JPH03129894A - Flexible printed wiring board and manufacture thereof - Google Patents

Flexible printed wiring board and manufacture thereof

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JPH03129894A
JPH03129894A JP26972389A JP26972389A JPH03129894A JP H03129894 A JPH03129894 A JP H03129894A JP 26972389 A JP26972389 A JP 26972389A JP 26972389 A JP26972389 A JP 26972389A JP H03129894 A JPH03129894 A JP H03129894A
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JP
Japan
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wiring board
layer
shield layer
insulating film
printed wiring
Prior art date
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JP26972389A
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Japanese (ja)
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Koji Hara
浩二 原
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0216Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference
    • H05K1/0218Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference by printed shielding conductors, ground planes or power plane
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/14Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using spraying techniques to apply the conductive material, e.g. vapour evaporation
    • H05K3/146By vapour deposition
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/386Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive

Abstract

PURPOSE:To obtain a shielding layer which is excellent enough in shielding effect, flexibility, and hard to separate by a method wherein an intermediate adhesive layer is provided between the shielding layer formed through an evaporation method, a sputtering method, or an iron plating method and an insulating film. CONSTITUTION:A flexible printed wiring board A is formed in such a manner that a conductor circuit 4 is formed on a base film 6 through the intermediary of an adhesive layer 5, an insulating layer 3 is laminated on the conductor circuit 4 through the intermediary of an adhesive layer 5', and a shielding layer 1 formed through an evaporation method, a sputtering method, or an ion plating method is laminated on the insulating film 3 through the intermediary of an intermediate adhesive layer 2. By this setup, the shielding layer 1 is firmly bonded to the insulating film 3, hardly separated from it, and possessed of an enough shielding effect even if the layer 1 is thin. Moreover, as the shielding layer 1 is thin, a flexible printed wiring board is prevented from deteriorating in flexibility.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、電子機器等に好適に使用されるシ−ルド付
きのフレキシブルプリント配線板およびその製造方法に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a shielded flexible printed wiring board suitable for use in electronic equipment, etc., and a method for manufacturing the same.

〈従来の技術及び発明が解決しようとする課題〉フレキ
シブルプリント配線板は、通常の電線や硬質基板に比べ
て、小型軽量化、配線レイアウトの単純化、配線作業の
簡素化、回路特性および信頼性の向上等が可能であるこ
とから、電子卓上計算機、電話機、写真機の内部配線、
自動車の配線パネル等に広く使用されている。
<Prior art and problems to be solved by the invention> Flexible printed wiring boards are smaller and lighter, have simpler wiring layouts, simpler wiring work, and have better circuit characteristics and reliability than ordinary electric wires and rigid boards. Because it is possible to improve the internal wiring of electronic desk calculators, telephones, and camera cameras,
Widely used in automotive wiring panels, etc.

上記フレキシブルプリント配線板の製造においては、可
撓性を有する絶縁フィルムからなるベースフィルムの片
面または両面に、ベース用接着剤を介して圧延銅箔また
は電解銅箔を積層する。そして、エツチングにより導体
回路を作製し、さらに上記導体回路を保護するため、表
面に絶縁フィルムを積層する。
In manufacturing the above-mentioned flexible printed wiring board, rolled copper foil or electrolytic copper foil is laminated on one or both sides of a base film made of a flexible insulating film via a base adhesive. Then, a conductor circuit is produced by etching, and an insulating film is laminated on the surface to protect the conductor circuit.

また、フレキシブルプリント配線板の電磁シールド性を
高めるために、上記絶縁フィルム上に銅、ニッケル、ア
ルミニウム等からなるシールド層を形成することも行わ
れている。
Furthermore, in order to improve the electromagnetic shielding properties of the flexible printed wiring board, a shield layer made of copper, nickel, aluminum, etc. is formed on the insulating film.

