JPH03149413A - Fluid bearing guiding device - Google Patents
Fluid bearing guiding deviceInfo
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- JPH03149413A JPH03149413A JP28750689A JP28750689A JPH03149413A JP H03149413 A JPH03149413 A JP H03149413A JP 28750689 A JP28750689 A JP 28750689A JP 28750689 A JP28750689 A JP 28750689A JP H03149413 A JPH03149413 A JP H03149413A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 6
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
Description
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、流体軸受案内装置にかかり、特に外部からの
供給電圧によって、スライダの流体による微振動を押さ
え、かつ、真直度を調整、かつ、スライダ剛性を高める
装置に関する。
（従来の技術）
一般に、精密案内機構としては、エアスライダ、転がり
方式案内、油圧テーブル等が用いられている。−これら
のうち、転がり方式案内及び油圧テーブルは、両者とも
、振動減衰性が大きく、エア振動のような高周波の振動
は、比較的発生しに（−い長所をもっている。しかし、
転がり方式案内は、組立て・製法が煩雑で耐久性に問題
がある。
また、油圧テーブルは、油圧ポンプなどの周辺装置の保
守・設置の必要がある欠点をもっている。
一方、エアスライダとしては、金属製またはセラミック
製のものが用いられているが、金属性のエアスライダよ
りも、セラミック製のエアスライダのほうが、高剛性お
よび高精度というので金属スライダよりも優れている。
とくに、セラミック製のエアスライダは、保守及び周辺
装置が簡便、軽量、耐久性良という利点を持ち、精密案
内機構として頻繁に用いられている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、セラミック製のエアスライダは、次のよ
うな欠点をもっている。すなわち、■流体供給によるス
ライダの〜１０ｎｍレベルの高周波振動の発生、■精密
案内機構としての要求を満たすには真直度が十分でない
、■精密案内機構としての要求を満たすには剛性が十分
でない。
本発明は、上記事情を勘案してなされたもので、外部か
らの供給電圧によって、スライダの流体による微振動を
押さえ、かつ、真直度を調整、かつ、スライダ剛性を高
めることのできる流体軸受案内装置を提供することを目
的とする。[Objective of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a hydrodynamic bearing guide device, in particular, uses an externally supplied voltage to suppress slight vibrations caused by a fluid in a slider, adjusts straightness, and improves the slider. The present invention relates to a device for increasing rigidity. (Prior Art) Generally, as a precision guide mechanism, an air slider, a rolling guide, a hydraulic table, etc. are used. - Among these, both the rolling type guide and the hydraulic table have a large vibration damping property, and have the advantage that high frequency vibrations such as air vibration are relatively unlikely to occur.However,
Rolling type guides require complicated assembly and manufacturing methods and have problems with durability. Additionally, the hydraulic table has the disadvantage that it requires maintenance and installation of peripheral devices such as a hydraulic pump. On the other hand, air sliders are made of metal or ceramic, but ceramic air sliders are superior to metal sliders because they have higher rigidity and precision. There is. In particular, ceramic air sliders have the advantages of easy maintenance and peripheral equipment, light weight, and good durability, and are frequently used as precision guide mechanisms. (Problems to be Solved by the Invention) However, the ceramic air slider has the following drawbacks. That is, (1) occurrence of high frequency vibration of ~10 nm level in the slider due to fluid supply, (2) insufficient straightness to meet the requirements of a precision guide mechanism, and (2) insufficient rigidity to meet the requirements of a precision guide mechanism. The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and is a hydrodynamic bearing guide capable of suppressing slight vibrations caused by fluid in a slider, adjusting straightness, and increasing slider rigidity using an externally supplied voltage. The purpose is to provide equipment.
