JPH03122910A - タッチパネル用透明導電性フイルム - Google Patents
タッチパネル用透明導電性フイルムInfo
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- JPH03122910A JPH03122910A JP1259445A JP25944589A JPH03122910A JP H03122910 A JPH03122910 A JP H03122910A JP 1259445 A JP1259445 A JP 1259445A JP 25944589 A JP25944589 A JP 25944589A JP H03122910 A JPH03122910 A JP H03122910A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はタッチパネル用導電性フィルムに関するもので
あり、詳しくは、デイスプレィ画面上に直接、連続する
線をペン入力した場合のパターン認識を正確にすること
ができるタッチパネル用の透明導電性フィルムに関する
ものである。
あり、詳しくは、デイスプレィ画面上に直接、連続する
線をペン入力した場合のパターン認識を正確にすること
ができるタッチパネル用の透明導電性フィルムに関する
ものである。
［従来の技術Ｊ
タッチパネルは、コンピューター人力用のデイスプレィ
画面として用いられている。デイスプレィ画面をペンや
指などで押圧することにより、その位置をＸ−Ｙ座標と
して認識し、これをコンピューターに入力するが、その
場合、押圧位置を正確に読み取ることが重要である。
画面として用いられている。デイスプレィ画面をペンや
指などで押圧することにより、その位置をＸ−Ｙ座標と
して認識し、これをコンピューターに入力するが、その
場合、押圧位置を正確に読み取ることが重要である。
通常、タッチパネルの構成としては、アナログ式とマト
リックス式のものがある。アナログ式のタッチパネルは
、両端に電極を備えた二枚の透明導電性フィルムを対向
配置させ、上下の電極に交互に電圧を印加して、押圧さ
れた位置の電圧値をＸ−Ｙ座標の位置として検知するも
のである。また、マトリックス式のタッチパネルは、導
電層を短冊状にエツチングした二枚の透明導電性フィル
ムをマトリックス状に配列し、各々の電極により押圧さ
れた位置を検知するものである。
リックス式のものがある。アナログ式のタッチパネルは
、両端に電極を備えた二枚の透明導電性フィルムを対向
配置させ、上下の電極に交互に電圧を印加して、押圧さ
れた位置の電圧値をＸ−Ｙ座標の位置として検知するも
のである。また、マトリックス式のタッチパネルは、導
電層を短冊状にエツチングした二枚の透明導電性フィル
ムをマトリックス状に配列し、各々の電極により押圧さ
れた位置を検知するものである。
近年、デイスプレー画面上に、ペンにより字や図面及び
絵などを描き、これをコンピューターに入力したり、活
字に変換したり、また、プリントアウトしたりするＯＡ
機器が開発されている。このような機器に使用するタッ
チパネルとしては、デイスプレィ画面のタッチパネル上
で描かれた連続する線をパターン認識する必要があるた
め、アナログ式のものである必要がある。
絵などを描き、これをコンピューターに入力したり、活
字に変換したり、また、プリントアウトしたりするＯＡ
機器が開発されている。このような機器に使用するタッ
チパネルとしては、デイスプレィ画面のタッチパネル上
で描かれた連続する線をパターン認識する必要があるた
め、アナログ式のものである必要がある。
［発明が解決しようとする課題１
ところが、従来の透明導電性フィルムを利用して上述の
ようなアナログ式タッチパネルを作製した場合には、連
続する線を正確にパターン認識することが難しく、例え
ば、連続線の途中が部分的に脱落したり、直線の一部が
歪んだりすることがある。
ようなアナログ式タッチパネルを作製した場合には、連
続する線を正確にパターン認識することが難しく、例え
ば、連続線の途中が部分的に脱落したり、直線の一部が
歪んだりすることがある。
この主な原因は、用いる透明導電性フィルムの導電層表
面の抵抗が必ずしも均一ではないｔ：めど考えられる。
面の抵抗が必ずしも均一ではないｔ：めど考えられる。
要するに、アナログ式タッチパネルの場合、ペンで押圧
された位置を電極との間に生じた電圧により検出するが
、この際、押圧地点と電極との距離に応じた理論電圧を
基準とするため、導電層の表面抵抗分布が一定でないと
押圧位置の検出にズレが生じることとなる。したがって
、透明導電性フィルムの導電層表面の抵抗はできるだけ
