JPH1195273A - Laser apparatus - Google Patents
Laser apparatusInfo
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- JPH1195273A JPH1195273A JP25501097A JP25501097A JPH1195273A JP H1195273 A JPH1195273 A JP H1195273A JP 25501097 A JP25501097 A JP 25501097A JP 25501097 A JP25501097 A JP 25501097A JP H1195273 A JPH1195273 A JP H1195273A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は非線形光学効果によ
り波長変換したレーザ光を発生させる光パラメトリック
発振器(OPO)を有するレーザ装置に関し、特に複数
のOPOを備えた場合に発生する複数の光を全て同じ光
軸上から発するようにすると共に、波長変換される光の
発生効率を改善したレーザ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser device having an optical parametric oscillator (OPO) for generating a laser beam whose wavelength is converted by a nonlinear optical effect, and more particularly to a laser device having a plurality of OPOs. The present invention relates to a laser device that emits light from the same optical axis and has improved generation efficiency of wavelength-converted light.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、光パラメトリック発振器(OP
O)はパラメトリックな利得を持つKTP等の非線形光
学素子をレーザ共振器と同様に2枚の反射鏡からなる光
共振器中に置き、適当なレーザ光によって励起せること
によって構成されている。これらの光パラメトリック共
振器はシグナル光(信号波光)とアイドラ光(補助波
光)の両方、又は、いずれか一方が共振するように構成
され、ポンピング入力がある閾値を超えるとシグナル光
およびアイドラ光でパラメトリック発振が生じる。2. Description of the Related Art Generally, an optical parametric oscillator (OP)
O) is constructed by placing a non-linear optical element such as KTP having a parametric gain in an optical resonator composed of two reflecting mirrors in the same way as a laser resonator, and exciting it with an appropriate laser beam. These optical parametric resonators are configured so that signal light (signal wave light) and / or idler light (auxiliary wave light) resonate. When the pumping input exceeds a certain threshold, the signal light and idler light are used. Parametric oscillation occurs.
【0003】これらについて図2にもとづいて説明する
と、励起用レーザ発振器1から発生したレーザ光は、集
光光学系2a、2b、入力鏡3を通過して非線形光学素
子4に入射する。非線形光学素子においては2次の非線
形光学効果により波長の異なる2つの光(シグナル光、
アイドラ光)が発生する。その一方又は両方の光はは出
力鏡5で反射して光軸上を戻り、入射鏡3との間を往復
して共振し増幅される。その一部は出力鏡5を透過し外
部にレーザ出力光として取出される。励起光、シグナル
光、アイドラ光の各波長の間にはエネルギー保存則が成
立するため、以下の関係になる。[0003] Explaining these with reference to FIG. 2, a laser beam generated from an excitation laser oscillator 1 passes through condensing optical systems 2 a and 2 b and an input mirror 3 and enters a nonlinear optical element 4. In a nonlinear optical element, two lights (signal light,
Idler light) is generated. One or both of the lights are reflected by the output mirror 5, return on the optical axis, reciprocate with the incident mirror 3, and resonate and amplified. A part of the light is transmitted through the output mirror 5 and extracted outside as laser output light. Since the energy conservation law is established between the wavelengths of the excitation light, the signal light, and the idler light, the following relationship is established.
【0004】 1/λp =1/λs +1/λi ………(1) ここで、λp は励起光の波長、λs はシグナル光の波
長、λi はアイドラ光の波長である。1 / λp = 1 / λs + 1 / λi (1) where λp is the wavelength of the pump light, λs is the wavelength of the signal light, and λi is the wavelength of the idler light.
【0005】例えば、Nd: YAGレーザを励起光とし
て、非線形光学素子4にKTPを用いた構成では、λp
=1.06μmに対して、λs =1.6μm、λi =
3.2μmの光が得られる。また、λs =λi となるよ
うな構成にした特殊な場合(縮退発振)では、λi =λ
s =2.12μmの光が得られる。For example, in a configuration using KTP for the nonlinear optical element 4 using an Nd: YAG laser as excitation light, λp
= 1.06 μm, λs = 1.6 μm, λi =
A light of 3.2 μm is obtained. In a special case (degenerate oscillation) in which λs = λi, λi = λ
Light of s = 2.12 μm is obtained.
