JPH03156415A - Optical device and method for optical beam scanning - Google Patents

Optical device and method for optical beam scanning

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Publication number
JPH03156415A
JPH03156415A JP29502989A JP29502989A JPH03156415A JP H03156415 A JPH03156415 A JP H03156415A JP 29502989 A JP29502989 A JP 29502989A JP 29502989 A JP29502989 A JP 29502989A JP H03156415 A JPH03156415 A JP H03156415A
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JP
Japan
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light beam
scanned
plane mirror
scanning
optical system
Prior art date
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Application number
JP29502989A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takaki Hisada
隆紀 久田
Yoshio Ariki
有木 美雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To simply correct a change in the intensity of an optical beam due to a position on a scanning line by arranging a plane mirror so that the intensity of an incident optical beam to a face to be scanned is fixed on the scanning line. CONSTITUTION:The plane mirror 6 is arranged on the face vertical to a scanning plane so that a normal 9 drawing on the reflection face of the mirror 6 forms an inclination angle alpha with the optical axis AX of an image forming optical system 5. The angle alpha is 1/2 the angle beta formed by an optical beam 10 projected from a light source unit 1 and the axis AX of the system 5 and its direction is the light source unit direction. Then the plane mirror 6 is inclined from the scanning plane. The inclination angle is set up so that the optical beam is reflected on the face 8 to be scanned arranged on the light source (1) side from the optical axis AX of the system 5 and the optical beam coincident with the optical axis AX arrives at the center B of the scanning line 8. Consequently, the intensity variation of the optical beam due to the scanning position can be effective corrected without generating difficulty in production.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザビームプリンタ等の光ビーム走査光学
装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a light beam scanning optical device such as a laser beam printer.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光ビームを走査する走査光学装置において、光ビームの
偏向手段として、回転多面鏡等のように、光ビーム反射
面の角度を変えて光ビームを偏向する方法が広く用いら
れている。
2. Description of the Related Art In a scanning optical device that scans a light beam, a method of deflecting the light beam by changing the angle of a light beam reflecting surface, such as a rotating polygon mirror, is widely used as a light beam deflection means.

第7図は、従来の光ビーム走査光学装置の一例を示す構
成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing an example of a conventional light beam scanning optical device.

本光学装置は、光源ユニット1と、光ビームを偏向する
回転多面鏡2と、偏向された光ビームを被走査面7上に
集束する結像光学系5と、結像光学系5からの光ビーム
の方向を被走査面7に向かうよう変化させる平面鏡6と
、被走査面7とから構成される。
This optical device includes a light source unit 1, a rotating polygon mirror 2 that deflects a light beam, an imaging optical system 5 that focuses the deflected light beam onto a scanned surface 7, and a light beam from the imaging optical system 5. It is composed of a plane mirror 6 that changes the direction of the beam toward the surface to be scanned 7 and the surface to be scanned 7 .

以上のような構成の光学装置について、その動作な次に
説明する。
The operation of the optical device having the above configuration will now be described.

光源ユニット1を出た光ビーム10は、回転多面鏡2で
反射され、回転多面@2の回転に従って、顆次光ビーム
10a、10b、10oのように偏向される。この偏向
された光ビームにより形成される平面を走査平面とする
The light beam 10 exiting the light source unit 1 is reflected by the rotating polygon mirror 2, and is deflected into condylar light beams 10a, 10b, and 10o according to the rotation of the rotating polygon @2. The plane formed by this deflected light beam is defined as a scanning plane.

また、回転多面鏡2によって偏向された光ビームと結像
光学系50光軸AXとの成す角θを偏向角θとする。偏
向角θの値は、第7図において、結像光学系の光軸AX
に対して、光源ユニットと反対側に偏向される場合を正
とする。
Further, the angle θ formed by the light beam deflected by the rotating polygon mirror 2 and the optical axis AX of the imaging optical system 50 is defined as the deflection angle θ. In FIG. 7, the value of the deflection angle θ is determined by the optical axis AX of the imaging optical system.
On the other hand, the case where the light is deflected to the side opposite to the light source unit is considered positive.

回転多面鏡2で偏向された光ビームは、結像光学系5に
よって集束される。
The light beam deflected by the rotating polygon mirror 2 is focused by the imaging optical system 5.

結像光学系5を出た光ビームは、平面鏡6で反射され、
被走査面7上を直線状に走査する。この直線を走査線8
とする。
The light beam exiting the imaging optical system 5 is reflected by a plane mirror 6,
The surface to be scanned 7 is scanned linearly. This straight line is the scanning line 8
shall be.

被走査面7は、例えば感光性の記録媒体であり、光ビー
ムの照射によって情報が記録される。
The surface to be scanned 7 is, for example, a photosensitive recording medium, and information is recorded by irradiation with a light beam.

以上のような走査光学装置においては、回転多面鏡2に
よって光ビームが偏向される際、偏向角θの値は、回転
多面鏡の反射面4への光ビームの入射角によって変化す
る。
In the scanning optical device as described above, when a light beam is deflected by the rotating polygon mirror 2, the value of the deflection angle θ changes depending on the angle of incidence of the light beam on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror.

ここで、一般に、光ビームの反射媒体では、光ビームの
入射角に応じてその反射率が変化することが知られてい
る。
Here, it is generally known that the reflectance of a light beam reflecting medium changes depending on the incident angle of the light beam.

従って、上記被走査面7上を光ビームが走査する場合に
、偏向角に応じて変化する走査位置によって光ビームの
強度が変化する。
Therefore, when the light beam scans the scanned surface 7, the intensity of the light beam changes depending on the scanning position, which changes depending on the deflection angle.

次に、第8図(a)は、横軸に走査線上の位置、縦軸に
光ビームの強度をと(バ走査線上の位置に対する強度の
変化を示したものである。
Next, FIG. 8(a) shows the position on the scanning line on the horizontal axis and the intensity of the light beam on the vertical axis (changes in intensity with respect to the position on the scanning line).

