JPH03160338A - 貼付型電気容量ひずみゲージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は貼付型電気容量ひずみゲージに関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来の容量型ひずみゲージは、ＮＤＩ第１９回応力ひず
み測定シンポジュウム講演論文集Ｐ５〜Ｐ８（昭６２−
１）において論じられている．本論文中第１図にその構
造が示されているが，被測定物には先端の２点でスポッ
ト溶接して取付ける。

しかし、安定に電気容量を計測するには、ある程度電極
板の面積を大きくする必要がある．溶接面積に比べ全体
形状が大きいため、被測定物が振動する部位および被測
定物の表面を高速流体が流動する部位等では、２次振動
が生じ、正確なひずみ測定ができない。また，被測定物
へ規定寸法になるようにスポット溶接等で取付けるには
かなりの熟練を要する． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術は応力の集中する局所部のＩＨｚ以下の静
的なひずみを計測することを主目的としており，変動す
る流体雰囲気中および振動する被測定物での動ひずみ測
定についての配慮がされておらず、このような場合には
ゲージ自身が２次振動する問題があった．また、被測定
物への規定のゲージ長でスポット溶接により貼付するに
は、高度な技術を要する問題があった． 本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、被測定物
への貼付が容易で，高温高速流体が被測定物表面を流動
する雰囲気および振動する被測定物表面のひずみ検出を
可能とした貼付型電気容量ひずみゲージを提供すること
を目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、ひずみゲージを、被測定物の表面に貼付さ
れた伸縮自在な絶縁基盤上に対向する電極板よりなる電
極対を設けて形成することにより、達或される． 〔作用〕 上記手段を設けたので、ゲージが簡単に取り付けられる
と共に，感度，安定性がよくなって，小形化が可能とな
る． 〔実施例〕 以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する．第
１図から第７図には本発明の一実施例が示されている．
本実施例ではひずみゲージを、被測定物の表面に貼付さ
れた伸縮自在な絶縁材（絶縁基盤）１上に対向する電極
板２ａ，２ｂよりなる電極対２を設けて形成した．この
ようにすることにより、ゲージが簡単に取り付けられる
と共に，感度，安定性がよくなって、小形化が可能とな
り，被測定物への貼付が容易で、高温高速流体が被測定
物表面を流動する雰囲気および振動する被測定物表面の
ひずみ検出を可能とした貼付型電気容量ひずみゲージを
得ることができる． すなわちこれらの図で３は耐熱性の金属薄膜板（金属板
）で本ゲージのベースとなるものである．この金属薄板
３に絶縁材１で電気絶縁して、電気容量を構成する対向
した電極板２ａ，２ｂから成る電極対２を複数個配置し
、それぞれの電極板２ａ，２ｂはリード線４　（４ａ，
４ｂ）およびタブ５　（５ａ，５ｂ）に接続されている
。また、第８図に示されているように，タブにはスパイ
ラル状のリボンリード線６がスポット溶接等で溶接され
ており、複数個の電極対で計測される電気容量を測定す
る計測器（電気容量計測器）７まで配線するシールド線
８とスポット溶接等で接続される。

なお、金属薄板は後述するように、被測定物への取付を
容易にするためのものであり、金属薄板を使用せず、被
測定物へ直接絶縁材を介して電極対を構或しても同じ効
