JPH03165700A - Manufacture of ultrasonic probe - Google Patents

Manufacture of ultrasonic probe

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Publication number
JPH03165700A
JPH03165700A JP30592789A JP30592789A JPH03165700A JP H03165700 A JPH03165700 A JP H03165700A JP 30592789 A JP30592789 A JP 30592789A JP 30592789 A JP30592789 A JP 30592789A JP H03165700 A JPH03165700 A JP H03165700A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
matching layer
acoustic matching
sheet
ultrasonic
layer member
Prior art date
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Pending
Application number
JP30592789A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Mizuguchi
悟 水口
Makoto Tanpo
反保 誠
Mikio Izumi
美喜雄 泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Healthcare Manufacturing Ltd
Original Assignee
Hitachi Medical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Medical Corp filed Critical Hitachi Medical Corp
Priority to JP30592789A priority Critical patent/JPH03165700A/en
Publication of JPH03165700A publication Critical patent/JPH03165700A/en
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Abstract

PURPOSE:To shorten time for manufacturing an ultrasonic probe by producing a sheet-shaped sound matching layer member and adhering it onto the main surface of a vibrator group by an adhesive when a vibrator is worked. CONSTITUTION:When an ultrasonic vibrator 11 is worked to a prescribed dimension, a sound matching member is worked to the 1/4 odd-number times thickness of a wavelength for a frequency to be used and a sheet-shaped sound matching layer member 13 is formed. On the upper surface of a supporting stand composed of an ultrasonic sound absorbing material, the ultrasonic vibrators 11 are arranged in the shape of an array so as to form the vibrator group, and on the main surface of the vibrator group, the sheet-shaped sound matching layer member 13 is adhered by the adhesive, Then, lead wires are connected to the respective ultrasonic vibrators. Thus, the time can be shortened for manufacturing the ultrasonic probe and the sound matching layer can be easily provided.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超音波探触子の製造方法に関し、特に、超音
波探触子における音響整合層と振動子の製造方法に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing an ultrasound probe, and particularly to a method for manufacturing an acoustic matching layer and a transducer in an ultrasound probe.

〔従来技術〕[Prior art]

従来、超音波探触子の音響整合層は、一般には、λ/4
の厚さで使用されている。
Conventionally, the acoustic matching layer of an ultrasound probe is generally λ/4
It is used in thicknesses of

また、前記音響整合層と振動子は、例えば、特公昭57
−22580号公報に示すように、はぼ同じ大きさであ
った。
Further, the acoustic matching layer and the vibrator may be, for example,
As shown in Japanese Patent No. 22580, they were approximately the same size.

、また、前記音響整合層は、第10図に示すように、超
音波吸音材からなる支持台2の上に振動子1を配列し、
その上に音響整合層の素材3を流し込み、研摩等により
、所定の厚み例えば波長λの1/4の音響整合層3Aに
仕上げていた。
In addition, the acoustic matching layer has vibrators 1 arranged on a support base 2 made of an ultrasonic sound absorbing material, as shown in FIG.
A material 3 for the acoustic matching layer is poured thereon and polished to form an acoustic matching layer 3A having a predetermined thickness, for example, 1/4 of the wavelength λ.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、前記従来技術では、前記音響整合層の厚
さをλ/4にするための加工作業が大変であり、また、
そのため時間が長くかかるという問題があった。
However, in the conventional technology, processing work to make the thickness of the acoustic matching layer λ/4 is difficult, and
Therefore, there was a problem that it took a long time.

また、被検体との接触面が曲線状の超音波探触子(カー
ブ状に配列された振動子群)においては、前記作業がさ
らに困難であるという問題があった。
Further, in the case of an ultrasonic probe (a group of transducers arranged in a curved manner) whose contact surface with the subject is curved, there is a problem in that the above-mentioned operation is even more difficult.

本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
ある。
The present invention has been made to solve the above problems.

