JPH03141016A - Magnetic recording medium - Google Patents
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Landscapes
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
薄膜型の磁気記録媒体に関し、
テクスチャー処理された磁気記録媒体において、保護膜
が平坦化するのを抑制可能とすることを目的とし、
非磁性の基板にテクスチャー処理を行なった後に磁性薄
膜を設けてなる薄膜型の磁気記録媒体において、
予め、磁気ヘッドのコアスライダのレール幅より狭いピ
ッチのうねりを形成し、その上にテクスチャー処理を行
ない、磁性膜および保護膜を設けるように構成する。[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a thin-film magnetic recording medium, the present invention aims to suppress flattening of a protective film in a textured magnetic recording medium. In a thin-film magnetic recording medium in which a magnetic thin film is provided after processing, undulations with a pitch narrower than the rail width of the core slider of the magnetic head are formed in advance, and texture processing is performed on the undulations to form a magnetic film and a protective film. The structure is configured to provide a membrane.
磁気ディスク装置における記録媒体である磁気記録媒体
には、非磁性の円板に磁性塗料を塗布してなる塗膜型と
、Co−Niやco−Pts酸化鉄などの磁性薄膜を成
膜して成る薄膜型とがある。本発明は、後者の薄膜型の
磁気記録媒体に関する。Magnetic recording media, which are the recording media in magnetic disk devices, are available in two types: coated type, which is a non-magnetic disc coated with magnetic paint, and type that is made by coating a magnetic thin film of Co-Ni or co-Pts iron oxide. There is a thin film type. The present invention relates to the latter thin film type magnetic recording medium.
第5図は従来の薄膜磁気記録媒体の全容を示す断面図で
ある。lは例えばアルミニウムなどのような非磁性体か
らなる基板(円板)であり、その上に下地膜2、磁性膜
3、保護膜4の順に積層されている。FIG. 5 is a sectional view showing the entire structure of a conventional thin film magnetic recording medium. 1 is a substrate (disk) made of a non-magnetic material such as aluminum, on which a base film 2, a magnetic film 3, and a protective film 4 are laminated in this order.
第6図は従来の薄膜磁気記録媒体の断面構造を示す図で
あり、磁性膜3が酸化鉄(T Fezes)によって
形成されている。基板1はアルミニウムがらなっており
、その表面を酸化させてアルマイト(AlzOs)膜を
形成することで下地膜2としている。FIG. 6 is a diagram showing a cross-sectional structure of a conventional thin film magnetic recording medium, in which the magnetic film 3 is formed of iron oxide (T Fezes). The substrate 1 is made of aluminum, and its surface is oxidized to form an alumite (AlzOs) film, which serves as a base film 2.
磁性1f5!3は、7−Fe、0.のスパッタ法で形成
される。保護M4は、カーボンや5iftをスパッタす
ることで形成される。Magnetism 1f5!3 is 7-Fe, 0. It is formed using the sputtering method. The protection M4 is formed by sputtering carbon or 5ift.
磁性膜3としては、酸化鉄(y −FezOz)のほか
に、CoNi、 CoNiCr、 CoCrTaなどが
使用される。下地膜としては、Crが用いられる。ある
いは、基板IとしてAIが用いられ、その上にN1−P
メツキやアルマイト処理を行ない、下地膜2としている
。As the magnetic film 3, in addition to iron oxide (y-FezOz), CoNi, CoNiCr, CoCrTa, etc. are used. Cr is used as the base film. Alternatively, AI is used as the substrate I and N1-P
The base film 2 is made by plating or alumite treatment.
この磁性M3を形成するには、第7図〜第9図に示すよ
うな方法が採られている。第7図は°“静止対向型°“
と呼ばれる方法であり、基板1の両側にリング状のター
ゲラ)51.52が配置され、がっ基板Iとリング状タ
ーゲット51.52との中心が一致している。そのため
、基板lは中心から半径方向に、同一条件でスパッタが
行なわれるので、磁性膜の磁気特性が円周方向の全周に
おいて均一となり、情報の記録/再生が正確に行なわれ
る。In order to form this magnetic M3, a method as shown in FIGS. 7 to 9 is adopted. Figure 7 shows °“stationary facing type°”
In this method, ring-shaped target targets 51, 52 are arranged on both sides of the substrate 1, and the centers of the substrate I and the ring-shaped targets 51, 52 are aligned. Therefore, since sputtering is performed on the substrate l in the radial direction from the center under the same conditions, the magnetic properties of the magnetic film are uniform throughout the circumferential direction, and information can be recorded/reproduced accurately.