果が得られる． 本ゲージは、６００℃以上の高温で使用することを目的
としており、その製作方法を第ｌ図から第８図を参照し
乍ら次に述べる。まず耐熱性の金属薄板３と電極対２，
リード線４およびタブ５とを電気的に絶縁して固定する
必要があるので、これらの配置されるパターンより若干
広めにセラミックス等の耐熱性の絶縁材１をスパッタリ
ング，コーティング，蒸着等の処理により金属薄板３上
に固着させる．次に、この絶縁材１の上に第１図に示さ
れているように、電極対２，リード線４およびタブ５の
配線パターンで耐熱金属をスバツタリングする．さらに
、電極対２が所定の対向面積になるまで、電極対２の部
分にのみ繰返してスパッタリングを行い背を高くする．
最後に、タブ５部にリボンリード線６を溶接してゲージ
が完成される． このゲージの被測定物への貼付は、ひずみ計測点を覆う
ように金属薄板３を配置し、金属薄板３の絶縁材１を固
着していない所をスポット溶接することで簡単に行うこ
とができる。その後，第８図に示されているように記録
計１０まで配線し、最後にゲージ部およびシールド線８
の一部を覆う若干剛性の大きな金属カバー９をすること
で、計測器７でひずみを測定し記録計１０で記録できる
状態となる．なお６００℃以上の高温に耐えるシールド
線８は一般に剛性が大きいため，リード線４と直接に接
続すると接続作業中にゲージを損傷する恐れがある．そ
こで予めスパイラル状にし，より剛性を小さくしたリボ
ンリード線６をリード線４と接続されているタブ５に取
付けておくことで、シールド線８との取付（スポット溶
接〉作業性を容易にしている． 第１図で水平方向に被測定物が伸縮した場合を考える．
被測定物にスポット溶接された金属薄板３は、被測定物
の伸縮量に伴い同じ量だけ伸縮する．この時、絶縁材１
を介して取付けられた電極板２ａ，２ｂ間も金属薄板３
の伸縮に伴ってその間隔が変化し，静電容量が変化する
．すなわち被測定物の伸縮量（ひずみ）を計測器７によ
り電気的に測定できることになる．なお，被測定物にス
ポット溶接で貼付けることで微小な損傷が懸念される場
合や，非金属のようにスポット溶接できない場合には、
高温接着剤等でも貼付が可能である．この時は，金属薄
板３に微小穴を多数設けておくことで、被測定物に対し
より強力に接着することができる． このように本実施例によれば次に述べるような効果を奏
することができる．（１）電極対を複数個接続しており
電極対１個の場合に比べ電極面積をｎ分の１にできるの
で，被測定物上の空間に極めて小さくセットできる．従
って応答性が極めてよく振動する被測定物のひずみも高
精度に計測できる。（２）ゲージ部およびリード線の一
部に金属製の箱状のカバーを施すことで、外部電気ノイ
ズの影響を受けず高精度にひずみ測定が可能になる。

（３）金属薄板に予め電極対等をスパッタリング等で形
成するため、ゲージ毎のバラツキがなく均一なものが製
作できる。（４）従来は被測定物へゲージ長を規定寸法
になるようにスポット溶接しなければならず、取付けに
はかなりの熟練を要したが、本ゲージではひずみ計測点
を覆うように金属薄板を被測定物にスポット溶接等で簡
単に取付けられ、取付方法の違いよるゲージ特性の変化
はない。

第９図および第１０図には本発明の他の実施例が示され
ている．本実施例では金属薄板３表面に電極対２を積層
するのではなく，金属薄板３に複数個の矩形状のスリッ
トを空けておき、そのスリットの対向断面に絶縁材１お
よび電極板２ａ，２ｂを積層し、複数個の電極対２を形
戒するものであり、被測定物へは金属薄板３をスポット
溶接等により貼付ける．本実施例によれば金属薄板３の
伸縮が直接に電極対２に伝達されるので、前述の場合よ
り応答性がよくなる．また、電極対２は金属薄板３表面
上に出ることがなく、前述の場合よりゲージ全体が薄く