本発明の目的は、超音波探触子の組立時間を短縮するこ
とができる技術を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a technique that can shorten the assembly time of an ultrasound probe.

本発明の他の目的は、超音波振動子と音響整合層との接
着力を向上することができる技術を提供することにある
Another object of the present invention is to provide a technique that can improve the adhesive force between an ultrasonic transducer and an acoustic matching layer.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は1本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前記目的を達成するために、本発明は、超音波探触子の
製造方法において、超音波振動子を所定寸法に加工する
時点に、あらかじめ音響整合材を使用される周波数の波
長λの174の奇数倍((2n+1)λ/4.n=o、
1,2,3・・・・n)の厚さに加工してシート状音響
整合層部材にしておき、超音波吸音材からなる支持台の
上面に前記超音波振動子をアレイ状に配列して振動子群
を形成し、その振動子群の主面上に前記シート状音響整
合層部材を接着剤で接着し、各超音波振動子にリード線
を接続することを最も主要な特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for manufacturing an ultrasonic probe, in which an acoustic matching material is used in advance to process an ultrasonic transducer into a predetermined size. Odd number times ((2n+1)λ/4.n=o,
1, 2, 3...n) into a sheet-like acoustic matching layer member, and the ultrasonic transducers are arranged in an array on the upper surface of a support made of an ultrasonic sound absorbing material. The most important feature is that a group of ultrasonic transducers is formed, the sheet-like acoustic matching layer member is adhered to the main surface of the group of transducers with an adhesive, and a lead wire is connected to each ultrasonic transducer. .

また、前記振動子群の主面の面積より大きい面積のシー
ト状音響整合層部材で振動子群を包み込むことを特徴と
する。
Further, the vibrator group is wrapped in a sheet-like acoustic matching layer member having an area larger than the area of the main surface of the vibrator group.

また、前記支持台上に配列した振動子群のうち両側端の
振動子の側端上部にアール又は面取りを形成し、前記振
動子群の主面上に前記シート状音響整合層部材を前記ア
ール又は面取りに沿って折り曲げて側面を覆い接着剤で
接着することを特徴とする。
Furthermore, a radius or a chamfer is formed on the upper side ends of the vibrators at both ends of the vibrator group arranged on the support base, and the sheet-like acoustic matching layer member is placed on the main surface of the vibrator group. Alternatively, it is characterized by being bent along the chamfer, covering the sides, and bonding with adhesive.

〔作 用〕[For production]

前述の手段によれば、振動子を加工する時点に。 According to the aforementioned means, at the time of processing the vibrator.

−緒に製作しておき、振動子群の上面に接着剤で接着す
るので、あらかじめ音響整合層を使用される周波数の波
長λの174の奇数倍((2n+1)λ/4.n=0,
1,2,3・・・・n)の厚さのシート状(薄板状)に
加工しておき、超音波吸音材からなる支持台の上面に前
記超音波振動子をアレイ状に配列して振動子群を形成し
、その振動子群の主面上に前記シート状音響整合層部材
を接着剤で接着し、各超音波振動子にリード線を接続す
るので、超音波探触子の製造時間の短縮をはかることが
できる。
- Since the acoustic matching layer is manufactured at the same time and bonded with adhesive to the top surface of the transducer group, an acoustic matching layer is attached in advance to an odd number multiple of 174 of the wavelength λ of the frequency to be used ((2n+1)λ/4.n=0,
The ultrasonic transducers are arranged in an array on the top surface of a support made of an ultrasonic sound absorbing material. A transducer group is formed, the sheet-like acoustic matching layer member is glued onto the main surface of the transducer group, and a lead wire is connected to each ultrasonic transducer, so that the ultrasonic probe can be manufactured. It is possible to shorten the time.

また、カーブ状に振動子を配列した振動子群においても
、その振動子群の主面上にシート状音響整合層部材を接
着することにより、容易に音響整合層を設けることがで
きる。
Further, even in a vibrator group in which vibrators are arranged in a curved shape, an acoustic matching layer can be easily provided by adhering a sheet-shaped acoustic matching layer member onto the main surface of the vibrator group.

