系が示さ
れる。測定気体は、吸上ポンプ14の作用によ
り、矢印48(第1図と第2図とをも参照せよ)
により気体フイルタ24を通つて金属ブロツク1
0に入る。吸上ポンプ14の圧力側で、気体の流
れは2つの部分に分かれる。毛管K1を含む配管
26においては、約20ml/minの小さな流れが検
出器12の方へ流れ、そこで、炎イオン化検出器
の炎を生じる。吸上げられた気体の流れのうち約
1.6/minの大きな流れが、毛管K2を含む配管
28を通つて図示しない処理室へ戻る。
れる。測定気体は、吸上ポンプ14の作用によ
り、矢印48(第1図と第2図とをも参照せよ)
により気体フイルタ24を通つて金属ブロツク1
0に入る。吸上ポンプ14の圧力側で、気体の流
れは2つの部分に分かれる。毛管K1を含む配管
26においては、約20ml/minの小さな流れが検
出器12の方へ流れ、そこで、炎イオン化検出器
の炎を生じる。吸上げられた気体の流れのうち約
1.6/minの大きな流れが、毛管K2を含む配管
28を通つて図示しない処理室へ戻る。
検出器12に達する気体の量は、毛管K1での
圧力差に依存する。毛管K1の二次側は、検出器
12に接続され、事実上、大気圧の下にある。こ
のため、毛管K1を流れる気体の量は、主に一次
側の圧力の関数であり、この圧力は、吸上ポンプ
14の圧力落差により決定される。しかし、吸上
ポンプ14のこの圧力落差は、空気フイルタ24
での抵抗やポンプの輸送能率等の若干の測定因子
と共に変化する。したがつて、毛管K1を流れる
気体試料の量の安定化のために、空気制御系が設
けられる。この系は、本質的に、毛管K4と減圧
弁D1とからなる。約1.6/minのポンプ効率と
0.8/minの減圧弁D1により設定される制御空
気量とで約0.2バールの圧力落差が生じるように、
毛管K2の大きさが定められる。約0.8/minの
最小値以上では、吸上ポンプ14の輸送量が低く
なると、減圧弁D1が自動的に調節し、約0.2バー
ルの圧力落差に戻す。吸上ポンプ14の輸送量が
さらに低下すると、減圧弁D1は、なお制御を試
みる。しかし、このためには、毛管K4を通つて
空気の量が常により多いことが必要である。吸上
ポンプ14の後での所定の圧力低下の下では、不
十分な量の気体が毛管K4を通つて流れるので、
減圧弁D1での最小入力圧力はもはや生じず、吸
上ポンプ14の後での圧力落差は明らかに低下す
る。この圧力低下は、圧力スイツチ30により検
出され、乱れとして出力される。
圧力差に依存する。毛管K1の二次側は、検出器
12に接続され、事実上、大気圧の下にある。こ
のため、毛管K1を流れる気体の量は、主に一次
側の圧力の関数であり、この圧力は、吸上ポンプ
14の圧力落差により決定される。しかし、吸上
ポンプ14のこの圧力落差は、空気フイルタ24
での抵抗やポンプの輸送能率等の若干の測定因子
と共に変化する。したがつて、毛管K1を流れる
気体試料の量の安定化のために、空気制御系が設
けられる。この系は、本質的に、毛管K4と減圧
弁D1とからなる。約1.6/minのポンプ効率と
0.8/minの減圧弁D1により設定される制御空
気量とで約0.2バールの圧力落差が生じるように、
毛管K2の大きさが定められる。約0.8/minの
最小値以上では、吸上ポンプ14の輸送量が低く
なると、減圧弁D1が自動的に調節し、約0.2バー
ルの圧力落差に戻す。吸上ポンプ14の輸送量が
さらに低下すると、減圧弁D1は、なお制御を試
みる。しかし、このためには、毛管K4を通つて
空気の量が常により多いことが必要である。吸上
ポンプ14の後での所定の圧力低下の下では、不
十分な量の気体が毛管K4を通つて流れるので、
減圧弁D1での最小入力圧力はもはや生じず、吸
上ポンプ14の後での圧力落差は明らかに低下す
る。この圧力低下は、圧力スイツチ30により検
出され、乱れとして出力される。
すべての毛管は、第3図において、K1からK5
までの参照記号で表示され、配管中に設置され
る。P1からP5までの参照記号は、圧力測定装置
を示し、配管系での異つた場所での気体圧力を検
出する。R1からR3までの参照記号は、バルブを
示し、一方、電磁弁はMV1とMV3までの参照記
号で示される。
までの参照記号で表示され、配管中に設置され
る。P1からP5までの参照記号は、圧力測定装置
を示し、配管系での異つた場所での気体圧力を検
出する。R1からR3までの参照記号は、バルブを
示し、一方、電磁弁はMV1とMV3までの参照記
号で示される。
測定装置の較正は、したがつて、気体試料中の
炭化水素濃度を決定するための、炎イオン化検出
器により測定される流れを割当ては、以下で第3
図にそつて説明される。本装置は、(矢印48に
対応する気体試料の接続点の他に)3個の気体接
続点32,36,38を用いる。本装置における
加圧空気は、接続点32に供給され、一方では、
炎の連続的な生成のための燃焼空気として役立
ち、他方では、検出器の較正のための炭化水素を
含まない空気に適している。本装置における炎の
燃焼気体(H2)は、接続点36に達し、一方、
いわゆる較正気体すなわち所定の炭化水素濃度を
有する気体が、接続点38で検出器の炎へ供給さ
れる。検出器の較出は、2個の比較気体すなわち
上記の炭化水素を含まない気体と較正気体との順
次の接続によりなされる。この気体の接続は、そ
れぞれ、電磁弁MV1とMV2の作動によりなされ
る。較正気体の供給は、吸上ポンプが輸送できる
以上の気体が本装置に供給されるようになされ
る。過剰の気体は、矢印48の方向と反対側に処