このような走査光学装置において、被走査面を走査する
光ビームは、ビームの進行方向に垂直な断面におけるエ
ネルギー分布が、ビーム中心からの距離に対してほぼ、
いわゆるガウス分布形状となっている。(以後、これを
ガクスビームといつ、)第8図(b)は、第8図(a)
に示すよりな走査線上の位置において、光ビームの強度
の変化がある場合に、走査線上の位置人およびCにおけ
る光ビームのエネルギー分布を示したものである。
In such a scanning optical device, the light beam that scans the surface to be scanned has an energy distribution in a cross section perpendicular to the beam traveling direction that is approximately equal to the distance from the beam center.
It has a so-called Gaussian distribution shape. (Hereafter, this will be referred to as the Gax beam.) Figure 8 (b) is similar to Figure 8 (a).
This figure shows the energy distribution of the light beam at positions C and C on the scanning line when there is a change in the intensity of the light beam at the positions on the scanning line shown in FIG.

第8図(b) において、横軸はビーム中心からの距離
、縦軸は光エネルギーを示し、直線51は、被走査面で
ある記録媒体の感光レベルを示す、この感光レベル31
より大きい光エネルギーが照射されたときに記録媒体に
記録される。
In FIG. 8(b), the horizontal axis shows the distance from the beam center, the vertical axis shows the optical energy, and the straight line 51 shows the photosensitivity level 31 of the recording medium, which is the surface to be scanned.
It is recorded on the recording medium when a larger light energy is irradiated.

このため、記録媒体に記録される光ビームのビーム径は
、走査位置Aではω1、走査位置Cではω。
Therefore, the beam diameter of the light beam recorded on the recording medium is ω1 at scanning position A and ω at scanning position C.

となり、同一文字を記録しても、その文字の線の太さが
具なる。
Therefore, even if the same character is recorded, the thickness of the line of that character will be the same.

これは、例えば、レーザプリンタの場合では、印字のば
らつきとなり、印字品位を劣化させる原因となっていた
For example, in the case of a laser printer, this causes variations in printing and causes deterioration of printing quality.

以上のような問題点を解決する光学装置とじて・例えば
、特開昭63−92913号公報に記載のもの等がある
An example of an optical device that solves the above-mentioned problems is the one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-92913.

上記記載の従来の走査光学装置においては、上記走査線
上の位置の違いによる光ビームの強度の変化を補正する
ために、第7図における平面鏡60反射面をコーティン
グ等により光ビームの走査方向に沿りてその反射率を変
化させたものである。
In the conventional scanning optical device described above, in order to correct the change in the intensity of the light beam due to the difference in position on the scanning line, the reflective surface of the plane mirror 60 in FIG. 7 is coated or the like along the scanning direction of the light beam. The reflectance is changed based on the reflection rate.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、上記従来技術では、反射面の場所に応じ
た適切な反射率をもつようにコーティング等することは
はなはだ困難であるという問題がある。さらに、このよ
うな平面鏡を組立てる場合、走査線上の位置による光ビ
ームの強度の変化に対応して反射率が適切な値となるよ
うに、高精度に取付ける必要があり、組立が困難となる
間頂もある。
However, the above-mentioned conventional technology has a problem in that it is extremely difficult to coat the reflecting surface so that it has an appropriate reflectance depending on the location. Furthermore, when assembling such a plane mirror, it must be mounted with high precision so that the reflectance will be an appropriate value in response to changes in the intensity of the light beam depending on the position on the scanning line, which makes assembly difficult. There is also a peak.

本発明の目的は、上記問題点を解決し、走査線上の位置
による光ビームの強度変化を簡易に補正し得る走査光学
装置を実現することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to realize a scanning optical device that can easily correct changes in the intensity of a light beam depending on the position on a scanning line.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

以上のような課題を解決するため1本発明に係る光ビー
ム走査光学装置は次のようなものとした。
In order to solve the above problems, a light beam scanning optical device according to the present invention is as follows.

すなわち、本発明に係る光ピーA走査光学装置は、光ビ
ーム発生源と、偏向装置と、結像光学系と、平面鏡とか
ら成っていて、上記平面鏡は、被走査面に入射する光ビ
ームの強度が、走査線上において一定となる位置に配置
されている。
That is, the optical P-A scanning optical device according to the present invention includes a light beam generation source, a deflection device, an imaging optical system, and a plane mirror, and the plane mirror is configured to deflect the light beam incident on the surface to be scanned. The intensity is placed at a constant position on the scanning line.

平面鏡は、結像光学系と被走嶽面との間に置かれ、かつ
、上記平面鏡を走査平面に対し誰直に置き、上記平面鏡
の光ビームの反射面に立てた法線と、上記結像光学系の
光軸との成す角が、上記光ビーム発生源から偏向装置に
向かう光ビームと、上記光軸との成す角の2分の1とな
る位#に配置する1ようが好ましいが、これに限定され
るものではない。
The plane mirror is placed between the imaging optical system and the surface to be scanned, and the plane mirror is placed perpendicular to the scanning plane, and the normal line to the reflection surface of the light beam of the plane mirror and the above-mentioned resultant plane are arranged perpendicularly to the scanning plane. It is preferable that the imaging optical system be arranged at such an angle that the angle formed with the optical axis is half of the angle formed between the optical axis and the light beam directed from the light beam generation source toward the deflection device. , but is not limited to this.

また、平面鏡の反射面における光ビームに対する反射率
の特性を、偏向装置の反射rにおける光ビームに対する
反射率の特性と同一にしたほうが、平面鏡の位置を容易
に決められる。
Further, the position of the plane mirror can be more easily determined by making the reflectance characteristics for the light beam on the reflection surface of the plane mirror the same as the reflectance characteristics for the light beam at the reflection r of the deflection device.

そのほか、上記結像光学系と上記平面鏡との間に、光ビ
ームに対する回転多面鏡の反射率の特性と同一の特性と
なる透過率を持つ平行平板を、上記被走査面に入射する
光ビームの強度が、走査線上において一定となる位置に
配置してもよい。
In addition, between the imaging optical system and the plane mirror, a parallel plate having a transmittance that has the same characteristics as the reflectance of the rotating polygon mirror for the light beam is installed to reflect the light beam incident on the scanned surface. It may be arranged at a position where the intensity is constant on the scanning line.

