JPH03158742A - 高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法 - Google Patents
高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法Info
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- JPH03158742A JPH03158742A JP29839489A JP29839489A JPH03158742A JP H03158742 A JPH03158742 A JP H03158742A JP 29839489 A JP29839489 A JP 29839489A JP 29839489 A JP29839489 A JP 29839489A JP H03158742 A JPH03158742 A JP H03158742A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルーム等の火災検知に使用する高感
度粒子センサの作動試験、及び較正に使用する高感度粒
子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法に関す
る。
度粒子センサの作動試験、及び較正に使用する高感度粒
子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法に関す
る。
法定の火災警報設備に使用する煙感知器では、化学分析
用のセルロース濾紙を４００″Ｃで燻焼して発生させた
煙、あるいは線香の煙等を用いて感度の較正と作動試験
が実施されている。
用のセルロース濾紙を４００″Ｃで燻焼して発生させた
煙、あるいは線香の煙等を用いて感度の較正と作動試験
が実施されている。
第３図は高感度粒子センサの一般的な取付例を示す図で
あり、１３は高感度粒子センサ、１３′は空気人口側配
管、１３’は空気出口側配管、１４は空気取り入れ口、
１５は空気吸引ポンプ、１６は伝送線、１７は機械室、
１８はクリーンルーム等清浄側の監視対象室内、１９は
中央監視装置を示す。
あり、１３は高感度粒子センサ、１３′は空気人口側配
管、１３’は空気出口側配管、１４は空気取り入れ口、
１５は空気吸引ポンプ、１６は伝送線、１７は機械室、
１８はクリーンルーム等清浄側の監視対象室内、１９は
中央監視装置を示す。
一般に高感度粒子センサ１３は、第３図に示すようにメ
ンテナンスを容易にし、かつ、クリーンルーム、電子計
算機室等の清浄度を維持するために、その本体が機械室
１７等の汚染室側に設置され、空気取り入れ口１４が火
災の警戒区域であるクリーンルーム、電子計算機室等の
監視対象室内１８に設置される。そして、高感度粒子セ
ンサ１３と空気取り入れ口１４との間を配管１３’で接
続し、空気吸引ポンプ１５との間を配管１３′で接続す
る方法が一般的であり、空気吸引ポンプ１５で常時空気
を吸引し、火災による煙等を監視している。なお、高感
度粒子センサ１７は、導入された煙あるいは微小ミスト
の濃度に対応する信号を発生して、中央監視装置３０に
伝送線３２を通して送る。中央監視装置３０では、濃度
信号を常時監視し、警報レベルに達した場合に警報を発
する。このように高感度粒子センサ１７には、濃度表示
機構を備えていないことから、信号を中央監視装置３０
に伝送して中央監視装置３０で表示するため、その通信
手段として伝送線３２が必要であった。
ンテナンスを容易にし、かつ、クリーンルーム、電子計
算機室等の清浄度を維持するために、その本体が機械室
１７等の汚染室側に設置され、空気取り入れ口１４が火
災の警戒区域であるクリーンルーム、電子計算機室等の
監視対象室内１８に設置される。そして、高感度粒子セ
ンサ１３と空気取り入れ口１４との間を配管１３’で接
続し、空気吸引ポンプ１５との間を配管１３′で接続す
る方法が一般的であり、空気吸引ポンプ１５で常時空気
を吸引し、火災による煙等を監視している。なお、高感
度粒子センサ１７は、導入された煙あるいは微小ミスト
の濃度に対応する信号を発生して、中央監視装置３０に
伝送線３２を通して送る。中央監視装置３０では、濃度
信号を常時監視し、警報レベルに達した場合に警報を発
する。このように高感度粒子センサ１７には、濃度表示
機構を備えていないことから、信号を中央監視装置３０
に伝送して中央監視装置３０で表示するため、その通信
手段として伝送線３２が必要であった。
上記の設置方法では、一般の煙感知器と同様な考え方に
