JPH03156413A - Projection lens - Google Patents
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- JPH03156413A JPH03156413A JP29689889A JP29689889A JPH03156413A JP H03156413 A JPH03156413 A JP H03156413A JP 29689889 A JP29689889 A JP 29689889A JP 29689889 A JP29689889 A JP 29689889A JP H03156413 A JPH03156413 A JP H03156413A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 93
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 10
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 51
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 37
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、フォトリングラフィの分野において、フォ
トレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを焼
き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊に近紫外
光で焼き付けるのに適する投影レンズに関するものであ
る。Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a projection lens used in the field of photolithography to print a required fine pattern on a sensitive material coated with a photoresist. This invention relates to a projection lens suitable for printing with near-ultraviolet light.
（従来の技術）
この種の投影レンズとしては、従来より例えばステッパ
ーと称する超精密縮小焼付装置に用いられている超精密
投影レンズや、縮写用として用いられる製版用引伸レン
ズがある。(Prior Art) This type of projection lens includes, for example, an ultra-precision projection lens used in an ultra-precision reduction printing apparatus called a stepper, and an enlarging lens for plate making used for reduction.
（発明が解決しようとする課題）
上記従来の超精密投影レンズは、高解像力を得るために
近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を高
精度で補正したものであるため、下記のような難点があ
る。(Problem to be Solved by the Invention) The conventional ultra-precision projection lens described above corrects various aberrations with high precision only for, for example, the g-line in the near-ultraviolet region in order to obtain high resolution. There are some difficulties.
イ、フォトレジストの感光波長域は近紫外ないし紫外領
域に及ぶが、上記従来例ではｇ線についてのみ考慮した
ものであるため、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうち、ｇ線の輝線
しか使用できず、そのため露光に寄与するエネルギーが
少なく、露光に要する時間も長くなり、焼付効率の低下
を余儀な（されていた。B. The sensitive wavelength range of photoresist extends from the near ultraviolet to the ultraviolet region, but the conventional example above only takes the g-line into consideration, so of the g-line, h-line, and i-line, only the g-line bright line is used. As a result, the energy contributing to exposure is small, the time required for exposure becomes long, and printing efficiency is inevitably reduced.
口、有効な画面サイズが小さい。Sorry, the effective screen size is small.
一方、上記従来の製版用引伸レンズは、可視光領域を考
慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは大
きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正したも
のであるが、下記のような難点がある。On the other hand, the conventional enlarging lens for plate making mentioned above is a lens for plate making that takes the visible light region into consideration, so the effective screen size is large and various aberrations in the visible light region are corrected with high precision. There are some difficulties.
ハ、近紫外領域の透過率が低いうえ、解像力も低い。C. Transmittance in the near-ultraviolet region is low, and resolution is also low.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、上記
難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and its technical object is to solve the above-mentioned difficulties A to C.
く課題を解決するための手段〉
本発明は上記課題を解決するものとして以下のように構
成される。Means for Solving the Problems> The present invention is configured as follows to solve the above problems.
即ち、物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を配
置し、
第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニスカ
スレンズと、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズと、負のレンズとから成り、第２レンズ群は順次負の
レンズと、像面側に凸面を向ケた正のメニスカスレンズ
と、像面側に曲面半径が小さい方の凸面を向けた正のレ
ンズとから成り、硝材のｉ線に対する内部透過率（厚さ
１０ｍｍ）をＴｉとじ、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折
率を、それぞれｎｇ、ｎｈｓｎＬとし、分散値をｖｈ＝
（ｎｈ １）／ （ｎｉ−ｎｇ）とするとき、それぞ
れのレンズが Ｔｔ＞９０％
正のレンズが １．６０ ＜ ｎ ｈ＜ １．７０４５
〈シフ〈５２
負のレンズが １．５５ ＜ ｎ ｈ＜ １．６５２８
〈νゎ〈３６
を満足する硝材より成ることを特徴とするものである。That is, the first lens group and the second lens group are arranged in order from the object side, and the first lens group consists of a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side, and a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side. , a negative lens, and the second lens group consists of a negative lens, a positive meniscus lens with a convex surface facing the image side, and a positive meniscus lens with a convex surface with a smaller radius facing the image side. The internal transmittance of the glass material for the i-line (thickness 10 mm) is Ti bound, the refractive index for the g-line, h-line, and i-line is ng and nhsnL, respectively, and the dispersion value is vh=
When (nh 1)/(ni-ng), each lens has Tt>90% and the positive lens has 1.60 < n h < 1.7045
<Schiff> 52 Negative lens is 1.55 < n h < 1.6528
It is characterized by being made of a glass material that satisfies 〈ν『〈36.
つまり、本発明では第１レンズ群及び第２レンズ群が、
ガウスタイプのレンズ構成であり、各レンズ群を構成す
る正レンズと負レンズが上記のようにｇ線、ｈ線、ｉ線
の近紫外領域を考慮し、ｉ線に対する内部透過率（厚さ
１０＋ｎｎ＋のとき）が９０％以上となる硝材で形成さ
れる。That is, in the present invention, the first lens group and the second lens group are
It has a Gaussian type lens configuration, and the positive and negative lenses that make up each lens group have internal transmittance (thickness 10+nn+ ) is 90% or more.
（作 用）
本発明では、第１レンズ群及び第２レンズ群が、ガウス
タイプのレンズ構成であり、口径比・画角ともに大きく
とれる。(Function) In the present invention, the first lens group and the second lens group have a Gaussian type lens configuration, and both the aperture ratio and the angle of view can be made large.
即ち、第１図に示すように、中央の向かい合う凹面ｒ６
・ｒ７では、光線高が低いのでこれらの面のパワーを強
くでき、その結果ペッツバール和が小さくなり、画角が
大きくなる。同時にこれらの凹面はサジタル・コマ収差
の原因にも成りかねないが、この点については以下のよ
うにして補正している。That is, as shown in FIG. 1, the central opposing concave surfaces r6
- At r7, since the ray height is low, the power of these surfaces can be increased, resulting in a smaller Petzval sum and a larger angle of view. At the same time, these concave surfaces can also cause sagittal coma aberration, but this point is corrected as follows.
即ち、コマ収差、湾曲収差をはじめとする諸収差を補正
する上で、正のレンズを構成する硝材の屈折率はなるべ
く高いほうが一般的に望ましいが、ｉ線についても高い
透過率を確保するには用いられる硝材が限定され、あま
り屈折率の高い硝材を使うことができない。従って、前
記の条件に適合する硝材を選択することになるが、この
場合、第２レンズＬ、と第３レンズＬ３との合成系、及
び第４レンズＬ４と第５レンズＬ、との合成系をメニス
カスレンズ、あるいはそれと等価にし、かつ第２レンズ
Ｌ、と第３レンズＬ、との合成系、及び第４レンズＬ４
と第５レンズＬ、との合成系のパワーを小さくすること
によりサジタル・コマ収差と非点収差を補正している。In other words, in order to correct various aberrations such as comatic aberration and curvature aberration, it is generally desirable that the refractive index of the glass material constituting the positive lens be as high as possible, but in order to ensure high transmittance for i-line as well, The glass materials that can be used are limited, and glass materials with a very high refractive index cannot be used. Therefore, a glass material that meets the above conditions is selected, but in this case, a composite system of the second lens L and the third lens L3, and a composite system of the fourth lens L4 and the fifth lens L are selected. is a meniscus lens or equivalent thereto, and a composite system of the second lens L and the third lens L, and the fourth lens L4
Sagittal coma aberration and astigmatism are corrected by reducing the power of the composite system of the lens and the fifth lens L.