理室の方へ流れる。
炭化水素濃度を決定するための、炎イオン化検出
器により測定される流れを割当ては、以下で第3
図にそつて説明される。本装置は、(矢印48に
対応する気体試料の接続点の他に)3個の気体接
続点32,36,38を用いる。本装置における
加圧空気は、接続点32に供給され、一方では、
炎の連続的な生成のための燃焼空気として役立
ち、他方では、検出器の較正のための炭化水素を
含まない空気に適している。本装置における炎の
燃焼気体(H2)は、接続点36に達し、一方、
いわゆる較正気体すなわち所定の炭化水素濃度を
有する気体が、接続点38で検出器の炎へ供給さ
れる。検出器の較出は、2個の比較気体すなわち
上記の炭化水素を含まない気体と較正気体との順
次の接続によりなされる。この気体の接続は、そ
れぞれ、電磁弁MV1とMV2の作動によりなされ
る。較正気体の供給は、吸上ポンプが輸送できる
以上の気体が本装置に供給されるようになされ
る。過剰の気体は、矢印48の方向と反対側に処
理室の方へ流れる。
弁R2は、燃焼空気の量の調節に役立つ。減圧
弁D2と弁R1,R2とは、炎への燃焼気体の流れの
調節と定常化とに役立つ。燃焼気体は、接続点3
6と通路50とを流れる。
弁D2と弁R1,R2とは、炎への燃焼気体の流れの
調節と定常化とに役立つ。燃焼気体は、接続点3
6と通路50とを流れる。
(発明の効果)
本発明により、気体試料中の気体成分の濃度が
正確に検出できる。
正確に検出できる。
第1図は、本発明に係る測定装置の分解図であ
る。第2図は、測定装置の金属ブロツクの分解図
である。第3図は、測定装置の気体導入部の図式
的な図である。 10……金属ブロツク、12……検出器、14
……吸上ポンプ、16……吸上ポンプの原動部、
18,20……金属ブロツクの部品、22……放
熱体、24……気体フイルタ、26,28……配
管、30……圧力スイツチ、32……接続点、3
4……絶縁物、36,38……接続点、40……
膜、42……上蓋、44……温度センサ、46…
…パツキンとクランプリング、48,50……通
路、52……パツキン、54……穿孔、56……
パツキン、58……配管、K1,K2,…,K6……
毛管、MV1,MV2,MV3……電磁弁、P1,P2,
…,P5……圧力測定装置、D1,D2,D3……減圧
弁、R1,R2,R3……バルブ。
る。第2図は、測定装置の金属ブロツクの分解図
である。第3図は、測定装置の気体導入部の図式
的な図である。 10……金属ブロツク、12……検出器、14
……吸上ポンプ、16……吸上ポンプの原動部、
18,20……金属ブロツクの部品、22……放
熱体、24……気体フイルタ、26,28……配
管、30……圧力スイツチ、32……接続点、3
4……絶縁物、36,38……接続点、40……
膜、42……上蓋、44……温度センサ、46…
…パツキンとクランプリング、48,50……通
路、52……パツキン、54……穿孔、56……
パツキン、58……配管、K1,K2,…,K6……
毛管、MV1,MV2,MV3……電磁弁、P1,P2,
…,P5……圧力測定装置、D1,D2,D3……減圧
弁、R1,R2,R3……バルブ。
Claims (1)
- 1 処理室から採取された高温の気体試料中の特
に炭化水素濃度を測定し且つこの濃度に対応する
電気信号を発生する装置であつて、該装置は処理
室内に一端が挿入されていて、所定の温度に維持
される採取ゾンデと、この処理室の外壁に隣接し
て配置される炭化水素検出器と、気体試料を吸引
するための吸引ポンプと、上記の処理室の外部に
存在する上記の各部品を取囲む熱絶縁性のハウジ
ングとを備えており、上記ハウジング内には、所
定の温度に保持される金属ブロツクが備えられて
おり、この金属ブロツクは、少くとも検出器を一
体的に支持するとともに、測定気体導入部を備
え、この測定気体導入部は上記の採取ゾンデから
上記の検出器へ気体試料を移送するものであり、
処理室内にある上記の採取ゾンデの一端に直結さ
れ、上記の金属ブロツク内に穿孔として形成され
ていることを特徴とする気体成分測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| DE3426329.2 | 1984-07-17 | ||
| DE3426329A DE3426329C2 (de) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | Vorrichtung zum Messen insbesondere der Kohlenwasserstoffkonzentration in einer aus einer Prozeßkammer entnommenen heißen Gasprobe |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6126854A JPS6126854A (ja) | 1986-02-06 |
| JPH0316618B2 true JPH0316618B2 (ja) | 1991-03-06 |
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|---|---|---|---|
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-
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