均一なものが要求される。
された位置を電極との間に生じた電圧により検出するが
、この際、押圧地点と電極との距離に応じた理論電圧を
基準とするため、導電層の表面抵抗分布が一定でないと
押圧位置の検出にズレが生じることとなる。したがって
、透明導電性フィルムの導電層表面の抵抗はできるだけ
均一なものが要求される。
ところが、透明導電性フィルムはスパッタリング装置を
用いて、連続的に走行するフィルムに導電性金属類をス
パッタリングすることにより製造されるので、フィルム
の巻き取り方向及び幅方向に多少のムラが生じる。例え
ば、従来品のフィルムの場合、後述する導電層における
表面抵抗分布の直線性偏差の最大値は１％程度である。
用いて、連続的に走行するフィルムに導電性金属類をス
パッタリングすることにより製造されるので、フィルム
の巻き取り方向及び幅方向に多少のムラが生じる。例え
ば、従来品のフィルムの場合、後述する導電層における
表面抵抗分布の直線性偏差の最大値は１％程度である。
その他の用途に用いる場合には、表面抵抗分布の直線性
偏差が１％という値は十分に満足できる値であるが、ア
ナログ式タッチパネルに供する場合には、満足のいくも
のではなく不十分であった。
偏差が１％という値は十分に満足できる値であるが、ア
ナログ式タッチパネルに供する場合には、満足のいくも
のではなく不十分であった。
［課題を解決するための手段］
本発明者らは上記実情に鑑み、アナログ式タッチパネル
用として用いた場合、デイスプレィ画面上に指示された
内容を正確にパターン認識することのできる透明導電層
を持つフィルムを提供することを目的として種々検討し
た結果、導電層における表面抵抗分布の直線性の最大値
を一方向で０．３％以内、これと直角の方向で０．６％
以内に調節したフィルムの場合は、連続する線の途中が
脱落したり、直線の一部が歪んだりすることもなく、正
確なパターン認識が可能になることを見出し、本発明に
到達した。
用として用いた場合、デイスプレィ画面上に指示された
内容を正確にパターン認識することのできる透明導電層
を持つフィルムを提供することを目的として種々検討し
た結果、導電層における表面抵抗分布の直線性の最大値
を一方向で０．３％以内、これと直角の方向で０．６％
以内に調節したフィルムの場合は、連続する線の途中が
脱落したり、直線の一部が歪んだりすることもなく、正
確なパターン認識が可能になることを見出し、本発明に
到達した。
すなわち、本発明の要旨は、有機高分子フィルム基板上
に、透明導電層を設けた透明導電性フィルムにおいて、
導電層の表面抵抗分布が下記定義で示される直線性偏差
の最大値として、一端方向で０．３％以内、且つ、該方
向と直角方向で０．６％以内であることを特徴とするタ
ッチパネル用導電性フィルムに存する。
に、透明導電層を設けた透明導電性フィルムにおいて、
導電層の表面抵抗分布が下記定義で示される直線性偏差
の最大値として、一端方向で０．３％以内、且つ、該方
向と直角方向で０．６％以内であることを特徴とするタ
ッチパネル用導電性フィルムに存する。
直線性偏差（％）
導電性フィルムの両端に電極を設けて電圧を印加した場
合の直線方向の任意点における電圧の実測値と該点にお
ける理論電圧値の差を印加電圧で割った値に１００を乗
じたもの。
合の直線方向の任意点における電圧の実測値と該点にお
ける理論電圧値の差を印加電圧で割った値に１００を乗
じたもの。
以下、本発明につき詳細に説明する。
本発明の透明導電性フィルムにおいて、基板となる高分
子フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポ
リサルホン等の合成樹脂フィルムが使用できる。特に、
透明性、寸法安定性及び機械的強度の観点からポリエチ
レンテレフタレートフィルムが好ましい。高分子フィル
ムの厚みは、通常２０〜３０１ｍであり、好ましくは５
０〜１８０ｐｍである。
子フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポ
リサルホン等の合成樹脂フィルムが使用できる。特に、
透明性、寸法安定性及び機械的強度の観点からポリエチ
レンテレフタレートフィルムが好ましい。高分子フィル
ムの厚みは、通常２０〜３０１ｍであり、好ましくは５
０〜１８０ｐｍである。
透明導電層は、通常、酸化インジウム及びｌ又は酸化ス
ズからなり、特に酸化インジウムｌ酸化スズの重量比が
８０７２０〜９５１５であるものが好ましい。透明導電
層の厚さは、通常５０〜３０００人であり、透明導電層
の表面抵抗値は１０〜１０５９ノロ、可視光透過率（５
５０ｎｍ）は５０％以上好ましくは７０％であることが
好ましい。