（課題を解決するための手段と作用）
本発明の流体軸受案内装置は、ガイドレールに設けられ
た第１電極およびスライダに設けられた第２電極への印
加電圧の操作により、スライダの剛性、流体による振動
及び真直度を改善することができるようにしたものであ
る。したがって、この流体軸受案内装置を用いることに
より、超精密位置決めをｎｍオーダー精度で安定して行
なうことができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。
第１図及び１１２図は、この実施例の流体軸受案内装置
（Ｃ）を示している。この流体軸受案内装置（Ｃ）は、
例えば、ＢａＴ１０３． Ｐｂ（Ｚｒ、ＴＩ）Ｏｓなど
の圧電セラミック製の直線棒状のガイドレール（１）と
、このガイドレール（１）の分極方向（矢印（Ｐ）方向
）両側部に相対して設けられた複数の第１電極（２）・
・・と、ガイドレール（１）に摺動自在に嵌挿され横断
面が口の字状をなすスライダ（３）と、スライダ（３）
の分極方向（矢印（Ｐ）方向）両側部に相対して設けら
れた複数の第２電極（４）・・・と、上記各第１電極（
２）・・・に異なった電圧を各別に印加する第１電源（
５）と、上記各第２電極（４）・・・に異なった電圧を
各別に印加する第２電源（６）と、上記ガイドレール（
１）と上記スライダ（３）とのギャップに例えば、圧縮
空気などの流体を供給する流体供給装置（１）とからな
っている。しかして、上記ガイドレール（１）は、横断
面がほぼ正方形を成す棒状の本体部（８）と、この本体
部（８）の両端に着脱自在に設けられた脚部（９）、（
９）とからなっている。また、第１電極（２）・・・は
、上記ガイドレール（１）に例えば、銀（Ａｇ）などの
金属が薄膜状に形成されたものである。さらに、スライ
ダ（３）は、第３ｖ！Ｊに示すように、一対の例えばア
ルミナなどからなる鋼板（１０）、（１０）と、側板（
１０）、（１０５間に介挿された例えばＢａＴｌｏａ
、 Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏａなどの圧電セラミックから
なる一対の介挿（１１）。
（１１）とからなっている。これら介挿体（１１）、（
１１）の分極方向（矢印（Ｐ）方向）は、介挿体（ｔＢ
。
（１１）と側板（１０）、 （１０）との積層方向とな
っている。
そうして、第２電極（４）・・・は、例えば銀などの金
属が薄膜状に形成されたものであって、介挿体（１１）
、（１１）と側板（１０）、（１０）との間に介設され
て いる。さらに、第１電極（２）・・・は、本体部（
８）中に埋設されたリード端子に電気的に接続されて
いる。おなじく、第２電極（４）・・・は、側板（１
０）。
（１０）中に埋設されたリード端子に電気的に接続され
ている。そして、流体供給装置（７）から供給された流
体は、スライダ（３）の内壁面にて開口する流体噴出出
口（図示せず。）から上記ガイドレール（１）と上記ス
ライダ（３）とのギャップに噴出し、スライダ（３）を
静圧支持するように設けられている。
つぎに、上記構成の流体軸受案内装置（Ｇ）の作動につ
いて述べる。
まず、第１電極（２）・・・に第１電源（５）により電
圧ｖ１を印加する。すると、ガイドレール（１）は、分
極方向（矢印（Ｐ）方向）に拡大する（ちなみに、１０
００Ｖの電圧印加により、Ｏ−５ミー変位する。）。
この状態で、第３図に示すように、スライダ（３）をガ
イドレール（１）に嵌挿させる。その結果、ガイドレー
ル（１）は、スライダ（３）の側板（１０）。
（１０）の内壁面に当接する。つぎに、流体供給装置（
１）からガイドレール（１）とスライダ（３）とのギャ
ップに流体を供給しながら、第１電源（５）による電圧
をＯにすると、ガイドレール（１）は、分極方向（矢印
（Ｐ）方向）に縮小し、ガイドレール（１）とスライダ
（３）との間にギャップｄが生じる。
つぎに、第１電極（２）・・・に第１電源（５）により
電圧Ｖ２（ただし、Ｖ２＜Ｍｌ）を印加する。すると、
ガイドレール（１）は、分極方向（矢印（Ｐ）方向）に
伸長し、ガイドレール（１）とスライダ（３）とのギャ
ップｄが縮まる。このとき流体軸受案内装置（Ｃ）の剛
性が最大となる電圧ｖ２をあらかじめ求めておき、この
電圧ｖ２に設定する。その結果流体軸受装ｆｆｌ （Ｇ
）の剛性を改善することができる。さらに、第４図に示
すように、印加電圧をＶ２かａ６Ｖ−１に向かって除々
に近づけると、ガイドレール（１）とスライダ（３）と
は、一部的に接触しはじめ、スライダ（３）はガイドレ
ール（１）に対して、半浮上状態となる。その結果、ガ
イドレール（１）とスライダ（３）とのギャップに供給
されている流体に基因するスライダ（３）の微振動の発
生を防止することができる。さらにまた、ガイドレール
（１）のストローク方向（矢印（Ｓ）方向）にわたって
例えばレーザ干渉計などを用いてガイドレール（１）の
真直度を調べながら第１電極（２）・・・に滲別に電圧
を印加することにより、ガイドレール（１）の蛇行を補
正して、真直度を補正することができる。この場合、各
第１電極（２）・・・への印加電圧値とガードレール（
１）の変位量を示すテーブルをあらかじめ実験的に作成
しておき、このテーブルを参照しながら上記り直皮の−