なお、前記硝材の分散値ν、の範囲と、上記パワーを小
さくすることを意図したことから、（ｆ 、／ ｆ ３
）、（ｆ 、／ ｆ 、）の値に制限が加わる。In addition, since the range of the dispersion value ν of the glass material and the intention to reduce the power mentioned above, (f , / f 3
), (f, /f,) are restricted.
これにより水銀ランプを使用する場合の、フォトレジス
トの感光波長域内の主要輝線であるｇ線（４３５，８３
ｎｍ）、ｈ線（４０４，６６ｎｍ）、ｉ線（３６５，Ｏ
ｌｎｍ）に対する透過率、色収差等を改善している。以
上の構成をとることにより、投影レンズは有効画面サイ
ズが大きく、解像力が高く、全体の透過率も向上する。This allows the g-line (435, 83
nm), h line (404, 66 nm), i line (365, O
The transmittance and chromatic aberration for 1 nm) have been improved. With the above configuration, the projection lens has a large effective screen size, high resolution, and improved overall transmittance.
（実 施 例）
以下、本発明に係る投影レンズの実施例をレンズデータ
表（表１〜表１６）と、レンズの配置構成図及び諸収差
を示す図（第１図〜第３２図）とによって例示する。(Example) Examples of the projection lens according to the present invention will be described below with lens data tables (Tables 1 to 16), lens arrangement configuration diagrams, and diagrams showing various aberrations (Figs. 1 to 32). Illustrated by.
各レンズデータ表中のｆは全系の焦点距離、Ｙは像高（
画面サイズ）、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、Ｔ
ｉはｉ線に対する各硝材の内部透過率（厚さ１０ｍｍ）
を示し、ｒ、ｃｌ、ｎｇνｈは第１図中の各符号に対応
し、それぞれ、曲率半径、レンズの中心厚（面間距離）
、屈折率、分散値を示す。また、ｎ ｔ−ｎ ｈ、 ｎ
ｓはそれぞれｇ線、ｈ線、ｉ線、ζこ対する屈折率、
ν１は次式で規定する分散値をしめす。In each lens data table, f is the focal length of the entire system, and Y is the image height (
screen size), F is the effective F number, m is the standard magnification, T
i is the internal transmittance of each glass material for i-ray (thickness 10 mm)
, and r, cl, and ngνh correspond to the respective symbols in Fig. 1, and represent the radius of curvature and the center thickness of the lens (distance between surfaces), respectively.
, refractive index, and dispersion value. Also, n t-n h, n
s is the refractive index for the g-line, h-line, i-line, and ζ, respectively;
ν1 represents a dispersion value defined by the following equation.
ν、−（ｎｈ−１）／ （ｎｇ−ｎｔ）なお、以下のす
べての実施例では基準倍率ｍを−（１／２）、実効Ｆナ
ンバを５．６、最大像高Ｙを３１．５となるように設定
されている。ν, -(nh-1)/(ng-nt) In all the examples below, the reference magnification m is -(1/2), the effective F number is 5.6, and the maximum image height Y is 31.5. It is set so that
また、後述の実施例１〜実施例４では、貼り合わせ面を
有しない６枚構成のものについて例示し、第２レンズＬ
３、第３レンズＬ５、第４レンズＬ４、及び第５レンズ
Ｌ、の焦点距離をそれぞれｆ 、、 ｆ 、。Further, in Examples 1 to 4 described later, a six-lens structure without a bonding surface is illustrated, and the second lens L
3. Let the focal lengths of the third lens L5, the fourth lens L4, and the fifth lens L be f,, f, respectively.
ｆ、、ｆ、とするとき、
−２，０＜ （ｆ、／ｆ、） ＜−１，３１，８＜ （
ｆ、／ｆ、） ＜−１，５を満たすように構成されてい
る。When f,, f, -2,0< (f, /f,) <-1,31,8< (
f, /f, ) <−1,5.
また、後述の実施例５〜実施例８では、第４レンズＬ４
と第５レンズＬ、を接合配置、した６枚構成のものにつ
いて例示し、第２レンズＬ７、第３レンズＬ５、第４レ
ンズＬ４、及び第５レンズＬ、の焦点距離をそれぞれｆ
、、ｆ、、ｆ、、ｆ、とするとき、−２，１＜ （ｆ！
／ｆり ＜−１，５−１，４＜ （ｆ、／ｆ、） ＜−
１，２を満たすように構成されている。In addition, in Examples 5 to 8 described later, the fourth lens L4
An example is given of a six-element structure in which the and fifth lens L are bonded and arranged, and the focal lengths of the second lens L7, third lens L5, fourth lens L4, and fifth lens L are respectively f.
, ,f, ,f, ,f, then −2,1< (f!
/fri <-1,5-1,4< (f, /f,) <-
1 and 2.
また、後述の実施例９〜実施例１２では、第２レンズＬ
、と第３レンズＬ、を接合配置した６枚構成のものにつ
いて例示し、第２レンズｌ ｔ、第３レンズＬＳ、第４
レンズＬ ４、及び第５レンズＬ。In addition, in Examples 9 to 12 described later, the second lens L
, and the third lens L are bonded and arranged, and the second lens L t, the third lens LS, and the fourth lens L are exemplified.
Lens L4 and fifth lens L.
の焦点距離をそれぞれｆ、、ｆ、、ｆ、、ｆ、とすると
き、 −１，５＜ （ｆ、／ｆ、） ＜−１，２−２
，４＜ （ｆ、／ｆ、）＜−１，８を満たすように構成
されている。When the focal lengths of are f, , f, , f, , f, respectively, -1,5< (f,/f,) <-1,2-2
, 4<(f,/f,)<-1,8.
さらに、後述の実施例１３〜実施例１６では、第２レン
ズし、と第３レンズＬ、を接合配置するとともに、第４
レンズＬ４と第５レンズＬ、を接合配置した６枚構成の
ものについて例示し、第２レンズＬ２、第３レンズＬ８
、第４レンズＬ４、及び第５レンズＬ、の焦点距離をそ
れぞれｆ、、ｆ、、ｆ、。Furthermore, in Examples 13 to 16, which will be described later, the second lens L and the third lens L are bonded, and the fourth lens L is bonded and arranged.
An example is given of a six-lens structure in which the lens L4 and the fifth lens L are bonded and arranged, and the second lens L2 and the third lens L8 are
, the focal lengths of the fourth lens L4 and the fifth lens L are f, , f, , f, respectively.
ｆ、とするとき、
−１，６＜ （ｆ ｔ／ｆｓ） ＜−１，３−１，５＜
（ｆ ６／ｆ 、） ＜−１，３を満たすように構成
されている。When f, -1,6< (f t/fs) <-1,3-1,5<
It is configured to satisfy (f 6/f ,) <−1,3.