かかるシールド層は、導電性塗料の塗布、金属箔の積層
、金属蒸着法、金属メツキ法等の方法により形成されて
いた。
Such shield layers have been formed by methods such as applying conductive paint, laminating metal foil, metal vapor deposition, and metal plating.

導電性塗料を使用した場合、シールド層に十分なシール
ド性能を付与するためには、シールド層の厚さを30μ
m以上とする必要がある。
When using conductive paint, the thickness of the shield layer must be 30 μm in order to provide sufficient shielding performance to the shield layer.
It is necessary to make it more than m.

しかし、シールド層の厚さを30陣以上とすると、フレ
キシブルプリント配線板の可撓性を損ない、折り曲げる
ことができなくなるという問題があった。また、導電性
塗料を塗布することにより形成したシールド層は、絶縁
フィルムに対する貼着力が弱く、絶縁フィルムから剥離
しやすい。さらに、経時的にシールド性能が劣化すると
いう問題もあった。
However, when the thickness of the shield layer is 30 lines or more, there is a problem that the flexibility of the flexible printed wiring board is impaired and it becomes impossible to bend the board. Further, the shield layer formed by applying a conductive paint has a weak adhesion force to the insulating film, and is easily peeled off from the insulating film. Furthermore, there was also the problem that the shielding performance deteriorated over time.

また、金属箔を使用した場合、シールド層に十分なシー
ルド性能を付与するためには、シールド層の厚さを25
−以上とする必要がある。
In addition, when using metal foil, in order to give the shield layer sufficient shielding performance, the thickness of the shield layer must be 25 mm.
- Must be greater than or equal to

しかし、シールド層の厚さが25//1以上であれば、
フレキシブルプリント配線板の可撓性を損ない、折り曲
げることができなくなるという問題があった。特に、金
属箔の巻き付は方、貼り方によりシールド性能がばらつ
くという問題があった。
However, if the thickness of the shield layer is 25//1 or more,
There was a problem in that the flexibility of the flexible printed wiring board was impaired and it became impossible to bend it. In particular, there was a problem in that the shielding performance varied depending on how the metal foil was wrapped and how it was attached.

金属蒸着法を使用した場合、シールド層に十分なシール
ド性能を付与するには、シールド層の厚さを0.5〜1
(1mとすればよく、シールド層によりフレキシブルプ
リント配線板の可撓性が損なわれる虞れはない。
When using the metal vapor deposition method, the thickness of the shield layer should be 0.5 to 1
(The length may be 1 m, and there is no risk that the flexibility of the flexible printed wiring board will be impaired by the shield layer.

しかし、該シールド層は、絶縁フィルムに対する接着力
が弱く、剥離しやすいという問題があった。
However, the shield layer has a problem in that it has a weak adhesive force to the insulating film and is easily peeled off.

金属メツキ法を使用した場合、シールド層に十分なシー
ルド性能を付与するには、シールド層の厚さを0,5μ
m以上とすればよく、シールド層によりフレキシブルプ
リント配線板の可撓性が損なわれる虞れはない。
When using the metal plating method, the thickness of the shield layer must be 0.5 μm in order to provide sufficient shielding performance to the shield layer.
m or more, and there is no risk that the flexibility of the flexible printed wiring board will be impaired by the shield layer.

しかし、絶縁フィルムへのメツキの付着性を改善するた
めには、絶縁フィルム表面にエツチング等の表面処理を
施す必要があり、使用できる絶縁フィルムがポリプロピ
レン等に限定されるという問題があった。
However, in order to improve the adhesion of plating to the insulating film, it is necessary to perform a surface treatment such as etching on the surface of the insulating film, and there is a problem that the usable insulating film is limited to polypropylene or the like.

この発明は、上記問題に鑑みてなされたものであって、
十分なシールド効果を示すと共に、十分な可撓性を有し
、しかも絶縁フィルムから剥離しにくいシールド層を有
するフレキシブルプリント配線板およびその製造方法を
提供することを目的とする。
This invention was made in view of the above problems, and
It is an object of the present invention to provide a flexible printed wiring board having a shield layer that exhibits a sufficient shielding effect, has sufficient flexibility, and is difficult to peel off from an insulating film, and a method for manufacturing the same.