また、シート状音響整合層部材で振動子群を包み込む構
造、また、折り曲げ構造とすることにより、シート状音
響整合層部材の接着面積が広がるので、音響整合層の接
着力を向上させることができる。
In addition, by adopting a structure in which the sheet-shaped acoustic matching layer member wraps around the transducer group, or a folding structure, the adhesion area of the sheet-shaped acoustic matching layer member is expanded, so that the adhesive strength of the acoustic matching layer can be improved. .

以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be specifically described using the drawings.

なお、実施例を説明するための全回において。In addition, in all the times for explaining the example.

同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。
Components having the same function are given the same reference numerals, and repeated explanations thereof will be omitted.

C実施例1〕 第1図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例1
を説明するための図である。
C Example 1] FIG. 1 shows Example 1 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
FIG.

第1図に示すように、本発明の超音波探触子の製造方法
は、超音波振動子11の加工(例えば、振動子の切断)
を行っている時に、同時に前記シート状音響整合層部材
13を、使用される周波数の波長λの1/4の奇数倍の
厚さ((2n+1)λ/4、n=o、1,2.3・・・
・n)に加工してシート状音響整合層部材13を製作し
ておく。
As shown in FIG. 1, the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention includes processing an ultrasonic transducer 11 (for example, cutting the transducer).
At the same time, the sheet-like acoustic matching layer member 13 is coated to a thickness that is an odd number multiple of 1/4 of the wavelength λ of the frequency used ((2n+1)λ/4, n=o, 1, 2 . 3...
・The sheet-like acoustic matching layer member 13 is manufactured by processing the material into n).

このシート状音響整合層部材13の製作方法としては、
基台に音響整合層用素材を流し込み、それを硬化させ、
所定の厚さや所定の寸法に加工する。
The method for manufacturing this sheet-like acoustic matching layer member 13 is as follows:
Pour the material for the acoustic matching layer into the base, harden it,
It is processed to a predetermined thickness and dimensions.

次に、超音波吸音材からなる支持台12の上面に加工さ
れた超音波振動子11をアレイ状に配列して振動子群1
1Aを形成し、その上面に使用される周波数の波長λの
1/4の奇数倍の厚さに加工されたシート状音響整合層
部材13を接着剤14で接着し、リード線(図示してい
ない)を接続して超音波探触子を完成する。
Next, the ultrasonic transducers 11 processed on the upper surface of the support base 12 made of an ultrasonic sound absorbing material are arranged in an array to form a transducer group 1.
1A, a sheet-like acoustic matching layer member 13 processed to have a thickness equal to an odd multiple of 1/4 of the wavelength λ of the frequency to be used is adhered to the upper surface with an adhesive 14, and a lead wire (not shown) (not included) to complete the ultrasound probe.

前記シート状音響整合層部材13の素材は、例えば、エ
ポキシ系樹脂を用いる。
The material for the sheet-like acoustic matching layer member 13 is, for example, epoxy resin.

そして、前記シート状音響整合層部材13は、超音波振
動子11の音響インピーダンスス工(2=ρCで表わさ
れ、ρは密度、Cは音速である)と生体の音響インピー
ダンスZ2の積(Z工・Z2)の平方根で求められる音
響インピーダンスをもち、使用される周波数での波長λ
の174の奇数倍の厚さに加工される。
The sheet-like acoustic matching layer member 13 is formed by the product of the acoustic impedance factor (2=ρC, where ρ is the density and C is the sound speed) of the ultrasonic transducer 11 and the acoustic impedance Z2 of the living body ( It has an acoustic impedance determined by the square root of Z and Z2) and the wavelength λ at the frequency used.
The thickness is an odd multiple of 174.

