JPH03120638A - Production of information recording disk - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ＣＤやＣＤ−ＲＯＭのように、ディスク表面に凹凸のパ
ターンを形成することによって情報を記録する再生専用
の情報記録ディスクの製造方法に関し、
製造工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製
造することを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像
工程及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易に
なるようにする情報記録ディスクの製造方法を提供する
ことを目的とし、相変化材料よりなるディスクに、記録
すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この光照
射された前記の相変化材料よりなるディスクを選択的に
エツチングして製造した前記の記録すべき情報に対応す
る凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク用原盤を、
金属薄膜を表面に有し軟化しているプラスチック円板上
に押圧する工程をもって構成される。[Detailed Description of the Invention] [Summary] This invention relates to a method for manufacturing a playback-only information recording disk that records information by forming an uneven pattern on the surface of the disk, such as a CD or CD-ROM, by simplifying the manufacturing process. To provide a method for manufacturing an information recording disk, which makes it possible to manufacture the information recording disk in a short time, and also facilitates the management of the manufacturing process by eliminating the need for resist coating/developing steps and plating steps. For the purpose of this, a disc made of a phase change material is selectively irradiated with light corresponding to the information to be recorded, and the irradiated disc made of the phase change material is selectively etched. The manufactured master disk for information storage disk having a pattern of concave and convex portions corresponding to the information to be recorded,
It consists of a process of pressing onto a softened plastic disc with a thin metal film on its surface.
本発明は、ＣＤやＣＤ−ＲＯＭのように、ディスク表面
に凹凸のパターン牽形成することによって情報を記録す
る再生専用の情報記録ディスクの製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing a reproduction-only information recording disk, such as a CD or CD-ROM, in which information is recorded by forming a concavo-convex pattern on the disk surface.
ガラス円板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成し
、これに、記録すべき情報に対応して強度変調されたレ
ーザビームを照射して現像し、例えばポジ型レジストを
使用している場合には、レーザビームを照射された領域
のレジスト膜を除去して、記録すべき情報に対応する凹
凸のパターンをガラス円板上に形成する。A resist film is formed by coating a resist on a glass disk, and this is developed by irradiating a laser beam whose intensity is modulated according to the information to be recorded. For example, when using a positive resist. In this step, the resist film in the area irradiated with the laser beam is removed to form a concavo-convex pattern on the glass disk that corresponds to the information to be recorded.
次いで、全面にニッケル、コバルト等の薄膜を蒸着した
後、この薄膜を一方の電極として電気メツキをなし、３
００ｎ厚程度の金属膜を形成する。この金属膜をガラス
円板上から剥離すると、記録すべき情報に対応する凹凸
のパターンが形成された情報記録ディスク用原盤が形成
される。Next, after depositing a thin film of nickel, cobalt, etc. on the entire surface, electroplating is performed using this thin film as one electrode.
A metal film with a thickness of about 00n is formed. When this metal film is peeled off from the glass disk, an information recording disk master is formed on which a concave-convex pattern corresponding to the information to be recorded is formed.
この情報記録ディスク用原盤を射出成形機の金型に装着
し、ポリカーボネート等の流動状態のプラスチックを射
出して、プラスチック円板を形成すると、プラスチック
円板の表面に、情報記録ディスク用原盤に形成されてい
る凹凸のパターンが転写される０反射率を高めるため、
プラスチック円板上にアルミニウム、金等の薄膜を、蒸
着法、スパッタ法等を使用して形成し、その上に紫外線
硬化樹脂を塗布して硬化し、保護膜を形成する。This information recording disk master is attached to the mold of an injection molding machine, and fluid plastic such as polycarbonate is injected to form a plastic disk.The information recording disk master is formed on the surface of the plastic disk. In order to increase the reflectance of the uneven pattern that is transferred,
A thin film of aluminum, gold, or the like is formed on a plastic disk using a vapor deposition method, a sputtering method, or the like, and an ultraviolet curable resin is applied thereon and cured to form a protective film.
従来技術に係る情報記録ディスクの製造方法は、製造工
程数が多く製造工程が複雑である。また、製造過程にお
いてレジストや鍍金液等の液体を使用する必要があるた
め、製造工程の管理が難しい。The conventional method for manufacturing an information recording disk involves a large number of manufacturing steps and is complicated. Furthermore, it is difficult to manage the manufacturing process because it is necessary to use liquids such as resist and plating solution during the manufacturing process.