第8図は、静止型のうち基板を回転させる方式であり、
基板1の両側にターゲット61.62が配設されている
。この方式は、ターゲット61.62が基板lの中心に
対し点対称になっていないため、基板lの円周方向に均
一な磁気特性が得られない。Figure 8 shows a stationary type that rotates the board;
Targets 61, 62 are arranged on both sides of the substrate 1. In this method, since the targets 61 and 62 are not point symmetrical with respect to the center of the substrate l, uniform magnetic characteristics cannot be obtained in the circumferential direction of the substrate l.
そのため、基板1を回転させることで、被着条件を均一
化し、磁気特性の均一化を図っている。しかしながら、
基板lを回転可能に支持する摺動部からの発塵のために
欠陥を引き起こす恐れがあり、実用性に欠ける。Therefore, by rotating the substrate 1, the deposition conditions are made uniform and the magnetic properties are made uniform. however,
Dust generation from the sliding part that rotatably supports the substrate l may cause defects, and this is impractical.
第9図は、同時に多数の基板1・・・にスパッタを行な
う方法であり、通過型ないしインライン方式と呼ばれて
いる。7は支持板であり、その各円形孔に基板l・・・
が挿入支持されている。そして支持板7が、ターゲット
61.62の間を移動する。この方法は、同時に多数の
基板に磁性膜のスパッタを行なうことができるが、各基
板l・・・において、その中心に対し点対称の条件でス
パッタが行なわれないため、円周方向において、磁気特
性が均一とならず、情報の記録/再生に支障を来してい
る。FIG. 9 shows a method of performing sputtering on a large number of substrates 1 at the same time, which is called a pass-through method or an in-line method. 7 is a support plate, and each circular hole of the support plate has a substrate l...
is supported for insertion. The support plate 7 then moves between the targets 61, 62. In this method, magnetic films can be sputtered on many substrates at the same time, but since sputtering is not performed point-symmetrically with respect to the center of each substrate l..., the magnetic film is The characteristics are not uniform, causing problems in recording/reproducing information.
第10図は、この通過型のスパッタ方法における被着模
様を示す図であり、(a)は平面図、(b)は基板の側
面図である。ターゲット61.62からは四方六方に粒
子が飛散するため、基板1がターゲット61と62との
間を通過する際に、基板lがターゲット61.62間に
進入する最初の時点においては、矢印alで示すように
、基板1に対し斜め方向から粒子が飛来し被着される。FIG. 10 is a diagram showing a deposited pattern in this pass-through sputtering method, in which (a) is a plan view and (b) is a side view of the substrate. Since particles are scattered in all directions from the targets 61 and 62, when the substrate 1 passes between the targets 61 and 62, at the first point when the substrate l enters between the targets 61 and 62, the arrow al As shown in the figure, particles fly obliquely to the substrate 1 and are deposited thereon.
つまりb)に示すように、基板lの前後の領域1a、
lbにおいては、基板lに対し径方向に粒子が飛来し、
被着される。In other words, as shown in b), the front and rear regions 1a of the substrate l,
In lb, particles fly in the radial direction to the substrate l,
be coated.
ところが基板lの上下の領域1c、 ldにおいては、
基板1に対し円周方向に粒子が飛来し、被着される。こ
のように基板1において、はぼ90度おきに被着条件が
変化するために、基板lの円周方向において、磁気特性
が変化するという問題がある。However, in the upper and lower regions 1c and ld of the substrate l,
Particles fly toward and adhere to the substrate 1 in the circumferential direction. As described above, since the adhesion conditions change approximately every 90 degrees on the substrate 1, there is a problem in that the magnetic properties change in the circumferential direction of the substrate 1.