一方、レンズ特性を示す図（第２図〜第３２図）は、実
施例１〜実施例１６に対応するもので、球面収差、非点
収差及び歪曲収差を示す３種のグラフＡ、Ｂ、Ｃを含む
。そして、球面収差Ａのグラフにおいては、横軸に収差
量を、縦軸にＦナンバーをとり、それぞれｇ線、ｈ線、
ｉ線に対する球面収差曲線ｇｓｈＳ ｌを示している。On the other hand, the diagrams (Figs. 2 to 32) showing lens characteristics correspond to Examples 1 to 16, and three types of graphs A, B, and B showing spherical aberration, astigmatism, and distortion aberration, respectively. Contains C. In the graph of spherical aberration A, the amount of aberration is plotted on the horizontal axis and the F number is plotted on the vertical axis.
The spherical aberration curve gshS l for the i-line is shown.
なお、非点収差を示すグラフＢにおいてＳはサジタル像
面を、Ｍはメリディオナル像面を示し、歪曲収差を示す
グラフＣと同様に、ｈ線についての収差を示している。Note that in graph B showing astigmatism, S indicates a sagittal image plane, M indicates a meridional image plane, and similarly to graph C indicating distortion, it indicates aberration for the h-line.
歪曲収差を示すグラフについてあらかじめ注釈を加えて
おくと、これらのグラフは第２図から第３２図までの１
６種の実施例すべてについて、すべての像高にわたって
歪曲収差が実質上ゼロであることを示している。To add a note in advance to the graphs showing distortion aberration, these graphs are similar to those shown in Figures 2 to 32.
All six examples show substantially zero distortion over all image heights.
以下余白。Margin below.
実施例１
本実施例のレンズデータを表１に、レンズの配置構成図
を第１図に、収差図を第２図に示す。Example 1 Lens data of this example is shown in Table 1, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 1, and an aberration diagram is shown in FIG. 2.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面ヲ
向けた正のメニスカスレンズＬｌと、物体側に凸面を向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向け
た負のメニスカスレンズし。In this embodiment, the first lens group G sequentially includes a positive meniscus lens Ll with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens Ll with a convex surface facing the object side, and a negative meniscus lens Ll with a convex surface facing the object side. The meniscus lens.
とから成り、第２レンズ群Ｇ、が順次負のレンズＬ４と
、像面側に凸面を向けたメニスカスレンズＬ、と、両凸
レンズＬ６とから成り、サジタル・コマ収差と非点収差
を小さ（し、かつｇ線、ｈ線、ｉ線の色消しをなすよう
に、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている
。The second lens group G consists of a negative lens L4, a meniscus lens L with a convex surface facing the image surface side, and a biconvex lens L6, which reduces sagittal coma aberration and astigmatism ( Moreover, they are arranged in a combination of unevenness and convexity so as to achromatize the g-line, h-line, and i-line.
この実施例では、（ｔ 、／ｆ＊） ＝−１，９５、（
ｆ、−／ｆ、）＝−１，７５になっている。In this example, (t, /f*) = -1,95, (
f,−/f,)=−1,75.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１
ｆ＝９３．０２ Ｙ＝：１１．５
Ｆ ＝５．６ ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ νｈ Ｔｉ
（％）４４．０００ ｇ、７５ １．６３６７
？ ４５．５ ９５．０５０２、０００
２７．４３０
Ｂ７．４５０
１２７、４００
１Ｂ、７３０
２９、５３０
３４２、０００
−１６１．７００
３７、２７４
２１３．０００
４６．１００
０．１０
１０．２５
０．６２
２．００
３１、０５
６．８０
２９０
６．２０
０．１０
９．７５
１、６２８５６
１、６３４２６
１、６３４２６
１、６３７７４
１、６３７７４
４７．２
２８．２
２８．２
５１．２
５１．２
９４．１
９６．３
９６．３
９２．０
９２．０
実施例２
本実施例のレンズデータを表２に、レンズの配置構成図
を第３図に、収差図を第４図に示す。Table 1 f=93.02 Y=:11.5 F=5.6 m=-0,5 r d nh νh Ti
(%) 44.000 g, 75 1.6367
? 45.5 95.0502, 000 27.430 B7.450 127, 400 1B, 730 29, 530 342, 000 -161.700 37, 274 213.000 46.100 0.10 10.25 0.62 2. 00 31, 05 6.80 290 6.20 0.10 9.75 1, 62856 1, 63426 1, 63426 1, 63774 1, 63774 47.2 28.2 28.2 51.2 51.2 94.1 96.3 96.3 92.0 92.0 Example 2 Lens data of this example is shown in Table 2, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 3, and an aberration diagram is shown in FIG. 4.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向けた
負のメニスカスレンズし。In this embodiment, the first lens group G1 sequentially includes a positive meniscus lens L with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L with a convex surface facing the object side, and a negative meniscus lens L with a convex surface facing the object side. Meniscus lens.
とから成り、第２レンズ群Ｇ！が順次負のメニスカスレ
ンズＬ４と、像面側に凸面を向けたメニスカスレンズし
、と、両凸レンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組
み合わせに配置構成されている。The second lens group G! consists of a negative meniscus lens L4, a meniscus lens with a convex surface facing the image plane side, and a biconvex lens L6, which are arranged in a convex-convex-concave-convex combination.
この実施例では、（ｆｔ／ｆｓ） −−１，６８、（ｆ
、／ｆ、）＝−１，７３になっている。In this example, (ft/fs) −−1,68, (f
, /f, )=-1,73.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
以下余白。Margin below.
表２
ｆ ＝８８．６９
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ シｈＴバ％
）５３．３９０ ６．６０ １．６７０３９
４９．６ ９４．３７１８、ＱＱＱ
３３、３００
９８、７００
１４０、７００
２２、３００
−２１．４００
−３１６．０００
１０８、 Ｇｏ。Table 2 f = 88.69 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh shi h T bar%
)53.390 6.60 1.67039
49.6 94.3718, QQQ 33, 300 98, 700 140, 700 22, 300 -21.400 -316.000 108, Go.
−３１，８９０ ３２２、０００ −５２，２２０ ０，１０ ８，９０ １，２０ ４，００ ａｏ、 ｏ。-31,890 322,000 -52,220 0,10 8,90 1,20 4,00 ao, o.
４．５０ ０．７７ ７．２０ ０．１０ ７．２５ １、６７０３９ １、６３４２６ Ｌ、 ６ａ４２８ １．６８９１１ １、６９８７１ ４９．６ ９４．３ ２８．２ ９６．３ ２８．２ ９６．３ ４８．２ ９２．３ ４６．２ ９３．３ 以下余白。4.50 0.77 7.20 0.10 7.25 1,67039 1,63426 L, 6a428 1.68911 1, 69871 49.6 94.3 28.2 96.3 28.2 96.3 48.2 92.3 46.2 93.3 Margin below.
実施例３
本実施例のレンズデータを表３に、レンズの配置構成図
を第５図に、収差図を第６図に示す。Example 3 Lens data of this example is shown in Table 3, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 5, and an aberration diagram is shown in FIG. 6.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に平面を向けた
負のレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ、が順次像
面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ４と、正の
メニスカスレンズＬ５、及びり、とから成り、凸凸凹−
凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。In this embodiment, the first lens group G sequentially includes a positive meniscus lens L1 with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L1 with a convex surface facing the object side, and a negative meniscus lens L1 with a flat surface facing the object side. The second lens group G consists of a negative meniscus lens L4 with a convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L5, and a second lens group G, which has a concave-convex-convex lens.
It is arranged in a combination of unevenness and convexity.