特に、鍍金液の管理には特別の配慮が必要である。In particular, special consideration must be given to the management of the plating solution.
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、製造
工程を簡略化して、短時間に情報記録ディスクを製造す
ることを可能にし、しかも、レジストの塗布・現像工程
及び鍍金工程を不要にして製造工程の管理が容易になる
ようにする情報記録ディスクの製造方法を提供すること
にある。The purpose of the present invention is to eliminate this drawback, simplify the manufacturing process, make it possible to manufacture information recording disks in a short time, and eliminate the need for resist coating/developing processes and plating processes. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an information recording disk that facilitates management of the manufacturing process.
上記の目的は、相変化材料よりなるディスク（２）に、
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、この
光照射された前記の相変化材料よりなるディスク（２）
を選択的にエツチングして製造した前記の記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情報記憶ディスク
用原盤（５）を、金属薄１ｌＫ（７）を表面に有し、軟
化しているプラスチック円板（６）上に押圧する工程を
有する情報記録ディスクの製造方法によって達成される
。The above purpose is to provide a disk (2) made of a phase change material.
A disk (2) made of the above-mentioned phase change material that is selectively irradiated with light in accordance with the information to be recorded, and is irradiated with light.
A master disk (5) for an information storage disk having a pattern of concavities and convexities corresponding to the information to be recorded, manufactured by selectively etching the above-mentioned material, is made of a softened plastic having a thin metal 11K (7) on its surface. This is achieved by a method for manufacturing an information recording disc that includes the step of pressing onto a disc (6).
報記録ディスク用原盤５が形成される。A master disc 5 for the information recording disc is formed.
表面にアルミニウム等の金属薄膜７が形成されているプ
ラスチック円板６を加熱軟化させ、その円板６にこの情
報記録ディスク用原盤５を押圧すれば、プラスチック円
板６とその上に形成されている金属薄膜７とに、記録す
べき情報に対応する凹凸のパターンが形成され、情報記
録ディスクが完成する。By heating and softening a plastic disk 6 on which a metal thin film 7 of aluminum or the like is formed on the surface, and pressing this information recording disk master 5 onto the disk 6, the plastic disk 6 and the information recording disk formed on it are formed. A concavo-convex pattern corresponding to the information to be recorded is formed on the metal thin film 7, and an information recording disc is completed.
Ｃ作用〕
ガラス等の円板１上にインジニウムアンチモン合金等の
相変化材料の薄膜２を形成し、これに記録すべき情報に
対応して強度変調されたレーザビーム４を照射すると、
光照射された領域の相変化材料の結晶構造が変化してエ
ツチングレートが低下する。その結果、レーザビームを
照射された相変化材料の薄膜セをエツチングすると、光
照射されなかった領域の相変化材料の薄膜が選択的にエ
ツチング除去され、ガラス等の円板１上に記録すべき情
報に対応する凹凸のパターンを有する情〔実施例〕
以下、図面を参照しつ一１本発明の一実施例に係る情報
記録ディスクの製造方法について説明する。C action] A thin film 2 of a phase change material such as an indinium antimony alloy is formed on a disk 1 made of glass or the like, and a laser beam 4 whose intensity is modulated in accordance with the information to be recorded is irradiated onto the thin film 2.
The crystal structure of the phase change material in the area irradiated with light changes and the etching rate decreases. As a result, when the thin film of the phase change material irradiated with the laser beam is etched, the thin film of the phase change material in the area not irradiated with the light is selectively etched away and recorded on the disk 1 made of glass or the like. Information having a concavo-convex pattern corresponding to information [Embodiment] A method for manufacturing an information recording disk according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第２図参照
外径１３０■、厚さ１．２−のガラス円板１上に、イン
ジニウム３５％とアンチモン６５％とを含有するインジ
ニウムアンチモン合金の薄膜２をスパッタ蒸着法等を使
用して一１１０ｎｍ厚に形成した後、インジニウムアン
チモン合金の薄膜２の表面に塵が付着しないようにカバ
ー膜３をもって保護する。Referring to Fig. 2, a thin film 2 of an indium-antimony alloy containing 35% indium and 65% antimony was deposited on a glass disk 1 having an outer diameter of 130 mm and a thickness of 1.2 mm using a sputter deposition method or the like. After forming the indium antimony alloy thin film 2 to a thickness of -110 nm, the surface of the indium antimony alloy thin film 2 is protected with a cover film 3 to prevent dust from adhering to it.
