JPH03145776A - Slab type laser medium - Google Patents

Slab type laser medium

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JPH03145776A
JPH03145776A JP1284431A JP28443189A JPH03145776A JP H03145776 A JPH03145776 A JP H03145776A JP 1284431 A JP1284431 A JP 1284431A JP 28443189 A JP28443189 A JP 28443189A JP H03145776 A JPH03145776 A JP H03145776A
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glass
laser
slab
type laser
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Japanese (ja)
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Nobuyuki Tadokoro
信幸 田所
Hidemi Tajima
田島 英身
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Original Assignee
Hoya Corp
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Abstract

PURPOSE:To enable a laser medium to be brought into direct contact with water to cool by a method wherein a thin plate as a protective member is formed of glass material more excellent than laser glass which forms a laser medium base in water resistance, and the protective member concerned is fixed to the outer faces of the two opposed sides of the laser medium base respectively in one piece. CONSTITUTION:A laser medium base 11 is formed of laser glass composed of phosphate glass such as fluorophosphate glass or silica phosphate glass which is doped with 8.7% by weight of Nd ion as a laser active mateiral. Protective members 12 and 13 are formed of silicate glass such as borosilicate glass or the like, and the faces 12a and 13 of them are fusion-welded by heating to the faces 11a and 11b of the laser medium base 11 opposed to each other in a thicknesswise direction respectively. The protective members 12 and 13 are very excellent in water resistance as compared with phosphate glass.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レーザ媒体に直接水を接触させて冷却できる
ようにしたスラブ型レーザ媒体に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a slab-type laser medium that can be cooled by bringing water into direct contact with the laser medium.

[従来の技術] 比較的高出力なレーザ光を安定して発振可能なレーザ媒
体としてスラブ型レーザ媒体が知られている。
[Prior Art] A slab-type laser medium is known as a laser medium that can stably oscillate a relatively high-power laser beam.

このスラブ型レーザ媒体は、比較的薄い板状に形成され
たレーザ媒体内を進行するレーザ共振光を、相対向する
2つの面で交互に反射させてジグザグ状に進行させるこ
とにより、レーザ発振を行うようにしたものである。
This slab-type laser medium allows laser oscillation to occur by causing laser resonant light traveling through a relatively thin plate-shaped laser medium to travel in a zigzag pattern by alternately reflecting it on two opposing surfaces. This is what I decided to do.

このスラブ型レーザ媒体は、薄い板状体たるレーザ媒体
の両面から冷却することができるから冷却効率を良好に
確保でき、同時に、レーザ共振光がレーザ媒体内でジグ
ザグ状に進行するから、比較的長い有効励起光路長を得
ることができる。それ故、比較的高出力なレーザ光を安
定して発振させることができる。
This slab-type laser medium can cool the thin plate-like laser medium from both sides, ensuring good cooling efficiency.At the same time, the laser resonant light travels in a zigzag pattern within the laser medium, so A long effective excitation optical path length can be obtained. Therefore, relatively high-power laser light can be stably oscillated.

ところで、このスラブ型レーザ媒体を冷却する方法とし
ては、水を直接レーザ媒体に接触させて冷却する方法を
適用することが、冷却効率や取扱の容易性等の観点から
最も望ましいと考えられる。
By the way, as a method for cooling this slab type laser medium, it is considered most desirable from the viewpoint of cooling efficiency and ease of handling to apply a method of cooling the laser medium by bringing water into direct contact with the laser medium.

ところが、このスラブ型レーザ媒体を構成するのに最適
とされるフッリン酸塩、あるいは、リン酸塩を主成分と
したレーザガラスは、水に対して耐性を有しない。
However, fluorinate, which is most suitable for constructing this slab-type laser medium, or laser glass containing phosphate as a main component does not have resistance to water.