できる利点がある．第１１図および第１２図には本発明
の更に他の実施例が示されている．本実施例は金属薄板
３に第１１図に示されているように、■型のスリット１
１を複数個設け，このスリットｌ１部を第１２図に示さ
れているように折り曲げ、この折り曲げた対向面に絶縁
材ｌおよび電極板２ａ，２ｂを積層し、複数個の電極対
２を形成した．上述の第１図に示されている実施例では
，電極板２ａ，２ｂはある程度背を高くしなければなら
ず、積層するのに時間がかかる．また，金属薄板３は基
本的にスポット溶接で被測定物に取付けるので板厚は約
０．１　−以下としなければならず、第９図，第１０図
の実施例では、所定の対向電極板面積を得るには電極対
の数を多くしなければならない。その点本実施例ではこ
れらの問題点はなくなる。

第１３図から第１５図には本発明の更に他の実施例が示
されている．本実施例では金属薄板３に第１３図に示さ
れているように、被測定物の伸縮方向と平行に、平行な
スリットエ１を複数個設け，このスリット１１部を第１
４図に示されているようにＶ字形に絞り出し、この絞り
出したものを第１５図に示されているように、絞り出し
た対向面に絶縁材１および電極板２ａ，２ｂを積層し、
複数個の電極対２を形成する。上述の第１１図および第
１２図に示した実施例では，電極対２の一端がフリーで
あるため形状が安定せず、ひずみが負荷されていないの
にもかかわらず電極対２がゆれることにより，みかけひ
ずみを計測する恐れがある．しかし、本実施例では電極
対２の取付部は固定されているため、このような問題は
ない．また、電極対２は傘形状にした金属薄板３の内側
に配置されるため、カバー９（第８図参照）を配置しな
くても電極対２の保護ができる利点がある．なお、第１
１図，第１２図および第１３図〜第１５図に示した実施
例では、金属薄板３にスリット加工した後に絶縁材１お
よび電極対２をスバツタリング等で積層し、その後、折
り曲げまたは絞り出し加工により所定の形状に製作でき
，より均一なゲージの製作が可能となる．ただし第１３
図から第１５図に示した実施例では対向した電極板２ａ
，２ｂが平行でないため、被測定物のひずみと容量変化
との関係に直線性がなくなる恐れがある．この欠点をな
くしたのが第１６図に示されている実施例の電極対であ
る． すなわち電極板２ａ，２ｂが平行に対向するようにΩ字
形の電極板取付枠１２の内側に絶縁材ｌを介して積層し
、金属薄板３に平行に複数個スポット溶接等で設置する
．本実施例では電極板２ａ，２ｂの取付部が片持となら
ず形状が安定であるため、ある程度背を高することがで
き、電極対２の数を少なくできる利点もある．また．金
属薄板３にスリット１１を設け，このスリット１１を挟
んでΩ字形の電極板取付枠１２を設置すれば、被測定物
の伸縮量を忠実に電極板２ａ，２ｂ間の距離の変化、す
なわち容量変化として検出することができる．この実施
例では金属薄板３にΩ字形の電極板取付枠１２をスポッ
ト溶接で取付ける場合を示したが，電極板取付枠ｌ２を
Ω字形の連続した波板とすることで金属薄板３は不要と
なり、前述の場合より忠実に被測定物の伸縮が検出可能
となる．また、電極対２の取付間隔も精度よく設置でき
るので，均一なゲージを大量に生産できる．第１７図に
は本発明の更に他の実施例の温度補償されたゲージにつ
いて示されている．本実施例は金属薄板３の一部分にス
リットを設け、絶縁材１を介して対向距離および対向画
積が同じな電極対２Ａ，２Ｂを配置する．電極対２Ｂの
配置された金属薄板３の領域は被測定物には貼付せずフ
リーな状態となるように、金属薄板３を被測定物に貼付
し，電極対２Ａ，２Ｂを電気平衡回路の隣辺となるよう
に結線して，電気容量を計測する．同図で水平方向に伸
縮する場合は，伸縮量に比例した電気容量変化が電極対