く課題を解決するための手段および作用〉上記問題を解
決するためのこの発明のフレキシブルプリント配線板は
、シールド層と絶縁フィルムとの間に中間接着層が設け
られており、シールド層が蒸着法、スパッタリング法ま
たはイオンプレーティング法により形成されたものであ
ることを特徴とする。
Means and Effects for Solving the Problems> In order to solve the above problems, the flexible printed wiring board of the present invention is provided with an intermediate adhesive layer between the shield layer and the insulating film, and the shield layer is formed by vapor deposition. , is characterized in that it is formed by a sputtering method or an ion plating method.

上記フレキシブルプリント配線板においては、シールド
層と絶縁フィルムとの間に中間接着層が設けられており
、この中間接着層がシールド層と絶縁フィルムとの両方
に強固に接着するので、シールド層を絶縁フィルムに対
して強固に接着することができる。
In the above flexible printed wiring board, an intermediate adhesive layer is provided between the shield layer and the insulating film, and this intermediate adhesive layer firmly adheres to both the shield layer and the insulating film, so that the shield layer can be insulated. It can firmly adhere to the film.

また、上記シールド層は、蒸着法、スパッタリフグ法ま
たはイオンプレーティング法により形成されたものであ
るので、シールド層に十分なシールド効果を付与するに
は、その厚さを0.5〜10μmとすればよく、該シー
ルド層によりフレキシブルプリント配線板の可撓性が損
なわれる虞れはない。上記シールド層の厚みが0゜5I
#未満の場合は十分なシールド性能を得られず、また1
0ρより大きい場合は、フレキシブル配線板の可撓性を
損なう虞れがある。
In addition, since the above-mentioned shield layer is formed by a vapor deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, in order to provide a sufficient shielding effect to the shield layer, the thickness should be 0.5 to 10 μm. If so, there is no risk that the flexibility of the flexible printed wiring board will be impaired by the shield layer. The thickness of the above shield layer is 0°5I
If it is less than #, sufficient shielding performance cannot be obtained, and
If it is larger than 0ρ, there is a risk that the flexibility of the flexible wiring board may be impaired.

なお、上記蒸着法は金属の蒸気を目的表面上に付着させ
、金属層を形成するものであり、スパッタリング法は金
属粒子を目的表面に衝突させ、金属層を形成するもので
あり、イオンプレーティング法は金属イオンの雰囲気下
でその金属を目的表面に蒸着させるものである。
The above vapor deposition method deposits metal vapor onto the target surface to form a metal layer, while the sputtering method collides metal particles with the target surface to form a metal layer, and ion plating The method involves depositing the metal onto the target surface in an atmosphere of metal ions.

第1図は、本発明にかかるフレキシブルプリント配線板
Aの一例を示す断面図である。このフレキシブルプリン
ト配線板Aはベースフィルム6上に接着剤層5を介して
導体回路4が形成されており、導体回路4上には、接着
剤層5″により絶縁フィルム3が積層されている。さら
に、絶縁フィルム3上には中間接着層2を介してシール
ド層1が積層されている。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a flexible printed wiring board A according to the present invention. In this flexible printed wiring board A, a conductor circuit 4 is formed on a base film 6 via an adhesive layer 5, and an insulating film 3 is laminated on the conductor circuit 4 with an adhesive layer 5''. Further, a shield layer 1 is laminated on the insulating film 3 with an intermediate adhesive layer 2 interposed therebetween.

シールド層1としては、銀、銅、アルミニウム、ニッケ
ルまたはこれら金属の複合系(例えば、積層体、合金等
)からなるものが例示できる。
Examples of the shield layer 1 include those made of silver, copper, aluminum, nickel, or a composite system (for example, a laminate, an alloy, etc.) of these metals.

