JPH03141680A - Inner multiple harmonic laser oscillator - Google Patents
Inner multiple harmonic laser oscillatorInfo
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- JPH03141680A JPH03141680A JP27934989A JP27934989A JPH03141680A JP H03141680 A JPH03141680 A JP H03141680A JP 27934989 A JP27934989 A JP 27934989A JP 27934989 A JP27934989 A JP 27934989A JP H03141680 A JPH03141680 A JP H03141680A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子部品や精密機器の加工装置、或は計測・
分析機器に用いられる内部逓倍高調波レーザ発振器に間
するものである。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention is applicable to processing devices for electronic parts and precision equipment, or measurement and
It is used in internally multiplied harmonic laser oscillators used in analytical instruments.
従来の技術
近年、内部逓倍高調波レーザ発振器は電子部品、特にＩ
ｃやデバイス等の微細加工に広く用いられるようになっ
ている。BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, internally multiplied harmonic laser oscillators have been widely used in electronic components, especially I
It has come to be widely used for microfabrication of devices, etc.
第３図に従来の内部逓倍高調波レーザ発振器の一例を示
す。第３図において、２４はレーザ媒質及びレーザ媒質
を励起するための手段であり、以後レーザヘッドと呼ぶ
。２５はリアーミラーであり、２６はレーザ光の一部を
透過、反射する出力ミラーであり、２７は波長変換素子
であり、２８は光変調器であり、２９は偏光器であり、
３０はシャッターであり、３１はアパーチャーであり、
３２はレーザ共振器の内部で発信しているレーザ光を表
し、３３は出力ミラーから取り出された高調波のレーザ
光を表している。FIG. 3 shows an example of a conventional internally multiplied harmonic laser oscillator. In FIG. 3, 24 is a laser medium and a means for exciting the laser medium, which will be referred to as a laser head hereinafter. 25 is a rear mirror, 26 is an output mirror that transmits and reflects a part of the laser beam, 27 is a wavelength conversion element, 28 is a light modulator, 29 is a polarizer,
30 is a shutter, 31 is an aperture,
32 represents a laser beam emitted inside the laser resonator, and 33 represents a harmonic laser beam extracted from an output mirror.
以上のように構成された従来の内部逓倍高調波レーザ発
振器について、以下その動作について説明する。The operation of the conventional internally multiplied harmonic laser oscillator configured as described above will be described below.
レーザヘッド２４で発生したレーザ光の基本波長は、リ
アーミラー２５と出力ミラー２６の間を往復する間に急
速に増幅されるとともに、変調器２８及び偏光器２９に
おいて変調、偏光といった作用を受ける。このレーザ光
の基本波長波の一部が波長変換素子２７を通過する際に
高調波に変換され、高調波３３のみが出力ミラー２６よ
り取り出される。The fundamental wavelength of the laser beam generated by the laser head 24 is rapidly amplified while reciprocating between the rear mirror 25 and the output mirror 26, and is also subjected to effects such as modulation and polarization in the modulator 28 and polarizer 29. When a part of the fundamental wavelength wave of this laser light passes through the wavelength conversion element 27, it is converted into a harmonic wave, and only the harmonic wave 33 is extracted from the output mirror 26.
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、リアーミラー２５
から出力ミラー２６に向かって進行するレーザ光の基本
波長波が波長変換素子２７において変換されて発生する
高調波は、損失を受けることなく出力ミラー２６から取
り出されるが、逆に出力ミラー２６からリアーミラー２
５に向かって進行するレーザ光の基本波長波が変換され
て発生する高調波は、偏光器２９、レーザヘッド２４、
変調器２８等を通過する際に損失を受は出力ミラー２６
から有効な出力としては取り出し得ない。Problems to be Solved by the Invention However, in the above configuration, the rear mirror 25
The fundamental wavelength wave of the laser beam traveling toward the output mirror 26 is converted by the wavelength conversion element 27 and generated harmonics are extracted from the output mirror 26 without loss, but conversely, the harmonics are extracted from the output mirror 26 without loss. mirror 2
The harmonics generated by converting the fundamental wavelength wave of the laser beam traveling towards the polarizer 29, the laser head 24,
The output mirror 26 receives loss when passing through the modulator 28 etc.
cannot be extracted as valid output from
その結果波調変換素子２７で発生した高調波のおよそ半
分が失われることになる。As a result, approximately half of the harmonics generated by the wave harmonic conversion element 27 will be lost.
本発明は上記従来の内部逓倍高調波レーザ発振器の課題
に鑑み、発生した高調波を効率よくレーザ共振器内部よ
り取り出すことのできる構成を有する内部逓倍高調波レ
ーザ発振器を提供することを目的とするものである。In view of the above problems of the conventional internally multiplied harmonic laser oscillator, an object of the present invention is to provide an internally multiplied harmonic laser oscillator having a configuration that can efficiently extract generated harmonics from inside a laser resonator. It is something.