一方、水に対して耐性を有するレーザガラスとして知ら
れているケイ酸塩ガラスは、非線形係数が1.53X 
10 ”’ e s uと大きい(リン酸塩ガラスでは
、1.1〜1.2 X]013esu)ので、レンズ効
果によりレーザの自己集束が起こり、レーザ媒体にダメ
ージの生ずるおそれが高く、また、誘導放出断面積が2
.7 X 10” cmと小さい(リン酸塩ガラスでは
、4.1〜4.2 x 10”cm)ので、発振効率が
小さい等の理由から、スラブ型レーザ媒体として用いる
ことはできない。
On the other hand, silicate glass, known as a laser glass that is resistant to water, has a nonlinear coefficient of 1.53X.
10"' e su (for phosphate glass, 1.1 to 1.2 Stimulated emission cross section is 2
.. Since it is as small as 7 x 10" cm (for phosphate glass, it is 4.1 to 4.2 x 10" cm), it cannot be used as a slab type laser medium due to reasons such as low oscillation efficiency.

それゆえ、従来は、スラブ型レーザ媒体をフッリン酸塩
、あるいは、リン酸塩を主成分としたレーザガラスで構
成し、これを水による損傷が生じない以下の冷却方法で
冷却していた。
Therefore, conventionally, a slab type laser medium has been constructed of fluorinate or a laser glass containing phosphate as a main component, and has been cooled by the following cooling method that does not cause damage due to water.

■ 冷却液として、以下の冷却液を直接レーザ媒体に接
触させて冷却する方法(KOeCllner  著Sp
r : nger−Ver l aq社刊 r Sol
 id 5tate l−aserEngineeri
ng J  参照)a、水(50%)とエチレングリコ
ール(50%〉との混合液 す、フロロカーボン液 C1水(60%)とメタノール(40%〉との混合液 ■ レーザ媒体の冷却液が接触する表面にMgF2やフ
ッ素高分子等をコーティングして保護膜を形成し、水冷
する方法。
■ Method of cooling the laser medium by bringing the following cooling liquid into direct contact with the laser medium (by KOeClllner, Sp.
r: nger-VerlAq Publishing rSol
id 5tate l-aserEngineeri
ng J) a. A mixed solution of water (50%) and ethylene glycol (50%). Fluorocarbon liquid C1 A mixed solution of water (60%) and methanol (40%) ■ Contact with the cooling liquid of the laser medium. A method of coating the surface with MgF2 or fluoropolymer to form a protective film and cooling it with water.

■ レーザ媒体の冷却面に所定の間隙をおいて冷却板を
対向させ、その間隙に熱伝導率の高いHeガスを流通さ
せる、いわゆる、コンダクション・クーリング方法。こ
の場合、冷却板としては、例えば、水冷処置が施された
サファイア板が用いられ;E、 (IEEE J、Q、
E Vol QE−21,No!+ PdI2〜414
参照)。
■ A so-called conduction cooling method, in which a cooling plate is placed opposite the cooling surface of the laser medium with a predetermined gap, and He gas with high thermal conductivity is passed through the gap. In this case, as the cooling plate, for example, a water-cooled sapphire plate is used; E, (IEEE J, Q,
E Vol QE-21, No! + PdI2~414
reference).

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上述の従来の各方法には、以下の問題点
があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, each of the above-mentioned conventional methods has the following problems.

初例方仏 この方法で用いる各冷却液には、C−H又はF−Hボン
ドが含まれており、これらボンドによって励起光が吸収
され冷却液が劣化するので、冷却液の使用耐久時間が短
い。
Each coolant used in this method contains C-H or F-H bonds, and these bonds absorb excitation light and deteriorate the coolant, so the durability of the coolant is limited. short.

盗み方訟 この方法では、コーティングされた保護膜が、使用につ
れて水の作用により膨潤したり、あるいは、剥離する等
のおそれが高く、耐久性が十分でない。特に、保護膜を
有機膜で構成した場合には、熱膨張率がガラスに比較し
て1ケタ程大きいので、熱膨張差による疲労が生じやす
いとともに、励起光の作用による光損傷も受けやすい。
In this method, there is a high risk that the coated protective film will swell or peel off due to the action of water during use, and the durability is not sufficient. In particular, when the protective film is made of an organic film, the coefficient of thermal expansion is about one order of magnitude higher than that of glass, so fatigue is likely to occur due to the difference in thermal expansion, and the protective film is also susceptible to optical damage due to the action of excitation light.