上記の円板ｌを周速１．４ｍ／ｓをもって回転し、記録
すべき情報に対応して強度変調された波長７８０ｎ−の
レーザビーム４をガラス円板１上に形成されたインジニ
ウムアンチモン合金のＥｌｌ！２上に照射する。このと
きのレーザの照射電力は、円板表面においてピーク値８
ｍＷが適切である。なお、カバー膜３はインジニウムア
ンチモン合金の薄［２の表面に直接接触するように設け
てもよ（、あるいは、第２図に図示するように、空隙９
を介して設けてもよいが、空隙９を介して設けた方が、
照射電力は少な（てすむ。The above disk 1 is rotated at a circumferential speed of 1.4 m/s, and a laser beam 4 with a wavelength of 780n- whose intensity is modulated in accordance with the information to be recorded is emitted onto a glass disk 1 made of an indium antimony alloy. Ell! Irradiate onto 2. At this time, the laser irradiation power had a peak value of 8 on the disk surface.
mW is appropriate. Note that the cover film 3 may be provided so as to be in direct contact with the surface of the indium antimony alloy thin film 2 (or, as shown in FIG.
Although it may be provided through the gap 9, it is better to provide it through the gap 9.
The irradiation power is low.
第３図参照
カバー膜３を除去し、インジニウムアンチモン合金の薄
膜２の形成されたガラス円板１をスパッタエツチング装
置に装入し、圧力が３ｍＴｏｒｒとなるようにアルゴン
ガスを導入しながらエツチングをする。なお、アルゴン
ガスにヘリウムまたはネオンを添加しても、エツチング
効率が僅かに変わるだけで、特に大きな変化はないこと
が確認されている。エツチング電力を２００Ｗとし、６
０秒間エツチングをなして、第３図に示すように、ガラ
ス円板１上にインジニウムアンチモン合金よりなる凹凸
のパターン２１が形成された情報記録ディスク用原盤５
を形成する。Refer to FIG. 3. The cover film 3 is removed, and the glass disk 1 on which the indium antimony alloy thin film 2 is formed is placed in a sputter etching device, and etching is carried out while introducing argon gas so that the pressure becomes 3 mTorr. do. It has been confirmed that even if helium or neon is added to argon gas, the etching efficiency changes only slightly and there is no significant change. Etching power is 200W, 6
As shown in FIG. 3, an information recording disk master 5 is etched for 0 seconds, and a concavo-convex pattern 21 made of indium antimony alloy is formed on a glass disk 1.
form.
第４図参照
一方、平坦なポリカーボネートよりなり、直径が１２０
腫であり、厚さが１．２園であるプラスチック円板６を
射出成形法を使用して製造し、このプラスチック円板６
の表面に、スパッタリング法を使用して厚さが１１００
ｎであるアルミニウム薄膜７を形成する。See Figure 4. On the other hand, it is made of flat polycarbonate and has a diameter of 120 mm.
A plastic disk 6 having a thickness of 1.2 mm is manufactured using an injection molding method.
using sputtering method to a thickness of 1100 mm on the surface of
An aluminum thin film 7 is formed.
第１図参照
前記の情報記録ディスク用原！１５を、凹凸のパターン
２１が形成されている面を上にして金型８の下半部に装
着して１９０℃に加熱し、この上に前記のアルミニウム
薄膜７が形成されているプラスチック円板６を、アルミ
ニウムＦＩＩＭ７が形成されている面が情報記録ディス
ク用原盤５の凹凸のパターン２１が形成されている面と
接触するように載置し、約５０Ｋｇ／ｄの圧力を印加し
て１０秒間加圧する。See Fig. 1 Original for the information recording disc! 15 is attached to the lower half of the mold 8 with the surface on which the uneven pattern 21 is formed facing up, and heated to 190° C., and the plastic disc on which the aluminum thin film 7 is formed is formed. 6 was placed so that the surface on which the aluminum FIIM 7 was formed was in contact with the surface on which the uneven pattern 21 of the information recording disk master 5 was formed, and a pressure of approximately 50 kg/d was applied for 10 seconds. Apply pressure.