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３９、（ｆｓ
／ｆ、）＝−１，５９になっている。In this example, (f, /f,)=-1,39, (fs
/f, )=-1,59.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表３
ｆ ＝８７．５５
Ｙ＝３１．５
Ｆ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ νｈ ’
ｒ−（％）５４．０７０ ５．６０ １．６７０
３９ ４９．６ ９４．３２４０．０００
３１、５２０
５０６、０００
２２、５７０
−１８．３１０
１６６、０００
−１（１９，０００
２８、７４０
１３００、０００
−４５，３２０
６，００
１０、４０
１，１０
２、００
２７、５０
３，００
０，４０
６，５５
０，１０
６，８０
１、６７０３９
１、６３１７７
１、６０３１４
１、６８９７７
１、６９８７１
４９，６
９４，３
８４
９５，９
３１，５
７１
４８，２
９２，３
４６，２
９３，３
実施例４
本実施例のレンズデータを表４に、レンズの配置構成図
を第７図に、収差図を第８図に示す。Table 3 f = 87.55 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh νh'
r-(%) 54.070 5.60 1.670
39 49.6 94.3240.000 31,520 506,000 22,570 -18.310 166,000 -1 (19,000 28,740 1300,000 -45,320 6,00 10,40 1,10 2,00 27,50 3,00 0,40 6,55 0,10 6,80 1,67039 1,63177 1,60314 1,68977 1,69871 49,6 94,3 84 95,9 31,5 71 48,2 92,3 46,2 93,3 Example 4 Lens data of this example is shown in Table 4, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 7, and an aberration diagram is shown in FIG. 8.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレン
ズし、と、負のレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ６
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。In this embodiment, the first lens group G consists of a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L1, and a negative lens L, and the second lens group G
, are negative meniscus lenses L whose convex surfaces are sequentially directed toward the image plane.
4, a positive meniscus lens, and a double-sided convex lens L6
It is arranged in a combination of unevenness and convexity - unevenness and convexity.
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，６８、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，７８になっている。In this example, (f, /f,)=-1,68, (f,
/f, )=-1,78.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
以下余白。Margin below.
表４
ｆ ＝８８．９３
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎ ｈ ｖ ｈ
Ｔ ｒ （％）５２．１５６ ６．７０ １．
６７０３９ ４９．６ ９４Ｊ８３７、０００
３２、９３４
１０３、５００
１４９、０００
２１、８５０
−２１．４００
３９２、０００
１１３．０００
３２、４７６
３２３０００
５０、３２８
０．９０
６．８５
１．２５
５．８０
２９、４０
５．７０
０．８５
６、００
０．１０
７．５５
１、６７０３９
１、６３１７７
１．６３１７７
１、６８９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
２８．４
９５．９
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 4 f = 88.93 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d n h v h
T r (%) 52.156 6.70 1.
67039 49.6 94J837, 000 32, 934 103, 500 149, 000 21, 850 -21.400 392, 000 113.000 32, 476 323000 50, 328 0.90 6.85 1.25 5.80 29, 40 5.70 0.85 6,00 0.10 7.55 1,67039 1,63177 1.63177 1,68977 1,69871 49.6 94.3 28.4 95.9 28.4 95.9 48 .2 92.3 46.2 93.3 Margin below.
尤皇烈５
本実施例のレンズデータを表５に、レンズの配置構成図
を第９図に、収差図を第１０図に示す。Lens data of this example is shown in Table 5, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 9, and an aberration diagram is shown in FIG. 10.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸
レンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに
配置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レン
ズＬ５は接合配置されている
この実施例では、（ｆｔ／ｆ３）＝−１，８５、（ｆ、
／ｆ４） ＝−１，２２になっている。In this embodiment, the first lens group G1 consists of a positive meniscus lens L having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L, a negative meniscus lens L, and a second lens group G1.
The lens group G consists of a negative meniscus lens L4 with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, and a double-convex lens L8, and is arranged in a concave-convex-concave-convex combination. In addition, in this example where the fourth lens L4 and the fifth lens L5 are arranged in a cemented state, (ft/f3)=-1,85, (f,
/f4) = -1,22.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表５
ｆ ＝８６．７２
Ｙ＝３１．５
Ｆ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｉ’、 ’ｒ
ｔ（％）３Ｂ、’／２Ｂ ７．７５ １．６３
６７７ ４５．５ ９５．０２７４、０００
２５、２００
７６、２９０
１０２、０００
１Ｂ、 ２００
−２５．８８０
−１４６．０００
−１４６．０００
３２．０００
３５６０００
−８５．２１８
０．１０
７．１０
０．４０
３．００
２５、９０
ｔｏ、 ７５
０．００
７．１０
０．１０
４．８５
１、６２１１１５６
１、６３４２６
１６３４２６
１、６３７７４
１、６３７７４
４７．２
９４．１
２８．２
９６．３
２８．２
９６．３
５１．２
９２．０
５１．２
９２．０
以下余白。Table 5 f = 86.72 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh I', 'r
t(%)3B,'/2B 7.75 1.63
677 45.5 95.0274,000 25,200 76,290 102,000 1B, 200 -25.880 -146.000 -146.000 32.000 356000 -85.218 0.10 7.10 0.40 3.00 25, 90 to, 75 0.00 7.10 0.10 4.85 1, 6211156 1, 63426 163426 1, 63774 1, 63774 47.2 94.1 28.2 96.3 28.2 96 .3 51.2 92.0 51.2 92.0 Below margin.
Ｋ塁男６
本実施例のレンズデータを表６に、レンズの配置構成図
を第１１図に、収差図を第１２図に示す。K Baseman 6 The lens data of this example is shown in Table 6, the arrangement diagram of the lens is shown in FIG. 11, and the aberration diagram is shown in FIG. 12.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬＩと、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ、と、正のメニスカスレンズＬ、と、平凸レ
ンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レンズ
Ｌ、は接合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−２，０５、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，２６になっている。In this embodiment, the first lens group G consists of a positive meniscus lens LI having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L, and a negative meniscus lens L3.
The lens group G consists of a negative meniscus lens L with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, and a plano-convex lens L8, arranged in a concave-convex-concave-convex combination. . In addition, in this embodiment where the fourth lens L4 and the fifth lens L are arranged in a cemented state, (f, /f,)=-2,05, (f,
/f, )=-1,26.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表６
ｆ ＝８４．０７
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒｄ ｎｈ Ｉ／ｈ Ｔ＋（％）
４９．０００ ６．２５ １．６７０３９ ４
９．６ ９４．３６７０、０００
３１、５５０
８６．１１０
１１４．０００
２０、４００
−２２．０００
０．１０
９．８０
１．１５
２．００
２５、５０
２．００
１．６７０３９
１、６３４２６
１、６３４２６
−２９．１００
０．１０
４．６５
１、６９８７１
−６１．０００
４９．６
９４．３
２８．２
９６．３
２８．２
６３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 6 f = 84.07 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0.5 rd nh I/h T+ (%)
49.000 6.25 1.67039 4
9.6 94.3670, 000 31, 550 86.110 114.000 20, 400 -22.000 0.10 9.80 1.15 2.00 25, 50 2.00 1.67039 1, 63426 1, 63426 -29.100 0.10 4.65 1, 69871 -61.000 49.6 94.3 28.2 96.3 28.2 63 46.2 93.3 Below margin.