仮O方払 この方法は、水冷や溶液等をレーザ媒体に接触させる方
法に比較して冷却効果が低い。
This method has a lower cooling effect than methods such as water cooling or bringing a solution into contact with the laser medium.

本発明は、上述の背景のもとでなされたものであり、比
較的単純な構成により、レーザ媒体に直接水を接触させ
て冷却できるようにしたスラブ型レーザ媒体を提供する
ことを目的としたものである。
The present invention was made against the above-mentioned background, and an object of the present invention is to provide a slab-type laser medium that has a relatively simple configuration and can be cooled by bringing water into direct contact with the laser medium. It is something.

[課題を解決するための手段] 本発明は、以下の構成とすることにより上述の課題を解
決している。
[Means for Solving the Problems] The present invention solves the above problems by having the following configuration.

板状に形成されたレーザ媒体内を進行するレーザ共振光
を、相対向する2つの面で交互に反射させてジグザグ状
に進行さぜることによりレーザ発振を行うスラブ型レー
ザ媒体であって、レーザガラスで板状に形成されたレー
ザ媒体基部と、 前記レーザ媒体基部を構成するレーザガラスに比較して
水に対する耐性に優れたガラス材料で薄板状に形成され
、前記レーザ媒体基部の相対向する2つの面の外面にそ
れぞれの一方の面を固着することにより前記レーザ媒体
基部と一体に形成された保護部材とを有する構成。
A slab-type laser medium that performs laser oscillation by alternately reflecting laser resonant light traveling in a plate-shaped laser medium on two opposing surfaces and causing it to travel in a zigzag pattern, a laser medium base formed in a plate shape of laser glass; and a thin plate formed of a glass material with higher resistance to water than the laser glass constituting the laser medium base, the laser medium base facing each other; A protection member is integrally formed with the laser medium base by fixing one surface of each of the two surfaces to the outer surface of the two surfaces.

[作用] 上述の構成において、前記それぞれの保護部材の外部と
接する面を互いに相対向する面とし、このレーザ媒体内
においてレーザ共振光がこれらの面で交互に反射してジ
グザグ状に進行するようにすれば、レーザ発振を行わせ
ることができる。
[Function] In the above configuration, the surfaces of each of the protection members that contact the outside are surfaces that face each other, and the laser resonant light is alternately reflected from these surfaces and travels in a zigzag pattern within the laser medium. By doing so, laser oscillation can be performed.

この場合、前記保護部材の外面に水を直接接触させて冷
却してもレーザ媒体が水に侵されることはない。
In this case, even if water is brought into direct contact with the outer surface of the protection member for cooling, the laser medium will not be eroded by water.

「実施例」 第1図は本発明の一実施例にかかるスラブ型レーザ媒体
の斜視図、第2図は第1図の■−■線断面図、第3図は
一実施例の使用例の説明図である。
"Example" Fig. 1 is a perspective view of a slab type laser medium according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view taken along the line ■-■ of Fig. 1, and Fig. 3 is a usage example of the embodiment. It is an explanatory diagram.

以下、これらの図面を参照しなから一実施例を詳述する
Hereinafter, one embodiment will be described in detail with reference to these drawings.

図において、符号10はスラブ型レーザ媒体、符号11
はレーザ媒体基部、符号12及び13は保護部材、符号
21−及び22は励起光源、符号31及び32は共振ミ
ラーである。
In the figure, reference numeral 10 indicates a slab type laser medium, and reference numeral 11
12 and 13 are protection members, 21 and 22 are excitation light sources, and 31 and 32 are resonant mirrors.