上記課題を達成するための光ビーム走査方法は、上記平
面鏡により、入射点によって反射角度を異なるように反
射させて、上記被走査面に入射する光ビームを、その強
度が、走査線上において一定となるようKする。
A light beam scanning method for achieving the above object is such that the plane mirror reflects the light beam at different reflection angles depending on the point of incidence, so that the light beam incident on the surface to be scanned has a constant intensity on the scanning line. K so that it becomes.

また、平面鏡を、結像光学系と被走査面との間に置き、
該平面鏡の光ビームの反射面に立てた法線と、上記結像
光学系の光軸との成す角が、光ビーム発生源から偏向装
置に向かう光ビームと、上記光軸との成す角の2分の1
となる位置に配置し、さらに、上記平面鏡を傾け、該平
面鏡により、入射点くよって反射角度を異なるように反
射させるほうが好ましいが、これに限定されるものでは
ない。
Also, a plane mirror is placed between the imaging optical system and the surface to be scanned,
The angle formed by the normal to the light beam reflecting surface of the plane mirror and the optical axis of the imaging optical system is the angle formed by the light beam directed from the light beam generation source toward the deflection device and the optical axis. 1/2
It is preferable that the plane mirror be placed at a position such that the plane mirror is tilted so that the plane mirror reflects the light at different angles depending on the incident point, but the invention is not limited thereto.

〔作用〕[Effect]

回転多面鏡で光ビームを偏向する場合、回転多面鏡の反
射面への光ビームの入射角の変化について説明する。
When a light beam is deflected by a rotating polygon mirror, changes in the angle of incidence of the light beam on the reflecting surface of the rotating polygon mirror will be explained.

第5図は1回転多面@2の反射面4の近傍で反射面4の
動きとともに光ビーム10が偏向される様子を模式的に
示したものである。
FIG. 5 schematically shows how the light beam 10 is deflected in the vicinity of the reflective surface 4 of the one-rotation polygon @2 as the reflective surface 4 moves.

1は光源具ニット、10は光ビーム、4a、4b。1 is a light source unit, 10 is a light beam, 4a, 4b.

4oは反射面、10a、10.は各反射面で反射された
光ビーム、ψ4.ψ、は光ビームの入射角、βは結像光
学系5の光軸人Xと入射光ビームの成す角、θは光軸A
Xと反射した光ビームの成す角すなわち偏光角を示す。
4o is a reflective surface, 10a, 10. is the light beam reflected by each reflective surface, ψ4. ψ is the incident angle of the light beam, β is the angle between the optical axis X of the imaging optical system 5 and the incident light beam, and θ is the optical axis A
It shows the angle formed by X and the reflected light beam, that is, the polarization angle.

反射面4への光ビームの入射角ψが、ψ、からψ。The angle of incidence ψ of the light beam on the reflecting surface 4 is from ψ to ψ.

のように順次増大するに従って、反射された光ビームは
光ビーム10a(偏向角が負)から光ビーム10o(偏
向角が正、最大)Kまで順次偏向される。
, the reflected light beams are sequentially deflected from light beam 10a (negative deflection angle) to light beam 10o (positive deflection angle, maximum) K.

このとき、光ビームの反射率は、入射角に応じて、例え
ば第4図に示すように変化し、このため、光ビームの強
度が偏向角に応じて変化することKなる。
At this time, the reflectance of the light beam changes depending on the incident angle, as shown in FIG. 4, for example, and therefore the intensity of the light beam changes depending on the deflection angle.

ここで、結像光学系5と被走査面7の間に配置された平
面fM6を、上記本発明の構成のごとく設定する。すな
わち、偏向された光ビームの平面鏡6への入射角の変化
が、上記回転多面鏡2の反射面4の場合と逆になるよう
設定する。このようにすれば、平面鏡6への光ビームの
入射角は、偏向角0が負の時(光軸AXよりも光源ユニ
ット側に偏向される時)は大きく、偏向角が正の時は小
さくなる。
Here, the plane fM6 disposed between the imaging optical system 5 and the surface to be scanned 7 is set as in the configuration of the present invention described above. That is, the change in the angle of incidence of the deflected light beam on the plane mirror 6 is set to be opposite to that on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror 2 described above. In this way, the angle of incidence of the light beam on the plane mirror 6 is large when the deflection angle 0 is negative (when it is deflected toward the light source unit side from the optical axis AX), and small when the deflection angle is positive. Become.

さらに、平面鏡6の光ビームに対する反射率の特性を、
回転多面鏡の反射面の反射率と同一の特性とすれば、光
源ユニット1から出た光ビームの回転多面鏡2の反射面
4における反射率と、平面鏡6における反射率は、反比
例の関係となる。
Furthermore, the reflectance characteristics of the plane mirror 6 for the light beam are as follows:
Assuming that the reflectance of the reflective surface of the rotating polygon mirror has the same characteristics, the reflectance of the light beam emitted from the light source unit 1 on the reflective surface 4 of the rotating polygon mirror 2 and the reflectance on the plane mirror 6 are inversely proportional to each other. Become.

従って、本発明になる平面鏡6は、回転多面鏡2によっ
て生じた、偏向角に対応する光ビームの強度の変化を相
殺するように作用する。
Therefore, the plane mirror 6 according to the present invention acts to cancel out the change in the intensity of the light beam caused by the rotating polygon mirror 2, which corresponds to the deflection angle.

これによって、偏向角に対応する光ビームの強度の変化
を補正し、走査線8上において同一強度となるようにす
ることが可能となる。
This makes it possible to correct changes in the intensity of the light beam that correspond to the deflection angle, so that the intensity remains the same on the scanning line 8.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面にて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、本発明の一実施例の構成を示す。FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of the present invention.

本実施例による走査光学装置は、光源ユニット1、回転
多面鏡2とモータ3、結像光学系5、平面鏡6、被走査
面7とから構成される。
The scanning optical device according to this embodiment includes a light source unit 1, a rotating polygon mirror 2, a motor 3, an imaging optical system 5, a plane mirror 6, and a surface to be scanned 7.