２Ａで計測される．また、環境因子例えば温度変動など
の雰囲気が変化した場合には、電極対２Ａ，２Ｂには同
極性で同じ容量変化となるので、電気平衡回路で相殺さ
れるため検出されない，従ってゲージ貼付位置の環境が
変化しても被測定物の機械的負荷に伴う伸縮量のみの電
気容量変化を精度よく計測できることになる．なお，抵
抗線ひずみゲージを同様な方法でスリット付の金属薄板
３に貼付すれば同じ効果が得られる．しかし、抵抗線の
固有抵抗値が温度により変化するため、ゲージの基本特
性であるゲージ率も変化する．そのため、その効果も温
度により補正しないと真のひずみが算出できない欠点が
ある．その点，本発明の容量型ゲージではそのような特
性変化はない． このように本実施例よれば被測定物の伸縮に反応せず、
環境変化にのみ電気容量が変化する電極対も設け，この
電極対も使用して電気平衡回路を組むことにより，温度
変動等の環境変化がある雰囲気中においても機械的負荷
のみによる電気容量の変化を高精度に計測できる． 本発明の貼付型電気容量ひずみゲージは、基本的には第
１８図に示されているように、複数個の電極対２を並列
接続して、金属薄板３の部分の平均ひずみを計測するも
のである．従って狭い範囲でひずみ分布を持ち，最大ひ
ずみ（き裂）発生位置を的確に推定できない溶接継手や
応力集中部位に本ゲージを使用すれば，最大ひずみ発生
点を含んだ平均ひずみとして検出できるようになる．ま
た、第１９図に示されているように，電極対２各々にシ
ールド線８を付け、スイッチングレギュレータ１３を介
することで各々の電極対２でひずみが計測でき，１枚の
ゲージで多点のひずみ計測も可能となる．従って被測定
物の平均的なひずみと局所的なひずみとを工枚のゲージ
で計測できる利点がある．特に、電極対２の配置位置が
明確になっているので、ひずみ分布から最大ひずみ発生
点および最大ひずみを精度よく推定できる．電極対２を
形成する電極板２ａ，２ｂの対向面積をＡ，対向距離を
党，電極対の配置されている雰囲気の誘電率をＫとすれ
ば、電極対２の電気容量Ｃは，次式のような関係となる
． Ｃ＝Ｋ−Ａ／Ｑ　　　　　　　　　　・・・（１）本発
明のゲージの場合は、ＡおよびＫが一定で被測定物の伸
縮により、電極板２ａ，２ｂの対向距離αが変化するこ
とにより，電気容量の変化を検出するものである．一方
、電極板２ａ，２ｂの対向距離ｋが変化しないように被
測定物に貼付あるいは据置して，電極板２ａ，２ｂが損
傷（減肉）することにより電極間距離党が変化しても電
気容量の変化が計測できる． そこで本ゲージを腐食環境下に置き、腐食量を検出する
センサーとして使用した実施例が第２０図および第２１
図に示されている．全体の基本的な構成は、前述等の実
施例とほぼ同じである．本腐食センサーの場合は，被測
定物の伸縮量を伝達する必要がないので、金属薄板３は
耐食性で剛性の大きなものを使用する．また、電極板２
ａ，２ｂは被測定物と同一材料かあるいは被測定物より
腐食が促進される金属材料とし、電極板対向背面には耐
食性の絶縁材１等でコーティングを施してある．電極板
２ａ，２ｂが腐食減肉すると図中点線表示のような形状
となるため、腐食量と容量変化との関係は比例しない．
従って実際の被測定物の腐食減肉量を計測する場合には
、予め同一環境下で被測定物の腐食減肉量と電極板２ａ
，２ｂの電極間距＠ＩＩとの変化に伴う電気容量変化量
との関係（校正曲線）を求めておき、電気容量変化より
被測定物の腐食量を算出する．なお、被測定物に本セン
サーを固定する場合は、１点でスポット溶接（第２０図
のＸ印〉すればよい。また，固定する必要がない場合は
、金属薄板３がなくても同じ効果が得られる． このように本実施例によれば電極板の損傷に伴う電気容
量の変化を計測することで、例えば被測定物の腐食減肉