そのためテクスチャーと称して、基板1の下地膜2の成
膜前に、基板lの表面に円周方向の微細な傷をつけ、そ
の上に下地膜2、磁性膜3を成膜することで、磁気特性
の改善を図ることが行なわれている。なお下地膜2の上
にテクスチャー加工することもできる。このように、磁
性膜を形成する前にテクスチャー処理を行なうことで、
磁性膜中の磁性体結晶の磁化容易軸がテクスチャ一方向
に配向され、形状異方性による磁気特性が向上し、また
媒体表面と磁気ヘッドとの接触面積の減少による潤滑性
の向上および吸着の防止が可能となる。Therefore, before forming the base film 2 of the substrate 1, fine scratches are made in the circumferential direction on the surface of the substrate 1, called texture, and the base film 2 and the magnetic film 3 are formed on top of the scratches. Efforts are being made to improve the magnetic properties. Note that the base film 2 can also be textured. In this way, by performing texture processing before forming the magnetic film,
The axis of easy magnetization of the magnetic crystals in the magnetic film is oriented in one direction of the texture, improving magnetic properties due to shape anisotropy, and improving lubricity and reducing adsorption by reducing the contact area between the media surface and the magnetic head. Prevention is possible.
第11図は従来のテクスチャー加工装置を示す斜視図で
ある。1は鏡面仕上げされた基板であり、200〜30
0rpmで回転している基板l上に、ノズル8によって
研摩剤や冷却・潤滑剤を供給しながら、研摩テープ9を
押しつけることで、基板1の表面に、円周方向の傷tを
つける。このとき、研摩テープ9としては、アルミナ等
の硬質粉末を接着したテープを使用したり、あるいは幾
つかの研摩剤と併用する。FIG. 11 is a perspective view showing a conventional texturing device. 1 is a mirror finished substrate, 200 to 30
A scratch t in the circumferential direction is made on the surface of the substrate 1 by pressing an abrasive tape 9 onto the substrate 1 rotating at 0 rpm while supplying abrasive, cooling and lubricant through a nozzle 8. At this time, as the abrasive tape 9, a tape to which hard powder such as alumina is adhered is used, or it is used in combination with some abrasives.
なお、研摩テープ9は、繰り出しロール10がら繰り出
され、ガイドロール11、加圧ローラ12、ガイドロー
ル13、キャプスタン14・ピンチローラ15を経由し
て、巻取りロール16で巻き取られることで、常時新た
な面が基板l側に供給される。Note that the abrasive tape 9 is fed out from the feeding roll 10, passes through the guide roll 11, the pressure roller 12, the guide roll 13, the capstan 14 and the pinch roller 15, and is wound up by the winding roll 16. A new surface is constantly supplied to the substrate l side.
このようにテクスチャー処理を行なった後、第5図、第
6図の下地膜2、磁性l!3、保護膜4を積層する。こ
のとき、下地膜2および磁性膜3の両方の膜厚を合わせ
ても、2000〜3000人程度と薄いため、磁性膜3
はテクスチャー処理による凹凸に沿った薄い凹凸膜とな
り、磁性体の配向が行なわれる。After performing the texture processing in this manner, the base film 2 and the magnetic l! 3. Layer the protective film 4. At this time, even if the thickness of both the base film 2 and the magnetic film 3 is combined, it is as thin as about 2000 to 3000, so the magnetic film 3
A thin uneven film follows the unevenness caused by the texture treatment, and the magnetic material is oriented.
このような従来のテクスチャー処理装置では、研摩テー
プによる場合も遊離砥粒によるテープ加工の場合も、テ
ープを加工面に加圧するローラー12として、第12図
のように硬度40〜60度のゴム17を金属ローラー1
8にライニングしたものを使用し、研摩テープ9を加工
面に押圧している。In such a conventional texture processing device, whether using an abrasive tape or tape processing using free abrasive grains, a rubber 17 with a hardness of 40 to 60 degrees is used as the roller 12 that presses the tape against the processing surface, as shown in FIG. the metal roller 1
8 is used, and an abrasive tape 9 is pressed against the processed surface.