次に、その動作について説明する。光源ユニット1は、
光源と光ビーム整形用光学系を含み、はぼ平行な光ビー
ムを出射する。光源は、本実施例では半導体レーザであ
る。
Next, its operation will be explained. The light source unit 1 is
It includes a light source and a light beam shaping optical system, and emits a nearly parallel light beam. The light source is a semiconductor laser in this example.

回転多面鏡2は、モータ3によって図に示す矢印の方向
に回転される。光源ユニット1を出た光ビーム10は、
回転多面@2の反射面4で反射される。
The rotating polygon mirror 2 is rotated by a motor 3 in the direction of the arrow shown in the figure. The light beam 10 exiting the light source unit 1 is
It is reflected by the reflective surface 4 of the rotating polygon @2.

図に示すように、回転多面鏡2が矢印の方向に回転する
に従って、その反射面4で反射された光ビームは順次1
051.10b、 10oOように向きを変え偏向され
ることになる。
As shown in the figure, as the rotating polygon mirror 2 rotates in the direction of the arrow, the light beam reflected by the reflecting surface 4 is sequentially 1
051.10b, it will change direction and be deflected 10oO.

本実施例では、回転多面鏡2は8面の反射面を有し、1
つの反射面で上記10a〜100までの光ビームの偏向
、すなわち1走査を行ない、回転多面鏡2が1回転する
間に8回の走査が行なわれる。
In this embodiment, the rotating polygon mirror 2 has eight reflective surfaces, and one
The light beams 10a to 100 are deflected by the two reflecting surfaces, that is, one scan is performed, and eight scans are performed while the rotating polygon mirror 2 rotates once.

結像光学系5は負のパワーを有する第1のレンスト正の
パワーを有する第2のレンズの2枚のレンズにより構成
される。
The imaging optical system 5 is composed of two lenses, a first lens having negative power and a second lens having positive power.

結像光学系5は、回転多面鏡2により10aから10o
のように偏向された光ビームを、被走査面7上に集束さ
せる作用を行なう。
The imaging optical system 5 includes a rotary polygon mirror 2 that provides an image of 10a to 10o.
It functions to focus the deflected light beam on the scanned surface 7.

結像光学系5は、上記した光ビームを集束する作用の他
、光ビームが被走査面7上を走査する際に、走査線8上
の位置が偏向角θに比例する(いわゆるfθ特性)よう
に光ビームの光路を曲げる作用を行なう。
In addition to the function of focusing the light beam described above, the imaging optical system 5 has the function that when the light beam scans the surface to be scanned 7, the position on the scanning line 8 is proportional to the deflection angle θ (so-called fθ characteristic). It acts to bend the optical path of the light beam.

平面鏡6は、結像光学系5からの光ビームを、被走査面
7の所定の走査位置く反射させる作用を行なうと同時に
1本発明による、光ビームの偏向角に対応する強さの不
均一性を補正する作用を行なう。
The plane mirror 6 has the function of reflecting the light beam from the imaging optical system 5 to a predetermined scanning position on the surface to be scanned 7, and at the same time reflects the non-uniform intensity of the light beam corresponding to the deflection angle of the light beam according to the present invention. It has the effect of correcting gender.

本平面鏡6は、走査面内において所定の角度に傾けて配
置される。
The plane mirror 6 is arranged at a predetermined angle within the scanning plane.

第2図は、第1図に示す実施例を走査平面の上から見た
際の構成図である。
FIG. 2 is a block diagram of the embodiment shown in FIG. 1 when viewed from above the scanning plane.

第2図により、平面鏡6の配置を説明する。The arrangement of the plane mirror 6 will be explained with reference to FIG.

第2図に示すように、まず、平面鏡6は走査平面と重直
な面に、その反射面に立てた法線9が結像光学系5の光
軸AXと傾き角度αを成すよう配置される。角度αは、
光源ユニット1から出た光ビーム10と結像光学系5の
光軸AXとの成す角βの1/2とし、その向きは光源ユ
ニット方向とする。
As shown in FIG. 2, first, the plane mirror 6 is arranged on a plane perpendicular to the scanning plane so that the normal 9 erected to the reflection plane forms an inclination angle α with the optical axis AX of the imaging optical system 5. Ru. The angle α is
It is assumed that the angle β between the light beam 10 emitted from the light source unit 1 and the optical axis AX of the imaging optical system 5 is 1/2, and its direction is in the direction of the light source unit.

次に、平面鏡6を走査平面に対し傾ける。その傾ける角
度は、結像光学系5の光軸AXよりも光源ユニット1側
に置かれた被走査面8上に、光ビームが反射される角度
とし、光軸AXと一致する光ビームが、走査線8の中央
Bに到達するように傾ける。この角度は、入射する全て
の光ビームに対して、等しいため、上記条件を満足する
角度であれば任意である。
Next, the plane mirror 6 is tilted relative to the scanning plane. The tilt angle is such that the light beam is reflected onto the scanned surface 8 placed closer to the light source unit 1 than the optical axis AX of the imaging optical system 5, and the light beam that coincides with the optical axis AX is Tilt it so that it reaches the center B of the scanning line 8. Since this angle is the same for all incident light beams, it can be any angle that satisfies the above conditions.

さらに平面鏡6の反射面は回転多面鏡2の反射面と同一
の材料により形成される。
Furthermore, the reflective surface of the plane mirror 6 is made of the same material as the reflective surface of the rotating polygon mirror 2.

以上のように平面鏡6を配置することにより、平面鏡6
での、偏向角θに対応する光ビームの反射率の特性は、
回転多面鏡2における反射率の特性と逆の特性を有する
ことになり、偏向角によって異なる光ビームの強度の変
化を補正することができる。
By arranging the plane mirror 6 as described above, the plane mirror 6
The characteristic of the reflectance of the light beam corresponding to the deflection angle θ is
It has a characteristic opposite to the reflectance characteristic of the rotating polygon mirror 2, and can correct changes in the intensity of the light beam that vary depending on the deflection angle.

この作用の詳細については、後に説明する。The details of this action will be explained later.