正（表）を行なう、このように、第１電極（２）・・・
への印加電圧を操作することにより、スライダ（３）の
剛性、流体による振動及び真直度を改善することができ
る。
このことは、第２電源（６）により上記各第２電極（４
）・・・へ電圧を印加し、スライダ（３）を分極方向（
矢印（Ｐ）方向）に変位させても同様の効果を得ること
ができる。すなわち、流体軸受案内装置（Ｇ）の剛性が
最大となる電圧ｖ３をあらかじめ求めておき、この電圧
ｖ３に設定すれば、流体軸受案内装Ｗ （Ｇ）の剛性を
改善することができる。さらに、ガイドレール（１）と
スライダ（３）とのギャップｄが縮まるように、印加電
圧をｖ３からｖ４に向かって除々に近づけると、ガイド
レール（１）とスライダ（３）とは、二部的に接触しは
じめ、スライダ（３）はガイドレール（１）に対して、
半浮上状態になる（第５図参照）。その結果、ガイドレ
ール（１）とスライダ（３）とのギャップに供給されて
いる流体に基因するスライダ（３）の微振動の発生を防
止することができる。さらにまた、ガイドレール（１）
のストローク方向（矢印（Ｓ）方向）にわたって例えば
レーザ干渉計などを用いてガイドレール（１）の真直度
を調べながら第２電極（４）・・・に−ＩＦ別に電圧を
印加することにより、ガイドレール（１）の蛇行を補正
して、真直度を補正することができる。 以上のように
、この実施例の流体軸受案内装置（Ｇ）は、第１電極（
２）−・および第２電極（４）・・・への印加電圧の操
作により、スライダ（３）の剛性、流体による振動及び
真直度を改善することができる。
なお、上記実施例においては、第１電極（２）・・・お
よび第２電極（４）・・・への電圧印加をそれぞれ独立
して別々に行なったが、同時的に電圧を印加するように
してもよい。さらに、上記実施例においては、第１電極
（２）・・・および第２電極（４）−・・の分極方向は
、水平方向（矢印（Ｐ）方向）としたが、上下方向でも
よい。また、第１電極（２）・・・および第２電極（４
）・・・の分極方向は、同一としたが、互いに直交方向
に分極（変位）させてもよい。のみならず、本発明の流
体軸受案内装置は、第１電極（２）・・・および第２電
極（４）・・・のうち、両方でなく、少なくともいずれ
か一方を具備するものであればよい。また、スライダ（
３）の横断面形状は口の字状に限ることなくコの字状で
もよい。
［発明の効果］
本発明の流体軸受案内装置は、ガイドレールに設けられ
た第１電極およびスライダに設けられた第２電極への印
加電圧の操作により、スライダの剛性、流体による振動
及び真直度を改善することができる。したがって、この
流体軸受案内装置を用いることにより、超精密位置決め
をｎｍオーダー精度で安定して行なうことかもきる。(Means and effects for solving the problems) The hydrodynamic bearing guide device of the present invention improves the rigidity of the slider by manipulating the voltage applied to the first electrode provided on the guide rail and the second electrode provided on the slider. This makes it possible to improve vibration caused by fluid and straightness. Therefore, by using this hydrodynamic bearing guide device, ultra-precise positioning can be stably performed with nanometer-order accuracy. (Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 112 show the hydrodynamic bearing guide device (C) of this embodiment. This hydrodynamic bearing guide device (C) is
For example, BaT103. A linear rod-shaped guide rail (1) made of piezoelectric ceramic such as Pb(Zr, TI)Os, and a plurality of guide rails (1) provided opposite to each other on both sides of the guide rail (1) in the polarization direction (arrow (P) direction) First electrode (2)・
..., a slider (3) that is slidably inserted into the guide rail (1) and whose cross section is shaped like an opening, and a slider (3).