より、設置したままの状態で高感度粒子センサ１３の作
動試験を実施しようとすれば、クリーンルーム等の監視
対象室内１８において、微小ミストを空気取り入れ口１
４の付近の空気中に噴霧する等の方法で供給しなければ
ならない。しかし、上記のように煙をクリーンルーム用
高感度粒子センサの感度較正、および作動試験に使用す
ることは、以下の理由により問題がある。
より、設置したままの状態で高感度粒子センサ１３の作
動試験を実施しようとすれば、クリーンルーム等の監視
対象室内１８において、微小ミストを空気取り入れ口１
４の付近の空気中に噴霧する等の方法で供給しなければ
ならない。しかし、上記のように煙をクリーンルーム用
高感度粒子センサの感度較正、および作動試験に使用す
ることは、以下の理由により問題がある。
■ 燃焼等によって発生させた煙は高濃度であるため、
法定の煙感知器の数百倍の感度を有する高感度粒子セン
サの較正に使用するには、数百倍から数千倍に希釈する
操作が必要である。このような較正用煙発生装置は、機
器構成が複雑であり、携帯使用は困難なことから、高感
度粒子センサの現地較正には使用できない。
法定の煙感知器の数百倍の感度を有する高感度粒子セン
サの較正に使用するには、数百倍から数千倍に希釈する
操作が必要である。このような較正用煙発生装置は、機
器構成が複雑であり、携帯使用は困難なことから、高感
度粒子センサの現地較正には使用できない。
■ クリーンルーム内において、高感度粒子センサの作
動試験の目的でセルロース濾紙、線香等を燃焼させるこ
とは、クリーンルームの空気を汚染してクリーンルーム
の機能を著しく損なうことから、クリーンルーム内にお
ける作動試験の実施は困難である。
動試験の目的でセルロース濾紙、線香等を燃焼させるこ
とは、クリーンルームの空気を汚染してクリーンルーム
の機能を著しく損なうことから、クリーンルーム内にお
ける作動試験の実施は困難である。
■ 火気を使用することから、有機溶剤等の可燃性物質
を取り扱う場所では、使用できない。
を取り扱う場所では、使用できない。
また、煙感知器の作動試験においては、フロンを噴霧す
る方法も採用されていたが、近年フロンによる成層圏の
オゾン層破壊が地球環境に障害を及ぼすことが問題にな
っている。このような状況から感知器の作動試験におい
ても、フロンの噴霧による方法は採用できず、代替手段
の確立が必要となっている。
る方法も採用されていたが、近年フロンによる成層圏の
オゾン層破壊が地球環境に障害を及ぼすことが問題にな
っている。このような状況から感知器の作動試験におい
ても、フロンの噴霧による方法は採用できず、代替手段
の確立が必要となっている。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、クリー
ンルーム等の清浄度を低下させることなく簡便に高感度
粒子センサの現場試験を行うことができる高感度粒子セ
ンサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法の提供を目
的とする。
ンルーム等の清浄度を低下させることなく簡便に高感度
粒子センサの現場試験を行うことができる高感度粒子セ
ンサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法の提供を目
的とする。
そのために本発明に係る高感度粒子センサ試験用微小ミ
スト発生装置は、高沸点の溶液を収納し底部付近から清
浄空気を吹き込むノズルを有する微小ミスト発生容器、
空気吸引ポンプ、及びエアフィルタを備え、エアフィル
タを通して微小ミスト発生容器のノズルから高沸点の溶
液内に清浄空気を吹き込むことによって微小ミストを発
生させるように構成したことを特徴とするものである。
スト発生装置は、高沸点の溶液を収納し底部付近から清
浄空気を吹き込むノズルを有する微小ミスト発生容器、
空気吸引ポンプ、及びエアフィルタを備え、エアフィル
タを通して微小ミスト発生容器のノズルから高沸点の溶
液内に清浄空気を吹き込むことによって微小ミストを発
生させるように構成したことを特徴とするものである。
また、高感度粒子センサ試験方法は、微小ミスト発生装
置を高感度粒子センサに直結して高感度粒子センサの作
動試験をし、或いは微小ミスト発生装置により高感度粒
子センサの空気取り入れ口付近の空気中に試験用微小ミ
ストを吹きつけて高感度粒子センサの較正・試験を行う
ことを特徴とするものである。
置を高感度粒子センサに直結して高感度粒子センサの作
動試験をし、或いは微小ミスト発生装置により高感度粒