被走査面7は、例えばレーザプリンタ等では、感光ドラ
ム面であり、光ビームが照射された部分には帯電又は放
電の現象が起こり、信号が記録される。光ビームは被走
査面8上を直線状に走査しく走査線8)、被走査面上に
信号を記録し、被走査面7は、例えば第1図の矢印の方
向に回転して、直線上に記録された信号を次のプロセス
に伝達する。
The surface to be scanned 7 is, for example, a photosensitive drum surface in a laser printer or the like, and a charging or discharging phenomenon occurs in a portion irradiated with a light beam, and a signal is recorded. The light beam scans the scanned surface 8 in a straight line (scanning line 8) and records a signal on the scanned surface, and the scanned surface 7 rotates, for example, in the direction of the arrow in FIG. The signal recorded in the process is transmitted to the next process.

次に、第3図により、平面g86の、偏向角θに対応す
る光ビームの強度の変動を補正する作用について説明す
る。
Next, with reference to FIG. 3, an explanation will be given of the effect of the plane g86 to correct variations in the intensity of the light beam corresponding to the deflection angle θ.

初めに、回転多面鏡2による光ビームの偏向に際して、
光ビームが偏向角θに依存してその強度が変化する原因
について説明する。
First, when the light beam is deflected by the rotating polygon mirror 2,
The reason why the intensity of the light beam changes depending on the deflection angle θ will be explained.

第3図に示すように、光源ユニット1を出た光ビーム1
0は、回転多面鏡2の反射面4で反射されるが、反射面
4は回転多面鏡2の回転(矢印の方向)に従ってその位
置を4a、4b、4oのように変化させる。
As shown in FIG. 3, the light beam 1 exiting the light source unit 1
0 is reflected by the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror 2, and the reflecting surface 4 changes its position as 4a, 4b, and 4o according to the rotation of the rotating polygon mirror 2 (in the direction of the arrow).

この時、反射面4への光ビーム10の入射角(反射面4
の法線と入射する光ビーム10との成す角)はψ、から
ψ、まで、単調に増加する。
At this time, the angle of incidence of the light beam 10 on the reflecting surface 4 (reflecting surface 4
The angle formed by the normal to the incident light beam 10) increases monotonically from ψ to ψ.

本実施例では、光ビーム10と結像光学系5の光軸人X
との成す角βを55度、光ビームの偏向角θは結像光学
系5の光軸AXを基準として最大±50度である。
In this embodiment, the optical axis person X of the light beam 10 and the imaging optical system 5 is
The angle β between the two is 55 degrees, and the deflection angle θ of the light beam is at most ±50 degrees with respect to the optical axis AX of the imaging optical system 5.

第3図かられかるように1反射面4への光ビーム100
入射角をψとすると、偏向角θに対して、ψ=(θ+β
)/2       ・・・・・・・・・(1)となる
As shown in Fig. 3, the light beam 100 is directed to 1 reflecting surface
If the angle of incidence is ψ, then ψ=(θ+β
)/2 ......(1).

従って、本実施例では、ψは、ψ、=175度からψ、
=42.5度まで変化する。
Therefore, in this example, ψ changes from ψ,=175 degrees to ψ,
=42.5 degrees.

この変化のグラフを、@5図に破線21で示す。A graph of this change is shown by the broken line 21 in Figure @5.

笹4図は、本実施例に用いた回転多面鏡2の反射面4に
おける光ビーム入射角に対する反射率の変化の一例を示
したものである。横軸は光ビームの入射角ψ、縦軸は光
ビームの反射率を示す、このように金属等を反射面とし
て用いた光ビームの反射率は、一般に光ビームの入射角
に対応して変化する。
Figure 4 shows an example of the change in reflectance with respect to the incident angle of the light beam on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror 2 used in this example. The horizontal axis shows the incident angle ψ of the light beam, and the vertical axis shows the reflectance of the light beam.In this way, the reflectance of a light beam using a metal etc. as a reflective surface generally changes depending on the incident angle of the light beam. do.

上記のように、本実施例では、光ビームの入射角をψ、
り12.5度からψ、=42−5度まで変化させ、光ビ
ームを偏向させているが、第4図に示すよう(、この入
射角の変化に対応して光ビームの反射率は約10%変化
することKなる。
As mentioned above, in this example, the incident angle of the light beam is ψ,
As shown in Figure 4, the reflectance of the light beam is approximately A change of 10% is K.

このような反射率の変化があると、光ビームの入射角の
値によって、回転多面鏡で反射された光ビームの強度が
変化し、その変化は光ビーム偏向角と一定の関係を示す
。その変化の状態は、第6図の破線25のようになる。
When there is such a change in reflectance, the intensity of the light beam reflected by the rotating polygon mirror changes depending on the value of the incident angle of the light beam, and the change shows a certain relationship with the light beam deflection angle. The state of the change is as indicated by the broken line 25 in FIG.

第6図において、横軸は光ビームの偏向角θであり、縦
軸は、光ビームの強度なθ=0度の時を基準として相対
値で示したものである。
In FIG. 6, the horizontal axis is the deflection angle θ of the light beam, and the vertical axis is a relative value with respect to the intensity of the light beam when θ=0 degrees.

偏向角θに対応して光ビームの強度が変化すると、被走
査面71C入射する光ビームの強度が場所により変化す
ることKなる。前述したように、レーザプリンタ等では
印字のムラとなり印字品位をはなはだ劣化させる。
When the intensity of the light beam changes in accordance with the deflection angle θ, the intensity of the light beam incident on the scanned surface 71C changes depending on the location. As mentioned above, in laser printers and the like, printing becomes uneven and the printing quality is significantly degraded.

本発明は、平面@6を上記したように、従来に比べて傾
けて配置することによ1バ上記光ビームの強度の変化を
補正できるようにした。
In the present invention, as described above, by arranging the plane @6 at an angle compared to the conventional arrangement, it is possible to correct changes in the intensity of the light beam above the plane @6.