前記スラブ型レーザ媒体10は、厚さ十数mm、長さ百
数十mm、幅数十mm程度の略帯状の板体である。
The slab type laser medium 10 is a substantially belt-shaped plate having a thickness of about 10 mm, a length of 100 mm, and a width of about several tens of mm.

このスラブ型レーザ媒体10の厚さ方向における相対向
する2つの面は、極めて正確に平行になるように形成さ
れ(面平行度;10秒)、レーザ共振光の反射面10a
、]、Obを構成する。
The two opposing surfaces in the thickness direction of this slab type laser medium 10 are formed to be extremely accurately parallel (plane parallelism: 10 seconds), and the reflecting surface 10a of the laser resonant light is
, ], constitutes Ob.

また、このスラブ型レーザ媒体10の長さ方向において
対向する2つの面も、正確に平行になるように形成され
(面平行度;23秒〉、レーザ共振光の入・出射面10
c、10dを構成する。この場合、これら人・出射面1
0c、10dが、前記反射面1.0a、10bに対して
なす角度αが、正確に所定の角度をなすように選定され
る。すなわち、前記入・出射面10c、1−Odを通じ
てこのスラブ型レーザ媒体10に入・出射する共振光が
、入・出射の際にブ刃ユースター角で入・出射するよう
な角度が選ばれる。この実施例では、α146.92°
に設定される。
In addition, the two surfaces facing each other in the length direction of this slab type laser medium 10 are also formed to be exactly parallel (surface parallelism: 23 seconds), and the laser resonant light input/output surface 10 is
c, constitute 10d. In this case, these people/emission surface 1
The angle α formed by 0c and 10d with respect to the reflecting surfaces 1.0a and 10b is selected so as to accurately form a predetermined angle. That is, angles are selected such that the resonant light that enters and exits the slab-type laser medium 10 through the input/output surfaces 10c and 1-Od enters and exits at the B-edge Euster angle. . In this example, α146.92°
is set to

なお、これら反射面10a、10b及び入・出射面10
c、10dは精密研摩が施され、その面積度をλ/2程
度に維持される。
Note that these reflective surfaces 10a, 10b and the entrance/exit surface 10
C and 10d are subjected to precision polishing, and the area degree is maintained at approximately λ/2.

一方、このスラブ型レーザ媒体10の幅方向において対
向する2つの面(側面>10d、10fは、平行度及び
面積度ともにそれ程精度が必要でなく、例えば、ランク
・テーラ−・ボブリン・ジャパン社製の面粗さ測定機で
あるクリステツブの測定値で10μm程度の粗面でもよ
い。
On the other hand, the two surfaces (side surfaces>10d and 10f) facing each other in the width direction of this slab type laser medium 10 do not require high accuracy in both parallelism and surface area. The surface may have a roughness of about 10 μm as measured by a surface roughness measuring device called Kristetub.

前記スラブ型レーザ媒体1−0は、前記スラブ型レーザ
媒体1.0の外形と類似の形状をなしたレーザ媒体基部
11と、このレーザ媒体基部11の厚さ方向において対
向する2つの面11a及び11−bにそれぞれ固着され
た保護部材12及び13とで一体に形成されたものであ
る。
The slab type laser medium 1-0 includes a laser medium base 11 having a similar shape to the external shape of the slab type laser medium 1.0, and two surfaces 11a and 11a facing each other in the thickness direction of the laser medium base 11. It is integrally formed with protective members 12 and 13 fixed to 11-b, respectively.

前記レーザ媒体基部11は、厚さ10mm、長さ150
mm、幅30m m程度の略帯状の板体である。
The laser medium base 11 has a thickness of 10 mm and a length of 150 mm.
It is a substantially strip-shaped plate with a width of about 30 mm.