子センサの空気取り入れ口付近の空気中に試験用微小ミ
ストを吹きつけて高感度粒子センサの較正・試験を行う
ことを特徴とするものである。
高沸点の液体としては、ＤＯＰ （フタル酸ジオクチル
） 、ＤＯＳ （セバシン酸ジオクチル）等を用いるこ
とができる。
） 、ＤＯＳ （セバシン酸ジオクチル）等を用いるこ
とができる。
本発明の高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置で
は、高沸点の液体中にノズルより清浄空気を吹き込むの
で気泡が発生するが、この気泡が破裂する際に、粒径０
． ｌから０．５μｍの範囲に中位径の存在するミス
ト（微小液滴）が発生する。この発生するミストの濃度
は、ノズルから吹き込む清浄空気の量を調節するこきに
より任意の値に設定可能である。
は、高沸点の液体中にノズルより清浄空気を吹き込むの
で気泡が発生するが、この気泡が破裂する際に、粒径０
． ｌから０．５μｍの範囲に中位径の存在するミス
ト（微小液滴）が発生する。この発生するミストの濃度
は、ノズルから吹き込む清浄空気の量を調節するこきに
より任意の値に設定可能である。
そこで、発生したミストを高感度粒子センサに導入して
、当該センサの作動試験、あるいは感度の較正に使用す
ることができ、燻焼煙の発生装置とは異なり、火気を使
用しないことから、有機溶剤、水素ガス等の可燃性物質
が空気中に存在している恐れのある室内においても使用
可能である。
、当該センサの作動試験、あるいは感度の較正に使用す
ることができ、燻焼煙の発生装置とは異なり、火気を使
用しないことから、有機溶剤、水素ガス等の可燃性物質
が空気中に存在している恐れのある室内においても使用
可能である。
また、発生粒子濃度を任意に設定できることから、広範
囲の濃度に渡って試験できる。さらに、軽量、小型で外
部電源を必要とせず、電源等の準備が不要であり、高感
度粒子センサの現場試験に適している。
囲の濃度に渡って試験できる。さらに、軽量、小型で外
部電源を必要とせず、電源等の準備が不要であり、高感
度粒子センサの現場試験に適している。
また、発生したミストの全量が高感度粒子センサを通過
し、その後にエアフィルタを通過して、試験後のミスト
を完全に除去する方法で使用可能なことから、ミストに
よりクリーンルームの環境を汚染することはない。
し、その後にエアフィルタを通過して、試験後のミスト
を完全に除去する方法で使用可能なことから、ミストに
よりクリーンルームの環境を汚染することはない。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る高感度粒子センサ試験用微小ミス
ト発生装置の１実施例構成を示す図、第２図はＤＯＰミ
ストのｒＬ径分布を説明するための図である。
ト発生装置の１実施例構成を示す図、第２図はＤＯＰミ
ストのｒＬ径分布を説明するための図である。
第１図において、ミスト発生器１は、例えば内径が２５
ｍｍ程度の円筒容器からなるものであり、空気吹き込み
ノズル２とミスト排出パイプが設けられ、空気吹き込み
ノズル２の先ｉ部が底から１〜２ｍｍの位置に保持され
る。円筒容器内には５ｃｍ’程度の高沸点の液体３が収
容される。高沸点の液体３としては、例えばＤＯＰ （
フタル酸ジｔ９チル）、ＤＯＳ（セバシン酸ジオクチル
）等が用いられる。空気吹き込みノズル２には、空気流
量調節弁６を通してエアフィルタ５が接続され、このエ
アフィルタ５を通して塵埃等を除去した清浄な空気が供
給される。流量調節弁６は、この空気供給量を調節する
ものである。粗大ミスト分離器４は、入力端がミスト発
生器１のミスト排出バイブに接続され、出力側が空気流
量調節弁６′を通して微小ミスト発生側継手７に接続さ
れると共に、空気流量調節弁６′を通して空気吹き込み
ノズル２側にも接続される。さらにエアフィルタ５は、
空気流路切り換え弁１２−１と１２−２に接続される。
ｍｍ程度の円筒容器からなるものであり、空気吹き込み
ノズル２とミスト排出パイプが設けられ、空気吹き込み
ノズル２の先ｉ部が底から１〜２ｍｍの位置に保持され
る。円筒容器内には５ｃｍ’程度の高沸点の液体３が収
容される。高沸点の液体３としては、例えばＤＯＰ （
フタル酸ジｔ９チル）、ＤＯＳ（セバシン酸ジオクチル
）等が用いられる。空気吹き込みノズル２には、空気流
量調節弁６を通してエアフィルタ５が接続され、このエ
アフィルタ５を通して塵埃等を除去した清浄な空気が供
給される。流量調節弁６は、この空気供給量を調節する
ものである。粗大ミスト分離器４は、入力端がミスト発