一般には、λ/4の厚みで使用され、例えば、音速が3
00m/sの材料を5MHzで用いる厚みは150μm
となる。
Generally, it is used with a thickness of λ/4, for example, when the sound speed is 3
The thickness of 00 m/s material used at 5 MHz is 150 μm.
becomes.

また、接着剤14は、前記シート状音響整合層部材13
と音響インピーダンスが近いものを用い、その厚さは、
10μ以下とする。
Further, the adhesive 14 is applied to the sheet-like acoustic matching layer member 13.
A material with acoustic impedance close to that of
It should be 10μ or less.

前述の説明かられかるように、本実施例によれば、超音
波振動子11の加工(例えば、振動子の切断)を行って
いる時に、同時にシート状音響整合層部材13の素材を
、使用される周波数の波長λの1/4の奇数倍の厚さで
所定の寸法に加工して製作しておき、前記超音波探触子
の組立を行うだけであるので、その製造時間を短縮する
ことができる。
As can be seen from the above description, according to this embodiment, when the ultrasonic transducer 11 is being processed (for example, cutting the transducer), the material of the sheet-like acoustic matching layer member 13 is used at the same time. The ultrasonic probe is manufactured by processing it into a predetermined dimension with a thickness that is an odd number multiple of 1/4 of the wavelength λ of the frequency to be transmitted, and then assembling the ultrasonic probe, which reduces the manufacturing time. be able to.

また、第2図に示すように、湾曲状に超音波振動子11
が配列された場合にも、第1図の実施例と同様に、前記
超音波振動子11の加工を行っている時に、同時にシー
ト状音響整合層部材13Aを製作しておき、それをアレ
イ状に配列された超音波振動子11の主面上に接着剤1
4で接着して組立てるだけでよいので、簡単に音響整合
層を設けることができる。
Moreover, as shown in FIG. 2, the ultrasonic transducer 11 is curved.
1, the sheet-like acoustic matching layer member 13A is manufactured at the same time as the ultrasonic transducer 11 is being processed, and then the sheet-like acoustic matching layer member 13A is formed into an array. Adhesive 1 is placed on the main surface of the ultrasonic transducers 11 arranged in
Since it is only necessary to adhere and assemble in step 4, the acoustic matching layer can be easily provided.

〔実施例2〕 第4図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例2
を説明するための図である。
[Example 2] FIG. 4 shows Example 2 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
FIG.

本実施例2の超音波探触子の製造方法は、第1図に示す
シート状音響整合層部材13を、第3図に示すように、
枝振動子群11Aを包み込む形状のシート状音響整合層
部材13Bにしたものである。このようにすることによ
り、振動子群11Aの主面上でなく側面も接着面となり
、シート状音響整合層部材13Bの接着力の向上がはか
れる。
In the method for manufacturing an ultrasound probe according to the second embodiment, as shown in FIG. 3, the sheet-like acoustic matching layer member 13 shown in FIG.
A sheet-like acoustic matching layer member 13B is formed to wrap around the branch transducer group 11A. By doing so, not only the main surface but also the side surface of the vibrator group 11A becomes an adhesive surface, and the adhesive force of the sheet-like acoustic matching layer member 13B can be improved.

また、第4図に示すように、前記シート状音響整合層部
材13を、振動子群11Aの長手方向に長くして、折り
曲げ構造のシート状音響整合旧部材13Cにしたもので
ある。このようにすることにより。
Further, as shown in FIG. 4, the sheet-like acoustic matching layer member 13 is made longer in the longitudinal direction of the transducer group 11A to form a sheet-like acoustic matching old member 13C having a folded structure. By doing this.

前記第4図に示すシート状音響整合層部材13Bと同様
に接着面積が増えるので、シート状音響整合層部材13
Cの接着力を向上させることができる。
Similar to the sheet-like acoustic matching layer member 13B shown in FIG. 4, since the adhesive area increases, the sheet-like acoustic matching layer member 13
The adhesive strength of C can be improved.