ズからなり、特に酸化インジウムｌ酸化スズの重量比が
８０７２０〜９５１５であるものが好ましい。透明導電
層の厚さは、通常５０〜３０００人であり、透明導電層
の表面抵抗値は１０〜１０５９ノロ、可視光透過率（５
５０ｎｍ）は５０％以上好ましくは７０％であることが
好ましい。
透明導電層は、通常スパッタリング法により形成される
が、スパッタリング法とは減圧槽中に窒素、アルゴン等
の不活性ガスを封入し、該不活性ガスをイオン化してタ
ーゲットに照射し、ターゲットを原子または分子状態で
飛散させ、該蒸発したターゲット物質を基板表面に付着
させることにより成膜する方法であり、グロー放電スパ
ッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、イオン
ビームスパッタリング法等の方式がある。
が、スパッタリング法とは減圧槽中に窒素、アルゴン等
の不活性ガスを封入し、該不活性ガスをイオン化してタ
ーゲットに照射し、ターゲットを原子または分子状態で
飛散させ、該蒸発したターゲット物質を基板表面に付着
させることにより成膜する方法であり、グロー放電スパ
ッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、イオン
ビームスパッタリング法等の方式がある。
本発明においては、例えば、直流マグネトロンスパッタ
リング装置を用いる場合は、必要に応じて少量の酸素を
含有するアルゴン等の不活性ガス中において、５０〜１
５０’Ｃ，好ましくは７０〜１００°Ｃの雰囲気温度で
１０−’〜１σ２Ｔｏｒｒ、好ましくは１Ｏ−３Ｔｏｒ
ｒ程度の減圧下で実施することができる。
リング装置を用いる場合は、必要に応じて少量の酸素を
含有するアルゴン等の不活性ガス中において、５０〜１
５０’Ｃ，好ましくは７０〜１００°Ｃの雰囲気温度で
１０−’〜１σ２Ｔｏｒｒ、好ましくは１Ｏ−３Ｔｏｒ
ｒ程度の減圧下で実施することができる。
ペン入力タイプのアナログ式タッチパネル用として用い
る場合、透明導電層の表面抵抗分布の均一性が重要であ
る。本発明においては、透明導電層の表面抵抗分布の均
一性を表わすために下記定義で示される直線性偏差を用
いた。
る場合、透明導電層の表面抵抗分布の均一性が重要であ
る。本発明においては、透明導電層の表面抵抗分布の均
一性を表わすために下記定義で示される直線性偏差を用
いた。
直線性偏差（％）
導電性フィルムの両端に電極を設けて電圧を印加した場
合の直線方向の任意点における電圧の実測値と該点にお
ける理論電圧値の差を印加電圧で割った値に１００を乗
じたもの。
合の直線方向の任意点における電圧の実測値と該点にお
ける理論電圧値の差を印加電圧で割った値に１００を乗
じたもの。
本発明の透明導電性フィルムは、上記直線性偏差が一端
方向、例えば、水平方向が０．３％以下、好ましくは０
．２％以下であり、かつ、該方向と直角方向、例えば、
垂直方向が０．６％以下好ましくは０．３％以下である
。これらの値より高い場合には、タッチパネル上に描い
た文字、図形のデイスプレィ画面上へ再現性、あるいは
描いた文字、図形のパターン認識機構に不都合を生じる
という欠点がある。
方向、例えば、水平方向が０．３％以下、好ましくは０
．２％以下であり、かつ、該方向と直角方向、例えば、
垂直方向が０．６％以下好ましくは０．３％以下である
。これらの値より高い場合には、タッチパネル上に描い
た文字、図形のデイスプレィ画面上へ再現性、あるいは
描いた文字、図形のパターン認識機構に不都合を生じる
という欠点がある。
本発明の直線性偏差の測定方法について以下に説明する
。
。
試験フィルム片の作成は、例えば、第１図に示すように
、ロール状態のフィルムの任意の場所から一辺がロール
巾方向、他の一辺がロール巻取り方向に平行となるよう
な正方形または長方形に裁断する。次に第２図に示すよ
うにフィルム片の水平方向両端に電極を設け、数Ｖの直
流電圧を印加する。
、ロール状態のフィルムの任意の場所から一辺がロール
巾方向、他の一辺がロール巻取り方向に平行となるよう
な正方形または長方形に裁断する。次に第２図に示すよ
うにフィルム片の水平方向両端に電極を設け、数Ｖの直
流電圧を印加する。
測定および計算は以下の手順に従って実施していく。
（１） （ｘｏ、 ｙｌ）〜（Ｘｍ、 ｙｎ）の（ｍ＋
１）Ｘｎ点の電位Ｖ、ｊ（ｉ＝０〜ｍ、ｊ＝１〜ｎ）を
測定する。
１）Ｘｎ点の電位Ｖ、ｊ（ｉ＝０〜ｍ、ｊ＝１〜ｎ）を
測定する。
（２）実効印加電圧Ｖを計算する。
ｖ ＝Ｖｍ−ｖ。
（３）理論電位Ｖｉ（ｉ＝０〜ｍ）を求める。
ＶＨ＝ Ｖ□ ＋（Ｖ／ｍ） Ｘ １
（４）測定電位ｖｉｊと理論電位Ｖｉとの偏差ε１ｊ（