第13図(a)は従来の磁気記録媒体におけるテクスチ
ャー加工後の状態を示す断面図である。第11図に示す
装置でテクスチャー加工を行なうと、非磁性の基板l上
に、微細ピッチpで、半径方向に無数の凹凸が形成され
る。19はテクスチャー溝、20はテクスチャー山であ
る。第13図(9)は、このテクスチャー凹凸面の上に
、下地膜2を介して、磁性膜3、保護膜4を積層してな
る磁気記録媒体である。FIG. 13(a) is a cross-sectional view showing the state of a conventional magnetic recording medium after texture processing. When texturing is carried out using the apparatus shown in FIG. 11, countless irregularities are formed in the radial direction at a fine pitch p on a nonmagnetic substrate l. 19 is a texture groove, and 20 is a texture mountain. FIG. 13 (9) shows a magnetic recording medium in which a magnetic film 3 and a protective film 4 are laminated on this textured uneven surface with an underlying film 2 interposed therebetween.
この磁気記録媒体で情報を記録/再生するには、磁気記
録媒体上で磁気ヘッドを浮上させて行なうが、長期にわ
たって使用している間に、磁気ヘッドが磁気記録媒体面
に接触することで、第14図に示すように、保護膜4が
磨耗し、かつ磨耗物がテクスチャー溝に詰まってしまう
、その結果、最終的には保l!膜4の表面の凹凸が消失
して平坦になってしまい、媒体表面と磁気ヘッドとの接
触面積が増大して、潤滑性の維持および吸着防止が困難
となる。特に、コアスライダが媒体面と摺動接触するC
8Sゾーンでは、これらの問題が顕著に現れる。To record/reproduce information on this magnetic recording medium, a magnetic head is levitated above the magnetic recording medium, but during long-term use, the magnetic head comes into contact with the surface of the magnetic recording medium. As shown in FIG. 14, the protective film 4 is worn and the textured grooves are clogged with abrasive materials, which ultimately results in a loss of protection! The unevenness on the surface of the film 4 disappears and becomes flat, and the contact area between the medium surface and the magnetic head increases, making it difficult to maintain lubricity and prevent adsorption. In particular, C where the core slider makes sliding contact with the medium surface.
These problems become noticeable in the 8S zone.
また保護膜゛の平坦化は、総ての磁気記録媒体において
均一に進行するのでなく、バラツキがある。Furthermore, the planarization of the protective film does not proceed uniformly in all magnetic recording media, but varies.
すなわち、第15図のaSb、cSdで示すように、あ
る媒体では15000回程度のCsS動作で摩擦係数が
1.0に達するのに対し、ある媒体では30000回程
度のCsS動作でも、摩擦係数は0.7程度までしか達
しない、このように、各媒体によって、保護膜が平坦化
するまでの時間のバラツキが大きく、寿命に大差がある
。その結果、多数の媒体を実装してなる大容置の装置で
は、それぞれの媒体の間で、寿命が異なるために、装置
全体の寿命が、寿命の短い媒体に依存することになり、
経済性を阻害する。That is, as shown by aSb and cSd in Fig. 15, in some media, the friction coefficient reaches 1.0 after about 15,000 CsS operations, whereas in some media, the friction coefficient reaches 1.0 even after about 30,000 CsS operations. As can be seen, the time required for the protective film to flatten varies greatly depending on the medium, and the life span varies greatly. As a result, in a large-capacity device equipped with a large number of media, each medium has a different lifespan, so the lifespan of the entire device depends on the media with a short lifespan.
hinders economic efficiency.
本発明の技術的課題は、このような問題を解消し、テク
スチャー処理された磁気記録媒体において、保護膜が平
坦化するのを抑制可能とすることにある。A technical object of the present invention is to solve such problems and to make it possible to suppress flattening of the protective film in a textured magnetic recording medium.
第1図は本発明による磁気記録媒体の基本原理を説明す
る断面図で、第2図のA部拡大図である。FIG. 1 is a sectional view illustrating the basic principle of the magnetic recording medium according to the present invention, and is an enlarged view of section A in FIG.
本発明の場合は、従来のように非磁性基板の平坦な面に
直接テクスチャー処理するのではなく、第1図に示すよ
うに、予め、磁気ヘッドのコアスライダのレール幅Rよ
り狭いピッチWのうねりを形成し、その上にテクスチャ
ー処理を行ない、磁性1!I3および保護膜4を設ける
。In the case of the present invention, instead of texture processing directly on the flat surface of a non-magnetic substrate as in the past, as shown in FIG. Forming undulations and applying texture processing on top of them, magnetism 1! I3 and a protective film 4 are provided.