【0006】ただし、OPO6において効率よく励起光
エネルギーを波長変換して光を発生するためには、非線
形光学素子4内で位相整合条件と呼ばれる次のベクトル
式が成立する必要がある。However, in order for the OPO 6 to efficiently convert the wavelength of the excitation light energy to generate light, the following vector equation called a phase matching condition must be established in the nonlinear optical element 4.
【0007】Kp =Ks +Ki ………(2) この条件は、結晶の複屈折性を利用して、波動ベクトル
に対する結晶軸の傾きを調整する角度位相整合と呼ばれ
る方式で実現するのが一般的である。Kp = Ks + Ki (2) This condition is generally realized by a method called angular phase matching for adjusting the inclination of the crystal axis with respect to the wave vector by utilizing the birefringence of the crystal. It is.
【0008】近年、より長い波長の光を効率よく発生さ
せるため、OPOからの光を励起光とした第2のOPO
を構成する複合型OPOが紹介されている。それを図3
にもとづいて説明すると、励起レーザ1と第1のOPO
6までの構成と作用は図2と共通で、第1のOPO6か
ら発生する2つの光のうち、片方のビームスプリッタ7
により分離除去し、残った光を2番目のOPO8の入力
鏡9に入力させ、この光により2番目に非線形光学素子
10を起動する。これにより、第1のOPO6と同様の
プロセスにより2番目のOPO8の出力鏡11から第1
のOPO6の発生光より更に長い波長の2つの光が発生
する。In recent years, in order to efficiently generate light of a longer wavelength, a second OPO using light from the OPO as excitation light has been proposed.
Are introduced. Figure 3
Explaining based on this, the pump laser 1 and the first OPO
The configuration and operation up to 6 are the same as those in FIG. 2, and one of the two beams generated from the first OPO 6 is one of the beam splitters 7.
Then, the remaining light is input to the input mirror 9 of the second OPO 8, and the non-linear optical element 10 is activated second by this light. Thereby, the first OPO 8 is output from the output mirror 11 of the second OPO 8 by the same process as that of the first OPO 6.
2 light having a longer wavelength than the light generated by the OPO6 is generated.
【0009】また、図4に示すようにビームスプリッタ
7で分離した光の光路上に、更にもう一つのOPO12
を配置して各ミラーm1 、m2 、m3 で光路を形成すれ
ば効率は一層向上する。Further, as shown in FIG. 4, on the optical path of the light separated by the beam splitter 7, another OPO 12
And the optical path is formed by each of the mirrors m1, m2, and m3, the efficiency is further improved.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】一般に、光パラメトリ
ック発振器を有するレーザ装置では出力を目的としてい
る波長は1つであり、2つの光(シグナル光、アイドラ
光)の出力を同時に必要とすることは殆どない。従っ
て、光パラメトリック発振器により発生した2つの光の
うち必要なのは一方の光のみで、他方の光のエネルギは
無駄になることが多い。従って、一方の光の利用のみで
は発振器全体の発振効率が制限されて好ましくない。Generally, in a laser device having an optical parametric oscillator, only one wavelength is intended for output, and it is difficult to simultaneously output two lights (signal light and idler light). Almost no. Therefore, of the two lights generated by the optical parametric oscillator, only one light is required, and the energy of the other light is often wasted. Therefore, use of only one light is not preferable because the oscillation efficiency of the entire oscillator is limited.
【0011】特に、発生する光のエネルギの割合は波長
に略反比例するので、例えば、アイドラ光の出力が目的
の場合には極端に低効率になる。In particular, since the ratio of the energy of the generated light is substantially inversely proportional to the wavelength, when the output of the idler light is intended, for example, the efficiency becomes extremely low.
