JPH03128934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03128934U JPH03128934U JP3756690U JP3756690U JPH03128934U JP H03128934 U JPH03128934 U JP H03128934U JP 3756690 U JP3756690 U JP 3756690U JP 3756690 U JP3756690 U JP 3756690U JP H03128934 U JPH03128934 U JP H03128934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching chamber
- power supply
- oscillation
- luminescence
- detector
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、実施例の構成図、第２図は、電気信
号とエツチング時間の関係図、第３図は、従来例
の概略図である。 １……マイクロ波プラズマエツチング装置、２
……エツチング室、３……磁場発生器、５……マ
イクロ波発振器、６……発振用電源、７……発光
検出器、８……電源制御器。
号とエツチング時間の関係図、第３図は、従来例
の概略図である。 １……マイクロ波プラズマエツチング装置、２
……エツチング室、３……磁場発生器、５……マ
イクロ波発振器、６……発振用電源、７……発光
検出器、８……電源制御器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エツチング室と、 前記エツチング室の周囲に設けた磁場発生器と
、 前記エツチング室に導波管を介して接続したマ
イクロ波発振器と、 前記マイクロ波発振器に接続した発振用電源と
により構成したマイクロ波プラズマエツチング装
置において、 前記エツチング室には、エツチング室内の発光
を検出するための発光検出器を設け、 前記発光検出器と前記発振用電源との間には、
発光検出器で得た信号に基づいて発振用電源の出
力を調節するための電源制御器を接続したことを
特徴とするマイクロ波プラズマエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3756690U JPH03128934U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3756690U JPH03128934U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03128934U true JPH03128934U (ja) | 1991-12-25 |
Family
ID=31544799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3756690U Pending JPH03128934U (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03128934U (ja) |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP3756690U patent/JPH03128934U/ja active Pending
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