生器１のミスト排出バイブに接続され、出力側が空気流
量調節弁６′を通して微小ミスト発生側継手７に接続さ
れると共に、空気流量調節弁６′を通して空気吹き込み
ノズル２側にも接続される。さらにエアフィルタ５は、
空気流路切り換え弁１２−１と１２−２に接続される。
空気流路切り換え弁１２−１は、空気流路切り換え弁１
２−３を通して排気口１０に接続されると共に、エアフ
ィルタ５′、空気吸引ポンプ９、空気流量計９′、エア
フィルタ５′、空気吸引側継手８に接続される。なあ、
空気吸引ポンプ９の駆動源が電池１１であり、起Ｄ／停
止の制御手段がスイッチ１１′である。
２−３を通して排気口１０に接続されると共に、エアフ
ィルタ５′、空気吸引ポンプ９、空気流量計９′、エア
フィルタ５′、空気吸引側継手８に接続される。なあ、
空気吸引ポンプ９の駆動源が電池１１であり、起Ｄ／停
止の制御手段がスイッチ１１′である。
本発明に係る高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装
置は、上記のように構成して微小ミスト発生側継手７と
空気吸引側継手８との間に高感度粒子センサ１３を接続
し、空気吸引ポンプ９を運転することによって微小ミス
トを発生、供給して現場試験を行うようにしたものであ
る。
置は、上記のように構成して微小ミスト発生側継手７と
空気吸引側継手８との間に高感度粒子センサ１３を接続
し、空気吸引ポンプ９を運転することによって微小ミス
トを発生、供給して現場試験を行うようにしたものであ
る。
次にその動作を説明する。
空気吸引ポンプ９を運転し、エアフィルタ５′空気流路
切り換え弁１２−１、エアフィルタ５、空気流量調節弁
６を経由して清浄な空気をミスト発生器１の空気吹き込
みノズル２に供給すると、高沸点の液体３中に気泡が発
生する。この気泡は、直ちに上昇してミスト発生器１の
内部で破裂するが、この破裂の過程で微小ミストが生成
される。
切り換え弁１２−１、エアフィルタ５、空気流量調節弁
６を経由して清浄な空気をミスト発生器１の空気吹き込
みノズル２に供給すると、高沸点の液体３中に気泡が発
生する。この気泡は、直ちに上昇してミスト発生器１の
内部で破裂するが、この破裂の過程で微小ミストが生成
される。
空気の流量は、ミスト発生器Ｉの寸法により異なるが、
例えば内径２５ｍｒｒ＋、高さ１７０ｍｍの場合には５
β／ｍｉｎ以下が適当である。液体３にＤＯＰを用いて
、ｌｊ’／ｍｉｎで清浄空気を供給した場合の粒径分布
を示したのが第２図であるが、発生した粒子の中位径は
０．５μｍで、１度は約１００個／ ｃ ｍコであった
。
例えば内径２５ｍｒｒ＋、高さ１７０ｍｍの場合には５
β／ｍｉｎ以下が適当である。液体３にＤＯＰを用いて
、ｌｊ’／ｍｉｎで清浄空気を供給した場合の粒径分布
を示したのが第２図であるが、発生した粒子の中位径は
０．５μｍで、１度は約１００個／ ｃ ｍコであった
。
生成した微小ミストは、空気と共に粗大ミスト分離器４
に導かれ、粗大ミストを除去した後に、空気流量：Ａ節
介６′を経由して、微小ミスト発生側継手７より高感度
粒子センサ１３に供給される。
に導かれ、粗大ミストを除去した後に、空気流量：Ａ節
介６′を経由して、微小ミスト発生側継手７より高感度
粒子センサ１３に供給される。
なお、このようにして高感度粒子センサ１３に供給され
る微小ミストの濃度は、空気流量調節弁６′を経由して
エアフィルタ５からの清浄空気により希釈する方法で変
化させることができる。
る微小ミストの濃度は、空気流量調節弁６′を経由して
エアフィルタ５からの清浄空気により希釈する方法で変
化させることができる。
次に、例えばクリーンルームのように室内に粒子状物質
を発生することが許されない場合の試験用微小ミスト発
生装置による試験方法を説明する。
を発生することが許されない場合の試験用微小ミスト発
生装置による試験方法を説明する。
第３図において、作動試験のための臨時操作として、高
感度粒子センサ１３から配管１３′と１３′を外し、第
１図に示すように試験用微小ミスト発生装置の微小ミス
ト発生側継手７と高感度粒子センサ１３の空気人口側配
管１３’を接続する。
感度粒子センサ１３から配管１３′と１３′を外し、第
１図に示すように試験用微小ミスト発生装置の微小ミス
ト発生側継手７と高感度粒子センサ１３の空気人口側配
管１３’を接続する。
同様にして、空気吸引側継手８と高感度粒子センサ１３
の空気出口側配管１３′を接続する。次に、空気流路切
り換え弁１２−１を閉止し、１２−２と１２−３を開放
する。その後、スイッチ１１’を閉じて空気吸引ポンプ