A plurality of second electrodes (4) provided opposite to each other on both sides in the polarization direction (direction of arrow (P)), and each of the first electrodes (
2) A first power supply (which applies different voltages to each separately)
5), a second power source (6) that applies different voltages to each of the second electrodes (4), and the guide rail (
1) and the slider (3), the fluid supply device (1) supplies fluid such as compressed air to the gap between the slider (3) and the slider (3). The guide rail (1) has a rod-shaped main body (8) with a substantially square cross section, legs (9) removably provided at both ends of the main body (8), and (
9) It consists of. The first electrodes (2) are formed by forming a thin film of metal such as silver (Ag) on the guide rail (1). Furthermore, the slider (3) is the 3rd v! As shown in J, a pair of steel plates (10), (10) made of, for example, alumina, and a side plate (
10), (For example, BaTloa inserted between 105
, a pair of inserts (11) made of piezoelectric ceramic such as Pb(Zr,Ti)Oa. It consists of (11). These inserts (11), (
11) The polarization direction (arrow (P) direction) is
. (11) and the side plates (10) and (10) are stacked in the same direction. The second electrode (4) is made of a thin film of metal such as silver, and the second electrode (4) is formed of a thin film of metal such as silver.
, (11) and the side plates (10), (10). Furthermore, the first electrode (2)... is connected to the main body (
8) Electrically connected to the lead terminal buried inside
There is. Similarly, the second electrode (4)... is connected to the side plate (1
0). (10) It is electrically connected to a lead terminal embedded therein. The fluid supplied from the fluid supply device (7) is supplied to the guide rail (1) and the slider (3) from a fluid jet outlet (not shown) that opens on the inner wall surface of the slider (3). It is provided so as to eject into the gap and support the slider (3) under static pressure. Next, the operation of the hydrodynamic bearing guide device (G) having the above configuration will be described. First, a voltage v1 is applied to the first electrodes (2) by the first power source (5). Then, the guide rail (1) expands in the polarization direction (arrow (P) direction) (by the way, 10
By applying a voltage of 00V, it is displaced by 0-5 me. ). In this state, as shown in FIG. 3, the slider (3) is inserted into the guide rail (1). As a result, the guide rail (1) is a side plate (10) of the slider (3). (10) comes into contact with the inner wall surface. Next, the fluid supply device (
When the voltage from the first power source (5) is set to O while supplying fluid from 1) to the gap between the guide rail (1) and the slider (3), the guide rail (1) moves in the polarization direction (arrow (P) direction), and a gap d is created between the guide rail (1) and the slider (3). Next, a voltage V2 (V2<Ml) is applied to the first electrodes (2) by the first power source (5). Then,
The guide rail (1) extends in the polarization direction (arrow (P) direction), and the gap d between the guide rail (1) and the slider (3) is reduced. At this time, a voltage v2 at which the rigidity of the hydrodynamic bearing guide device (C) becomes maximum is determined in advance and set to this voltage v2. As a result, the hydrodynamic bearing system ffl (G
) stiffness can be improved. Further, as shown in FIG. 4, when the applied voltage is gradually brought closer to V2 or a6V-1, the guide rail (1) and the slider (3) begin to partially contact each other, and the slider (3) ) is in a semi-floating state with respect to the guide rail (1). As a result, it is possible to prevent the slider (3) from generating slight vibrations caused by the fluid being supplied to the gap between the guide rail (1) and the slider (3). Furthermore, while checking the straightness of the guide rail (1) in the stroke direction (direction of arrow (S)) of the guide rail (1) using, for example, a laser interferometer, the first electrode (2)... By applying a voltage, the meandering of the guide rail (1) can be corrected and the straightness of the guide rail (1) can be corrected. In this case, the applied voltage value to each first electrode (2)... and the guardrail (
A table showing the amount of displacement in 1) was created experimentally in advance, and while referring to this table, the -
In this way, the first electrode (2)...