【0012】また、2つの光のうち目的とする波長の光
だけを取り出すためには、2つの光を分離するための光
学鏡を設置しなければならず、その効率が100%にな
らないことから、さらに出力が低下するという問題も存
在する。Also, in order to extract only the light of the desired wavelength from the two lights, an optical mirror for separating the two lights must be installed, and the efficiency does not become 100%. In addition, there is a problem that the output further decreases.
【0013】また、ビームスプリッタで分離した光の光
路上に、もう一つのOPO装置を設置する方法では効率
は向上するが構成が複雑になるうえ、2つの光軸上から
光が発生することになり実用的ではない。この場合は、
各々発生する光を合成する光学系を適用する方法によ
り、この点は克服可能であるが、装置は更に複雑となり
完全に光軸を一致させることは極めて困難である。In the method of installing another OPO device on the optical path of the light separated by the beam splitter, the efficiency is improved, but the configuration becomes complicated, and light is generated from two optical axes. It is not practical. in this case,
This problem can be overcome by applying an optical system for synthesizing each generated light, but the apparatus becomes more complicated and it is extremely difficult to completely align the optical axes.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、励起用
レーザ発振器の光軸上の前方に配置された第1の光パラ
メトリック発振器と、前記光軸上のその前方に配置され
た第2の光パラメトリック発振器とを有するレーザ装置
において、前記第2の光パラメトリック発振器は前記第
1の光パラメトリック発振器から発生するシグナル光と
アイドラ光のそれぞれを波長変換する非線形光学素子を
第1および第2の光パラメトリック発振器に共通の光共
振器内に設置したことを特徴とするレーザ装置である。According to the present invention, there is provided a first optical parametric oscillator disposed on the optical axis of an excitation laser oscillator and a second optical parametric oscillator disposed on the optical axis in front thereof. Wherein the second optical parametric oscillator includes first and second nonlinear optical elements for wavelength-converting each of signal light and idler light generated from the first optical parametric oscillator. A laser device is provided in an optical resonator common to an optical parametric oscillator.
【0015】本発明によれば、前記第1の光パラメトリ
ック発振器から発生されるシグナル光とアイドラ光の波
長が等しいことを特徴とするレーザ装置にある。According to the present invention, there is provided a laser device characterized in that the signal light generated from the first optical parametric oscillator and the idler light have the same wavelength.
【0016】本発明によれば、前記第2の光パラメトリ
ック発振器から発生されるシグナル光とアイドラ光の波
長が等しいことを特徴とするレーザ装置にある。According to the present invention, there is provided a laser device wherein the wavelength of the signal light generated from the second optical parametric oscillator is equal to the wavelength of the idler light.
【0017】本発明によれば、前記第2の光パラメトリ
ック発振器内の非線形光学素子は、シグナル光を波長変
換するものとアイドラ光を波長変換するものとが別個に
設けられていることを特徴とするレーザ装置にある。According to the present invention, the nonlinear optical element in the second optical parametric oscillator is characterized in that a device for converting the wavelength of signal light and a device for converting the wavelength of idler light are provided separately. Laser device.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下本発明に実施形態について図
1を参照して説明する。図2〜4で示した従来の技術と
同一符号は従来の技術と同一部品又は同一機能を有する
部品を示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. 2 to 4 denote the same components or components having the same functions as those of the conventional technology.
【0019】図1は本実施の形態の構成図で、励起用レ
ーザ発振器1の光軸上の前方に集光光学系2a,2b、
第1の光パラメトリック発振器(OPO)6、第2のO
PO13の順に配置されている。FIG. 1 is a block diagram of the present embodiment, wherein condensing optical systems 2a, 2b,
A first optical parametric oscillator (OPO) 6, a second OPO
PO13 are arranged in this order.
