JPH03143601A - セラミックグリーンシートの製造方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、セラミックスラリ−からセラミックグリーン
シートを製造する方法に関する。

［従来の技術］ セラミックグリーンシートは、例えば、プリント配線基
板を構成するセラミック回路基板や積層コンデンサのセ
ラミック誘電体等の中間材料として製造される。

従来のセラミックグリーンシートの製造方法と装置を第
２図により説明すると、ドラム２の上部周面にごく僅か
な間隙をもってドラム１が配置されており、これらドラ
ムＬ　　２は、図において各々矢印方向に回転される。

ドラム２の上部には、その周面上部を底面とし、かつド
ラム１と仕切板１４で囲まれたスラリーダム６が形成さ
れており、ここにダクト７を介してセラミックスラリ−
９が供給され、満たされている。

さらに、ドラム２の下には他のドラム３が！！’ａｍ！
され、ロール４から繰り出されたポリエチレンチルフタ
レートフィルム等のフィルム状の担体５が同ドラム３に
保持された状態でドラム２の下部周面に接触され、矢印
で示す方向に搬送される。

このセラミックグリーンシートの製造装置では、スラリ
ーダム６でドラム２の周面に付着したスラリーがドラム
２の回転に伴い、ドラム１との狭い間隙を通じてスラリ
ーダム６の外に引き出されるが、このとき、ドラムｌと
２の間隙がごく狭いため、セラミックスラリ−がドラム
２の周面にごく薄く層状に付着してセラミック膜工５が
形成される。そして、このセラミック膜工５がドラム２
の下部周面で、担体５の上に転写され、同担体５の上に
層状のグリーンシート１０が形成される。その後、この
グリーンシート１０が温風乾燥される。

［発明が解決しようとする課題］ 前記従来の装置と方法により製造されたセラミックグリ
ーンシートには、その表面に痘痕状に窪むキャビティや
、表面から裏面へと貫通するピンホールが発生すること
がある。今日の電子部品の小形化に伴い、セラミックグ
リーンシートが益々薄くなっているが、前記のようなキ
、ヤビティやピンホールは、回路基板や誘電体の絶縁低
下等の特性の致命的欠陥の主たる原因となる。

本発明は、前記従来の課題に鑑み、これを解消すること
が出来るセラミックグリーンシートの製造方法と装置を
提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ すなわち、前記課題を解消するため、本発明において採
用された手段の要旨は、回転駆動されるドラム２の表面
にスラリーダム６のセラミックスラリ−９を薄く被着さ
せて、該ドラム２の表面にスラリー膜１０を形成し、該
スラリー膜１０をフィルム状の担体５の表面に転写し、
セラミックグリーンシートを製造する方法において、前
記ドラム２の表面に形成されたスラリー膜１０に消泡剤
を塗布し、その後担体５に転写するセラミックグリーン
シートの製造方法である。

さらに、上部周面で他の部材と僅かな間隙が形成された
回転駆動されるドラム２と、該ドラム２の上部周面を底
面として形成されたセラミックスラリ−を満たすスラリ
ーダム６と、前記ドラムの下部周面にフィルム状の担体
５を供給する担体供給手段とを有するセラミックグリー
ンシートの製造装置において、スラリーダム６を通過し
た後の前記ドラム２の周面に霧状に消泡剤を供給する消
泡剤供給器８を配置してなるセラミックグリーンシート
の製造装置である。

［作　　　用］ 本件発明者は、前記キャビティやピンホールの発生原因
について詳細に検討したところ、担体５の上の乾燥前の
グリーンシー）１０の中に存在する気泡の存在が大きな
原因であり、かつそれが存在する位置によって、形成さ
れるキャビティの深さが異なることが分かった。例えば
、第３図（ａ）で示すように、担体５の上のセラミック
グリーンシート１０の中のほぼ半分程の深さに気泡１１
が存在している場合を例にとると、グリーンシート１０
が加熱されるのに伴い、気泡１１が膨張すると共に、担
体５に保持されてない上面側に逃げ、その跡に第３図（
ｂ）で示すようなキャビティＩ２が残る。この場合、乾
燥前のグリーンシート１０の中の気泡１・Ｉが第３図（
ａ）で示すより浅い位置、つまりグリーンシート１０の
表面近くにあるときは、このキャビティ１２はそれだけ
浅く形成され、その影響は小さいが、気泡１１が深い位
置、つまり担体５に近い底面寄りにあると、キャビティ
１２はそれだけ深く形成される。そして、第４図（１）
で示すように、気泡１１がグリーンシー）１０の底面付
近にあるときは、それが表面から逃げた跡には、グリー
ンシー）１０を完全に貫通する第４図（ｂ）で示すよう
なピンホール１３が形成される。

前記セラミックグリーンシートの製造方法と装置では、
ドラム２の表面に付着されたスラリー［１５の表面に消
泡剤が塗布され、ここで気泡が脱泡される。その後、こ
のスラリー膜１５は、ドラム２の下部で担体５に転写さ
れるが、このとき脱泡された前記スラリー膜１５の表面
側がグリーンシート１０の担体５に接する底面側どなっ
て転写される。このため、乾燥前のグリーンシート１０
の中の少なくとも深い位置には気泡が残らず、乾燥後に
ピンホールや深いキャビティが形成されない。

［実　施　例］ 次に、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する。

第１図で示す装置は、本発明の実施例であるセラミック
グリーンシートの一実施例を示すが、その基本的な構成
は、第２図で示す従来の装置と共通しており、共通する
部分は同じ符合で示し、説明は省略する。