課題を解決するための手段
本発明は、少なくとも２枚の出力ミラーと１枚のリアー
ミラーを有し、波長変換素子が、それら２枚の出力ミラ
ーの間に配されるとともに、損失の原因となる少なくと
もレーザヘッドが、前記リアーミラーといずれかの前記
出力ミラーとの間に配されたレーザ共振器部を有する内
部逓倍高調波レーザ発振器である。Means for Solving the Problems The present invention has at least two output mirrors and one rear mirror, and a wavelength conversion element is disposed between the two output mirrors, and the wavelength conversion element is arranged between the two output mirrors. At least the laser head is an internally multiplied harmonic laser oscillator having a laser resonator section disposed between the rear mirror and one of the output mirrors.
作用
本発明は上記した構成により、２枚の反射鏡を出力ミラ
ーとして、その他の反射鏡をリアミラーとして用い、出
力ミラー間に波長変換素子を配し、高調波に損失を与え
る偏光器、レーザヘッド、変調器等は他のミラー間に配
することにより、波長変換素子を通過するレーザの基本
波長波の進行方向に関わりなく、発生した高調波を効率
よく出力ミラーから取り出すことができる。Effect The present invention has the above-described configuration, using two reflecting mirrors as output mirrors and the other reflecting mirror as a rear mirror, disposing a wavelength conversion element between the output mirrors, and providing a polarizer and a laser head that cause loss to harmonics. By arranging the modulator, etc. between other mirrors, the generated harmonics can be efficiently extracted from the output mirror regardless of the traveling direction of the fundamental wavelength wave of the laser passing through the wavelength conversion element.
実施例
以下本発明の一実施例の内部逓倍高調波レーザ発振器に
ついて、図面を参照しながら説明する。Embodiment Hereinafter, an internally multiplied harmonic laser oscillator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明の第１の実施例における内部逓倍高調波
レーザ発振器の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an internally multiplied harmonic laser oscillator in a first embodiment of the present invention.
第１図において、１はレーザ媒質及びレーザ媒質を励起
するためのレーザヘッドであり、２はリアーミラーであ
り、３はレーザ光の一部を透過、反射する第一の出力ミ
ラーであり、４はレーザ光の一部を透過、反射する第二
の出力ミラーであり、５はレーザ光の波長を変換する波
長変換素子であり、６は光変調器であり、７は偏光器で
あり、８はシャッターであり、９はアパーチャーである
。In FIG. 1, 1 is a laser medium and a laser head for exciting the laser medium, 2 is a rear mirror, 3 is a first output mirror that transmits and reflects a part of the laser beam, and 4 is a second output mirror that transmits and reflects a part of the laser beam, 5 is a wavelength conversion element that converts the wavelength of the laser beam, 6 is an optical modulator, 7 is a polarizer, and 8 is a shutter, and 9 is an aperture.
ｌＯはレーザ光の基本波長波であり、１１は出力ミラー
より取り出された高調波である。1O is the fundamental wavelength wave of the laser beam, and 11 is the harmonic wave taken out from the output mirror.
以上のように構成された内部逓倍高調波レーザ発振器に
ついて、以下その動作を説明する。The operation of the internally multiplied harmonic laser oscillator configured as described above will be described below.
レーザヘッドｌで発生したレーザの基本波長波は、第一
の出力ミラー３どリアミラー２の間を、途中第二の出力
ミラーを経由して往復する間に急速に増幅されるととも
に、光変調器６、偏光器７によって変調あるいは偏光と
いった作用を受ける。The fundamental wavelength wave of the laser generated by the laser head 1 is rapidly amplified while reciprocating between the first output mirror 3 and the rear mirror 2, passing through the second output mirror on the way, and is also transmitted to the optical modulator. 6. The polarizer 7 modulates or polarizes the light.
そして、この基本波長波が波長変換素子５を通過する際
にその一部が高調波に変換される。第一の出力ミラー３
から第二の出力ミラー４に向かって進行する基本波長波
から生じる高調波は第二の出力ミラー４より取り出され
、第二の出力ミラー４から第一の出力ミラー３に向かっ
て進行する基本波長波から生じる高調波は第一の出力ミ
ラー３′ｈ）ら取り出される。Then, when this fundamental wavelength wave passes through the wavelength conversion element 5, a part of it is converted into a harmonic wave. First output mirror 3
The harmonics generated from the fundamental wavelength wave traveling from The harmonics arising from the waves are extracted from the first output mirror 3'h).
以上のように本実施例によれば、３枚の反射鏡でレーザ
共振器を構成することにより、発生した高調波はレーザ
ヘッド１、光変調器６、偏光器７等による損失を受ける
ことなく効率よく取り出すことができる。As described above, according to this embodiment, by configuring the laser resonator with three reflecting mirrors, the generated harmonics are not subject to loss due to the laser head 1, optical modulator 6, polarizer 7, etc. It can be taken out efficiently.
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第２図は本発明の第２の実施例を示す内部逓倍高調波レ
ーザ発振器の構成を示す図である。第１図の部材、手段
と同じものには同じ符号を付している。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of an internally multiplied harmonic laser oscillator showing a second embodiment of the present invention. The same members and means as in FIG. 1 are given the same reference numerals.