【0020】第1のOPOは非線形光学素子4であるK
TPを挟んで光軸上の後方に入射鏡3が、前方に出力鏡
5が設けられて構成されている。第2のOPO13は光
軸上に入射鏡3と出力鏡5との間に第1の非線形光学素
子16aと第2の非線形光学素子16bを設けている。
それらは、第1のOPO6からのシグナル光とアイドラ
光は一般に波長が異なるうえ偏光方向も一致しない場合
が多いため、第1のOPO6のシグナル光に対して位相
整合するよう角度が調整された非線形光学素子16a
と、第1のOPO6のアイドラ光に対して位相整合する
第2の非線形光学素子16bが設けられている。各非線
形光学素子16a,16bは第1のOPO6からの2つ
の光と第2のOPO13での各発生光に対して吸収率の
低いものを適用する。入射鏡14は第1のOPO6から
のシグナル光およびアイドラ光を透過させつつ、第2の
OPO13で発生したの2つのシグナル光を反射する特
性を持つ出力鏡15は、第2のOPO13で発生した2
つのシグナル光およびアイドラ光の片方又は両方を反射
して入力鏡14との間を往復することにより共振して光
強度を高める。これらの光の一部は出力鏡15から同一
の光軸から取出される。The first OPO is a nonlinear optical element 4
The input mirror 3 is provided at the rear on the optical axis across the TP, and the output mirror 5 is provided at the front. The second OPO 13 has a first nonlinear optical element 16a and a second nonlinear optical element 16b provided between the incident mirror 3 and the output mirror 5 on the optical axis.
Since the signal light from the first OPO 6 and the idler light generally have different wavelengths and often do not have the same polarization direction, the nonlinear light whose angle is adjusted so as to be phase-matched with the signal light of the first OPO 6 is often used. Optical element 16a
And a second non-linear optical element 16b that is phase-matched to the idler light of the first OPO 6. As the nonlinear optical elements 16a and 16b, those having a low absorptance are applied to the two lights from the first OPO 6 and the respective lights generated by the second OPO 13. The incident mirror 14 transmits the signal light and the idler light from the first OPO 6 while reflecting the two signal lights generated by the second OPO 13, and the output mirror 15 having the characteristic of reflecting the two signal lights generated by the second OPO 13 is generated by the second OPO 13. 2
One or both of the two signal lights and the idler light are reflected to reciprocate between the input mirror 14 and resonate to increase the light intensity. Some of these lights are extracted from the output mirror 15 from the same optical axis.
【0021】これらの構成により、第1のOPO6から
にシグナル光を励起光として、第2のOPO13におけ
る第1の非線形光学素子16aでの非線形相互作用によ
り新たなシグナル光とアイドラ光が発生する。第1のO
PO6からのアイドラ光によっても、第2のOPO13
における第2の非線形結晶16bにおいて新たなシグナ
ル光とアイドラ光が発生する。第1の非線形結晶16a
で発生した光および励起光は、第2の非線形光学素子1
6bでは、一般に位相整合しないので相互作用は殆どな
い。第2の非線形光学素子16bで発生した光および励
起光についても第1の非線形光学素子16aにおける作
用と同様である。With these configurations, new signal light and idler light are generated by the nonlinear interaction of the first nonlinear optical element 16a in the second OPO 13 with the signal light as the excitation light from the first OPO 6. The first O
The second OPO 13 is also generated by the idler light from the PO 6.
A new signal light and an idler light are generated in the second nonlinear crystal 16b. First nonlinear crystal 16a
The light and the excitation light generated in the second nonlinear optical element 1
In 6b, there is almost no interaction since phase matching is not generally performed. The operation of the light and the excitation light generated by the second nonlinear optical element 16b is the same as that of the first nonlinear optical element 16a.
【0022】これらの結果として、第2のOPO13か
らは合計4種類の光が発生する。これらは、共通の光共
振器から発せられるので同一の光軸上から発生する。As a result, a total of four types of light are generated from the second OPO 13. These are emitted from the same optical axis because they are emitted from a common optical resonator.