第５図参照
プラスチック円板６を金型８から取り出すと、第５図に
示すように、表面にアルミニウム薄ｌＮ１７の形成され
たプラスチック円板６に、情報記録ディスク用原盤の凹
凸のパターンが良好に転写されることが確認されている
。紫外線硬化樹脂を全面にスピンコードして硬化して情
報記録ディスクを完成し、この情報記録ディスクをＣＤ
プレーヤにかけて記録されている信号（音楽）を再生す
ると、極めて良好に再生することができることが確認さ
れている。When the plastic disk 6 is taken out from the mold 8, as shown in FIG. 5, the uneven pattern of the master disk for information recording disks is well formed on the plastic disk 6, which has a thin aluminum layer of lN17 formed on its surface, as shown in FIG. It has been confirmed that it is transferred to An information recording disc is completed by spin-coding ultraviolet curable resin over the entire surface and hardening it, and this information recording disc is used as a CD.
It has been confirmed that when a recorded signal (music) is played back through a player, it can be played back very well.
なお、実施例においては、相変化材料としてインジニウ
ムアンチモンを使用する場合について説明したが、イン
ジニウムアンチモン以外にも、下記に列記する材料を使
用した場合にも、同一の効果が得られることが実験によ
り確認されている。In addition, in the examples, the case where indinium antimony was used as the phase change material was explained, but the same effect can be obtained when using the materials listed below in addition to ininium antimony. Confirmed by experiment.
Ｔｅ−Ｇｅ。Te-Ge.
Ｔｅ−３ｓ。Te-3s.
Ｔｅ−Ｇｅ−３ｅ。Te-Ge-3e.
Ｑ ｅ −Ｓ ｅ ５ ｓｂ−ｓ。Q e -S e 5 sb-s.
Ｉｎ−３ｂ−Ｇｅ。In-3b-Ge.
Ｉｎ−３ｂ−３ｎ。In-3b-3n.
Ｔｅ０ｘＧｅＳｎ。Te0xGeSn.
Ｉｎ−Ｂ１５ Ｔｅ−Ｇｅ−３ｂ。In-B15 Te-Ge-3b.
Ｔｅ−３ｅ−３ｂ。Te-3e-3b.
Ｇｅ−３゜ ５ｅ−Ｓｂ。Ge-3゜ 5e-Sb.
Ｉｎ−３ｂ−Ｔｅ。In-3b-Te.
Ｇａ−３ｂ。Ga-3b.
Ｔｅ、−Ｇｅ−３ｎ。Te, -Ge-3n.
Ｐｂ−５ｎ。Pb-5n.
Ｂ玉−Ｔｅ。B ball-Te.
また、プラスチック円板６に形成する金属薄膜７の材料
として、アルミニウムに代えて、金を使用しても同一の
効果が得られることが実験により確認されている。Furthermore, it has been confirmed through experiments that the same effect can be obtained by using gold instead of aluminum as the material for the metal thin film 7 formed on the plastic disc 6.
以上説明せるとおり、本発明に係る情報記録ディスクの
製造方法においては、相変化材料よりなるディスクに、
記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなし、光照
射された領域を除く領域の相変化材料を選択的にエツチ
ング除去して、記録すべき情報に対応する凹凸のパター
ンを有する情報記録ディスク用原盤を作成し、これを、
表面に金属薄膜が形成され、加熱軟化されているプラス
チック円板上に押圧して情報記録ディスクを作成するこ
と−されているので、大掛かりな射出成形装置を使用す
る必要がなく、また、プラスチック円板上に凹凸のパタ
ーンを転写した後で、その上に反射率を高めるための金
属薄膜を形成する必要がなく、さらには、レジスト塗布
・現像工程及び鍍金工程が不要であるため、製造工程が
大幅に簡略化され、また、製造工程管理も容易になって
、得られる経済的利益が大きい。As explained above, in the method for manufacturing an information recording disk according to the present invention, a disk made of a phase change material,
Information having an uneven pattern corresponding to the information to be recorded by selectively irradiating light corresponding to the information to be recorded and selectively etching and removing the phase change material in areas other than the irradiated area. Create a master disc for the recording disc, and use it as
Since information recording disks are created by pressing onto a heat-softened plastic disk with a metal thin film formed on its surface, there is no need to use large-scale injection molding equipment. After transferring the uneven pattern onto the plate, there is no need to form a thin metal film on top of it to increase reflectance, and furthermore, there is no need for resist coating/developing and plating processes, so the manufacturing process can be simplified. The manufacturing process is greatly simplified and the manufacturing process control becomes easy, resulting in large economic benefits.