本実施例において、平面鏡6に入射する光ビームに着目
する。この平面鏡6に入射する光ビームと結像光学系5
の光軸AXとの成す角は、光ビームの偏向角θに対して
、第5図の一点鎖線22に示すようにほぼ直線的に変化
する。またその傾きは、前記回転多面鏡の反射面4にお
ける光ビームの入射角の特性21(破線で示す)とほぼ
同じ傾きとなっている。
In this embodiment, attention is paid to the light beam incident on the plane mirror 6. The light beam incident on this plane mirror 6 and the imaging optical system 5
The angle formed by the optical axis AX with respect to the optical axis AX changes almost linearly with respect to the deflection angle θ of the light beam, as shown by the dashed-dotted line 22 in FIG. Further, its inclination is approximately the same as the characteristic 21 (indicated by a broken line) of the incident angle of the light beam on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror.

この理由は、結像光学系5が上記したように、いわゆる
fθ特性を有するため、回転多面鏡2で角度θに偏向さ
れた光ビームが結像光学系5によって、その光路を曲げ
られ、結像光学系5を通過後は光軸AXとの成す角が偏
向角θよりはるかに小さなものとなるためである。
The reason for this is that, as described above, the imaging optical system 5 has the so-called fθ characteristic, so the optical path of the light beam deflected by the rotating polygon mirror 2 at an angle θ is bent by the imaging optical system 5, and the optical beam is focused. This is because after passing through the image optical system 5, the angle formed with the optical axis AX becomes much smaller than the deflection angle θ.

一般に、fθレンズと呼ばれる結像光学系は、はぼ同様
の特性を有する。
Generally, an imaging optical system called an fθ lens has similar characteristics.

本実施例では、結像光学系5を通過後の光ビームと光軸
AXとの成す角度は偏向角θの約1/2で、偏向角θに
対する特性は上記したように、第5図の一点鎖線22の
ようになり、回転多面鏡への入射角の特性である破線2
1とほぼ平行となる。
In this embodiment, the angle formed between the light beam after passing through the imaging optical system 5 and the optical axis AX is approximately 1/2 of the deflection angle θ, and the characteristics with respect to the deflection angle θ are as shown in FIG. The dashed line 22 shows the characteristics of the angle of incidence on the rotating polygon mirror.
It is almost parallel to 1.

上記特性を利用すれば、平面鏡6を第2図に示すように
、傾けて配置することKより、平面鏡6への光ビームの
入射角をビーム偏向角θに対して、第5図に示す実線2
3のように変化させることができる。
By using the above characteristics, by arranging the plane mirror 6 at an angle as shown in FIG. 2, the angle of incidence of the light beam on the plane mirror 6 is determined by the solid line shown in FIG. 2
It can be changed as shown in 3.

実線25に示す平面鏡6への光ビームの入射角の特性は
、回転多面鏡の反射面4への光ビームの入射角の特性2
1と比べ、絶対値はほぼ等しく、正負は逆の傾きとなっ
ている。
The characteristic of the angle of incidence of the light beam on the plane mirror 6 shown by the solid line 25 is the characteristic 2 of the angle of incidence of the light beam on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror.
Compared to 1, the absolute values are almost equal, and the positive and negative slopes are opposite.

ここで、平面鏡6の反射面を回転多面鏡の反射面4と同
一の材料で形成すれば、平面鏡6への光ビームの入射角
に対する反射率の特性は、回転多面鏡2の反射面4にお
ける反射率の特性と同−忙なる。
Here, if the reflecting surface of the plane mirror 6 is made of the same material as the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror 2, the reflectance characteristics with respect to the angle of incidence of the light beam on the plane mirror 6 will be the same as that of the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror 2. Same as reflectance characteristics - busy.

これ忙よって、平面鏡6Vcおける、偏向角θ忙対応す
る光ビームの反射率によるビーム強度の変化を、第6図
に示す一点鎖線26のような特性とすることができる。
Due to this, the change in beam intensity due to the reflectance of the light beam corresponding to the deflection angle θ on the plane mirror 6Vc can be made to have a characteristic as shown by the dashed-dotted line 26 in FIG.

被走査面7Vc入射する光ビームの強度は、回転多面鏡
の反射面4での反射率と、平面鏡6での反射率の積に依
存する。
The intensity of the light beam incident on the scanned surface 7Vc depends on the product of the reflectance on the reflecting surface 4 of the rotating polygon mirror and the reflectance on the plane mirror 6.

従って、被走査面7での光ビームの強度は、第6図にお
いて、破線25と一点鎖線26の特性の積となり、実線
27で示すような特性となり、偏向角θに対する光ビー
ムの強度をほぼ一定に保つことができる。
Therefore, the intensity of the light beam on the scanned surface 7 is the product of the characteristics of the broken line 25 and the dashed-dotted line 26 in FIG. can be kept constant.

上記した、結像光学系5を出た光ビームと結像光学系の
光軸AXとの成す角は、fθ特性を有する結像光学系の
設計によって若干具なり、これに伴なって第6図の一点
鎖11126で示す反射率の特性も若干具なって来るが
、破線25で示すような従来の光学系における偏向角に
対する光ビーム強度の変化の特性に比べれば光ビーム強
度の変化を大幅に緩和できることに変わりはない。
The above-mentioned angle between the light beam exiting the imaging optical system 5 and the optical axis AX of the imaging optical system varies slightly depending on the design of the imaging optical system having fθ characteristics, and accordingly, Although the reflectance characteristics shown by the dotted chain 11126 in the figure are slightly improved, the changes in the light beam intensity are significantly improved compared to the characteristics of the change in the light beam intensity with respect to the deflection angle in the conventional optical system, as shown by the broken line 25. There is no change in the fact that it can be relaxed.

第9図は、本発明の第2の実施例の構成図である0本実
施例は、結像光学系5と被走査面70間に透明の平行平
板を設置し、本平行平板の光ビームに対する透過率の特
性が、光ビームの入射角に対して、回転多面鏡の反射率
の特性と同一になるようKしたものである。このような
平行平板を、上記考え方に従い、前記実施例の平面鏡と
同じように傾けて配置することにより、偏向角θに対応
する光ビームの強度の変化を補正し均一とすることがで
きる。
FIG. 9 is a block diagram of a second embodiment of the present invention. In this embodiment, a transparent parallel plate is installed between the imaging optical system 5 and the surface to be scanned 70, and the light beam of the parallel plate is K is set so that the transmittance characteristics for the light beam are the same as the reflectance characteristics of the rotating polygon mirror with respect to the incident angle of the light beam. By arranging such a parallel plate at an angle in the same way as the plane mirror of the above embodiment according to the above concept, changes in the intensity of the light beam corresponding to the deflection angle θ can be corrected and made uniform.

