JPH03131754A - 支持体上の水素化物ガスを比色定量的に検出する試験‐および測定器 - Google Patents
支持体上の水素化物ガスを比色定量的に検出する試験‐および測定器Info
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- JPH03131754A JPH03131754A JP2252035A JP25203590A JPH03131754A JP H03131754 A JPH03131754 A JP H03131754A JP 2252035 A JP2252035 A JP 2252035A JP 25203590 A JP25203590 A JP 25203590A JP H03131754 A JPH03131754 A JP H03131754A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はグリコールおよび塩からなる溶液を指示薬とし
て含浸された支持体で水素化物ガスを比色定量的に検出
する試験−および測定器に関する。
て含浸された支持体で水素化物ガスを比色定量的に検出
する試験−および測定器に関する。
このような種類の試験−および測定器は西ドイツ特許出
願公開第３２３９０９２号明細書から公知になっている
。
願公開第３２３９０９２号明細書から公知になっている
。
例えば半導体工業における、加工の際のきわめて有毒性
の成分としてアルシンまたはホスフィンのような水素化
物の確実な検出は次第に強く要求されて簡単な取扱でか
つ信頼性高く指示する器具が必要とされる。公知の指示
薬は検出すべき水素化物ガスの存在下で指示薬物質の変
色の原理で作動する。この指示薬はその際例えば紙テー
プに含浸されていて含浸添加剤が与えられている。変色
の程度は比色によるかまたは指示薬テープの変色長さに
よシ測定される。同じく分光光度計による評価手段も有
効である。
の成分としてアルシンまたはホスフィンのような水素化
物の確実な検出は次第に強く要求されて簡単な取扱でか
つ信頼性高く指示する器具が必要とされる。公知の指示
薬は検出すべき水素化物ガスの存在下で指示薬物質の変
色の原理で作動する。この指示薬はその際例えば紙テー
プに含浸されていて含浸添加剤が与えられている。変色
の程度は比色によるかまたは指示薬テープの変色長さに
よシ測定される。同じく分光光度計による評価手段も有
効である。
公知の指示薬の成分は硝酸銀からなシ、酸およびグリコ
ールとともに支持基体に含浸される。
ールとともに支持基体に含浸される。
硝酸銀だけは感光性であシ従って指示薬の長期安定性は
ただ短期間しか保証されないから長期間安定性を良くす
るためには酸の添加が必要とされる。しかしまたこの酸
添加された指示薬でも約半年の期間でしかない不変の検
出特性を示す。この安定性持続期間は指示薬の光誘導変
色を長期間防止するため、には余りに少い。しかしこれ
は希望値である、何故ならば未使用の指示薬の保存性は
著しく長い期間にわたって必要であるからである。また
水素化物ガス検出の開光作用による測定誤差も避けなけ
ればならない。
ただ短期間しか保証されないから長期間安定性を良くす
るためには酸の添加が必要とされる。しかしまたこの酸
添加された指示薬でも約半年の期間でしかない不変の検
出特性を示す。この安定性持続期間は指示薬の光誘導変
色を長期間防止するため、には余りに少い。しかしこれ
は希望値である、何故ならば未使用の指示薬の保存性は
著しく長い期間にわたって必要であるからである。また
水素化物ガス検出の開光作用による測定誤差も避けなけ
ればならない。
水化物ガスに対する他の指示薬はヨーロッパ特許公開第
２０６８１６号明細書に記載されている。そこでは検出
指示薬として銅塩類、特に炭酸銅が使用される。しかし
この検出システムは水素化物ガスに対してその変色にお
いて士分明シように知ることができない、というのは指
示薬の始めの青色は水素化物ガスの存在で黒色に変化し
、この変色はしかし肉眼では特に僅かの検出濃度のとき
は確認できないからである。
２０６８１６号明細書に記載されている。そこでは検出
指示薬として銅塩類、特に炭酸銅が使用される。しかし
この検出システムは水素化物ガスに対してその変色にお
いて士分明シように知ることができない、というのは指
示薬の始めの青色は水素化物ガスの存在で黒色に変化し
、この変色はしかし肉眼では特に僅かの検出濃度のとき
は確認できないからである。
従ってこの公知の指示薬はただ高い検出濃度に対してだ
け適しているにすぎない。
け適しているにすぎない。
従って本発明の課題は上述の種類の指示薬を、その長期
安定性が光作用下であっても良好でかつその変色が水化
物ガスの存在下で特に僅かの検出量に対し明白に見分け
られるように改良することであった。
安定性が光作用下であっても良好でかつその変色が水化
物ガスの存在下で特に僅かの検出量に対し明白に見分け
られるように改良することであった。
前記課題は本発明によりグリコールの他に塩としてなお
塩化パラジウム（Ｉｔ）だけが溶解して存在することで
解決される。
塩化パラジウム（Ｉｔ）だけが溶解して存在することで
解決される。
本発明の利点はおもに、該試指薬がもはや例えば酸のよ
うな別に添加物なしに、強い光照射下であってもその元
の黄／オレンジの基本色が保持され、その結果その長期
間安定性が２年よりずっと多く保証されるということに
ある。水素化物ガスの存在で黄色−オレンジ色が灰色に
急変することは観測者により容易に確認できる。
うな別に添加物なしに、強い光照射下であってもその元
の黄／オレンジの基本色が保持され、その結果その長期
間安定性が２年よりずっと多く保証されるということに
ある。水素化物ガスの存在で黄色−オレンジ色が灰色に
急変することは観測者により容易に確認できる。
また比較的高温下の保存も図らざる変色にはならない。
それによって例えば指示薬テープまたは比色定量的指示