絶縁フィルム3としては、ポリエステル系、ポリイミド
系、ガラスエポキシ系、ガラステフロン系、ポリアミド
イミド系、ポリ塩化ビニル系等の可撓性を有する従来公
知のフィルムが例示できる。
Examples of the insulating film 3 include conventionally known flexible films such as polyester, polyimide, glass epoxy, glass Teflon, polyamideimide, and polyvinyl chloride.

上記中間接着層2としては、ポリジメチルシロキサン、
ポリジエチルシロキサン、ポリメチルエチルシロキサン
等のポリジアルキルシロキサンまたはポリアクリロニト
リル等の上記シールド層1と絶縁フィルム3との両方に
対して高い接着性を有する化合物からなるものが例示で
きる。
As the intermediate adhesive layer 2, polydimethylsiloxane,
Examples include polydialkylsiloxanes such as polydiethylsiloxane and polymethylethylsiloxane, or compounds having high adhesiveness to both the shield layer 1 and the insulating film 3, such as polyacrylonitrile.

上記導体回路4を構成する金属材料としては、銅、銀、
ニッケル、アルミニウム、またはこれら金属の複合系が
挙げられる。導体回路の厚みは従来と同程度であれ(f
良く、通常、18〜75I#の範囲内であることが好ま
しい。
Metal materials constituting the conductor circuit 4 include copper, silver,
Examples include nickel, aluminum, or a composite system of these metals. The thickness of the conductor circuit should be the same as the conventional one (f
Generally, it is preferably within the range of 18 to 75 I#.

上記ベースフィルム6は、上記絶縁フィルム3と同質材
料を用いることができ、その厚みは通常、25〜125
罪の範囲内であることが好ましい。
The base film 6 can be made of the same material as the insulating film 3, and its thickness is usually 25 to 125 mm.
Preferably within the range of sin.

上記接着剤層5.5゛を構成する接着剤としては、フレ
キシブルプリント配線板Aの可撓性を妨げず、且つ熱応
力に強いウレタン系、ポリエステル系、エポキシ系等の
接着剤を用いることができる。
As the adhesive constituting the adhesive layer 5.5'', it is possible to use a urethane-based, polyester-based, or epoxy-based adhesive that does not hinder the flexibility of the flexible printed wiring board A and is resistant to thermal stress. can.

また、本発明のフレキシブルプリント配線板Aにおいて
は、シールド層1の腐蝕等を防止するため、シールド層
1上に、絶縁フィルム3と同様の素材からなる保護フィ
ルムを積層することも可能である。
Furthermore, in the flexible printed wiring board A of the present invention, a protective film made of the same material as the insulating film 3 may be laminated on the shield layer 1 in order to prevent corrosion of the shield layer 1.

本発明のフレキシブルプリント配線板Aの製造方法は、
上記絶縁フィルム3上にプラズマ重合法により中間接着
層2を形成した後、同一チャンバー内で上記中間接着層
2上にシールド層1を蒸着法、スパッタリング法または
イオンプレート法により形成することを特徴とする。
The method for manufacturing the flexible printed wiring board A of the present invention includes:
After forming the intermediate adhesive layer 2 on the insulating film 3 by a plasma polymerization method, the shield layer 1 is formed on the intermediate adhesive layer 2 in the same chamber by a vapor deposition method, a sputtering method, or an ion plate method. do.

上記プラズマ重合法は、化合物のプラズマを目的表面に
接触させ、該化合物の層を形成するものである。
The plasma polymerization method described above involves bringing plasma of a compound into contact with a target surface to form a layer of the compound.