Ｘ度創７
本実施例のレンズデータを表７に、レンズの配置構成図
を第１３図に、収差図を第１４図に示す。X Degree Wound 7 The lens data of this example is shown in Table 7, the arrangement diagram of the lens is shown in FIG. 13, and the aberration diagram is shown in FIG. 14.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズし、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメ
ニスカスレンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み
合わせに配置構成されている。なお、第４レンズＬ４と
第５レンズＬ、は接合配置されている
この実施例では、（ｆｔ／ｆ、）＝−１，５１、（ｆ、
／ｒ、）＝−ｔ、３０ になっている。In this embodiment, the first lens group G1 consists of a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L, a negative meniscus lens, and a second lens group G1.
The lens group G consists of a negative meniscus lens L4 with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, and a positive meniscus lens L6, and are arranged in a combination of concave-convex-concave-convex-convex. There is. In addition, in this embodiment in which the fourth lens L4 and the fifth lens L are arranged in a cemented state, (ft/f,)=-1,51, (f,
/r, )=-t, 30.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
ｆ ＝８４．８１ ５６、９００ ２５４、０００ ３２、９２０ ２６２、０００ ５３５、０００ ２２、１６０ −１７．８７２ ９２、９５０ ９２、９５０ ２５、１４０ −６１２．０００ −５１．９００ 以下余白。f=84.81 56,900 254,000 32,920 262,000 535,000 22, 160 -17.872 92, 950 92, 950 25, 140 -612.000 -51.900 Margin below.
表７
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｄ ｎｈ νｈ Ｔ□（％）５．０
０ １．６７０３９ ４９．６ ９４．３４、１
０
８．５５
１．７０
４．７０
２５、１０
２、００
０．００
６．６５
０．１０
５．３０
１、６７０３９
１、６３１７７
１、６０３１４
１、６８９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
３１．５
９７．１
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
実施例８
本実施例のレンズデータを表８に、レンズの配置構成図
を第１５図に、収差図を第１６図に示す。Table 7 Y=31.5 F=5.6 m=-0,5 d nh νh T□ (%) 5.0
0 1.67039 49.6 94.34, 1
0 8.55 1.70 4.70 25, 10 2, 00 0.00 6.65 0.10 5.30 1, 67039 1, 63177 1, 60314 1, 68977 1, 69871 49.6 94.3 28 .4 95.9 31.5 97.1 48.2 92.3 46.2 93.3 Example 8 The lens data of this example is shown in Table 8, the lens arrangement diagram is shown in Fig. 15, and the aberration diagram is shown in FIG.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズし４と、正のメニスカスレンズＬ、と、平凸レ
ンズＬ、とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レンズ
Ｌ、は接合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−２，０４、（ｆ、
／ ｆ、） ＝−１，７０になっている。In this embodiment, the first lens group G1 consists of a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L, and a negative meniscus lens L3, and the second
The lens group G consists of a negative meniscus lens 4 with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, and a plano-convex lens L, arranged in a convex-concave-concave-convex combination. There is. In addition, in this embodiment where the fourth lens L4 and the fifth lens L are arranged in a cemented state, (f, /f,)=-2,04, (f,
/ f, ) = -1,70.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表８
ｆ ＝８４．２０
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｉ／ｂＴ
ｔ（％）４ｇ、３８０ ６．４０ １．６７０３
９ ４９．６ ９４．３６５０、０００
３１、７１６
６８、９０Ｇ
１２０．０００
０２９０
２２、２７０
１０７、０００
−１１）７．０００
−２９．６５４
−６１．２８２
０．１０
９．１０
１．２０
２．７０
２５、４５
２．００
０．００
９．００
０．１０
４．６５
１、６７０３９
１、６３１７７
１、６３１７７
１、６１１９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
２８．４
９５．９
４８．２
２３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 8 f = 84.20 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh I/bT
t (%) 4g, 380 6.40 1.6703
9 49.6 94.3650,000 31,716 68,90G 120.000 0290 22,270 107,000 -11) 7.000 -29.654 -61.282 0.10 9.10 1.20 2. 70 25, 45 2.00 0.00 9.00 0.10 4.65 1, 67039 1, 63177 1, 63177 1, 611977 1, 69871 49.6 94.3 28.4 95.9 28.4 95 .9 48.2 23 46.2 93.3 Margin below.
Ｘ貴男９
本実施例のレンズデータを表９に、レンズの配置構成図
を第１７図に、収差図を第１８図に示す。Takao X 9 The lens data of this example is shown in Table 9, the arrangement diagram of the lens is shown in FIG. 17, and the aberration diagram is shown in FIG. 18.
この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレン
ズし、と、負のメニスカスレンズし、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸
レンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに
配置構成されている。なお、第２レンズＬ、と第３レン
ズＬ。In this embodiment, the first lens group G consists of a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens, a negative meniscus lens, and a second lens group.
The lens group G consists of a negative meniscus lens L4 with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, and a double-convex lens L8, and is arranged in a concave-convex-concave-convex combination. Note that the second lens L and the third lens L.
は接合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，４４、（ｆ、
／ｆ、）＝−２，００になっている。In this example, (f, /f,) = -1,44, (f,
/f, )=-2,00.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表９
ｆ ＝８６．５０
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ ｖｈ
Ｔｒ（％）５３．１００ ５．８５ １．６３６
７７ ４５．５ ９５．０４５０、０００
２３、２７６
４４、２７３
４４、２７３
１７、７８３
２１、９３５
−１２５０．０００
９０、２６０
−３１．２４６
３２２、０００
４５、８６１
０．１０
６．５０
０．００
２．００
３０、１０
２．００
１．４７
ｔｏ、 ｏ。Table 9 f = 86.50 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh vh
Tr (%) 53.100 5.85 1.636
77 45.5 95.0450,000 23,276 44,273 44,273 17,783 21,935 -1250.000 90,260 -31.246 322,000 45,861 0.10 6.50 0.00 2.00 30, 10 2.00 1.47 to, o.
０．１０ ７．３０ １、６２８５６ １、６３４２６ １、６３４２６ １、６３７７４ １、６３７７４ ４７．２ ９４．１ ２８゜２ ９６．３ ２８．２ ９６．３ ５１．２ ９２．０ ５１．２ ９２．０ 以下余白。0.10 7.30 1,62856 1,63426 1,63426 1,63774 1,63774 47.2 94.1 28゜2 96.3 28.2 96.3 51.2 92.0 51.2 92.0 Margin below.
Ｘ貴男１０
本実施例のレンズデータを表１０に、レンズの配置構成
図を第１９図に、収差図を第２０図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズし、と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズし
、と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸レンズＬ、
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。なお、第２レンズＬｔと第３レンズＬ、は接
合配置されている
この実施例では、（ｆｔ／ｆ、）＝−１，３６、（ｆ、
／ ｆ、）＝−１，８６になっている。Takao X 10 The lens data of this example is shown in Table 10, the arrangement diagram of the lens is shown in FIG. 19, and the aberration diagram is shown in FIG. 20. In this embodiment, the first lens group G1 is a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L,
It consists of a negative meniscus lens L, and a second lens group G.