このレーザ媒体基部1は、フッリン酸塩ガラスやシリカ
・リン酸塩ガラス等のリン酸塩ガラスに、レーザ活性物
質としてNdイオンを8.7wt%ドープしたレーザガ
ラスで構成されている。この実施例においては、前記レ
ーザ媒体基部1の屈折率は、波長1.06μrnの光に
対して、1.53510であり、熱膨張係数は、103
.2 X 10’/℃である。
The laser medium base 1 is made of a laser glass in which 8.7 wt % of Nd ions are doped as a laser active substance into a phosphate glass such as fluorophosphate glass or silica phosphate glass. In this example, the refractive index of the laser medium base 1 is 1.53510 for light with a wavelength of 1.06 μrn, and the thermal expansion coefficient is 103
.. 2 x 10'/°C.

前記保護部材]−2及び1−3は、ホウケイ酸ガラス等
のケイ酸塩ガラスで構成され、厚さは0.2mm程度で
ある。これら保護部材12.13は、それぞれの一方の
面]、2a、1.3aが、前記レーザ媒体11の厚さ方
向において対向する2つの面11a、llbに熱融着さ
れている。なお、これら、保護部材12,1.3のそれ
ぞれの他方の面は、前記スラブ型レーザ媒体10の反射
面10a及び]、 Obを構成している。この実施例で
は、これら保護部材12,1.3の屈折率は、波長1.
06μmの光に対して、1.54.527であり、熱膨
張係数は、103、 OX 10 ’/’Cである。す
なわち、屈折率及び熱膨張係数ともに前記レーザ媒体基
部11と極めて近い値を有している。また、これら保護
部材1.2.13は、Nd吸収波長帯の光に対して95
%の透過率を有している。さらに、これら保護部材12
.13は、リン酸塩ガラスに比較して極めて優れた耐水
性を有している。すなわち、粉末法による重量減が、リ
ン酸塩では0.1%であるのに対して、0.03%にす
ぎない。ここで、粉末法とは、乳鉢で所定の粒径になる
ように粉砕したガラス粉を所定量とってこれに水を加え
た後、加熱し、こ0 れを乾燥させて秤量して重量減を百分率で表したもので
ある。なお、これら保護部材12,1.3を構成するケ
イ酸塩ガラスには、Nd等のレーザ活性物質を含有させ
てもよい。ただし、その場合には、2波長レ一ザ媒体と
なる。
The protective members ]-2 and 1-3 are made of silicate glass such as borosilicate glass, and have a thickness of about 0.2 mm. One surface of each of these protective members 12.13, 2a, 1.3a is thermally fused to two opposing surfaces 11a, llb of the laser medium 11 in the thickness direction. The other surfaces of these protective members 12 and 1.3 constitute the reflective surfaces 10a and 10a of the slab laser medium 10, respectively. In this embodiment, the refractive index of these protection members 12, 1.3 is 1.5 at wavelength.
For light of 0.06 μm, it is 1.54.527, and the coefficient of thermal expansion is 103, OX 10′/′C. That is, both the refractive index and the thermal expansion coefficient have values extremely close to those of the laser medium base 11. In addition, these protective members 1.2.13 are rated at 95% for light in the Nd absorption wavelength band.
% transmittance. Furthermore, these protection members 12
.. No. 13 has extremely superior water resistance compared to phosphate glass. That is, the weight loss due to the powder method is only 0.03%, compared to 0.1% for phosphate. Here, the powder method refers to taking a predetermined amount of glass powder that has been ground to a predetermined particle size in a mortar, adding water to it, heating it, drying it, and weighing it to reduce the weight. is expressed as a percentage. Note that the silicate glass constituting these protective members 12, 1.3 may contain a laser active substance such as Nd. However, in that case, it becomes a two-wavelength laser medium.

上述の一実施例のスラブ型レーザ媒体は、例えば、以下
の手順によって製造することができる。
The slab-type laser medium of the embodiment described above can be manufactured, for example, by the following procedure.

(イ)レーザ活性物質たるNdイオンを8.7wt%含
むリン酸塩ガラスを、厚さ10m m、幅30m m、
長さ160mmの寸法に形成した板状レーザガラス体を
1枚用意する。
(a) Phosphate glass containing 8.7 wt% of Nd ions, which is a laser active substance, is 10 mm thick, 30 mm wide,
One plate-shaped laser glass body having a length of 160 mm is prepared.