このフレキシブルプリント配線板Aの製造方法によれば
、中間接着層はプラズマ重合法により形成され、シール
ド層は蒸着法、スパッタリング法またはイオンプレート
法により形成される。プラズマ重合法と蒸着法、スパッ
タリング法およびイオンプレート法とは同一のチャンバ
ー内で行うことができるので、同一チャンバー内で中間
接着層2とシールド層1とを連続的に形成することがで
きる。
According to this method of manufacturing flexible printed wiring board A, the intermediate adhesive layer is formed by plasma polymerization, and the shield layer is formed by vapor deposition, sputtering, or ion plate method. Since the plasma polymerization method, the vapor deposition method, the sputtering method, and the ion plate method can be performed in the same chamber, the intermediate adhesive layer 2 and the shield layer 1 can be continuously formed in the same chamber.

また、導体回路4の形成方法としては、ベースフィルム
6の表面に積層された上記金属材料からなる薄膜の不要
部分をエツチング除去するいわゆるサブストラッテイブ
法、ベースフィルム6表面の導体回路4として必要な部
分にのみ金属材料を堆積させるアディティブ法、サブス
トラッテイブ法とアディティブ法とを組み合わせたセミ
ストラッテイブ法等の従来公知の方法を適用することが
できる。
The method for forming the conductor circuit 4 includes a so-called substrative method in which unnecessary parts of the thin film made of the metal material laminated on the surface of the base film 6 are removed by etching, and a method for forming the conductor circuit 4 on the surface of the base film 6. Conventionally known methods can be applied, such as an additive method in which a metal material is deposited only on a portion, and a semi-stratative method in which a substrative method and an additive method are combined.

なお、この発明にかかるフレキシブルプリント配線板は
、上記実施例に限定されるものではない。
Note that the flexible printed wiring board according to the present invention is not limited to the above embodiments.

例えば、第2図に示されるフレキシブルプリント配線板
A1のように、ベースフィルム6の導体回路4が形成さ
れた面の反対側の面に、前述の場合と同様の方法により
、中間接着層21を設け、該中間接着層21の上にシー
ルド層11を設けたものとすることも可能である。
For example, as in the flexible printed wiring board A1 shown in FIG. 2, an intermediate adhesive layer 21 is formed on the surface of the base film 6 opposite to the surface on which the conductor circuit 4 is formed, by a method similar to that described above. It is also possible to provide a shield layer 11 on the intermediate adhesive layer 21.

このフレキシブルプリント配線板A1は、導体回路4の
上下両側にシールド層1.11が設けられているので、
特に良好なシールド性能を有する。
In this flexible printed wiring board A1, shield layers 1.11 are provided on both the upper and lower sides of the conductor circuit 4, so that
It has particularly good shielding performance.

〈実施例〉 実施例1 ベースフィルムである厚さ25I#、幅2a*、長さ1
831の長尺帯状のポリイミドフィルムの表面に、厚さ
3’llの銅箔を、ウレタン系接着剤からなる厚さ25
μ麿の接着剤層を介して接着した。
<Example> Example 1 Base film thickness 25I#, width 2a*, length 1
A 3'll thick copper foil was placed on the surface of a long belt-shaped polyimide film of 831, and a 25' thick layer of urethane adhesive was applied.
It was adhered through the μmaro adhesive layer.

次いで、この銅箔をエツチングしてベースフィルムの長
手方向に平行に、線幅0.5mmの導体回路2本と線幅
0.1mmの導体回路1本とを形成した。
Next, this copper foil was etched to form two conductor circuits with a line width of 0.5 mm and one conductor circuit with a line width of 0.1 mm parallel to the longitudinal direction of the base film.

そして、この導体回路上にウレタン系接着剤からなる厚
さ25μmの接着剤層を介して、厚さ25μmのポリイ
ミドフィルムを絶縁フィルムとして積層した。
Then, a 25 μm thick polyimide film was laminated as an insulating film on this conductor circuit via a 25 μm thick adhesive layer made of a urethane adhesive.