第2図は、磁気ヘッドのコアスライダ21とうねりとの
関係を示す断面図である0通常磁気ヘッドのコアスライ
ダ21は、両側にサイトレール22.22を有し、両サ
イトレール22と22との間に設けられたセンターレー
ル23にコアが設けられ、情報を記録/再生するギャッ
プが形成されている。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the relationship between the core slider 21 of a magnetic head and waviness. The core slider 21 of a normal magnetic head has sight rails 22 and 22 on both sides. A core is provided in the center rail 23 provided between the two, forming a gap for recording/reproducing information.
そして、す、イドレール22.22のレール幅Rよりう
ねり24のピッチWが小さい、このうねり24の部分を
拡大すると、第1図に示されているように、テクスチャ
ー処理による微小な凹凸、すなわちテクスチャー溝19
とテクスチャー山20が存在する。If you enlarge the part of the undulation 24 where the pitch W of the undulation 24 is smaller than the rail width R of the idle rail 22.22, as shown in FIG. Groove 19
There are 20 texture mountains.
第1図(a)は媒体の使用前、(ロ)はある程度使用後
の状態である。FIG. 1(a) shows the state before the medium is used, and FIG. 1(b) shows the state after it has been used to some extent.
いま、第1図において、コアスライダが媒体面に接触す
ると、うねりの山の部分25のみに接触し、谷の部分2
6には接触しない、そのため、使用によって保護膜4が
磨耗するときは、うねりの山の部分25における保護膜
4だけが、コアスライダの接触によって磨耗する。そし
て第1図(b)に示すように、磨耗粉は、うねりの山の
部分25におけるテクスチャー溝に溜まり、うねりの山
の部分25は次第に平坦化していくが、うねりの谷の部
分26はコアスライダと接触しないので、従来の媒体に
比べると、媒体面とコアスライダとの接触面積は少ない
。Now, in FIG. 1, when the core slider contacts the medium surface, it contacts only the ridge portions 25 of the undulations and the trough portions 2.
Therefore, when the protective film 4 is worn out due to use, only the protective film 4 at the ridge portions 25 of the undulations is worn out due to contact with the core slider. As shown in FIG. 1(b), the wear powder accumulates in the textured grooves at the ridges 25 of the undulations, and the crests 25 of the undulations gradually become flat, but the troughs 26 of the undulations form the core. Since there is no contact with the slider, the contact area between the medium surface and the core slider is smaller compared to conventional media.
その結果、媒体面における摩擦係数が従来のように短期
間に増大することはなく、耐磨耗性が向上し、またコア
スライダの粘着も防止できる。As a result, the coefficient of friction on the medium surface does not increase in a short period of time unlike in the past, and wear resistance is improved, and adhesion of the core slider can be prevented.
次に本発明による磁気記録媒体が実際上どのように具体
化されるかを実施例で説明する。第3図は通常使用され
ている磁気ヘッドのコアスライダを媒体面側から見た図
である0図示例は、コアスライダの幅が2.5−一、長
さが4.0蒙−であり、ザイドレール22.22の幅が
250 μmである。Next, examples will be used to explain how the magnetic recording medium according to the present invention is actually implemented. FIG. 3 is a view of the core slider of a commonly used magnetic head viewed from the medium side. In the example shown, the core slider has a width of 2.5 mm and a length of 4.0 mm. , the width of the Zydrail 22.22 is 250 μm.
コアスライダを安定して浮上させるには、テクスチャー
処理の前に形成するうねりは、第2図に示すように、レ
ール幅RよりピッチWが小さければよいが、好ましくは
レール幅Rに対し3〜4個以上のうねりが存在すること
が望ましい。In order to stably float the core slider, the pitch W of the undulations formed before the texture treatment should be smaller than the rail width R, as shown in Fig. It is desirable that four or more undulations exist.
したがって、第3図の寸法のコアスライダの場合は、磁
気記録媒体のうねりのとッチWは、20〜50μm程度
が望ましい。Therefore, in the case of a core slider having the dimensions shown in FIG. 3, the pitch W of the undulations of the magnetic recording medium is preferably about 20 to 50 μm.