(ロ)ケイ酸塩ガラスを、厚さ7mm、幅30m m、
長さ160mmの寸法に形成した板状ガラス体を2枚用
意する。
(b) Silicate glass with a thickness of 7 mm and a width of 30 mm,
Two plate glass bodies each having a length of 160 mm are prepared.

(ハ)前記リン酸塩レーザガラス体の厚さ方向において
対向する2つの面、並びに、前記2枚のケイ酸塩ガラス
のそれぞれの一方の面をλ/2の面精度に研摩する。
(c) Two surfaces of the phosphate laser glass body facing each other in the thickness direction and one surface of each of the two silicate glasses are polished to a surface precision of λ/2.

(ニ)前記3枚の板状ガラス体を半導体等の洗浄に用い
る洗浄機で洗浄し、前記研摩面が当接され1− るようにして前記1−枚のリン酸塩ガラス体を2枚のケ
イ酸塩ガラス体で挾持するようにして3枚のガラス体を
積層させる。これにより、互いのガラス体の接触面がλ
/2の高精度に研摩されているので、これらは、オプテ
ィカルコンタクlへ状態となる。
(d) Wash the three plate-shaped glass bodies with a cleaning machine used for cleaning semiconductors, etc., and place the 1-sheet of phosphate glass bodies into two sheets with the polished surfaces in contact with each other. The three glass bodies are stacked by sandwiching them between the silicate glass bodies. As a result, the contact surface of each glass body is λ
Since they are polished to a high precision of /2, they are in condition to be optical contactors.

(ホ)前記積層したガラス体を500℃で48時間保持
し、前記3枚のガラス体を熱融着させて一体にする。
(e) The laminated glass bodies are held at 500° C. for 48 hours, and the three glass bodies are thermally fused and integrated.

(へ)前記一体に形成されたガラス体のJワさ方向にお
いて対向する2つの面を研摩し、前記ケイ酸塩ガラス体
の厚さが012mm程度になり、その2つの表面の面精
度がともにλ/2、両面の平行度が10秒になるように
する。
(f) Two opposing surfaces in the J-width direction of the integrally formed glass body are polished so that the thickness of the silicate glass body becomes approximately 0.12 mm, and the surface accuracy of both surfaces is λ/2, so that the parallelism on both sides is 10 seconds.

(ト)次に、前記ガラス体の長さ方向の両端面を研摩す
る。この研摩では、前記両端面が平行で前記厚さ方向の
表面となす角度αが、α−146,92゜となるように
研摩する。その場合、面積度はλ/2であり、両端面の
平行度が23秒となるようにする。これにより、スラブ
型レーザ媒体10を2 得ることができる。
(g) Next, both longitudinal end surfaces of the glass body are polished. In this polishing, the two end faces are parallel and the angle α between the two ends and the surface in the thickness direction is α-146.92°. In that case, the degree of area is λ/2, and the parallelism of both end faces is 23 seconds. As a result, two slab-type laser media 10 can be obtained.

次に、この一実施例のスラブ型レーザ媒体10を用いて
レーザ発振を行う例を説明する。
Next, an example of laser oscillation using the slab type laser medium 10 of this embodiment will be described.

第3図に示されるように、前記スラブ型レーザ媒体10
を、反射面が平行となるように設定された共振ミラー3
1及び32の間に配置する。この場合、前記スラブ型レ
ーザ媒体10の反射面]、Oa、10bが前記共振ミラ
ー31及び32の反射面と垂直になるようにし、かつ、
これら共振ミラー31.32で反射された光が該スラブ
型レーザ媒体10の入・出射面10c、10dの中心部
を通じて入・出射するように位置設定を行う。
As shown in FIG. 3, the slab type laser medium 10
A resonant mirror 3 whose reflecting surfaces are parallel to each other
Placed between 1 and 32. In this case, the reflective surfaces of the slab laser medium 10], Oa, and 10b are perpendicular to the reflective surfaces of the resonant mirrors 31 and 32, and
The positions are set so that the light reflected by these resonant mirrors 31 and 32 enters and exits through the center of the entrance and exit surfaces 10c and 10d of the slab type laser medium 10.