次いで、距離を30mmに設定したプラズマ発生装置内
に上記積層体を配置し、20w1/分の流量の窒素ガス
と共にアクリロニトリルの蒸気を流入させつつ装置内の
圧力を0.4torrに調整した。そして、電極間電力
を20Wとして、プラズマ重合法により、絶縁フィルム
上に厚さ2μmのポリアクリロニトリルからなる中間接
着層を形成した。
Next, the above laminate was placed in a plasma generator with a distance of 30 mm, and the pressure inside the device was adjusted to 0.4 torr while acrylonitrile vapor was introduced together with nitrogen gas at a flow rate of 20 w1/min. Then, an intermediate adhesive layer made of polyacrylonitrile having a thickness of 2 μm was formed on the insulating film by plasma polymerization using an interelectrode power of 20 W.

さらに、同一のプラズマ発生装置に銅の蒸気を流入させ
、電極間電圧を60Vとし、蒸着法により中間接着層上
に厚さ5μmの銅からなるシールド層を形成した。
Furthermore, copper vapor was flowed into the same plasma generator, the voltage between the electrodes was set to 60 V, and a shield layer made of copper with a thickness of 5 μm was formed on the intermediate adhesive layer by vapor deposition.

そして、上記シールド層上に、ウレタン系接着剤を塗布
した厚さ25−のポリイミドフィルムをプレス圧着する
ことにより積層し、フレキシブルプリント配線板を得た
Then, a 25-thick polyimide film coated with a urethane adhesive was laminated on the shield layer by press-bonding to obtain a flexible printed wiring board.

実施例2 実施例1と同様にして、厚さ3坤のポリジメチルシロキ
サンからなる中間接着層を形成し、該中間接着層上に厚
さ5μmの銅からなるシールド層を形成した。
Example 2 In the same manner as in Example 1, an intermediate adhesive layer made of polydimethylsiloxane with a thickness of 3 μm was formed, and a shield layer made of copper with a thickness of 5 μm was formed on the intermediate adhesive layer.

そして、上記シールド層上に、ウレタン系接着剤を塗布
した厚さ25μmのポリイミドフィルムをプレス圧着す
ることにより積層し、フレキシブルプリント配線板を得
た。
Then, a 25 μm thick polyimide film coated with a urethane adhesive was laminated on the shield layer by press-bonding, to obtain a flexible printed wiring board.

実施例3 実施例1と同様にして、厚さ4岸のポリジメチルシロキ
サンからなる中間接着層を形成し、該中間接着層上に厚
さ5μmのアルミニウムからなるシールド層を形成した
Example 3 In the same manner as in Example 1, an intermediate adhesive layer made of polydimethylsiloxane with a thickness of four layers was formed, and a shield layer made of aluminum with a thickness of 5 μm was formed on the intermediate adhesive layer.

そして、上記シールド層上に、ウレタン系接着剤を塗布
した厚さ25μmのポリイミドフィルムをプレス圧着す
ることにより積層し、フレキシブルプリント配線板を得
た。
Then, a 25 μm thick polyimide film coated with a urethane adhesive was laminated on the shield layer by press-bonding, to obtain a flexible printed wiring board.

比較例1 絶縁フィルム上に中間接着層を形成することなく、厚さ
51mの銅からなるシールド層を形成したことのほかは
、実施例1と同様にして、フレキシブルプリント配線板
を得た。
Comparative Example 1 A flexible printed wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, except that a shield layer made of copper with a thickness of 51 m was formed without forming an intermediate adhesive layer on the insulating film.

比較例2 絶縁フィルム上に中間接着層およびシールド層を形成す
ることに代えて、絶縁フィルム上にAgベーストを30
−の厚みで塗布し、150℃で30分乾燥させたほかは
実施例1と同様にしてフレキシブルプリント配線板を得
た。
Comparative Example 2 Instead of forming an intermediate adhesive layer and a shield layer on an insulating film, a 30% Ag base was formed on the insulating film.
A flexible printed wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, except that the coating was applied to a thickness of - and dried at 150° C. for 30 minutes.