また、これら実施例では、偏向装置として回転多面鏡を
用いているが、ガルバノミラ一方式等、反射鏡を用いる
他の偏向装置の場合についても本発明は有効である。
Further, in these embodiments, a rotating polygonal mirror is used as the deflection device, but the present invention is also effective in the case of other deflection devices that use a reflecting mirror, such as a single-type galvano mirror.

さらく、本発明は、レーザプリンタ用光学系の他、マイ
クロフィルム等の感光フィルムへの記録装置等、光量の
ムラが問題となる他の走査光学系にも有効である。
Furthermore, the present invention is effective not only for optical systems for laser printers but also for other scanning optical systems where unevenness in light intensity is a problem, such as recording devices for photosensitive films such as microfilms.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように1本発明によれば、従来の光学装置に
対し素子の増加もなく、位置決め等の組立上の精度も不
要で1.製造上の困難もなく走査位置く対する光ビーム
の強度の変動を良好に補正した走査光学装置を実現でき
るものである。
As described above, according to the present invention, there is no increase in the number of elements compared to conventional optical devices, and assembly precision such as positioning is not required.1. It is possible to realize a scanning optical device that satisfactorily corrects variations in the intensity of a light beam with respect to a scanning position without any manufacturing difficulties.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の構成を示す斜視図、第2図
は第1図に示す実施例を走査平面の上から見た際の光路
図、第3図は回転多面鏡の反射面近傍を拡大した光路図
、第4図は回転多面鏡の光ビーム反射面におけるビーム
入射角に対する反射率の特性を示すグラフ、第5図は光
ビームの偏向角に対する光ビーム入射角または光軸AX
と成す角の変化を示すグラフ、第6図は光ビームの偏向
角に対応する光ビームの強度の特性を示すグラフ、第7
図は従来の光ビーム光学装置における光路図、第8図(
a)は従来の光学系における走査線上の位置に対応する
光ビーム゛強度の変動を示すグラフ、第8図(b)は被
走査面上の光ビームのエネルギー分布を示すグラフであ
る。焙9ηIJ耕8イリs’2a>’t’or91JA
lf1g2.L1・・・光源ユニット、2・・・回転多
面鏡、3・・・モータ、4,4a、4b、4o・・・回
転多面鏡の反射面、5・・・結像光学系、6・・・平面
鏡、7・・・被走査面、8・・・走査線、9・・・平面
鏡の反射面に立てた法線、10・・・光ビーム、10a
、10b・・・回転多面鏡により反射された光ビーム、
51・・・記録媒体の感度レベル、41・・・平行平板
、α・・・平面鏡の反射面に立てた法線と結像光学系の
光軸の成す角、β・・・光源ユニットと回転多面鏡の間
にある光ビームと結像光学系の光軸との成す角、θ・・
・偏向角、ψ2.ψ、・・・回転多面鏡への光ビームの
入射角、ψ41ψ5 ψ6・・・平面鏡への光ビームの
入射角、AX・・・結像光学系の光軸、ω ・・・走査
線上の位置1mおいて記録媒体に記録される光ビームの
径、ω ・・・走査線上の位置Cにおいて記録媒体に記
録される光ビームの径。 第1図 第2口 4− 斥射面 10−一一先ビーム 第 60 ビーム仙 同 円 第 ’7[¥1 7棺り盗品 第 0
Fig. 1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an optical path diagram when the embodiment shown in Fig. 1 is viewed from above the scanning plane, and Fig. 3 is a reflection of a rotating polygon mirror. An enlarged view of the optical path near the surface, Figure 4 is a graph showing the reflectance characteristics with respect to the beam incidence angle on the light beam reflection surface of the rotating polygon mirror, and Figure 5 is the light beam incidence angle or optical axis with respect to the deflection angle of the light beam. AX
FIG. 6 is a graph showing the change in the angle formed by the light beam, FIG.
The figure shows an optical path diagram in a conventional light beam optical device, Fig. 8 (
FIG. 8(a) is a graph showing variations in light beam intensity corresponding to positions on a scanning line in a conventional optical system, and FIG. 8(b) is a graph showing energy distribution of a light beam on a surface to be scanned. 9ηIJ 8 iris'2a>'t'or91JA
lf1g2. L1... Light source unit, 2... Rotating polygon mirror, 3... Motor, 4, 4a, 4b, 4o... Reflection surface of rotating polygon mirror, 5... Imaging optical system, 6...・Plane mirror, 7...Scanned surface, 8...Scanning line, 9...Normal to the reflecting surface of the plane mirror, 10...Light beam, 10a
, 10b... A light beam reflected by a rotating polygon mirror,
51...Sensitivity level of the recording medium, 41...Parallel plate, α...Angle between the normal to the reflecting surface of the plane mirror and the optical axis of the imaging optical system, β...Light source unit and rotation The angle between the light beam between the polygon mirrors and the optical axis of the imaging optical system, θ...
・Deflection angle, ψ2. ψ,...Angle of incidence of the light beam on the rotating polygon mirror, ψ41ψ5 ψ6...Angle of incidence of the light beam on the plane mirror, AX...Optical axis of the imaging optical system, ω...Position on the scanning line Diameter of the light beam recorded on the recording medium at 1 m, ω...Diameter of the light beam recorded on the recording medium at position C on the scanning line. Figure 1 2nd mouth 4- Repulsion surface 10-11 beam No. 60 Beam Sendo circle No. 7 [¥1 7 Coffin stolen items No. 0