ここでは、ドラム２の第１図において左側の周面に向け
て消泡剤を供給する消泡剤供給器８が配置されている。

ドラム２のこの周面部分は、ドラム２の回転により、ス
ラリーダム８から出た直後の部分であり、その表面にグ
リーンシー）１０となるセラミックのスラリー［１５が
形成される。消泡剤供給器８は、液状の消泡剤を数μｍ
の粒子に霧化してスラリー膜１５の表面に消泡剤を均一
に塗布するものが望ましく、霧化手段としては、例えば
、超音波霧化器等を使用することができる。また、塗布
する消泡剤としては、エタノールの水溶液や市販の界面
活性剤等、既に知られたものを用いることができる。

なお、第１図で示した実施例では、ドラム２の周面に対
して所定の間隙を形成する手段として、ドラム１を用い
ているが、これをブレードに代えることもできることは
もちろんである。

次に、本発明の具体的な実施例について説明する。

（実施例１） 平均粒径が約１．　０μｍのチタン酸バリウムを主成分
とする誘電体粉末をアクリル系水溶性バインダ、分散剤
、可塑剤、消泡剤等の混合物からなる分散媒に分散し、
セラミックスラリ−を作った。次に、このセラミックス
ラリ−が収納された容器を約３時間真空吸引して前記ス
ラリーを脱気した後、ダクト７を介してこのスラリーを
スラリーダム６に供給した。

そして、ドラム１．２．３を各々第１図において矢印で
示す一方向に回転させて、まずドラム２の周面にスラリ
ー膜Ｉ５を形成し、これをポリエチレンテレフタレトフ
ィルムからなる担体５の上に転写し、グリーンシート１
０を形成した。

このとき、エチルアルコールの８０％水溶液からなる消
泡剤を用意し、これを消泡剤供給器８から粒径数μｍの
霧状として、ドラム２の周面に形成されたスラリー１摸
Ｉ５に供給して塗布した。

こうして作られた担体５上のグリーンシート１０は、乾
燥前の状態で厚さ約７０μｍであったが、これを１２０
℃の温風水平流の中を通過させて乾燥した後の厚さが２
５μｍ１　　幅２５０ｍｍであった。

このグリーンシー）１００ｍを用意し、これを１０ｍ間
隔で２００Ｘ２５０ｍｍ角に担体５ごと裁断し、１０個
のサンプルを得た。このサンプルについて、暗室内で下
から透過光を当てながら、倍率１０倍の双眼顕微鏡を用
い、視認できるキャビティとスルーホールの数を計数し
た。すなわち、成る程度深いキャビティでは、透過光が
グリーンシートを完全ではないが透けて見え、また、ス
ルーホールでは、透過光がグリーンシートを完全に透け
て見えるため、それらを各々別に計数した。この結果、
■サンプル当りのピンホールの数は０．　１個、キャビ
ティの数は０個であった。

（実施例２） 前記実施例１において、消泡剤として、エチルアルコー
ル水溶液に替えて、市販の消泡用界面活性剤水溶液を用
いたこと以外は、同実施例１と同様にしてグリーンシー
トを製造し、キャビティまたはピンホールの数を計数し
た。この結果、■サンプル当りのピンホールの数は０゜
３個、キャビティの数は０．６個であった。

（比較例） 前記実施例との比較のため、第２図で示す従来の装置に
より、消泡剤をドラム２の周面に付着したスラリー膜１
５に塗布せず、その他は前記各実施例と同様にしてグリ
ーンシートを製造し、キャビティまたはピンホールの数
を計数した。この結果、１サンプル当りのピンホールの
数は２．８個、キャビティの数は１．８個であった。

この結果から明かな通り、本発明の２つの実施例では、
何れも従来例である比較例に比べて、キャビティ、ピン
ホール共に少ないグリーンシートが得られた。

Ｃ発明の効果コ 以上説明した通り、本発明によれば、キャビティやピン
ホールの少ないグリーンシートが製造でき、優れた品質
のグリーンシートが歩留りよく安定して製造できる効果
が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例であるグリーンシートの製造
装置を示す側面は意図、第２図は、従来例であるグリー
ンシートの製造装置を示す側面（既意図、第３図は、グ
リーンシートにキャビティが形成される過程を説明する
担体とグリーンシートとの断面図ミ　第４図は、グリー
ンシートにスルーホールが形成される過程を説明する担
体とグリーンシートとの断面図である。 Ｌ　　２．３・・・ドラム　５・・・担体　６・・・ス
ラリーダム　８・・・消泡剤供給器　９・・・セラミッ
クスラリ−

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転駆動されるドラム２の表面にスラリーダム６
   のセラミックスラリー９を薄く被着させて、該ドラム２
   の表面にスラリー膜１０を形成し、該スラリー膜１０を
   フィルム状の担体５の表面に転写し、セラミックグリー
   ンシートを製造する方法において、前記ドラム２の表面
   に形成されたスラリー膜１０に消泡剤を塗布し、その後
   担体５に転写することを特徴とするセラミックグリーン
   シートの製造方法。
2. （２）上部周面で他の部材と僅かな間隙が形成された回
   転駆動されるドラム２と、該ドラム２の上部周面を底面
   として形成されたセラミックスラリーを満たすスラリー
   ダム６と、前記ドラムの下部周面にフィルム状の担体５
   を供給する担体供給手段とを有するセラミックグリーン
   シートの製造装置法において、スラリーダム６を通過し
   た後の前記ドラム２の周面に霧状に消泡剤を供給する消
   泡剤供給器８を配置してなることを特徴とするセラミッ
   クグリーンシートの製造装置。