量等を検出する損傷検出センサーとしても使用できる。

また，（ｌ）式より誘電率Ｋが変化することにより電気
容量Ｃが変化する．従って，種々の雰囲気すなわち誘電
率と電気容量との関係を求めておけば雰囲気の種類、あ
るいは雰囲気の濃度変化を検出できるので，例えば有毒
ガスの発生する恐れのある場所に設置すれば，ガス検知
センサーとして利用できる． このように本実施例によれば電極板近辺の環境変化すな
わち誘電率の変化による電気容量の変化を計測すること
により、例えばガス検出センサーとしても使用できる． 抵抗線ひずみゲージは、抵抗線の伸縮に伴う抵抗変化か
らひずみを計測するもので，基本的には抵抗線の弾性範
囲内のひずみしか計測できない．その点，電気容量ひず
みゲージは、電極板２ａ，２ｂ間の距離、あるいは電極
板２ａ，２ｂ間の対向面積の変化からひずみを計測する
ものであり，弾性域を越える大きなひずみあるいはき裂
の開口変位量の計測も可能である． 第２２図には切欠き付九捧試験片の応力が集中する切欠
き底ひずみ（電気容量）を従来例で示した容量型ひずみ
ゲージで計測した結果が示されている．図中１０〜２　
０　Ｘ　１　０”回および３０〜６０Ｘ１０”回は，破
面に縞模様を入れるため繰返し負荷量を小さくして試験
した範囲が示されている．その結果、試験後の破面ａａ
から２０Ｘ１０２回および６　０　Ｘ　１　０”回でき
裂深さがそれぞれ０．３ａｎおよび０．８ｍｍであるこ
とがわかったまた．５Ｘ１０”回近辺から徐々にひずみ
が増力ｔしており、この時点で微小なき裂が発生したと
摺定できる．このように容量型ひずみゲージでは、ひず
みを連続計測することにより、き裂の発生時期およびき
裂開口変位量とき裂深さとの関係を予め求めておけば、
き裂開口変位量からき裂深さが測定できることになり、
き裂進展速度すなわち損傷量が計測でき，予め機器の寿
命評価が可能となる．このように従来例の容量型ひずみ
ゲージでの測定結果を示したが、本実施例のひずみゲー
ジでも測定することができ、同等以上の効果を奏するこ
とは云うまでもない． 〔発明の効果〕 上述のように本発明は被測定物への貼付が容易で，高温
高速流体が被測定物表面を流動する雰囲気および振動す
る被測定物表面のひずみが検出できるようになって、被
測定物への貼付が容易で、高温高速流体が被測定物表面
を流動する雰囲気および振動する被測定物表面のひずみ
検出を可能とした貼付型電気容量ひずみゲージを得るこ
とができる．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の貼付型電気容量ひずみゲージの一実施
例の平面図、第２図は同じく一実施例の正面図、第３図
は第ｌ図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第４図は第１図のＢ
−Ｂ線に沿う断面図、第５図は同じく一実施例の側面図
、第６図は第１図のＣ−Ｃ線に沿う断面図，第７図は第
１図のＤ−Ｄ線に沿う断面図．第８図は同じく一実施例
のひずみゲージによるひずみ計測システム図、第９図は
本発明の貼付型電気容量ひずみゲージの他の実施例の平
面図，第１０図は第９図のＥ−Ｅ線に沿う断面図、第１
１図は本発明の貼付型電気容量ひずみゲージの更に他の
実施例のスリット設置を示す平面図、第１２図は第１１
図のＦ−Ｆ線に沿うゲージ製作後の断面図、第１３図は
本発明の貼付型電気容量ひずみゲージの更に他の実施例
のスリット８ｉ！を示す平面図、第１４図は第１３図の
スリット部を絞り出し加工した状態を示す平面図、第１
５図は第ｌ４図のＧ−Ｇ線に沿う断面図、第１６図は本
発明の貼付型電気容量ひずみゲージの更に他の実施例の
斜視図、第１７図は本発明の貼付型電気容量ひずみゲー
ジの更に他の実施例による温度補償されたゲージを示す