また、うねりの深さは、テクスチャー処理における溝1
9の深さが一応の目安になる。すなわち、うねりの深さ
が、テクスチャーにおける溝19の深さと同程度とする
と、第1図Φ)のように、うねりの山の部分25の保護
膜4が磨耗し消失したとしても、うねりの谷部26にお
いては、保護膜4に、テクスチャーによる凹凸が残って
いるため、耐磨耗性は維持される。In addition, the depth of the undulation is determined by the depth of the groove 1 in the texture processing.
A depth of 9 is a good guideline. In other words, if the depth of the undulations is approximately the same as the depth of the grooves 19 in the texture, even if the protective film 4 at the crests 25 of the undulations is worn away and disappears, as shown in FIG. In the portion 26, since the protective film 4 remains uneven due to the texture, the abrasion resistance is maintained.
うねりが、テクスチャー溝19より浅すぎると、うねり
の山の部分25の保護膜が磨耗消失する前に、うねりの
谷部26における保護膜のテクスチャー山部20の磨耗
が進行し、かつテクスチャー溝部も磨耗粉などで埋まっ
てしまい、保護膜の平坦化が進行しやすい。If the undulations are too shallow than the textured grooves 19, the textured peaks 20 of the protective film at the troughs 26 of the undulations will progress to wear out before the protective film at the crests 25 of the undulations is worn away, and the textured grooves will also wear out. It becomes filled with abrasion powder, etc., and the protective film tends to flatten.
逆に、うねりの深さが深すぎると、うねりの谷部26に
磁気ヘッドのギャップが到来したときに、磁性膜とギャ
ップとの間隔が大きすぎるために、記録/再生時の出力
が減少するという問題が住しる。Conversely, if the depth of the undulations is too deep, when the gap of the magnetic head reaches the trough 26 of the undulations, the distance between the magnetic film and the gap is too large, resulting in a decrease in the output during recording/reproduction. This problem exists.
結局、うねりの深さは、テクスチャー溝の深さと大差の
無い値が適しており、好ましくはテクスチャー溝の最大
深さより多少浅い程度のうねりが望ましい0例えば、0
.03〜0.06μm程度が適している。After all, the depth of the undulations is suitable to have a value that is not much different from the depth of the texture grooves, and it is preferable that the undulations be slightly shallower than the maximum depth of the texture grooves. For example, 0
.. Approximately 0.03 to 0.06 μm is suitable.
うねりの形成は、アルミニウム基板をダイアモンド旋盤
で加工するときのバイトの送り量を、前記のようなピッ
チWに設定することで実現できる。The formation of undulations can be realized by setting the feed amount of the cutting tool to the pitch W as described above when processing an aluminum substrate with a diamond lathe.
このようにしてうねりを形成した後に、アルマイト処理
したり、N1−PメツキをlOμm程度施程度後、ポリ
ッシュ加工する。その後、第11図に示す公知のテクス
チャー処理装置において、平均粒径3μmのAltoz
テープでテクスチャー加工し、その上に磁性膜、保護膜
の順に積層する。なお、テクスチャー処理の後に下地膜
を形成してもよい。After forming the undulations in this way, it is subjected to alumite treatment or N1-P plating is applied to a depth of about 10 μm, followed by polishing. Thereafter, in a known texture processing apparatus shown in FIG.
Texture is processed using tape, and then a magnetic film and a protective film are layered on top of that. Note that a base film may be formed after the texture treatment.
第4図は、このようにして製造された本発明による磁気
記録媒体と従来の磁気記録媒体との摩擦係数の変化を示
す図であり、本発明のうねりを持つ磁気記録媒体の場合
は、C3S動作を4万回行なった後であっても、摩擦係
数は0.6程度までしか上昇しておらず、耐磨耗性が極
めてすぐれていることが確認された。FIG. 4 is a diagram showing changes in the coefficient of friction between the magnetic recording medium according to the present invention manufactured in this manner and a conventional magnetic recording medium. Even after the operation was repeated 40,000 times, the friction coefficient increased only to about 0.6, confirming that the wear resistance was extremely excellent.