【0023】[0023]
実施例1 励起レーザ装置1に発振波長1.06mのYAGレーザ
を用いて、波長3〜5m帯の中赤外光を発生させる場合
を説明する。第1のOPO6にKTPを用いた場合、
(1)式を満たす発生光として、例えば、波長1.9μ
mのシグナル光及び波長2.4mのアイドラ光が得られ
る。第2のOPO13には波長2.4mの光で位相整合
するようにカットされたAgGaSe2 結晶を第1の非
線形光学素子16aとして、波長1.9mの光で位相整
合するようにカットされたAgGaSe2 結晶を第2の
非線形光学素子16bとして配置する。Example 1 A case will be described in which a YAG laser having an oscillation wavelength of 1.06 m is used for the excitation laser device 1 to generate mid-infrared light in a 3 to 5 m band. When KTP is used for the first OPO6,
As the generated light satisfying the expression (1), for example, a wavelength of 1.9 μm
m signal light and a 2.4 m wavelength idler light are obtained. AgGaSe 2 crystal cut to be phase-matched with light of wavelength 2.4 m is used as the second nonlinear optical element 16 a in the second OPO 13, and AgGaSe 2 is cut to be phase-matched with light of wavelength 1.9 m. Two crystals are arranged as a second nonlinear optical element 16b.
【0024】前者の結晶からは、p=1.9μmに対し
て(1)式を満たす2つの光、例えば、s=3.6μm
およびi=4.1μmの光が発生する。また、後者の結
晶からは、s=2.4μmに対して、(1)式を満たす
2つの光、例えば、s=4.6μmおよびi=5.0μ
mの光が発生し、これらで発生する波長は全て3〜5μ
mとなる。From the former crystal, two lights satisfying the expression (1) for p = 1.9 μm, for example, s = 3.6 μm
And i = 4.1 μm light is generated. Also, from the latter crystal, for s = 2.4 μm, two lights satisfying the expression (1), for example, s = 4.6 μm and i = 5.0 μm.
m are generated, and the wavelengths generated by them are all 3-5 μm.
m.
【0025】実施例2 第1のOPO6を縮退発振とした場合、シグナル光とア
イドラ光の波長は両方とも2.12μmとなる。この際
の2つの発生光はタイプ2位相整合と呼ばれるKTP等
の結晶を用いた場合、偏光方向は直行するが、波長2.
12μmの光で位相整合する様にカットして加工された
2つのAgGaSe2 結晶を互いに結晶方向を90度に
光軸回りで回転させて配置することにより、第1のOP
O6からのシグナル光、アイドラ光のそれぞれに位相整
合させられ、p=2.12μmに対して、(1)式を満
たす2組の光を発生できる。特に、第2のOPO13も
縮退発振とすることにより、第2のOPO13における
4つの発生光の全ての波長を4.24μmにすることも
可能である。Embodiment 2 When the first OPO 6 is degenerated, the wavelengths of the signal light and the idler light are both 2.12 μm. In this case, when a crystal such as KTP called type 2 phase matching is used as the two generated lights, the polarization directions are orthogonal, but the wavelength 2.
By arranging two AgGaSe 2 crystals cut and processed so as to be phase-matched with light of 12 μm and rotating the crystal directions around the optical axis by 90 degrees with respect to each other, the first OP
The signal light and the idler light from O6 are phase-matched to each other, and two sets of light satisfying the expression (1) can be generated for p = 2.12 μm. In particular, by making the second OPO 13 also degenerate oscillation, it is possible to make all the wavelengths of the four generated lights in the second OPO 13 4.24 μm.
【0026】なお、上記各実施例では非線形光学素子4
としてKTP(KTiOPO4 )を用いたがKTA(K
TiOAsO4 )やCTA(CsTiOAsO4 )やR
TP(CsTiOAsO4 )等も同様に用いることが出
来る。In each of the above embodiments, the nonlinear optical element 4
KTP (KTiOPO 4 ) was used as the
TiOAsO 4 ), CTA (CsTiOAsO 4 ), R
TP (CsTiOAsO 4 ) can be used in the same manner.
【0027】また、上記実施例ではOPOは2段として
説明したが、3段以上でも同様に構成できることは言う
までもない。In the above embodiment, the number of OPOs is two. However, it is needless to say that three or more OPOs can be similarly constructed.