比較例3 絶縁フィルム上に中間接着層およびシールド層を形成す
ることに代えて、絶縁フィルム上に粘着剤付きの厚さ5
0μ膳の鉄箔を積層したほかは実施例1と同様にしてフ
レキシブルプリント配線板を得た。
Comparative Example 3 Instead of forming an intermediate adhesive layer and a shield layer on the insulating film, a 5-thickness adhesive layer was formed on the insulating film.
A flexible printed wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, except that 0μ iron foil was laminated.

評価試験 実施例1〜4および比較例1〜2で得られたフレキシブ
ルプリント配線板のそれぞれについて、■直径10mm
の曲げ時におけるシールド層にクラツク発生の有無 ■シールド層の絶縁フィルムに対する接着力■常温およ
び80℃雰囲気下における電磁波に対するシールド効果 を調べた。
For each of the flexible printed wiring boards obtained in Evaluation Test Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 2,
The presence or absence of cracks in the shield layer during bending was investigated. ■ Adhesion of the shield layer to the insulating film. ■ Shielding effect against electromagnetic waves at room temperature and in an atmosphere of 80° C. was investigated.

なお、■の評価試験については、T形剥離試験により評
価した。
Note that the evaluation test (■) was evaluated by a T-peel test.

また、■の評価試験については、スペクトラムアナライ
ザーを用いて測定した3 0 M Hzの電磁波の減衰
率で評価した。
In addition, regarding the evaluation test (2), evaluation was made using the attenuation rate of 30 MHz electromagnetic waves measured using a spectrum analyzer.

その結果を第1表に示す。The results are shown in Table 1.

(以下余白) 第1表 第1表より、シールド層と絶縁フィルムとの間に中間接
着層を設けた実施例1〜3のフレキシブルプリント配線
板は、絶縁フィルム上に直接シールド層を設けた比較例
1のフレキシブルプリント配線板に比べて、シールド層
が絶縁フィルムに対して強固に接着していることがわか
る。また、比較例2〜3で得られたものに比べて、シー
ルド層の厚さが薄いにもかかわらず、優れたシールド効
果を示し、高温環境下でも優れたシールド効果を示すこ
とがわかる。さらに、可撓性が高いこともわかる。
(Margin below) Table 1 From Table 1, the flexible printed wiring boards of Examples 1 to 3 in which an intermediate adhesive layer was provided between the shield layer and the insulating film were compared with those in which the shield layer was provided directly on the insulating film. It can be seen that, compared to the flexible printed wiring board of Example 1, the shield layer adheres more firmly to the insulating film. Moreover, it can be seen that, compared to those obtained in Comparative Examples 2 and 3, despite the thickness of the shield layer being thinner, an excellent shielding effect was exhibited, and an excellent shielding effect was exhibited even in a high-temperature environment. Furthermore, it can be seen that it has high flexibility.

〈発明の効果〉 以上のようにこの発明のフレキシブルプリント配線板は
、シールド層と絶縁フィルムとの間に中間接着剤層が設
けられているので、シールド層は絶縁フィルムに対して
強固に接着しており、剥離する虞れはない。また、シー
ルド層は蒸着法、スパッタリング法またはイオンプレー
ティング法により形成されたものであるので、薄いシー
ルド層で十分なシールド効果を得ることができる。さら
に、シールド層が薄いため、可撓性が損なわれる虞れが
ないという効果を奏する。
<Effects of the Invention> As described above, in the flexible printed wiring board of the present invention, since the intermediate adhesive layer is provided between the shield layer and the insulating film, the shield layer is firmly adhered to the insulating film. There is no risk of it peeling off. Further, since the shield layer is formed by a vapor deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, a sufficient shielding effect can be obtained with a thin shield layer. Furthermore, since the shield layer is thin, there is no risk of loss of flexibility.