薬管の長期安定でかつその変色が容易に見分けられる含
浸剤に使用することのできる、簡単で、少ない成分から
なる水化物ガス検出用の指示薬溶液が得られる。
薬管の長期安定でかつその変色が容易に見分けられる含
浸剤に使用することのできる、簡単で、少ない成分から
なる水化物ガス検出用の指示薬溶液が得られる。
また本課題の解決はグリコールの他になお塩として塩化
テトラアミンパラジウムだけを溶解して存在させること
で達成することもできる。
テトラアミンパラジウムだけを溶解して存在させること
で達成することもできる。
この種の器具は単に塩化パラジウム（Ｉｔ）で与えられ
る指示薬の有利な点があるのみならず０．０１ ｐｐｍ
の程度の水素化物ガスの最も僅少な景の検出に特に使用
できる。この溶液で含浸した指示薬紙は強烈な太陽光線
ですら色変化なく残っている。水素化物ガスの存在下で
白から灰色への著しい対照的色変化はまた最も少い検出
量でも明りように見分けられる。
る指示薬の有利な点があるのみならず０．０１ ｐｐｍ
の程度の水素化物ガスの最も僅少な景の検出に特に使用
できる。この溶液で含浸した指示薬紙は強烈な太陽光線
ですら色変化なく残っている。水素化物ガスの存在下で
白から灰色への著しい対照的色変化はまた最も少い検出
量でも明りように見分けられる。
さらに感度を向上させるためにはグリコールとしてテト
ラエチレングリコールを使用することが有利であるとわ
かった。
ラエチレングリコールを使用することが有利であるとわ
かった。
本発明に適する含浸溶液の製造には
塩化パラジウム（ＩＩ ’＞ ０．５ ｇ
テトラエチレングリコール １Ｑｍｌをメタノー
ルに入れ１００ＷＬ／！にする。こうして得られた溶液
で例えば支持基板としてシリカゲルを持つかまたはなし
の指示薬紙に含浸せしめ板として水素化物ガスにさらす
。黄／オレンジから灰色に発生した変色の深さは当該有
害物質量に対する一つの尺度を与える。同じように良好
に比色定量の試験管用粒状シリカゲル充填剤をこの溶液
で含浸し水素化物ガスの検出に使用することができる。
テトラエチレングリコール １Ｑｍｌをメタノー
ルに入れ１００ＷＬ／！にする。こうして得られた溶液
で例えば支持基板としてシリカゲルを持つかまたはなし
の指示薬紙に含浸せしめ板として水素化物ガスにさらす
。黄／オレンジから灰色に発生した変色の深さは当該有
害物質量に対する一つの尺度を与える。同じように良好
に比色定量の試験管用粒状シリカゲル充填剤をこの溶液
で含浸し水素化物ガスの検出に使用することができる。
その際黄色／オレンジから灰色への変色帯域の長さは有
害物質濃度に対する尺度を与える。
害物質濃度に対する尺度を与える。
本発明にさらに適した含浸溶液は
塩化テトラアミンパラジウムの生成のためアンモニア５
ｍｌに 溶解した塩化パラジウム（Ｉｔ） ０．５９テトラ
エチレンクリコール ｉＱｍＡ’をメタノールに
入れ１ｏｏｍｔにしだ液から構成する。この溶液で含浸
した指示薬は白色で、水素化物ガスの存在の際には灰色
に急変する。
ｍｌに 溶解した塩化パラジウム（Ｉｔ） ０．５９テトラ
エチレンクリコール ｉＱｍＡ’をメタノールに
入れ１ｏｏｍｔにしだ液から構成する。この溶液で含浸
した指示薬は白色で、水素化物ガスの存在の際には灰色
に急変する。
こうして得だ溶液で指示薬支持体、例えば指示薬紙また
は粒状シリカゲル充積剤を含浸し水素化物ガスにさらす
。
は粒状シリカゲル充積剤を含浸し水素化物ガスにさらす
。
板状の支持体に適用した本発明の実施例を模式図に示し
、次に詳細に説明する： 第１図には水素化物ガスのだめの試験器具の断面を示し
、本器具は円形状の断面の板支持体１で試験板として構
成されている。その上に円板状の、含浸された指示薬紙
２が置かれ固定縁３で板支持体１の上に保持されている
。リング状固定縁３は板間口部４を開放せしめ、それを
介して検出すべき水素化物ガスが指示薬紙２への通路を
持つ。そこで紙に含浸された検出溶液と反応して変色し
、その深さは標準色と比較することにより露出時間中の
総量の尺度である。
、次に詳細に説明する： 第１図には水素化物ガスのだめの試験器具の断面を示し
、本器具は円形状の断面の板支持体１で試験板として構
成されている。その上に円板状の、含浸された指示薬紙
２が置かれ固定縁３で板支持体１の上に保持されている
。リング状固定縁３は板間口部４を開放せしめ、それを
介して検出すべき水素化物ガスが指示薬紙２への通路を
持つ。そこで紙に含浸された検出溶液と反応して変色し
、その深さは標準色と比較することにより露出時間中の
総量の尺度である。
含浸剤として溶解した塩化パラジウム（ＩＴ）または塩
化テトラアミンパラジウムを使用することができる。
化テトラアミンパラジウムを使用することができる。
第１図は本発明による実施例の試験器具の略示断面図で
ある。 １・・・支持体、２・・・指示薬紙、３・・・固定縁、
４・・・板間口部 ｌ・・・支持体 ２・・指示薬紙 ３・・・固定縁 ４・・・板間口部 手 続 補 正 書（自発） 平成２ 年１１ 月
ある。 １・・・支持体、２・・・指示薬紙、３・・・固定縁、
４・・・板間口部 ｌ・・・支持体 ２・・指示薬紙 ３・・・固定縁 ４・・・板間口部 手 続 補 正 書（自発） 平成２ 年１１ 月
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、グリコールおよび塩からなる溶液を指示薬として含
浸された支持体上で水素化物ガスを比色定量的に検出す
る試験−および測定器において、含浸剤としてグリコー
ルの他に塩としてなお塩化パラジウム（II）だけが溶解
して存在することを特徴とする支持体上の水素化物ガス
を比色定量的に検出する試験−および測定器。 ２、グリコールおよび塩からなる溶液を指示薬として含
浸された支持体上で水素化物を比色定量的に検出する試
験−および測定器において、含浸剤としてグリコールの
他になお塩として塩化テトラアミンパラジウムだけが溶
解して存在することを特徴とする支持体上の水素化物ガ