前記共振ミラー3]は、波長1.06μmの光を100
%反射し、前記共振ミラー32は、波長1.06μmの
光を70%反射するものを用いる。
The resonant mirror 3] transmits light with a wavelength of 1.06 μm to 100 μm.
The resonant mirror 32 is one that reflects 70% of light with a wavelength of 1.06 μm.

また、前記スラブ型レーザ媒体10の反射面10a、1
0bに対向する外部に励起光源21及び22を配置する
。この励起光源21及び22としては、Xeフラッシュ
ランプを用いる。
Further, the reflective surfaces 10a, 1 of the slab type laser medium 10
Excitation light sources 21 and 22 are placed outside facing 0b. As the excitation light sources 21 and 22, Xe flash lamps are used.

さらに、前記スラブ型レーザ媒体]−〇の反射面3 10a、10bに直接接触するように、冷却水Wを流通
させる。
Further, the cooling water W is made to flow so as to directly contact the reflecting surfaces 3 10a and 10b of the slab type laser medium]-◯.

上述の構成において、前記励起光源21..22に、]
−パルスあたり100OJで10Hzのエネルギーを3
時間加えて発振テストを行った。その結果、平均出力が
80Wのパルスレーザ光を安定して得ることができな。
In the above configuration, the excitation light source 21. .. On 22]
- 10Hz energy at 100OJ per pulse 3
An oscillation test was performed in addition to the time. As a result, it is not possible to stably obtain pulsed laser light with an average output of 80W.

なお、前記−・実施例のスラブをレーザ媒体]Oの反射
面1.0a、10bに、]1188時間を接触させ、こ
れを3カ月間続けた後、取り出して顕微鏡観察したとこ
ろ、これら表面に何等の変化も認められなかった。すな
わち、この一実施例のスラブ型レーザ媒体10は、十分
な耐水性を有していることが確認できた。
In addition, when the slab of the above-mentioned example was brought into contact with the reflective surfaces 1.0a and 10b of the laser medium O for 1188 hours, and this was continued for 3 months, it was taken out and observed under a microscope. No changes were observed. That is, it was confirmed that the slab type laser medium 10 of this example had sufficient water resistance.

なお、前記一実施例では、レーザ媒体基部に保護部材を
熱融着によって固着しているが、これは、場合によって
は、接着剤を用いて接着してもよい。
In the above embodiment, the protective member is fixed to the base of the laser medium by heat fusion, but depending on the case, it may be bonded using an adhesive.

これにより、熱融着の場合のように、保護部材となるガ
ラス体の面積度を出すために熱融着後に厚く研摩する必
要がなく、材料の節約が可能になる。
This eliminates the need for thick polishing after heat-sealing in order to increase the area of the glass body serving as the protective member, unlike in the case of heat-sealing, making it possible to save on materials.

4 反面、接着の際に気泡が生ずたりするおそれかあり、熱
融着程の強固でかつ界面ロスのない固着は望めないとと
もに、TJV光やレーザ光に対して接着剤が劣化しやす
いため、熱融着の場合に比較して耐久性に劣ることは否
めない。
4 On the other hand, there is a risk of bubbles forming during adhesion, and it is not possible to achieve adhesion as strong as heat fusion without interfacial loss, and the adhesive is easily deteriorated by TJV light or laser light. However, it cannot be denied that the durability is inferior to that of heat fusion.