なお、相変化材料よりなる薄膜の形成されているディス
クと、金属薄膜の形成されているブランクプラスチック
円板とを予め多数用意しておき、情報記録ディスクを製
造する際には、予め用意されている相変化材料よりなる
薄膜が形成されているディスクに、記録すべき情報に対
応して凹凸のパターンを形成して情報記録ディスク用原
盤を作成し、これを予め用意されているブランクプラス
チック円板上に押圧すればよいので、多数の品種を短時
間に製造するために極めて有効である。Note that a large number of disks on which a thin film made of a phase change material is formed and blank plastic disks on which a thin metal film is formed are prepared in advance, and when manufacturing an information recording disk, the disks prepared in advance are used. A master disk for information recording disks is created by forming a pattern of convexes and convexes corresponding to the information to be recorded on a disk on which a thin film made of a phase change material is formed, and this is then used as a blank plastic disc prepared in advance. Since it is only necessary to press upward, it is extremely effective for manufacturing a large number of products in a short time.
第１図は、本発明の一実施例に係る情報記録ディスクの
製造方法において、情報記録ディスク用原盤をプラスチ
ック円板に押圧している状態を示す断面図である。
第２図は、相変化材料にレーザビームを照射している状
態を示す断面図である。
第３図は、情報記録ディスク用原盤の断面図である。
第４図は、プラスチック円板の断面図である。
第５図は、本発明の一実施例に係る情報記録ディスクの
製造方法を実施して製造した情報記録ディスクの断面図
である。
１・・・ガラス円板、
２・・・相変化材料（インジニウムアンチモン合金）の
ｉｓ、
凹凸のパターン、
カバー膜、
レーザビーム、
情報記録ディスク用原盤、
プラスチック円板、
金属薄膜、
金型、
空隙。FIG. 1 is a sectional view showing a state in which an information recording disc master is pressed against a plastic disc in a method for manufacturing an information recording disc according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a phase change material being irradiated with a laser beam. FIG. 3 is a cross-sectional view of a master disc for an information recording disc. FIG. 4 is a cross-sectional view of the plastic disc. FIG. 5 is a cross-sectional view of an information recording disk manufactured by implementing the method for manufacturing an information recording disk according to an embodiment of the present invention. 1...Glass disk, 2...IS of phase change material (indinium antimony alloy), uneven pattern, cover film, laser beam, master disk for information recording disk, plastic disk, metal thin film, mold, void.
Claims (1)
に対応して選択的に光照射をなし、該光照射された前記
相変化材料よりなるディスク（２）を選択的にエッチン
グして製造した前記記録すべき情報に対応する凹凸のパ
ターンを有する情報記憶ディスク用原盤（５）を、金属
薄膜（７）を表面に有し、軟化しているプラスチック円
板（６）上に押圧する 工程を有することを特徴とする情報記録ディスクの製造
方法。[Claims] A disk (2) made of a phase change material is selectively irradiated with light corresponding to information to be recorded, and a disk (2) made of the phase change material irradiated with the light is selected. A master disk (5) for an information storage disk having a concavo-convex pattern corresponding to the information to be recorded, which has been manufactured by etching the information to be recorded, is placed on a softened plastic disc (6) having a metal thin film (7) on its surface. ) A method for manufacturing an information recording disc, comprising the step of pressing the disc.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25771389A JPH03120638A (en) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | Production of information recording disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25771389A JPH03120638A (en) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | Production of information recording disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120638A true JPH03120638A (en) | 1991-05-22 |
Family
ID=17310077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25771389A Pending JPH03120638A (en) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | Production of information recording disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120638A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043212A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
| WO2006043209A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP25771389A patent/JPH03120638A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043212A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
| WO2006043209A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure |
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