９を起動し、ミスト発生器１にエアフィルタ５を経由し
て塵埃を除去した清浄空気を吸引する。そして、微小ミ
ストを発生させ、微小ミスト発生側継手７を経由して高
感度粒子センサ１３に導入する。
の空気出口側配管１３′を接続する。次に、空気流路切
り換え弁１２−１を閉止し、１２−２と１２−３を開放
する。その後、スイッチ１１’を閉じて空気吸引ポンプ
９を起動し、ミスト発生器１にエアフィルタ５を経由し
て塵埃を除去した清浄空気を吸引する。そして、微小ミ
ストを発生させ、微小ミスト発生側継手７を経由して高
感度粒子センサ１３に導入する。
高感度粒子センサ１３に導入された微小ミストは、空気
人口側配管１３’を経由して空気吸引側継手８よりエア
フィルタ５′において除去される。
人口側配管１３’を経由して空気吸引側継手８よりエア
フィルタ５′において除去される。
微小ミストが除去された空気は、空気流量計９′で流量
測定された後、空気吸引ポンプ９、エアフィルタ５′、
弁１２−３を経由して排気口１０より室内に排出される
。このとき、高感度粒子センサ１３では微小ミストの濃
度に対応する信号を、第３図に示す伝送線１６を通して
監視装置１９に送る。なお、粒径０，１μｍ以上の微粒
子を９９゜９９９％以上の補集効率で除去するエアフィ
ルタ５′を用いることにより、排気口１０からの排気を
清浄空気にすることができ、クリーンルーム等の環境汚
染を防ぐことができる。
測定された後、空気吸引ポンプ９、エアフィルタ５′、
弁１２−３を経由して排気口１０より室内に排出される
。このとき、高感度粒子センサ１３では微小ミストの濃
度に対応する信号を、第３図に示す伝送線１６を通して
監視装置１９に送る。なお、粒径０，１μｍ以上の微粒
子を９９゜９９９％以上の補集効率で除去するエアフィ
ルタ５′を用いることにより、排気口１０からの排気を
清浄空気にすることができ、クリーンルーム等の環境汚
染を防ぐことができる。
次に、例えば電子計算機室のように高感度粒子センサの
設置されている環境中に若干の粒子状物質が発生しても
、室内の清浄度に悪影響を及ぼさない場合の試験方法を
説明する。
設置されている環境中に若干の粒子状物質が発生しても
、室内の清浄度に悪影響を及ぼさない場合の試験方法を
説明する。
室内に微小ミストを噴霧しても良いことから、高感度粒
子センサ１３は、配管等の接続を変更することなく、第
３図に示す通常の使用状態のままで、空気取り入れ口１
４付近の空気中に微小ミストを吹き付けることにより、
高感度粒子センサ１３が正常に作動するか否かを確認す
るための試験を実施する。この場合には、第１図に示す
ように微小ミスト発生装置を高感度粒子センサ１３に接
続することはせず、微小ミスト発生側継手７にビニール
チューブ等（図示せず）を接続し、その先端を高感度粒
子センサ１３の空気取り入れ口１４に近づけるように配
管する。そして、微小ミスト発生装置の空気流路切り換
え弁１２−１を開放し、１２−２と１２−３を閉止する
。その後、空気吸引ポンプ９を起動し、エアフィルタ５
′、空気流路切り換え弁１２−１、エアフィルタ５、空
気謂整弁６を経由してミスト発生器に清浄空気を供給す
ることによって、微小ミストを発生させビニルチューブ
等より室内に噴霧する。
子センサ１３は、配管等の接続を変更することなく、第
３図に示す通常の使用状態のままで、空気取り入れ口１
４付近の空気中に微小ミストを吹き付けることにより、
高感度粒子センサ１３が正常に作動するか否かを確認す
るための試験を実施する。この場合には、第１図に示す
ように微小ミスト発生装置を高感度粒子センサ１３に接
続することはせず、微小ミスト発生側継手７にビニール
チューブ等（図示せず）を接続し、その先端を高感度粒
子センサ１３の空気取り入れ口１４に近づけるように配
管する。そして、微小ミスト発生装置の空気流路切り換
え弁１２−１を開放し、１２−２と１２−３を閉止する
。その後、空気吸引ポンプ９を起動し、エアフィルタ５
′、空気流路切り換え弁１２−１、エアフィルタ５、空
気謂整弁６を経由してミスト発生器に清浄空気を供給す
ることによって、微小ミストを発生させビニルチューブ
等より室内に噴霧する。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。
く、種々の変形が可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高沸
点の液体に清浄空気を供給し発生したミストを高感度粒
子センサに導入して、当該センサの作動試験、あるいは