, a negative meniscus lens with a convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens L, a double-convex lens L,
It is arranged in a combination of unevenness and convexity - unevenness and convexity. In this embodiment, where the second lens Lt and the third lens L are cemented, (ft/f,)=-1,36, (f,
/ f, )=-1,86.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１０
ｆ ＝８６．４８
Ｙ＝３１．５
Ｆ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｉ／ｈ Ｔｔ
（％）６３．４３０ ５．ＩＱ １．６７０３９
４９．６ ９４．３４７２、０００
３１、４００
９３、５００
９３、５００
２２、８７０
１９、７１０
−２４０．０００
８８、３６０
３０、１６５
６００、０００
４６、４８５
０．１０
６．１０
０．００
８．００
２８、２０
４．００
０゜８０
６．３５
０．７０
７．２５
１ ６７０３９
１、６３４２６
１、６３４２６
１、６８９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．２
９６．３
８２
６３
４８．２
９２．３
６２
９３．３
以下余白。Table 10 f = 86.48 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh I/h Tt
(%)63.430 5. IQ 1.67039
49.6 94.3472, 000 31, 400 93, 500 93, 500 22, 870 19, 710 -240.000 88, 360 30, 165 600, 000 46, 485 0.10 6.10 0.00 8. 00 28, 20 4.00 0°80 6.35 0.70 7.25 1 67039 1, 63426 1, 63426 1, 68977 1, 69871 49.6 94.3 28.2 96.3 82 63 48.2 92.3 62 93.3 Margin below.
本実施例のレンズデータを表１１に、レンズの配置構成
図を第２１図に、収差図を第２２図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ６
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。なお、第２レンズＬｔと第３レンズＬ３は接
合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，２２、（ｆ、
／ｆ、）＝−２，３２になっている。Lens data of this example is shown in Table 11, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 21, and an aberration diagram is shown in FIG. 22. In this embodiment, the first lens group G1 includes a positive meniscus lens L having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens, and
The second lens group G consists of a negative meniscus lens L3.
, are negative meniscus lenses L whose convex surfaces are sequentially directed toward the image plane.
4, a positive meniscus lens, and a double-sided convex lens L6
It is arranged in a combination of unevenness and convexity - unevenness and convexity. Note that in this embodiment where the second lens Lt and the third lens L3 are arranged in a cemented state, (f, /f,)=-1,22, (f,
/f, )=-2,32.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１１
ｆ ＝８４．４５
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｉ／ｈ
Ｔｚ（％）５２．２５０ ５．ＯＱ １．６
７０３９ ４９．６ ９４．３２１７、０００
２２、８００
６３．０００
６３、０００
１ｇ、 ２３０
−１９．２３０
２８７、０００
−７６、０００
３２、７３８
１５２０、０００
−３９．３４１
９．２５
５．６０
０．００
２．００
３８５
４．２５
０．９１
４．６５
０．１０
６．７５
１、６７０３９
１、８３１７７
１、６０３１４
１、６８９７７
１６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
３１．５
９７．１
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 11 f = 84.45 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh I/h
Tz (%) 52.250 5. OQ 1.6
7039 49.6 94.3217,000 22,800 63.000 63,000 1g, 230 -19.230 287,000 -76,000 32,738 1520,000 -39.341 9.25 5.60 0. 00 2.00 385 4.25 0.91 4.65 0.10 6.75 1, 67039 1, 83177 1, 60314 1, 68977 169871 49.6 94.3 28.4 95.9 31.5 97. 1 48.2 92.3 46.2 93.3 Margin below.
Ｘ廊遭１２
本実施例のレンズデータを表１２に、レンズの配置構成
図を第２３図に、収差図を第２４図に示す。 この実施
例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正の
メニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と
、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群
Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ
し４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ
６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成
されている。なお、第２レンズＬ！と第３レンズし、は
接合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３６、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，８８になっている。Lens data of this example is shown in Table 12, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 23, and an aberration diagram is shown in FIG. 24. In this embodiment, the first lens group G consists of a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L1, and a negative meniscus lens L3, and the second lens group G A negative meniscus lens 4 with its convex surface facing the image plane side, a positive meniscus lens 4, and a double-convex lens L.
6, and are arranged in a combination of unevenness and convexity. In addition, the second lens L! In this example, (f, /f,) = -1,36, (f, /f,) = -1,36, (f,
/f, )=-1,88.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１２
ｆ ＝８６．２８
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｊ／ｈＴ
ｔ（％）６２．７ｇ６ ５．１０ １．６７０３
９ ４９．６ ９４．３４４４、０００
３１、３７６
９８、９００
９８．９００
２２、６７６
−１９．８２０
−２５３．５００
−９０．９００
３０ ５９０
５９０．０００
−４６．１９５
０．１０
６．２０
０．００
８．００
２７、７０
４．８０
０．８１
５．６０
０．７５
７．００
１、８７０３９
１、６３１７７
１、６３１７７
１、６８９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
２８．４
９５．９
４８．２
９２．３
４６．２
３３
以下余白。Table 12 f = 86.28 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh J/hT
t (%) 62.7g6 5.10 1.6703
9 49.6 94.3444,000 31,376 98,900 98.900 22,676 -19.820 -253.500 -90.900 30 590 590.000 -46.195 0.10 6.20 0. 00 8.00 27, 70 4.80 0.81 5.60 0.75 7.00 1, 87039 1, 63177 1, 63177 1, 68977 1, 69871 49.6 94.3 28.4 95.9 28 .4 95.9 48.2 92.3 46.2 33 Margin below.
Ｋ塵泗１３
本実施例のレンズデータを表１３に、レンズの配置構成
図を第２５図に、収差図を第２６図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズし、とから成り、第２レンズ群Ｇ
２が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレ
ンズＬ０とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ５はそれぞれ接合
配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ３）＝−１，５８、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，４１になっている。Lens data of this example is shown in Table 13, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 25, and an aberration diagram is shown in FIG. 26. In this embodiment, the first lens group G1 sequentially includes a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, and a positive meniscus lens,
a negative meniscus lens, and a second lens group G
2 is a negative meniscus lens L with a convex surface sequentially facing the image plane side.
4, a positive meniscus lens L, and a positive meniscus lens L0, which are arranged in a combination of concave-convex-concave-concave-convex. Note that the second lens L and the third lens L
3. In this embodiment, where the fourth lens L4 and the fifth lens L5 are respectively cemented, (f, /f3)=-1,58, (f,
/f, )=-1,41.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１３
ｆ ＝８３．５３
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎ＋、 ｖｈ
Ｔｉ＋（％）３９、ｇ３０ ６．２０ １．
６３６７７ ４５．５ ９５．０１５８．０００
２３、０５０
５７、２１０
５？、 ２１０
１６、１３０
−２１．３７０
−７４．４７０
７４、４７０
９０６０
−１１８００００
−５８．０８０
０．１０
７．００
０．００
２．００
２３．９０
２．００
００
１１．９０
０．１０
４．４０
１、６２８５６
１、６３４２６
１、８３４２６
１、６３７７４
１、６３７７４
４７．２
９４．１
２８．２
６３
２８．２
６３
５１．２
９２．０
５１．２
９２．０
以下余白。Table 13 f = 83.53 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d n+, vh
Ti+ (%) 39, g30 6.20 1.
63677 45.5 95.0158.000 23, 050 57, 210 5? , 210 16, 130 -21.370 -74.470 74, 470 9060 -1180000 -58.080 0.10 7.00 0.00 2.00 23.90 2.00 00 11.90 0.10 4. 40 1, 62856 1, 63426 1, 83426 1, 63774 1, 63774 47.2 94.1 28.2 63 28.2 63 51.2 92.0 51.2 92.0 Margin below.