【0028】また、上記実施例では第2のOPO内で
は、第1の非線形光学素子がシグナル光の第2の非線形
光学素子がアイドラ光の波長変換用であるが、これら
は、逆の場合でも同様な作用が得られるのは言うまでも
ない。In the above embodiment, in the second OPO, the first nonlinear optical element is used for converting the signal light and the second nonlinear optical element is used for converting the wavelength of the idler light. Needless to say, a similar effect can be obtained.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば2
つの光パラメトリック発振器(OPO)を有するレーザ
装置において、従来は無駄となっていた第1のOPOか
らの片側の光ヱネルギも第2のOPOで長い波長の光に
変換するので、最大4種類の波長の光を同一の光軸上に
発生させることが出来るため、レーザ装置の効率を大幅
に向上することが出来る。As described above, according to the present invention, 2
In a laser device having two optical parametric oscillators (OPOs), the optical energy on one side from the first OPO, which was conventionally wasted, is converted into light of a longer wavelength by the second OPO, so that a maximum of four wavelengths can be obtained. Can be generated on the same optical axis, so that the efficiency of the laser device can be greatly improved.
【図1】本発明のレーザ装置の一実施形態を示す構成
図。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a laser device of the present invention.
【図2】従来技術である光パラメトリック発振器の構成
図。FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional optical parametric oscillator.
【図3】従来技術である光パラメトリック発振器の変形
例の構成図。FIG. 3 is a configuration diagram of a modification of the optical parametric oscillator according to the related art.
【図4】従来技術である光パラメトリックス発振器の別
の変形例の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of another modification of the optical parametric oscillator according to the related art.
1…励起用レーザ発振器 2…集光光学系 3…入力鏡 4…非線形光学素子(第1のOPOの) 5…出力鏡 6…第1の光パラメトリック発振器(OPO) 7…ビームスプリッタ 13…第2のOPO 16a、16b…非線形光学素子(第2のOPOの) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Excitation laser oscillator 2 ... Condensing optical system 3 ... Input mirror 4 ... Nonlinear optical element (of 1st OPO) 5 ... Output mirror 6 ... 1st optical parametric oscillator (OPO) 7 ... Beam splitter 13 ... 2 OPOs 16a, 16b ... nonlinear optical element (of the second OPO)
Claims (4)
置された第1の光パラメトリック発振器と、前記光軸上
のその前方に配置された第2の光パラメトリック発振器
とを有するレーザ装置において、前記第2の光パラメト
リック発振器は前記第1の光パラメトリック発振器から
発生するシグナル光とアイドラ光のそれぞれを波長変換
する非線形光学素子を第1および第2の光パラメトリッ
ク発振器に共通の光共振器内に設置したことを特徴とす
るレーザ装置。1. A laser device comprising: a first optical parametric oscillator disposed in front of an excitation laser on an optical axis; and a second optical parametric oscillator disposed in front of the pumping laser on the optical axis. The second optical parametric oscillator includes a non-linear optical element for wavelength-converting each of signal light and idler light generated from the first optical parametric oscillator in an optical resonator common to the first and second optical parametric oscillators. A laser device, wherein the laser device is installed in a laser device.
発生されるシグナル光とアイドラ光の波長が等しいこと
を特徴とする請求項1記載のレーザ装置。2. The laser device according to claim 1, wherein a wavelength of the signal light generated from the first optical parametric oscillator is equal to a wavelength of the idler light.
発生されるシグナル光とアイドラ光の波長が等しいこと
を特徴とする請求項2記載のレーザ装置。3. The laser device according to claim 2, wherein the signal light generated from said second optical parametric oscillator and the idler light have the same wavelength.
非線形光学素子は、シグナル光を波長変換するものとア
イドラ光を波長変換するものとが別個に設けられている
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ装置。4. The nonlinear optical element in the second optical parametric oscillator, wherein a nonlinear optical element for converting the wavelength of signal light and a nonlinear optical element for converting the wavelength of idler light are separately provided. A laser device according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25501097A JPH1195273A (en) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | Laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25501097A JPH1195273A (en) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | Laser apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1195273A true JPH1195273A (en) | 1999-04-09 |
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ID=17272950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25501097A Pending JPH1195273A (en) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | Laser apparatus |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH1195273A (en) |
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