感度の較正に使用するので、従来の燻焼煙の発生装置と
は異なり、火気を使用せず、有機溶剤、水素ガス等の可
燃性物質が空気中に存在している恐れのある室内におい
ても使用可能である。しかも、発生粒子濃度を任意に設
定できるので、広範囲の濃度にわたって試験できる。
点の液体に清浄空気を供給し発生したミストを高感度粒
子センサに導入して、当該センサの作動試験、あるいは
感度の較正に使用するので、従来の燻焼煙の発生装置と
は異なり、火気を使用せず、有機溶剤、水素ガス等の可
燃性物質が空気中に存在している恐れのある室内におい
ても使用可能である。しかも、発生粒子濃度を任意に設
定できるので、広範囲の濃度にわたって試験できる。
さらに、軽量、小型で外部電源を必要とせず、空気吸引
ポンプ駆動用の電池を内蔵するだけで電源等の準備が不
要であり、高感度粒子センサの現場試験に好適である。
ポンプ駆動用の電池を内蔵するだけで電源等の準備が不
要であり、高感度粒子センサの現場試験に好適である。
また、発生したミストの全量が高感度粒子センサを通過
し、その後にエアフィルタを通過して、試験後のミスト
を完全に除去する方法で使用可能であることから、ミス
トによるクリーンルームの環境汚染を防ぐことができる
。
し、その後にエアフィルタを通過して、試験後のミスト
を完全に除去する方法で使用可能であることから、ミス
トによるクリーンルームの環境汚染を防ぐことができる
。
第１図は高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置の
１実施例構成を示す図、第２図はＤＯＰミストの粒径分
布を示す図、第３図は高感度粒子センサの設置例を示す
図である。 ■・・・ミスト発生器、２・・・空気吹き込みノズル、
３・・・高沸点の液体、４・・・粗大ミスト分離器、５
．５′と５′・・・エアフィルタ、６．６′と６′・・
・空気流量調節弁、７・・・微小ミスト発生側継手、８
・・・空気吸引側継手、９・・・空気吸引ポンプ、９′
・・・空気流量計、ｌＯ・・・排気口、１１・・・電池
、１１″・・・スイッチ、１２−１〜１２−３・・・空
気流路切り換え弁、１３・・・高感度粒子センサ。 出 願 人 清水建設株式会社 復代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外６名）箇２ 図 粒径 （、ｕｍ） 第１ 第３
１実施例構成を示す図、第２図はＤＯＰミストの粒径分
布を示す図、第３図は高感度粒子センサの設置例を示す
図である。 ■・・・ミスト発生器、２・・・空気吹き込みノズル、
３・・・高沸点の液体、４・・・粗大ミスト分離器、５
．５′と５′・・・エアフィルタ、６．６′と６′・・
・空気流量調節弁、７・・・微小ミスト発生側継手、８
・・・空気吸引側継手、９・・・空気吸引ポンプ、９′
・・・空気流量計、ｌＯ・・・排気口、１１・・・電池
、１１″・・・スイッチ、１２−１〜１２−３・・・空
気流路切り換え弁、１３・・・高感度粒子センサ。 出 願 人 清水建設株式会社 復代理人 弁理士 阿 部 龍 吉（外６名）箇２ 図 粒径 （、ｕｍ） 第１ 第３
Claims (3)
- （１）高沸点の溶液を収納し底部付近から清浄空気を吹
き込むノズルを有する微小ミスト発生容器、空気吸引ポ
ンプ、及びエアフィルタを備え、エアフィルタを通して
微小ミスト発生容器のノズルから高沸点の溶液内に清浄
空気を吹き込むことによって微小ミストを発生させるよ
うに構成したことを特徴とする高感度粒子センサ試験用
微小ミスト発生装置。 - （２）高沸点の溶液を収納したミスト発生容器と空気吸
引ポンプとエアフィルタを備え該エアフィルタを通して
高沸点の溶液内に清浄空気を吹き込むことによって微小
ミストを発生する微小ミスト発生装置を高感度粒子セン
サに直結して高感度粒子センサの較正・試験を行うこと
を特徴とする高感度粒子センサ試験方法。 - （３）高沸点の溶液を収納したミスト発生容器と空気吸
引ポンプとエアフィルタを備え該エアフィルタを通して
高沸点の溶液内に清浄空気を吹き込むことによって微小
ミストを発生する微小ミスト発生装置により高感度粒子
センサの空気取り入れ口付近の空気中に試験用微小ミス
トを吹きつけて高感度粒子センサの較正・試験を行うこ
とを特徴とする高感度粒子センサ試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298394A JP2781927B2 (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298394A JP2781927B2 (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03158742A true JPH03158742A (ja) | 1991-07-08 |