また、両端からの剥離も起こりにくくすることができる
Moreover, peeling from both ends can be made less likely to occur.

また、長手方向に直角な方向においても同様に折り曲げ
構造にしてもよい。
Further, the structure may be bent in the same manner in the direction perpendicular to the longitudinal direction.

〔実施例3〕 第5図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例3
を説明するための図である。
[Example 3] FIG. 5 shows Example 3 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
FIG.

本実施例3の超音波探触子の製造方法は、前記第4図に
示す折り曲げ構造のシート状音響整合層部材13Cを、
折り曲げた時、第5A図(第5図のO印イの部分の拡大
図)及び第5B図(第5図の0印イの部分に相当する部
分の拡大図)に示すように、振動子群11Aの角にR(
アール)IIBや面取りIICを設けたものである。こ
のようにすることにより、シート状音響整合層部材13
Cの折り曲げ負担をやわらげると共に、作業性を向上す
ることができる。
The method for manufacturing an ultrasonic probe according to the third embodiment includes a sheet-like acoustic matching layer member 13C having a folded structure shown in FIG.
When folded, the vibrator is folded as shown in Fig. 5A (enlarged view of the part marked O in Fig. 5) and Fig. 5B (enlarged view of the part corresponding to the part marked 0 in Fig. 5). At the corner of group 11A is R (
R) IIB and chamfered IIC are provided. By doing so, the sheet-like acoustic matching layer member 13
It is possible to reduce the bending burden on C and improve workability.

〔実施例4〕 第6図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例4
を説明するための図である。
[Example 4] FIG. 6 shows Example 4 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
FIG.

本実施例4の超音波探触子の製造方法は、前記第4図に
示す折り曲げ構造のシート状音響整合層部材13Gを、
第6図に示すように、シート状音響整合層部材13C,
とそれと硬さの違う材質からなる保持補助部材15に分
割して製作しておき、接着剤14で接着組立により前述
の折り曲げ構造のシート状音響整合層部材13Cと同様
のものにしたものである。前記シート状音響整合層部材
13C0の素材には、例えば、エポキシ系樹脂を用い、
保持補助部材15の素材は、例えば、ウレタンを用いる
The method for manufacturing an ultrasound probe according to the fourth embodiment includes forming a sheet-like acoustic matching layer member 13G having a folded structure shown in FIG.
As shown in FIG. 6, sheet-like acoustic matching layer members 13C,
and a holding auxiliary member 15 made of materials with different hardnesses, which are manufactured separately and assembled using adhesive 14 to form a sheet-like acoustic matching layer member 13C having a folded structure described above. . For example, epoxy resin is used as the material of the sheet-like acoustic matching layer member 13C0,
The material for the holding auxiliary member 15 is, for example, urethane.

このようにすることにより、シート状音響整合層部材1
3Cの折り曲げ負担を除去することができる。
By doing this, the sheet-like acoustic matching layer member 1
The bending burden of 3C can be removed.

また、第7図に示すように、第6図に示すシート状音響
整合層部材13G、を、同一厚さ(例えば、使用される
であろう周波数の波長λの1/8の厚さ)のシート状音
響整合層部材13C,,13C,に分割して製作してお
き、それらを必要に応じて使用される周波数の波長λの
1/4の奇数倍((2n+1)λ/4.n=ot 1,
2.3・・・・n)の厚さに重ねて接着したものである
。このようにすることにより、使用される周波数の波長
λの174の奇数倍((2n+1)λ/4.n=o、1
゜2.3・・・・n)の厚さのシート状音響整合層部材
13C0を容易に形成することができる。なお、前記シ
ート状音響整合層部材13C0の分割数はシート状音響
整合層部材13G□、13G、に限定されるものではな
く、3枚以上であってもよい。
Further, as shown in FIG. 7, the sheet-like acoustic matching layer member 13G shown in FIG. The sheet-like acoustic matching layer members 13C, , 13C, are divided into sheet-like acoustic matching layer members 13C, , 13C, and manufactured in advance, and if necessary, they are divided into odd number multiples of 1/4 of the wavelength λ of the frequency used ((2n+1)λ/4.n= ot 1,
2.3...n) are layered and bonded to a thickness of 2.3...n). By doing this, the wavelength λ of the frequency used is an odd multiple of 174 ((2n+1)λ/4.n=o, 1
The sheet-like acoustic matching layer member 13C0 having a thickness of 2.3...n) can be easily formed. Note that the number of divisions of the sheet-like acoustic matching layer member 13C0 is not limited to the sheet-like acoustic matching layer members 13G□, 13G, and may be three or more.