By manipulating the voltage applied to the slider (3), the rigidity, fluid-induced vibration, and straightness of the slider (3) can be improved. This means that each of the second electrodes (4) is powered by the second power source (6).
)..., and move the slider (3) in the polarization direction (
A similar effect can be obtained by displacing it in the direction of arrow (P). That is, by determining in advance the voltage v3 at which the rigidity of the hydrodynamic bearing guide device (G) is maximum and setting it to this voltage v3, the rigidity of the hydrodynamic bearing guide device W (G) can be improved. Furthermore, when the applied voltage is gradually approached from v3 to v4 so that the gap d between the guide rail (1) and the slider (3) is reduced, the guide rail (1) and the slider (3) become two parts. The slider (3) starts to make contact with the guide rail (1),
It will be in a semi-levitation state (see Figure 5). As a result, it is possible to prevent the slider (3) from generating slight vibrations caused by the fluid being supplied to the gap between the guide rail (1) and the slider (3). Furthermore, guide rail (1)
While checking the straightness of the guide rail (1) using, for example, a laser interferometer over the stroke direction (direction of arrow (S)), by applying a voltage to the second electrode (4) for each -IF, The meandering of the guide rail (1) can be corrected and the straightness of the guide rail (1) can be corrected. As described above, the hydrodynamic bearing guide device (G) of this embodiment has the first electrode (
2) and the second electrodes (4)..., the rigidity, fluid-induced vibration, and straightness of the slider (3) can be improved. In the above embodiment, voltages were applied to the first electrodes (2) and the second electrodes (4) independently and separately, but it is possible to apply voltages simultaneously. You can also do this. Further, in the above embodiments, the polarization direction of the first electrodes (2) and the second electrodes (4) was set to the horizontal direction (the direction of the arrow (P)), but the polarization direction may be the vertical direction. In addition, the first electrode (2)... and the second electrode (4)
)... are assumed to be the same, but they may be polarized (displaced) in mutually orthogonal directions. In addition, the hydrodynamic bearing guide device of the present invention may include at least one of the first electrode (2) and the second electrode (4), but not both. good. You can also use the slider (
The cross-sectional shape of 3) is not limited to a square shape, but may be a U-shape. [Effects of the Invention] The hydrodynamic bearing guide device of the present invention improves the rigidity, fluid-induced vibration, and straightness of the slider by manipulating the voltage applied to the first electrode provided on the guide rail and the second electrode provided on the slider. can be improved. Therefore, by using this hydrodynamic bearing guide device, it is possible to stably perform ultra-precise positioning with nanometer order accuracy.
第１図は本発明の一実施例の流体軸受案内装置の斜視図
、第２図は同じ（平面図、第３図は同じく要部拡大図、
第４図および第５図は同じく作用読明図である。
（１）・・・ガイドレール、 （２）・・・第１電極、
（３）・・・スライダ、 （４）・・・第２電極、
（５）・・・第１電源、 （６）・・・第２電源、
（７）・・・流体供給装置。Fig. 1 is a perspective view of a hydrodynamic bearing guide device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is the same (plan view), Fig. 3 is an enlarged view of the main parts,
FIG. 4 and FIG. 5 are also action diagrams. (1)...Guide rail, (2)...First electrode,
(3)...Slider, (4)...Second electrode,
(5)...first power supply, (6)...second power supply,
(7)...Fluid supply device.