| JP2781927B2 JP2781927B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=17859133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1298394A Expired - Lifetime JP2781927B2 (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 高感度粒子センサ試験用微小ミスト発生装置及び試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781927B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114166709A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-11 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种船舶机舱用油雾传感器及油雾清洗方法 |
| CN116612618A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-18 | 昆明民安消防设备有限公司 | 一种消防设备检测装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5565551U (ja) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | ||
| JPS60219538A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Nippon Steel Corp | 不活性ガス吹き込み微粒子回収溶融金属分析方法および装置 |
| JPH01227949A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Nippon Steel Corp | 微粒子生成溶融金属直接分析方法および装置 |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP1298394A patent/JP2781927B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5565551U (ja) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | ||
| JPS60219538A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Nippon Steel Corp | 不活性ガス吹き込み微粒子回収溶融金属分析方法および装置 |
| JPH01227949A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Nippon Steel Corp | 微粒子生成溶融金属直接分析方法および装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114166709A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-11 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种船舶机舱用油雾传感器及油雾清洗方法 |
| CN116612618A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-18 | 昆明民安消防设备有限公司 | 一种消防设备检测装置 |
| CN116612618B (zh) * | 2023-07-19 | 2023-09-12 | 昆明民安消防设备有限公司 | 一种消防设备检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2781927B2 (ja) | 1998-07-30 |
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