実施例１４
本実施例のレンズデータを表１４に、レンズの配置構成
図を第２７図に、収差図を第２８図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズし、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬｓト、正のメニスカスレ
ンズし、とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ５はそれぞれ接合配
置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ３）＝−１゜４７、（ｆ
、／ｆ、） ＝−１，４２になっている。Example 14 Lens data of this example is shown in Table 14, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 27, and an aberration diagram is shown in FIG. 28. In this embodiment, the first lens group G1 sequentially includes a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L,
a negative meniscus lens, and a second lens group G
, are negative meniscus lenses L whose convex surfaces are sequentially directed toward the image plane.
4, a positive meniscus lens Lst, and a positive meniscus lens Lst, which are arranged in a combination of concave-convex-concave-concave-convex. Note that the second lens L and the third lens L
3. In this embodiment, where the fourth lens L4 and the fifth lens L5 are arranged in a cemented state, (f, /f3)=-1°47, (f
, /f, ) = -1,42.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好、に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are favorably corrected.
以下余白。Margin below.
表１４
ｆ ＝８３．１８
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ ｌ／ｈ
Ｔ＋（％）５５．０００ ４．５０ １．６７
０３９ ４９．６ ９４．３２１２．０００
３０ １５０
９０．３６０
９０、３６０
２０．６００
１７．４００
５０、４４７
−５０４４７
２４、０００
２５２．０００
−４５．６００
０．１０
１２．００
０．００
２．３５
２４、３５
２、００
０．００
５．７０
０．１０
８．２０
１、６７０３９
１、６３４２６
１、６３４２６
１、６８９７７
１、６９８７１
４９．６
９４．３
２８．２
９６．３
８２
６３
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 14 f = 83.18 Y = 31.5 F = 5.6 m = -0,5 r d nh l/h
T+ (%) 55.000 4.50 1.67
039 49.6 94.3212.000 30 150 90.360 90, 360 20.600 17.400 50, 447 -50447 24,000 252.000 -45.600 0.10 12.00 0.00 2.35 24, 35 2,00 0.00 5.70 0.10 8.20 1, 67039 1, 63426 1, 63426 1, 68977 1, 69871 49.6 94.3 28.2 96.3 82 63 48.2 92.3 46.2 93.3 Margin below.
割貴男１５
本実施例のレンズデータを表１５に、レンズの配置構成
図を第２９図に、収差図を第３０図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレ
ンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ、はそれぞれ接合配
置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３９、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，３３になっている。Takao Wari 15 The lens data of this example is shown in Table 15, the arrangement diagram of the lens is shown in FIG. 29, and the aberration diagram is shown in FIG. 30. In this embodiment, the first lens group G sequentially includes a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, and a positive meniscus lens L1.
It consists of a negative meniscus lens L, and a second lens group G.
, are negative meniscus lenses L whose convex surfaces are sequentially directed toward the image plane.
4, a positive meniscus lens L, and a positive meniscus lens L6, which are arranged in a combination of concave-convex-concave-concave-concave configuration. Note that the second lens L and the third lens L
3. In this embodiment, where the fourth lens L4 and the fifth lens L are arranged in a cemented state, (f, /f,)=-1,39, (f,
/f, )=-1,33.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１５
ｆ ＝８３．４２
Ｙ＝３１．５
Ｆ ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｙ ｄ ｎｈ νｈＴ＋
（％）５５．９４０ ４．５５ １．６７０３９
４９．６ ９４Ｊ２０７ ０００
２８、６２７
９８゜７００
９ｇ、 ７００
２０．２９０
１７、２５６
９７、２００
−９７．２００
−２４，７４２
−２０１．０００
４５、３８６
４．００
１０、９０
０．００
２．００
３９０
２．００
０．００
６．００
０．１０
８．００
１、６７０３９
１、６３１７７
１、６０３１４
１、６８９７７
１．６９８７１
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
３１．５
９７、■
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
以下余白。Table 15 f =83.42 Y=31.5 F =5.6 m=-0,5 y d nh νhT+
(%) 55.940 4.55 1.67039
49.6 94J207 000 28, 627 98°700 9g, 700 20.290 17, 256 97, 200 -97.200 -24,742 -201.000 45, 386 4.00 10, 90 0.00 2.00 390 2.00 0.00 6.00 0.10 8.00 1, 67039 1, 63177 1, 60314 1, 68977 1.69871 49.6 94.3 28.4 95.9 31.5 97, ■ 48 .2 92.3 46.2 93.3 Margin below.
塞奥１１６
本実施例のレンズデータを表１６に、レンズの配置構成
図を第３１図に、収差図を第３２図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレ
ンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第２レンズＬ、と第３レンズ
Ｌ３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ。Encapsulation 116 Lens data of this example is shown in Table 16, a lens arrangement diagram is shown in FIG. 31, and an aberration diagram is shown in FIG. 32. In this embodiment, the first lens group G sequentially includes a positive meniscus lens L1 having a convex surface facing the object side, a positive meniscus lens L,
The second lens group G consists of a negative meniscus lens L3.
, are negative meniscus lenses L whose convex surfaces are sequentially directed toward the image plane.
4, a positive meniscus lens, and a positive meniscus lens L8, which are arranged in a combination of concave-convex-concave-concave-convex. Note that the second lens L, the third lens L3, and the fourth lens L4 and the fifth lens L.
はそれぞれ接合配置されている
この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，４６、（ｆ、
／ｆ、） ＝−１，４０になっている。In this example, (f, /f, )=-1,46, (f, /f, )=-1,46, (f,
/f, ) = -1,40.
このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。With this configuration, various aberrations at the reference magnification are well corrected.
以下余白。Margin below.
表１６
ｆ 二８３．１９
Ｙ＝３１．５
Ｆ＝５．６
ｍ＝−０，５
ｒ ｄ ｎｈ Ｉ／ｈ
Ｔ＋（％）５５．１７０ ４．５０ １．６７
０３９ ４９．６ ９４．３２１２、０００
３０、４００
９６、７００
９６、７００
０６５０
−１７．３５０
５２、４００
５２、４００
２３．９００
−２５０．０００
−４５．６２３
０．１０
１２．００
０．００
２．５５
２４、２５
２．００
０．００
５．６０
１０
８゜６０
１、６７０３９
１、６３１７７
１、６３１７７
１、６８９７７
１、６９８７１
以下余白。Table 16 f 283.19 Y=31.5 F=5.6 m=-0,5 r d nh I/h
T+ (%) 55.170 4.50 1.67
039 49.6 94.3212,000 30,400 96,700 96,700 0650 -17.350 52,400 52,400 23.900 -250.000 -45.623 0.10 12.00 0.00 2 .55 24, 25 2.00 0.00 5.60 10 8°60 1, 67039 1, 63177 1, 63177 1, 68977 1, 69871 Below margin.
４９．６
９４．３
２８．４
９５．９
２８．４
９５．９
４８．２
９２．３
４６．２
９３．３
〈発明の効果〉
以上の説明で明らかなように、本発明に係る投影レンズ
は前記のように構成されているので、下記の効果を奏す
る。49.6 94.3 28.4 95.9 28.4 95.9 48.2 92.3 46.2 93.3 <Effects of the Invention> As is clear from the above description, the projection lens according to the present invention Since it is configured as described above, it has the following effects.