Claims (3)
方向が長手方向に直交するガイドレールと、このガイド
レールの分極方向両側面に上記長手方向に沿って複数ず
つ設けられた電極と、これら電極に各別に電圧を印加す
る電圧印加手段と、上記ガイドレールに摺動自在に嵌挿
されたスライダと、上記ガイドレールと上記スライダと
の間隙に流体を供給して上記スライダを静圧軸支する流
体供給手段とを具備することを特徴とする流体軸受案内
装置。(1) a guide rail made of a rod-shaped ferroelectric material having piezoelectricity and whose polarization direction is orthogonal to the longitudinal direction; a plurality of electrodes provided along the longitudinal direction on both sides of the guide rail in the polarization direction; a voltage applying means for applying a voltage to each of the electrodes; a slider slidably fitted into the guide rail; 1. A fluid bearing guide device comprising: a fluid supply means for supporting the fluid bearing;
有する強誘電体からなり上記ガイドレールに摺動自在に
嵌挿され且つ上記強誘電体の分極方向が上記ガイドレー
ルの長手方向に直交するスライダと、このスライダの分
極方向両内側面に上記長手方向に沿って複数ずつ設けら
れた電極と、これら電極に各別に電圧を印加する電圧印
加手段と、上記ガイドレールと上記スライダとの間隙に
流体を供給して上記スライダを静圧軸支する流体供給手
段とを具備することを特徴とする流体軸受案内装置。(2) A rod-shaped guide rail and a ferroelectric material, at least a portion of which has piezoelectricity, and is slidably inserted into the guide rail, and the polarization direction of the ferroelectric material is perpendicular to the longitudinal direction of the guide rail. a slider, a plurality of electrodes provided along the longitudinal direction on both inner surfaces of the slider in the polarization direction, voltage application means for applying a voltage to each of these electrodes, and a voltage application means provided in the gap between the guide rail and the slider. A fluid bearing guide device comprising: fluid supply means for supplying fluid to hydrostatically support the slider.
方向が長手方向に直行するガイドレールと、このガイド
レールの分極方向両側面に上記長手方向に沿って複数ず
つ設けられた第１電極と、少なくとも一部が圧電性を有
する強誘電体からなり上記ガイドレールに摺動自在に嵌
挿され且つ上記少なくとも一部をなす強誘電体の分極方
向が上記ガイドレールの長手方向に直交するスライダと
、このスライダの分極方向両内側面に上記長手方向に沿
って複数ずつ設けられた第２電極と、上記第１電極およ
び第２電極に各別に電圧を印加する電圧印加手段と、上
記ガイドレールと上記スライダとの間隙に流体を供給し
て上記スライダを静圧軸支する流体供給手段とを具備す
ることを特徴とする流体軸受案内装置。(3) A guide rail made of a rod-shaped ferroelectric material having piezoelectricity and whose polarization direction is perpendicular to the longitudinal direction, and a plurality of first electrodes provided along the longitudinal direction on both sides of the guide rail in the polarization direction. and a slider, at least a portion of which is made of a ferroelectric material having piezoelectricity, and which is slidably inserted into the guide rail, and the polarization direction of the ferroelectric material forming at least a portion of the slider is perpendicular to the longitudinal direction of the guide rail. a plurality of second electrodes provided along the longitudinal direction on both inner surfaces of the slider in the polarization direction; voltage applying means for applying a voltage to each of the first electrode and the second electrode; and the guide rail. and fluid supply means for supplying fluid to a gap between the slider and the slider to support the slider with hydrostatic pressure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28750689A JPH03149413A (en) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Fluid bearing guiding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28750689A JPH03149413A (en) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Fluid bearing guiding device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03149413A true JPH03149413A (en) | 1991-06-26 |
Family
ID=17718222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28750689A Pending JPH03149413A (en) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | Fluid bearing guiding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03149413A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997044158A3 (en) * | 1996-05-21 | 1998-07-02 | Western Atlas Int Inc | Drive and support for machine tools |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP28750689A patent/JPH03149413A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997044158A3 (en) * | 1996-05-21 | 1998-07-02 | Western Atlas Int Inc | Drive and support for machine tools |
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