また、前記一実施例では保護部材の厚さを0.2mmと
したが、これはO11〜0.3mmの範囲であればよい
。また、保護部材とレーザ媒体基部との固着面でのフレ
ネル反射を少なくするために、これらの屈折率の差が小
さいほど有利であるが、実用上は、これらの屈折率が1
.5〜1.6の範囲の任意の値を選定しても十分である
。さらに、これらの熱膨張差も小さいほど好ましいが、
実用上は、熱膨張差が±5 X 10’/℃以内であれ
ばよい。
Further, although the thickness of the protective member was set to 0.2 mm in the above embodiment, it may be within the range of O11 to 0.3 mm. Furthermore, in order to reduce Fresnel reflection at the fixed surface between the protective member and the base of the laser medium, it is advantageous to have a smaller difference in their refractive indexes;
.. It is sufficient to select any value in the range 5 to 1.6. Furthermore, the smaller the difference in thermal expansion, the better.
Practically speaking, it is sufficient that the difference in thermal expansion is within ±5×10'/°C.

[発明の効果] 以上詳述したように、本発明は、 板状に形成されたレーザ媒体内を進行するレーザ共振光
を、相対向する2つの面で交互に反射させてジグザグ状
に進行させることによりレーザ発振を行うスラブ型レー
ザ媒体であって、5 レーザガラスで板状に形成されたレーーリ゛媒体基部と
、 前記レーザ媒体基部を構成するレーザガラスに比較して
水に対する耐性に優れたガラス材料で薄板状に形成され
、前記レーザ媒体基部の相対向する2つの面の外面にそ
れぞれの一方の面を固着することにより前記レーザ媒体
基部と一体に形成された保護部材とを有する構成を備え
、 これにより、比較的単純な構成により、レーザ媒体に直
接水を接触させて冷却できるようにしたスラブ型レーザ
媒体を得ているものである。
[Effects of the Invention] As detailed above, the present invention has the following features: Laser resonant light traveling in a plate-shaped laser medium is alternately reflected by two opposing surfaces to travel in a zigzag pattern. 5. A slab-type laser medium that performs laser oscillation by oscillating a laser beam, the laser medium having a plate-shaped base made of laser glass, and a glass having superior water resistance compared to the laser glass constituting the laser medium base. A protection member formed in a thin plate shape from a material and integrally formed with the laser medium base by fixing one surface of each to the outer surface of two opposing surfaces of the laser medium base. As a result, a slab-type laser medium that can be cooled by bringing water into direct contact with the laser medium is obtained with a relatively simple configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例にかかるスラブ型レーザ媒体
の斜視図、第2図は第1図のII −n線断面図、第3
図は一実施例の使用例の説明図である。 10・・・スラブ型レーザ媒体、11・・・レーザ媒体
基部、12,1.3・・・保護部材。
FIG. 1 is a perspective view of a slab type laser medium according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-n of FIG. 1, and FIG.
The figure is an explanatory diagram of an example of use of one embodiment. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Slab type laser medium, 11... Laser medium base, 12, 1.3... Protective member.

Claims (1)

【特許請求の範囲】  板状に形成されたレーザ媒体内を進行するレーザ共振
光を、相対向する2つの面で交互に反射させてジグザグ
状に進行させることによりレーザ発振を行うスラブ型レ
ーザ媒体であって、 レーザガラスで板状に形成されたレーザ媒体基部と、 前記レーザ媒体基部を構成するレーザガラスに比較して
水に対する耐性に優れたガラス材料で薄板状に形成され
、前記レーザ媒体基部の相対向する2つの面の外面にそ
れぞれの一方の面を固着することにより前記レーザ媒体
基部と一体に形成された保護部材とを有するスラブ型レ
ーザ媒体。
[Claims] A slab-type laser medium that performs laser oscillation by causing laser resonant light traveling in a plate-shaped laser medium to alternately reflect on two opposing surfaces and travel in a zigzag pattern. a laser medium base formed in a plate shape of laser glass; and a thin plate formed of a glass material that is more resistant to water than the laser glass constituting the laser medium base; A slab-type laser medium having a protective member formed integrally with the laser medium base by fixing one surface of each to the outer surface of two opposing surfaces of the slab-type laser medium.
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