(発明の効果〕
以上のように本発明によれば、磁気記録媒体面に半径方
向の浅いうねりを形成し、その上にテクスチャー処理を
行なうため、磁性1113上の保護膜4が磨耗しても、
コアスライダとの接触面積の急速な増大が抑制され、潤
滑性が維持されるとともに、コアスライダの吸着防止も
維持される。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, shallow undulations in the radial direction are formed on the surface of the magnetic recording medium and texture processing is performed thereon, so that even if the protective film 4 on the magnetic layer 1113 is worn out, ,
A rapid increase in the contact area with the core slider is suppressed, lubricity is maintained, and prevention of adsorption of the core slider is also maintained.
第1図は、本発明による磁気記録媒体の基本原理を説明
する拡大断面図、
第2図は、磁気ヘッドのコアスライダとうねりとの関係
を示す断面図、
第3図は、通常使用されている磁気ヘッドのコアスライ
ダを媒体面側から見た図、
第4図は、本発明による磁気記録媒体と従来の磁気記録
媒体との摩擦係数の変化を示す図、第5図はIII!磁
気記録媒体の全容を示す断面図、第6図は薄膜磁気記録
媒体の層構成を示す断面図、
第7図〜第9図は薄膜磁気記録媒体の各種スパッタ方法
を示す斜視図、
第10図は通過型のスパッタ方法における被着模様を示
す図、
第11図は非磁性基板のテクスチャー加工装置を示す斜
視図、
第12図は加圧ローラの断面図、
第13図は従来のテクスチャー加工断面を示す図、第1
4図は、従来の磁気記録媒体における保護膜の磨耗状況
を示す拡大断面図、
第15図は、磁気ヘッドのC3S動作回数と媒体の摩擦
係数の関係を示す図、である。
図において、lは非磁性の基板、2は下地膜、3は磁性
膜、4は保護膜、19はテクスチャー溝、20はテクス
チャー山、22はサイトレール、24はうねり、25は
うねりの山、26はうねりの谷、Rはコアスライダのレ
ール幅、Wはうねりのピッチをそれぞれ示す。FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view explaining the basic principle of the magnetic recording medium according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the relationship between the core slider of a magnetic head and waviness, and FIG. 3 is a normally used FIG. 4 is a diagram showing changes in the coefficient of friction between the magnetic recording medium according to the present invention and a conventional magnetic recording medium, and FIG. 5 is a diagram showing III! 6 is a sectional view showing the entire structure of the magnetic recording medium, FIG. 6 is a sectional view showing the layer structure of the thin film magnetic recording medium, FIGS. 7 to 9 are perspective views showing various sputtering methods for the thin film magnetic recording medium, and FIG. Figure 11 is a perspective view showing a non-magnetic substrate texturing device, Figure 12 is a cross-sectional view of a pressure roller, and Figure 13 is a cross-sectional view of a conventional texture processing method. Figure 1 showing
FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the state of wear of the protective film in a conventional magnetic recording medium, and FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the number of C3S operations of the magnetic head and the friction coefficient of the medium. In the figure, l is a non-magnetic substrate, 2 is a base film, 3 is a magnetic film, 4 is a protective film, 19 is a texture groove, 20 is a texture mountain, 22 is a sight rail, 24 is a undulation, 25 is a undulation mountain, 26 indicates the valley of the undulations, R indicates the rail width of the core slider, and W indicates the pitch of the undulations.
Claims (1)
膜を設けてなる薄膜型の磁気記録媒体において、 予め、磁気ヘッドのコアスライダのレール幅(R)より
狭いピッチ(W)のうねりを形成し、その上にテクスチ
ャー処理を行ない、磁性膜(3)および保護膜(4)を
設けてなる磁気記録媒体。[Claims] In a thin-film magnetic recording medium in which a magnetic thin film is provided after texturing a non-magnetic substrate, the pitch (W) is narrower than the rail width (R) of a core slider of a magnetic head in advance. A magnetic recording medium in which a magnetic film (3) and a protective film (4) are formed by forming undulations on which a texture treatment is performed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27816089A JPH03141016A (en) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27816089A JPH03141016A (en) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03141016A true JPH03141016A (en) | 1991-06-17 |
Family
ID=17593423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27816089A Pending JPH03141016A (en) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03141016A (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH01224922A (en) * | 1988-03-04 | 1989-09-07 | Alps Electric Co Ltd | Magnetic recording medium |
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1989
- 1989-10-25 JP JP27816089A patent/JPH03141016A/en active Pending
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