ｉ＝１〜ｍ−１，ｊ＝１〜ｎ）を求める。
ｉ＝１〜ｍ−１，ｊ＝１〜ｎ）を求める。
εｉｊ ＝ （ＶｉｊＶｉ） Ｘ １００／Ｖ（％）（
５）各点偏差の絶対値の最大値ＬＥ ＝ Ｍａｘ （ｌ
εｉｊりを求める。
５）各点偏差の絶対値の最大値ＬＥ ＝ Ｍａｘ （ｌ
εｉｊりを求める。
表面抵抗分布の均一な膜を作製するためには、最適なバ
ックグラウンド圧力、スパッタ時の雰囲気圧力の調節、
均一な酸素およびアルゴン流量の制御、雰囲気温度、巻
取り速度等の微妙な調節が必要である。
ックグラウンド圧力、スパッタ時の雰囲気圧力の調節、
均一な酸素およびアルゴン流量の制御、雰囲気温度、巻
取り速度等の微妙な調節が必要である。
［実施例］
次に本発明を実施例によってさらに詳細に説明するが、
本発明は、その要旨を越えない限り、以下の実施例に限
定されるものではない。
本発明は、その要旨を越えない限り、以下の実施例に限
定されるものではない。
実施例１
直流マグネトロンスパッタリング装置を用いて、厚さ１
７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面
に酸化インジウム／酸化スズ（重量比９５１５）の導電
層を成膜した。スパッタリング条件、膜厚及び表面固有
抵抗は下記の通りである。
７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面
に酸化インジウム／酸化スズ（重量比９５１５）の導電
層を成膜した。スパッタリング条件、膜厚及び表面固有
抵抗は下記の通りである。
バックグラウンド圧カニ １．２Ｘ１０−５Ｔｏｒｒス
パツタリング圧力 ： ２．４Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ酸素
流量ｌ全ガス流量＝０．５ ％ スパッタ電圧 ：３００Ｖ スパッタ電流 ：２．３Ａ フィルム巻取速度 ： ０．７８ ｍ／分膜厚
：３００ 人 表面固有抵抗 ：３００ Ω１口スパッタリング
終了後、第１図に示すようにフィルムを裁断して２０ｃ
ｍＸ２０ｃｍのサイズのフィルム片を作製した。第２図
に示すようにフィルム片の水平方向の両端に電極を形成
した後、この電極間に直流５■の電圧を印加し、水平方
向１７点、垂直方向１０点の計１７０点についてデータ
を取った。その結果、表面抵抗分布の直線性偏差は０．
１８％であった。また、同じ裁断方法にて得られたフィ
ルム片において、今度はフィルム片の垂直方向両端に電
極を形成し、同様にして測定したところ表面抵抗の直線
性偏差は０．４７％であった。
パツタリング圧力 ： ２．４Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ酸素
流量ｌ全ガス流量＝０．５ ％ スパッタ電圧 ：３００Ｖ スパッタ電流 ：２．３Ａ フィルム巻取速度 ： ０．７８ ｍ／分膜厚
：３００ 人 表面固有抵抗 ：３００ Ω１口スパッタリング
終了後、第１図に示すようにフィルムを裁断して２０ｃ
ｍＸ２０ｃｍのサイズのフィルム片を作製した。第２図
に示すようにフィルム片の水平方向の両端に電極を形成
した後、この電極間に直流５■の電圧を印加し、水平方
向１７点、垂直方向１０点の計１７０点についてデータ
を取った。その結果、表面抵抗分布の直線性偏差は０．
１８％であった。また、同じ裁断方法にて得られたフィ
ルム片において、今度はフィルム片の垂直方向両端に電
極を形成し、同様にして測定したところ表面抵抗の直線
性偏差は０．４７％であった。
上記のフィルム片を２枚作成し、片方のフィルムに５ｍ
ｍ四方間隔でドツトスペーサーを印刷法により形成し、
導電面を向かい合わせにして両面テープで貼り合わせ、
アナログ式のタッチパネルを作成した。このタッチパネ
ルをデイスプレィ画面上に搭載し、手書きによるペン入
力テストを実施したところ、連続線の脱落、歪み等もな
く、正確な線を再現することができ、その後のパターン
も何ら支障なく行なえることができた。
ｍ四方間隔でドツトスペーサーを印刷法により形成し、
導電面を向かい合わせにして両面テープで貼り合わせ、
アナログ式のタッチパネルを作成した。このタッチパネ
ルをデイスプレィ画面上に搭載し、手書きによるペン入
力テストを実施したところ、連続線の脱落、歪み等もな
く、正確な線を再現することができ、その後のパターン
も何ら支障なく行なえることができた。
［発明の効果］
本発明によると、特にペンによる手書き人力用アナログ
式タッチパネルにおいて、タッチパネル上に描いた文字
、図形のデイスプレィ画面上への再現性あるいは正確な
再現性を利用したパターン認識装置の一つとして、優れ
た効果を発揮することができる。