平面図、第１８図は本発明の貼付型電気容量ひずみゲー
ジの更に他の実施例の複数個の電極対の結線方法を示す
説明図、第１９図は本発明の貼付型電気容量ひずみゲー
ジの更に他の実施例の多点ひずみ計測用として使用する
場合の計測方法を示す説明図、第２０図は本発明の貼付
型電気容量ひずみゲージの更に他の実施例の環境変化検
出センサーとして使用する場合を示す平面図、第２１図
は第２０図のＨ−Ｈ線に沿う断面図、第２２図は容量型
ひずみゲージを使用してき裂深さを測定した場合の容量
変化率と負荷繰返し数との関係を示す特性図である．１
・・・絶縁材（絶縁基盤）．２，２Ａ，２Ｂ・・・電極
対、２ａ，２ｂ・・・電極板、３・・・金属薄＠（金属
板）４．４ａ，４ｂ−リード線、５，５ａ，５ｂ−タブ
、６・・・リボンリード線，７・・・計測器（ｔ気容量
計測器） ８・・・シールド線、 ９・・・カバー １ １・・・ スリット． 第 １ 図 １・・・・・・絶縁材（絶縁基盤） ２・・・・・・電極対 ２ａ・・・電極板 ２ｂ・・・電極板 ３・・・・・・金属薄板（金属板） ４・・・・・・リード線 ４ａ・・・リード線 ４ｂ・・・リード線 ５・・・・・・タブ ５ａ・・・タフ ５ｂ・・・タブ 第 ５ 図 ３ 第６図 ９ 第 ７ 図 ２ａ 第 ８ 図 ６・・・リボンリード線 ７・・・計測器（電気容量計測器 ８・・・／−ルド線 ９・・・カバー ） 第 ９ 図 ３ 第 １０図 第１１ 図 第１２ 図 ？ 第 １５図 第 １６図 １２ 第 １７ 図 ２人 ２人・・・電極対 ２Ｂ・・・電極対 第 １８ 図 ８ 第 １９ 図 第 ２０ 図 第 ２１ 図 第 ２２図 負荷繰返し数 （ＸＩＯ”）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物の表面の伸縮量を静電容量の変化として検
   出する貼付型電気容量ひずみゲージにおいて、前記ひず
   みゲージが、前記被測定物の表面に貼付された伸縮自在
   な絶縁基盤上に対向する電極板よりなる電極対を設けて
   形成されていることを特徴とする貼付型電気容量ひずみ
   ゲージ。 ２、前記ひずみゲージが、前記電極対を複数個配置して
   形成されるものである特許請求の範囲第１項記載の貼付
   型電気容量ひずみゲージ。 ３、前記ひずみゲージが、前記絶縁基盤を前記被測定物
   の伸縮に応じて伸縮する金属板の上に設けて形成されて
   いるものである特許請求の範囲第１項記載の貼付型電気
   容量ひずみゲージ。 ４、前記ひずみゲージが、前記被測定物上のひずみ計測
   点を覆つて前記金属板を前記被測定物にスポット溶接で
   貼付けて形成されるものである特許請求の範囲第２項記
   載の貼付型電気容量ひずみゲージ。 ５、前記ひずみゲージが、前記金属板に複数の穴を持つ
   て形成されたものである特許請求の範囲第２項記載の貼
   付型電気容量ひずみゲージ。 ６、前記ひずみゲージが、前記金属板の長手方向に所定
   の間隔を介して並設され、かつ金属板の短尺方向に伸び
   たスリットを持つて形成されたものである特許請求の範
   囲第２項記載の貼付型電気容量ひずみゲージ。 ７、前記ひずみゲージが、前記金属板の長手方向に所定
   の間隔を介して並設され、かつその両側に対向する突起
   部を有する前記金属板の短尺方向に伸びたスリットを持
   つて形成されたものである特許請求の範囲第２項記載の
   貼付型電気容量ひずみゲージ。 ８、前記ひずみゲージが、前記金属板の長手方向に所定
   の間隔を介して設けられ、かつそれを覆つた傘形状の突
   起部を有する前記金属板の短尺方向に伸びたスリットを
   持つて形成されたものである特許請求の範囲第２項記載
   の貼付型電気容量ひずみゲージ。 ９、前記ひずみゲージが、前記金属板の長手方向に所定