同図において、！はレーザヘッドであり、１３は第一の
リアーミラーであり、１４は第二のリアーミラーであり
、３は第一の出力ミラーであり、４は第二の出力ミラー
であり、５は波長変換素子であり、６は光変調器であり
、７は偏光器であり、８はシャッターであり、９はアパ
ーチャーであり、１０はレーザ光の基本波長波であり、
１１は高調波である。In the same figure,! is a laser head, 13 is a first rear mirror, 14 is a second rear mirror, 3 is a first output mirror, 4 is a second output mirror, and 5 is a wavelength conversion 6 is a light modulator, 7 is a polarizer, 8 is a shutter, 9 is an aperture, 10 is a fundamental wavelength wave of laser light,
11 is a harmonic.
以上のように本実施例においては、第一のリアーミラー
１３と第一の出力ミラー４の間にレーザヘッド１を配し
、第二のリアーミラー１４と第一の出力ミラー３の間に
光変調器６、偏光器７等を配し、第一の出力ミラー３と
第二の出力ミラー４０間に波長変換素子５を配すること
により、第１の実施例と同様に効率よく発生した高調波
を取り出すことができるとともに、第−及び第二の出力
ミラー３．４を波長変換素子５に対して対称の位置に配
することにより、２方向に取り出された高調波の出力を
ほぼ均衡させることができる。As described above, in this embodiment, the laser head 1 is arranged between the first rear mirror 13 and the first output mirror 4, and the laser head 1 is arranged between the second rear mirror 14 and the first output mirror 3. By arranging a modulator 6, a polarizer 7, etc., and arranging a wavelength conversion element 5 between the first output mirror 3 and the second output mirror 40, high harmonics are efficiently generated as in the first embodiment. In addition to being able to extract harmonic waves, by arranging the first and second output mirrors 3.4 at symmetrical positions with respect to the wavelength conversion element 5, the output of harmonic waves extracted in two directions can be almost balanced. be able to.
発明の効果
以上のように、本発明は、少なくとも２枚の出力ミラー
と１枚のリアーミラーを有し、波長変換素子が、それら
２枚の出力ミラーの間に配されるとともに、損失の原因
となる少なくともレーザヘッドが、前記リアーミラーと
いずれかの前記出力ミラーとの間に配されたレーザ共振
器部を有するので、発生した高調波を効率よく取り出す
ことが可能になる。Effects of the Invention As described above, the present invention has at least two output mirrors and one rear mirror, and a wavelength conversion element is arranged between the two output mirrors, and the wavelength conversion element is arranged between the two output mirrors, and the wavelength conversion element is arranged between the two output mirrors. Since at least the laser head has a laser resonator section disposed between the rear mirror and one of the output mirrors, it is possible to efficiently extract the generated harmonics.
第１図は本発明の第１の実施例における内部逓倍高調波
レーザ発振器の構成を示すブロック図、第２図は本発明
の第２の実施例における内部逓倍高調波レーザ発振器の
構成を示すブロック図、第３図は従来の内部逓倍高調波
レーザ発振器の構成を示すブロック図である。
１・・・レーザヘッド、２．１３．１４・・・リアーミ
ラー ３・・・第一の出力ミラー ４・・・第二の出力
ミラー ５・・・波長変換素子、６・・・光変調器、７
・・・偏光器、１０・・・レーザの基本波長波、１１・
・・高調波。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an internally multiplied harmonic laser oscillator in a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of an internally multiplied harmonic laser oscillator in a second embodiment of the present invention. 3 are block diagrams showing the configuration of a conventional internally multiplied harmonic laser oscillator. 1... Laser head, 2.13.14... Rear mirror 3... First output mirror 4... Second output mirror 5... Wavelength conversion element, 6... Optical modulator ,7
...Polarizer, 10...Fundamental wavelength wave of laser, 11.
··harmonic.
Claims (1)
し、波長変換素子が、それら２枚の出力ミラーの間に配
されるとともに、損失の原因となる少なくともレーザヘ
ッドが、前記リアーミラーといずれかの前記出力ミラー
との間に配されたレーザ共振器部を有することを特徴と
する内部逓倍高調波レーザ発振器。It has at least two output mirrors and one rear mirror, and the wavelength conversion element is disposed between the two output mirrors, and at least the laser head that causes loss is connected to the rear mirror. An internally multiplied harmonic laser oscillator comprising a laser resonator section disposed between the output mirror and the output mirror.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934989A JPH03141680A (en) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | Inner multiple harmonic laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934989A JPH03141680A (en) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | Inner multiple harmonic laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03141680A true JPH03141680A (en) | 1991-06-17 |
Family
ID=17609933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27934989A Pending JPH03141680A (en) | 1989-10-26 | 1989-10-26 | Inner multiple harmonic laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03141680A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0574921A2 (en) * | 1992-06-19 | 1993-12-22 | Sony Corporation | Laser beam generator |
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| JPH02195332A (en) * | 1989-01-24 | 1990-08-01 | Mitsubishi Electric Corp | Harmonic producer |
| JPH0324781A (en) * | 1989-06-22 | 1991-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Phase matching in laser generator |
-
1989
- 1989-10-26 JP JP27934989A patent/JPH03141680A/en active Pending
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