式タッチパネルにおいて、タッチパネル上に描いた文字
、図形のデイスプレィ画面上への再現性あるいは正確な
再現性を利用したパターン認識装置の一つとして、優れ
た効果を発揮することができる。
第１図は本発明のロール状フィルムからのフィルム片の
裁断方法の一例を示した図である。第２図は本発明の表
面抵抗分布の直線性偏差の測定法を示した図である。
裁断方法の一例を示した図である。第２図は本発明の表
面抵抗分布の直線性偏差の測定法を示した図である。
Claims (1)
- （１）高分子フィルム基板上に透明導電層を設けた透明
導電性フィルムにおいて、導電層の表面抵抗分布が下記
定義で示される直線性偏差の最大値として、一端方向で
０．３％以内であり、且つ、該方向と直角方向で０．６
％以内であることを特徴とするタッチパネル用透明導電
性フィルム。 直線性偏差（％） 導電性フィルムの両端に電極を設けて電圧を印加した場
合の直線方向の任意点における電圧の実測値と該点にお
ける理論電圧値の差を印加電圧で割った値に１００を乗
じたもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1259445A JPH03122910A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | タッチパネル用透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1259445A JPH03122910A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | タッチパネル用透明導電性フイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03122910A true JPH03122910A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17334182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1259445A Pending JPH03122910A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | タッチパネル用透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03122910A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141853A (ja) * | 2001-10-17 | 2007-06-07 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルムロール及びタッチパネル |
| US7812623B2 (en) | 2001-06-21 | 2010-10-12 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Transparent conductive film roll and production method thereof, touch panel using the same, and non-contact surface resistance measuring device |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP1259445A patent/JPH03122910A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7812623B2 (en) | 2001-06-21 | 2010-10-12 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Transparent conductive film roll and production method thereof, touch panel using the same, and non-contact surface resistance measuring device |
| JP2007141853A (ja) * | 2001-10-17 | 2007-06-07 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルムロール及びタッチパネル |
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