〔実施例5〕 第8図及び第9図は、本発明の超音波探触子の製造方法
の実施例5を説明するための図である。
[Example 5] FIGS. 8 and 9 are diagrams for explaining Example 5 of the method for manufacturing an ultrasound probe of the present invention.

本実施例5の超音波探触子の製造方法は、第8図に示す
ように、使用される周波数の波長λの1/4の奇数倍の
厚さのシート状音響整合層部材13を形成し、その上に
重ねて超音波の吸収の少ないウレタン等からなる保護層
16をモールドしたものである。
As shown in FIG. 8, the method for manufacturing an ultrasound probe according to the fifth embodiment forms a sheet-like acoustic matching layer member 13 having a thickness that is an odd multiple of 1/4 of the wavelength λ of the frequency used. On top of this, a protective layer 16 made of urethane or the like that absorbs little ultrasonic waves is molded.

このようにすることによりシート状音響整合層部材13
の接着力を向上させることができる。また、両端からの
剥離も起こりにくくすることができる。
By doing this, the sheet-like acoustic matching layer member 13
can improve the adhesive strength of Moreover, peeling from both ends can be made less likely to occur.

以上、本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。
The present invention has been specifically explained above based on examples, but
It goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be modified in various ways without departing from the spirit thereof.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上、説明したように、本発明によれば、振動子を加工
する時点に、シート状音響整合層部材を製作し、振動子
群の主面上に接着剤で接着するだけであるので、超音波
探触子の製造時間の短縮をはかることができる。
As explained above, according to the present invention, the sheet-like acoustic matching layer member is simply manufactured and bonded with adhesive onto the main surface of the transducer group at the time of processing the transducer, so that ultra-high The manufacturing time of the sonic probe can be shortened.

また、カーブ状に振動子を配列したものにおいても、シ
ート状音響整合層部材を接着することにより、容易に音
響整合層を設けることができる。
Further, even in the case where the vibrators are arranged in a curved shape, an acoustic matching layer can be easily provided by adhering a sheet-like acoustic matching layer member.