スを比色定量的に検出する試験−および測定器。 ３、グリコールとしてテトラエチレングリコールを使用
する請求項１または２記載−および測定器。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3931563 | 1989-09-22 | ||
| DE3931563.0 | 1989-09-22 | ||
| DE4020753A DE4020753A1 (de) | 1989-09-22 | 1990-06-29 | Kolorimetrisches pruef- und messgeraet fuer hydridgas |
| DE4020753.6 | 1990-06-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03131754A true JPH03131754A (ja) | 1991-06-05 |
| JPH0679022B2 JPH0679022B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=25885397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252035A Expired - Lifetime JPH0679022B2 (ja) | 1989-09-22 | 1990-09-25 | 支持体上の水素化物ガスを比色定量的に検出する試験‐および測定器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5075081A (ja) |
| JP (1) | JPH0679022B2 (ja) |
| DE (1) | DE4020753A1 (ja) |
| FR (1) | FR2652418B1 (ja) |
| IT (1) | IT1241789B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4121633C2 (de) * | 1991-06-29 | 1998-09-17 | Draegerwerk Ag | Kolorimetrisches Prüf- und Meßgerät für Gase |
| CN110776022A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-02-11 | 励福(江门)环保科技股份有限公司 | 一种二氯四氨钯固体结晶的制备方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5125486A (ja) * | 1974-07-24 | 1976-03-02 | Egon Shuuraa Kaato | |
| US4115067A (en) * | 1975-09-29 | 1978-09-19 | Combustion Equipment Associates Inc. | Pollution monitoring apparatus |
| GB1600618A (en) * | 1977-12-12 | 1981-10-21 | Neotronics Ltd | Colorimetric detection of carbon monoxide in a given environment |
| US4420567A (en) * | 1981-10-22 | 1983-12-13 | Mda Scientific, Inc. | Hydride gas detecting tape |
| JPS61296268A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Nippon Paionikusu Kk | 検知剤 |
| JPS6222062A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-30 | Nippon Paionikusu Kk | 検知剤 |
| JPH0222062A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
-
1990
- 1990-06-29 DE DE4020753A patent/DE4020753A1/de active Granted
- 1990-09-07 IT IT9486A patent/IT1241789B/it active IP Right Grant
- 1990-09-19 US US07/584,140 patent/US5075081A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-21 FR FR9011902A patent/FR2652418B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-25 JP JP2252035A patent/JPH0679022B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT9009486A0 (it) | 1990-09-07 |
| DE4020753A1 (de) | 1991-04-04 |
| IT1241789B (it) | 1994-02-01 |
| FR2652418A1 (fr) | 1991-03-29 |
| US5075081A (en) | 1991-12-24 |
| JPH0679022B2 (ja) | 1994-10-05 |
| FR2652418B1 (fr) | 1993-07-02 |
| IT9009486A1 (it) | 1991-03-23 |
| DE4020753C2 (ja) | 1992-08-20 |
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