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、光ビーム発生源と、該光ビーム発生源から放射され
た光ビームを反射面により偏向する偏向装置と、該偏向
装置で偏向された光ビームを被走査面上に集束しかつ該
被走査面上で等速度走査を行なわせるための結像光学系
と、該結像光学系と被走査面との間に置かれた平面鏡と
から構成される光ビーム走査光学装置において、上記平
面鏡は、上記被走査面に入射する光ビームの強度が、走
査線上において一定となる位置に配置されることを特徴
とする光ビーム走査光学装置。 2、平面鏡は、結像光学系と被走査面との間に置かれ、
かつ、上記平面鏡を走査平面に対し垂直に置き、上記平
面鏡の光ビームの反射面に立てた法線と、上記結像光学
系の光軸との成す角が上記光ビーム発生源から偏向装置
に向かう光ビームと、上記光軸との成す角の2分の1と
なる位置に配置されたことを特徴とする請求項1記載の
光ビーム走査光学装置。 3、平面鏡の反射面における光ビームに対する反射率の
特性を、偏向装置の反射面における光ビームに対する反
射率の特性と同一にしたことを特徴とする請求項1また
は2記載の光ビーム走査光学装置。 4、光ビーム発生源と、該光ビーム発生源から放射され
た光ビームを反射面により偏向する偏向装置と、該偏向
装置で偏向された光ビームを被走査面上に集束しかつ該
被走査面上で等速度走査を行なわせるための結像光学系
と、該結像光学系と被走査面との間に置かれた平面鏡と
から構成される光ビーム走査光学装置において、上記結
像光学系と上記平面鏡との間に、光ビームに対する回転
多面鏡の反射率の特性と同一の特性となる透過率を持つ
平行平板を、上記被走査面に入射する光ビームの強度が
、走査線上において一定となる位置に配置したことを特
徴とする光ビーム走査光学装置。 5、請求項1,2,3または4記載の光ビーム走査光学
装置を含む、レーザビームプリンタ。 6、光ビーム発生源から放射された光ビームを偏向装置
の反射面により偏向し、該偏向された光ビームを結像光
学系を介して平面鏡に入射させ、該平面鏡で反射された
光ビームを被走査面上に照射させることにより、走査を
行なう光ビーム走査方法において、 上記平面鏡により、入射点によって反射角度を異なるよ
うに反射させて、上記被走査面に入射する光ビームを、
その強度が、走査線上において一定となるように、光ビ
ームを被走査面上に走査する光ビーム走査方法。 7、平面鏡を、結像光学系と被走査面との間に置き、該
平面鏡の光ビームの反射面に立てた法線と、上記結像光
学系の光軸との成す角が、光ビーム発生源から偏向装置
に向かう光ビームと、上記光軸との成す角の2分の1と
なる位置に配置し、さらに、上記平面鏡を傾け、該平面
鏡により、入射点によって反射角度を異なるように反射
させたことを特徴とする請求項6記載の光ビーム走査方
法。 8、請求項6または7記載の光ビーム走査方法を用いて
、被走査面上の記録媒体に文字,図形を記録する際に、
上記被走査面上の走査線における光ビームの強度を均一
とし、記録する文字,図形が同一の場合は同一の太さに
記録することを特徴とする記録方法。
[Claims] 1. A light beam generation source, a deflection device that deflects the light beam emitted from the light beam generation source using a reflective surface, and a light beam deflected by the deflection device onto a surface to be scanned. A light beam scanning optical device comprising an imaging optical system for converging and scanning at a constant speed on the surface to be scanned, and a plane mirror placed between the imaging optical system and the surface to be scanned. A light beam scanning optical device, wherein the plane mirror is arranged at a position where the intensity of the light beam incident on the surface to be scanned is constant on a scanning line. 2. A plane mirror is placed between the imaging optical system and the scanned surface,
The plane mirror is placed perpendicular to the scanning plane, and the angle between the normal to the light beam reflection surface of the plane mirror and the optical axis of the imaging optical system is from the light beam generation source to the deflection device. 2. The light beam scanning optical device according to claim 1, wherein the light beam scanning optical device is disposed at a position that is one-half of the angle formed by the optical axis. 3. The light beam scanning optical device according to claim 1 or 2, wherein the reflectance characteristics for the light beam on the reflective surface of the plane mirror are made the same as the reflectance characteristics for the light beam on the reflective surface of the deflection device. . 4. A light beam generation source, a deflection device that deflects the light beam emitted from the light beam generation source by a reflective surface, and a deflection device that focuses the light beam deflected by the deflection device onto a surface to be scanned and scans the surface to be scanned. In a light beam scanning optical device comprising an imaging optical system for performing uniform velocity scanning on a surface and a plane mirror placed between the imaging optical system and the surface to be scanned, the imaging optical system comprises: A parallel plate having a transmittance that has the same characteristics as the reflectance of the rotating polygon mirror for the light beam is installed between the system and the plane mirror so that the intensity of the light beam incident on the surface to be scanned is on the scanning line. A light beam scanning optical device characterized in that the light beam scanning optical device is arranged at a constant position. 5. A laser beam printer comprising the light beam scanning optical device according to claim 1, 2, 3 or 4. 6. Deflect the light beam emitted from the light beam generation source by the reflecting surface of the deflection device, make the deflected light beam enter a plane mirror via the imaging optical system, and make the light beam reflected by the plane mirror In a light beam scanning method in which scanning is performed by irradiating the surface to be scanned, the light beam incident on the surface to be scanned is reflected by the plane mirror at different angles of reflection depending on the point of incidence.
A light beam scanning method that scans a surface to be scanned with a light beam so that its intensity remains constant on a scanning line. 7. A plane mirror is placed between the imaging optical system and the surface to be scanned, and the angle between the normal to the light beam reflection surface of the plane mirror and the optical axis of the imaging optical system is the angle between the optical axis of the imaging optical system and the optical axis of the imaging optical system. The plane mirror is arranged at a position that is half the angle formed by the optical axis and the light beam directed from the source to the deflection device, and the plane mirror is tilted so that the reflection angle differs depending on the incident point. 7. The light beam scanning method according to claim 6, wherein the light beam is reflected. 8. When recording characters and figures on a recording medium on a surface to be scanned using the light beam scanning method according to claim 6 or 7,
A recording method characterized in that the intensity of the light beam in the scanning line on the surface to be scanned is made uniform, and when characters and figures to be recorded are the same, they are recorded with the same thickness.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007156248A (en) * 2005-12-07 2007-06-21 Fuji Xerox Co Ltd Optical scanner

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