また、この発明のフレキシブルプリント配線板の製造方
法よれば、中間接着層をプラズマ重合法により形成し、
シールド層を蒸着法、スパッタリング法またはイオンプ
レーティング法により形成するため、同一チャンバー内
で連続的に中間接着層とシールド層とを形成することが
でき、上記フレキシブルプリント配線板を容易に製造す
ることができるという効果を奏する。
Further, according to the method for manufacturing a flexible printed wiring board of the present invention, the intermediate adhesive layer is formed by a plasma polymerization method,
Since the shield layer is formed by a vapor deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, the intermediate adhesive layer and the shield layer can be formed continuously in the same chamber, and the above flexible printed wiring board can be easily manufactured. It has the effect of being able to.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明のフレキシブルプリント配線板の一実
施例を示す断面図であり、第2図は別の実施例を示す断
面図である。 A、Al・・・フレキシブルプリント配線板、1.11
・・・シールド層、2.21・・・中間接着層、3・・
・絶縁フィルム、4・・・導体回路。 A、Al・・・フレキシブルプリント配線板1,11・
・・シールド層 2.21・・・中間接着層 3・・・絶縁フィルム 4・・・導体回路 第 第
FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of the flexible printed wiring board of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment. A, Al...Flexible printed wiring board, 1.11
... Shield layer, 2.21 ... Intermediate adhesive layer, 3...
- Insulating film, 4... conductor circuit. A, Al...Flexible printed wiring board 1, 11.
...Shield layer 2.21...Intermediate adhesive layer 3...Insulating film 4...Conductor circuit No.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.ベースフィルム上に導体薄膜からなる 導体回路と絶縁フィルムとシールド層と がこの順に形成されたフレキシブルプリ ント配線板であって、 上記シールド層と絶縁フィルムとの間 に中間接着層が設けられており、シール ド層が蒸着法、スパッタリング法または イオンプレーティング法により形成され たものであることを特徴とするフレキシ ブルプリント配線板。1. Consists of a conductive thin film on a base film Conductor circuit, insulating film, shield layer and are formed in this order. A component wiring board, Between the above shield layer and insulating film An intermediate adhesive layer is provided to seal The layer is formed by vapor deposition, sputtering or Formed by ion plating method flexi, which is characterized by Bull printed wiring board. 2.上記中間接着層が、ポリアクリロニト リルまたはポリジアルキルシロキサンか らなる請求項1記載のフレキシブルプリ ント配線板。2. The intermediate adhesive layer is made of polyacrylonite. Lyle or polydialkylsiloxane? The flexible preform according to claim 1, consisting of component wiring board. 3.上記シールド層が、銀、銅、アルミニ ウム、ニッケルまたはこれらの複合系か らなる請求項1記載のフレキシブルプリ ント配線板。3. If the above shield layer is silver, copper, or aluminum Is it aluminum, nickel or a combination of these? The flexible preform according to claim 1, consisting of component wiring board. 4.上記シールド層の厚みが、0.5〜 10μmである請求項1記載のフレキシブ ルプリント配線板。4. The thickness of the above shield layer is 0.5~ The flexible according to claim 1, which has a diameter of 10 μm. printed wiring board. 5.ベースフィルム上に導体薄膜からなる 導体回路と絶縁フィルムとシールド層と がこの順に形成されたフレキシブルプリ ント配線板の製造方法であって、 上記絶縁フィルム上にプラズマ重合法 により中間接着層を形成した後、同一チ ャンバー内で上記中間接着層上にシール ド層を蒸着法、スパッタリング法または イオンプレーティング法により形成する ことを特徴とするフレキシブルプリント 配線板の製造方法。5. Consists of a conductive thin film on a base film Conductor circuit, insulating film, shield layer and are formed in this order. A method for manufacturing a component wiring board, the method comprising: Plasma polymerization method on the above insulation film After forming the intermediate adhesive layer by Seal onto the intermediate adhesive layer above in the chamber Deposit layer by vapor deposition method, sputtering method or Formed by ion plating method Flexible printing characterized by Method of manufacturing wiring boards.
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