JPH03120020A - Resin-discharging apparatus - Google Patents

Resin-discharging apparatus

Info

Publication number
JPH03120020A
JPH03120020A JP1259418A JP25941889A JPH03120020A JP H03120020 A JPH03120020 A JP H03120020A JP 1259418 A JP1259418 A JP 1259418A JP 25941889 A JP25941889 A JP 25941889A JP H03120020 A JPH03120020 A JP H03120020A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
tube
pump
bubbles
guide body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1259418A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0620760B2 (en
Inventor
Minoru Hirai
平井 稔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP1259418A priority Critical patent/JPH0620760B2/en
Publication of JPH03120020A publication Critical patent/JPH03120020A/en
Publication of JPH0620760B2 publication Critical patent/JPH0620760B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable supplying a good quality resin containing no bubbles by cooling a part held between the rotator of a tube and a guide body and by heating a part extending from the discharge side of a pump. CONSTITUTION:Resin 2 includes a solvent having a low boiling point such as isopropyl alcohol, butanol and methyl ethyl ketone. In the pressurizing process of a pump 5, accordingly, the resin 2 is maintained at a low temperature by cooling means 6 to hinder vaporization of the solvent. Thus, the generation of bubbles can be suppressed and the resin 2 containing no bubbles can be supplied stably and surely. On the other hand, the resin 2 pressurized by the pump 5 is heated by heating means 7 immediately af ter the end of the pressurizing process so that the temperature of the resin is returned to the original temperature. Therefore, no dew is deposited on the surface of a tubular piping to the place, where the resin is discharged, and in the resin 2 discharged from a nozzle 8, and it is possible to stably supply a sealing resin containing no bubbles.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

本別発明は樹脂吐出装置に関し、詳しくは電子部品製造
工程における樹脂吐出装置に関する。
The present invention relates to a resin discharging device, and more particularly to a resin discharging device used in an electronic component manufacturing process.

【従来の技術】[Conventional technology]

ハイブリッドIC等の電子部品の製造工程において、基
板上に固定された半導体チップ上の各バンドと基板の各
リード部とを結線するワイヤボンディング工程が終了す
ると、チップの表面やリード部のワイヤ接続部を保X!
するために、エポキシ樹脂等の絶縁性の樹脂が上記ワイ
ヤの接続部周辺に添着される場合がある。また、LED
表示装置を製造する場合においても、発光素子が基板上
に固定され、ワイヤボンディング工程が終了した後、光
i3過性のエポキシ樹脂によって上記発光素子の周縁が
封止されることが多い。 上記樹脂は、ワイヤ接続部の機械的強度を富め、また、
はこりや水分が導電部分に付着するのを防止することに
より、上記電子部品の信転性を高めるのに重要な役割を
果たしている。 通常、上記のような封止に用いられる樹脂は、エポキシ
樹脂、シリコン樹脂等の比較的粘性のある流動体であり
、その成分としてキシレン、アルコール、ブタノール等
の連発性の溶剤を含んでいる。このため、上記液体状の
樹脂を電子部品製造工程における上記樹脂封止工程に供
給するには、上記溶剤の揮発を防止するために外部と完
全に遮断された状態で加圧移送して樹脂吐出装置の吐出
口まで導く必要がある。 このため、通常上記樹脂の吐出装置には、いわゆるロー
ラポンプを備えたデイスペンサが用いられる。ローラポ
ンプは、回転可能に支持された複数の押圧ローラを備え
、支軸回りに回転する回転体と、上記回転体の外周の一
部に対して一定距離を隔てて対向する内壁をもつガイド
体と、上記回転体の外周部と上記ガイド体の内壁との間
に中間部が挟持されるように配置される弾性変形可能な
チューブとを備え、上記回転体の回転にともなって、上
記押圧ローラが上記ガイド体の内壁と協働してチューブ
を吐出方向に連続的にしごくことにより、上記チューブ
内の液体樹脂を移送できるように構成されている。 上記ローラポンプによって加圧された液体状樹脂は、外
部の環境に触れることなく各製造工程の吐出口に導かれ
、上記吐出口から各電子装置等の所定の個所に所定量吐
出される。
In the manufacturing process of electronic components such as hybrid ICs, when the wire bonding process that connects each band on the semiconductor chip fixed on the board to each lead part of the board is completed, the wire connection part on the surface of the chip or the lead part is finished. Keep it!
In order to do this, an insulating resin such as epoxy resin may be applied around the connection portion of the wire. Also, LED
When manufacturing a display device, after a light emitting element is fixed on a substrate and a wire bonding process is completed, the periphery of the light emitting element is often sealed with a photo-i3-transparent epoxy resin. The above resin increases the mechanical strength of the wire connection part, and
By preventing dust and moisture from adhering to conductive parts, it plays an important role in improving the reliability of the electronic components. Usually, the resin used for the above-mentioned sealing is a relatively viscous fluid such as epoxy resin or silicone resin, and contains a volatile solvent such as xylene, alcohol, or butanol as a component. Therefore, in order to supply the liquid resin to the resin sealing process in the electronic component manufacturing process, the resin is transferred under pressure while being completely isolated from the outside to prevent the solvent from volatilizing. It is necessary to guide it to the discharge port of the device. For this reason, a dispenser equipped with a so-called roller pump is usually used as the resin discharging device. A roller pump includes a plurality of press rollers that are rotatably supported, a rotating body that rotates around a support shaft, and a guide body that has an inner wall that faces a part of the outer periphery of the rotating body at a certain distance. and an elastically deformable tube disposed such that an intermediate portion thereof is sandwiched between an outer peripheral portion of the rotary body and an inner wall of the guide body, and as the rotary body rotates, the pressure roller The liquid resin in the tube can be transferred by continuously squeezing the tube in the discharge direction in cooperation with the inner wall of the guide body. The liquid resin pressurized by the roller pump is guided to the discharge port of each manufacturing process without coming into contact with the external environment, and is discharged in a predetermined amount from the discharge port to a predetermined location of each electronic device or the like.