また、音響整合層で振動子を包み込む構造、また、折り
曲げ構造とすることにより、音響整合層の接着面積が広
がり、接着力を向上させることができる。
Further, by using a structure in which the acoustic matching layer wraps the vibrator or a bending structure, the adhesion area of the acoustic matching layer can be expanded and the adhesive force can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例1
を説明するための図、 第2図は、前記実施例1の湾曲状に超音波振動子が配列
された場合の変形例を示す図。 第3図は、前記実施例1の前記薄板状の音響整合板材の
剥離のおそれがあるときの手段を備えた変形例を示す図
、 第4図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例2
を説明するための図、 第5図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例3
を説明するための図。 第5A図は、第5図の0印イの部分の拡大図、第5B図
は、第5図の0印イの部分に相当する部分の拡大図、 第6図は1本発明の超音波探触子の製造方法の実施例4
を説明するための図、 第7図は、本発明の超音波探触子の製造方法の実施例4
の変形例を説明するための図である。 第8図及び第9図は、本発明の超音波探触子の製造方法
の実施例5を説明するための図。 第10図は、従来の超音波探触子の製造方法の問題点を
説明するための図である。 図中、11・・・超音波振動子、IIA・・・振動子群
、12・・・支持台、13,13A、13B、13C,
13C,,13C工。 13C2・・・シート状音響整合層部材、14・・・接
着剤、15・・・保持補助部材、16・・・保護層であ
る。
FIG. 1 shows Example 1 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a modification of the first embodiment in which the ultrasonic transducers are arranged in a curved shape. FIG. 3 is a diagram showing a modification of the first embodiment, which is equipped with a means for dealing with the possibility of peeling of the thin acoustic matching plate material, and FIG. 4 is a diagram showing the manufacture of the ultrasonic probe of the present invention. Method Example 2
FIG. 5 is a diagram for explaining Embodiment 3 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
Diagram for explaining. Fig. 5A is an enlarged view of the part marked 0 in Fig. 5; Fig. 5B is an enlarged view of the part corresponding to the part marked 0 in Fig. 5; Example 4 of probe manufacturing method
FIG. 7 is a diagram for explaining Embodiment 4 of the method for manufacturing an ultrasonic probe of the present invention.
It is a figure for explaining the modification of. FIGS. 8 and 9 are diagrams for explaining Embodiment 5 of the method for manufacturing an ultrasound probe of the present invention. FIG. 10 is a diagram for explaining problems in the conventional method of manufacturing an ultrasonic probe. In the figure, 11... Ultrasonic transducer, IIA... Vibrator group, 12... Support stand, 13, 13A, 13B, 13C,
13C,, 13C engineering. 13C2... Sheet-like acoustic matching layer member, 14... Adhesive, 15... Holding auxiliary member, 16... Protective layer.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)超音波振動子を所定寸法に加工する時点に、あら
かじめ音響整合材を使用される周波数の波長λの1/4
の奇数倍の厚さに加工してシート状音響整合層部材にし
ておき、超音波吸音材からなる支持台の上面に前記超音
波振動子をアレイ状に配列して振動子群を形成し、その
振動子群の主面上に前記シート状音響整合層部材を接着
剤で接着し、各超音波振動子にリード線を接続すること
を特徴とする超音波探触子の製造方法。
(1) 1/4 of the wavelength λ of the frequency at which an acoustic matching material is used in advance at the time of processing the ultrasonic transducer to a predetermined size
A sheet-like acoustic matching layer member is processed to have a thickness that is an odd number times as large as A method of manufacturing an ultrasonic probe, comprising: adhering the sheet-like acoustic matching layer member onto the main surface of the group of transducers with an adhesive, and connecting lead wires to each ultrasonic transducer.
(2)前記請求項1に記載される超音波探触子の製造方
法において、前記振動子群の主面の面積より大きい面積
の音響整合層部材で振動子群を包み込むことを特徴とす
る超音波探触子の製造方法。
(2) In the method for manufacturing an ultrasonic probe according to claim 1, the ultrasonic transducer group is wrapped in an acoustic matching layer member having an area larger than the area of the main surface of the transducer group. A method of manufacturing a sonic probe.
(3)前記請求項1に記載される超音波探触子の製造方
法において、前記支持台上に配列した振動子群のうち両
側端の振動子の側端上部にアール又は面取りを形成し、
前記振動子群の主面上に前記シート状音響整合層部材を
前記アール又は面取りに沿って折り曲げて側面を覆い接
着剤で接着することを特徴とする超音波探触子の製造方
法。
(3) In the method for manufacturing an ultrasonic probe according to claim 1, forming a radius or a chamfer at the upper side end of the transducer at both ends of the transducer group arranged on the support base;
A method for manufacturing an ultrasonic probe, characterized in that the sheet-like acoustic matching layer member is bent on the main surface of the transducer group along the radius or chamfer to cover the side surface and bonded with an adhesive.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008193539A (en) * 2007-02-07 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Acoustic matching member, and ultrasonic transducer and ultrasonic current meter flowmeter using the same
US8026204B2 (en) 2007-07-13 2011-09-27 Kao Corporation Method for producing anionic surfactant granule

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