   の間隔を介して設けられ、かつそれを覆つた凸状の突起
   部を有する前記金属板の短尺方向に伸びたスリットを持
   つて形成されたものである特許請求の範囲第２項記載の
   貼付型電気容量ひずみゲージ。 １０、前記ひずみゲージが、前記金属板のスリットの対
   向する部分に前記絶縁基盤を介して対向する電極対が設
   けられたものである特許請求の範囲第５項から第８項の
   いずれか１項に記載の貼付型電気容量ひずみゲージ。 １１、前記ひずみゲージが、前記金属板上に設置する絶
   縁基盤、電極対が、絶縁材、金属材を夫夫コーティング
   、スパッタリング、蒸着して、積層形成されるものであ
   る特許請求の範囲第１項または第２項記載の貼付型電気
   容量ひずみゲージ。 １２、前記ひずみゲージが、前記金属板上に設置する絶
   縁基盤、電極対が絶縁材、金属材をコーティング、スパ
   ッタリング、蒸着して形成されたものから所定大きさに
   切削して形成されたものである特許の範囲第１項または
   第２項記載の貼付型電気容量ひずみゲージ。 １３、前記ひずみゲージが、前記コーティング処理して
   形成された金属板の長手方向に平行配置し、かつ短尺方
   向に伸びるＩ型スリットが折り曲げ加工され、前記両側
   に対向する突起部を有するスリットを設けて形成された
   ものである特許請求の範囲第６項または第１０項記載の
   貼付型電気容量ひずみゲージ。 １４、前記ひずみゲージが、前記コーティング処理して
   形成された金属板の短尺方向に平行配置し、かつ長手方
   向に伸びるスリットが絞り出し加工され、前記傘形状の
   突起部を有するスリットを設けて形成されたものである
   特許請求の範囲第７項または第１０項記載の貼付型電気
   容量ひずみゲージ。 １５、前記ひずみゲージが、前記金属板に前記被測定物
   の伸縮に応じた静電容量を測定する電極対と、この電極
   対に対しその長手方向が直交するように配置された電極
   対とが設けられたものである特許請求の範囲第１項記載
   の貼付型電気容量ひずみゲージ。 １６、前記ひずみゲージが、前記金属板に前記電極板の
   損傷に応じた静電容量の変化が測定できる電極対が設け
   られたものである特許請求の範囲第１項記載の貼付型電
   気容量ひずみゲージ。 １７、前記ひずみゲージが、前記金属板に前記電極板近
   傍の環境変化に応じた静電容量の変化が測定できる電極
   対が設けられたものである特許請求の範囲第１項記載の
   貼付型電気容量ひずみゲージ。 １８、前記ひずみゲージが、前記対向する電極板をひと
   つおきにその一方端部で接続する１対のリード線と、こ
   の１対のリード線の各々の他方端部に接続され、かつ前
   記リード線より大きな面積面を有するタブと、このタブ
   に接続したスパイラル状のリボンリード線とを持つて形
   成されたものである特許請求の範囲第１項記載の貼付型
   電気容量ひずみゲージ。 １９、前記ひずみゲージが、前記電極対で計測される電
   気容量の変化を増幅し、電気信号に変換する電気容量計
   測器までの配線にシールド線が使用され、かつゲージ全
   体および前記シールド線を覆う金属製の箱状のカバーが
   設けられたものである特許請求の範囲第１項記載の貼付
   型電気容量ひずみゲージ。 ２０、前記ひずみゲージが、高温機器構造部材の応力集
   中部位に貼付され、損傷監視機能が持たせられたもので
   ある特許請求の範囲第１項記載の貼付型電気容量ひずみ
   ゲージ。 ２１、前記ひずみゲージが、その情報に基づいて運転お
   よび保守、保全を実施するプラントまたは機械装置に装
   着されたものである特許請求の範囲第１項記載の貼付型
   電気容量ひずみゲージ。