イ、各しンズ群を構成する正レンズ及び負レンズがｇ線
、ｈ線、ｉ線を含む近紫外領域を考慮した硝材で形成さ
れ、フォトレジストの感光波長域における光の透過率が
大幅に向上し、これにより焼付時間の短縮を図ることが
できる。B. The positive and negative lenses that make up each lens group are made of a glass material that takes into consideration the near-ultraviolet region including G-line, H-line, and I-line, and the transmittance of light in the wavelength range to which photoresist is sensitive is greatly increased. As a result, the printing time can be shortened.
口、有効な画面サイズを大きくできる。You can increase the effective screen size.
ハ、諸収差が大幅に改善され、画質の向上を図ることが
できる。C. Various aberrations are significantly improved, and image quality can be improved.
第１図・第３図・第５図・第７図・第９図・第１１図・
第１３図・第１５図・第１７図・第１９図・第２１図・
第２３図・第２５図・第２７図・第２９図・第３１図は
それぞれ本発明に係る実施例１〜実施例１６を示すレン
ズの配置構成図、第２図・第４図・第６図・第８図・第
１０図・第１２図・第１４図・第１６図・第１８図・第
２０図・第２２図・第２４図・第２６図・第２８図・第
３０図・第３２図はそれぞれ実施例１〜実施例１６に対
応するレンズの収差図である。
Ｇ、・・・第１レンズ群、Ｌｌ・・第１レンズ、Ｌ、・
・・第２レンズ、Ｌ３・・・第３レンズ、Ｇ、・・・第
２レンズ群、Ｌ４・・・第４レンズ、Ｌｓ・・・第５レ
ンズ、Ｌ、・・第６レンズ
ｎｇ、ｎｈ） ｎｔ・・・それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に
対する屈折率、ν９・・・分散値、Ｔｉ・・・ｉ線に対
する透過率。Figure 1, Figure 3, Figure 5, Figure 7, Figure 9, Figure 11,
Figure 13, Figure 15, Figure 17, Figure 19, Figure 21,
23, 25, 27, 29, and 31 are lens arrangement configuration diagrams showing embodiments 1 to 16 of the present invention, and FIGS. 2, 4, and 6 respectively. Figures, Figure 8, Figure 10, Figure 12, Figure 14, Figure 16, Figure 18, Figure 20, Figure 22, Figure 24, Figure 26, Figure 28, Figure 30, FIG. 32 is an aberration diagram of lenses corresponding to Examples 1 to 16, respectively. G,...first lens group, Ll...first lens, L,...
...Second lens, L3...Third lens, G...Second lens group, L4...Fourth lens, Ls...Fifth lens, L...Sixth lens ng, nh ) nt: refractive index for g-line, h-line, and i-line, ν9: dispersion value, Ti: transmittance for i-line.
Claims (1)
し、 第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた 正のメニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正のメ
ニスカスレンズと、負のレンズとから成り、 第２レンズ群は順次負のレンズと、像面側 に凸面を向けた正のメニスカスレンズと、像面側に曲率
半径が小さい方の凸面を向けた正のレンズとから成り、 硝材のｉ線に対する内部透過率（厚さ１０ｍｍ）をＴ＿
ｉとし、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率を、それぞれ
ｎ＿ｇ、ｎ＿ｈ、ｎ＿ｉとし、分散値をν＿ｈ＝（ｎ＿
ｈ−１）／（ｎ＿ｉ−ｎ＿ｇ）とするとき、 それぞれのレンズがＴ＿ｉ＞９０％ 正のレンズが１．６０＜ｎ＿ｈ＜１．７０ ４５＜ν＿ｈ＜５２ 負のレンズが１．５５＜ｎ＿ｈ＜１．６５ ２８＜ν＿ｈ＜３６ を満足する硝材より成ることを特徴とする 投影レンズ ２、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの
焦点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき
、条件式 −２．０＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．３ −１．８＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．５ を満たす請求項１に記載した投影レンズ ３、物体側から４番目と５番目のレンズが接合配置され
、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦
点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき、
条件式 −２．１＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．５ −１．４＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．２ を満たす請求項１に記載した投影レンズ ４、物体側から２番目と３番目のレンズが接合配置され
、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦
点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき、
条件式 −１．５＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．２ −２．４＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．８ を満たす請求項１に記載した投影レンズ ５、物体側から２番目と３番目、４番目と５番目のレン
ズが接合配置され、物体側からそれぞれ２、３、４、５
番目のレンズの焦点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ
＿５としたとき、条件式−１．６＜（ｆ＿２／ｆ＿３）
＜−１．３ −１．５＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．３ を満たす請求項１に記載した投影レンズ[Claims] 1. A first lens group and a second lens group are arranged in order from the object side, and the first lens group includes a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side and a positive meniscus lens with a convex surface facing the object side. The second lens group consists of a negative lens, a positive meniscus lens with a convex surface facing the image plane, and a convex surface with a smaller radius of curvature facing the image plane. The internal transmittance (thickness 10 mm) of the glass material for the i-line is T_
i, the refractive index for g-line, h-line, and i-line are n_g, n_h, n_i, respectively, and the dispersion value is ν_h=(n_
h-1)/(n_i-n_g), each lens T_i>90% Positive lens 1.60<n_h<1.70 45<ν_h<52 Negative lens 1.55<n_h< 1.65 The projection lens 2 is characterized by being made of a glass material satisfying 28<ν_h<36, and the focal lengths of the 2nd, 3rd, 4th, and 5th lenses from the object side are f_2, f_3, f_4, and f_5, respectively. The projection lens 3 according to claim 1, which satisfies the conditional expression -2.0<(f_2/f_3)<-1.3 -1.8<(f_5/f_4)<-1.5, when 4 from the object side When the th and 5th lenses are cemented and the focal lengths of the 2nd, 3rd, 4th, and 5th lenses from the object side are respectively f_2, f_3, f_4, and f_5,
The projection lens 4 according to claim 1, which satisfies the conditional expression -2.1<(f_2/f_3)<-1.5 -1.4<(f_5/f_4)<-1.2, is the second lens from the object side. When the third lens is cemented and the focal lengths of the 2nd, 3rd, 4th, and 5th lenses from the object side are f_2, f_3, f_4, and f_5, respectively,
The projection lens 5 according to claim 1, which satisfies the conditional expression -1.5<(f_2/f_3)<-1.2 -2.4<(f_5/f_4)<-1.8, is the second lens from the object side. The 3rd, 4th, and 5th lenses are cemented, and are 2, 3, 4, and 5 from the object side, respectively.
The focal length of the th lens is f_2, f_3, f_4, f
When _5, conditional expression -1.6<(f_2/f_3)
The projection lens according to claim 1, which satisfies <-1.3 -1.5<(f_5/f_4)<-1.3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1296898A JPH0820596B2 (en) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Projection lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1296898A JPH0820596B2 (en) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Projection lens |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156413A true JPH03156413A (en) | 1991-07-04 |
| JPH0820596B2 JPH0820596B2 (en) | 1996-03-04 |
Family
ID=17839594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1296898A Expired - Lifetime JPH0820596B2 (en) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Projection lens |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820596B2 (en) |
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