【発明が解決しようとする課題】[Problem to be solved by the invention]

ところが、上記ポンプは上記溶剤を含む樹脂を外界から
完全に遮断しつつ移送できるという利点を有する一方、
弾性変形可能なチューブを部分的に押し潰すようにして
押圧ローラを圧迫移動させ、チューブを連続的にしごく
ことにより樹脂を移送するものであるため、上記押圧ロ
ーラで弾性チューブを押圧する過程において、チューブ
内で液状樹脂に複雑な流れが生じる。すなわち、各押圧
ローラの押圧部分で、チューブの内壁が完全に密着する
とは限らず、微小な隙間が生じて樹脂の一部が逆流する
場合がある。このため、チューブ内の樹脂の流れが?j
[雑になり、チューブ内で静圧が急激に低下する部分が
生じ、その部分で上記溶剤が気化して微細な気泡が生じ
ることがある。また、チューブが繰り返し弾性変形され
ることにより熱が発生し、気泡の発生を促進することも
考えられる。 一旦発生した気泡は、樹脂が粘性をもつためポンプの加
圧部分を通過しても消えにくり、樹脂とともにそのまま
吐出装置の吐出口から吐出されてしまう場合が多い、こ
のため、吐出された樹脂は、電子部品のワイヤ接続部の
シール部に微細な気泡が残ったまま固化し、その部分の
シール性能が不十分となるため、水分等が電子装置の内
部に進入して誤動作の原因となったり、電子装置の寿命
を縮めたりし、このため製品の信顛性が著しく低下する
という問題が生じる。 また、上記気泡のため、樹脂の吐出量にバラツキが生じ
、製品の品質管理上問題が生じるのみならず、上記気泡
が配管の上部にたまり、吐出装置の作動に支障をきたす
場合もある。 本願発明は、上記従来の問題を解決し、気泡を含まない
良質の樹脂を各製造工程に供給し、電子部品等の信す■
性を高めることのできる樹脂吐出装置を提供することを
その課題とする。
However, while the pump has the advantage of being able to transport the resin containing the solvent while completely shielding it from the outside world,
The resin is transferred by moving the pressure roller to partially crush the elastically deformable tube and continuously squeezing the tube, so in the process of pressing the elastic tube with the pressure roller, Complex flows occur in the liquid resin within the tube. That is, the inner wall of the tube does not necessarily come into perfect contact with the pressed portion of each pressure roller, and a small gap may occur, causing a portion of the resin to flow backward. Because of this, the flow of resin inside the tube? j
[The tube may become rough, and there may be a portion where the static pressure rapidly decreases, and the solvent may vaporize at that portion, resulting in the formation of fine bubbles. It is also conceivable that repeated elastic deformation of the tube generates heat, which promotes the generation of bubbles. Once generated, bubbles do not disappear even after passing through the pressurized part of the pump because the resin is viscous, and are often discharged from the discharge port of the discharge device along with the resin.For this reason, the discharged resin If this occurs, fine air bubbles will remain in the seals of the wire connections of electronic components and solidify, resulting in insufficient sealing performance in those areas, allowing moisture, etc. to enter the electronic devices and cause malfunctions. This poses a problem in that the electronic device's lifespan is shortened and the reliability of the product is significantly reduced. In addition, the bubbles cause variations in the amount of resin discharged, which not only causes problems in product quality control, but also accumulates in the upper part of the piping, which may impede the operation of the discharge device. The present invention solves the above-mentioned conventional problems, supplies high-quality resin that does not contain bubbles to each manufacturing process, and improves the reliability of electronic parts.
The object of the present invention is to provide a resin discharging device that can improve performance.

【課題を解決するための手段] 上記課題を解決する九め、本願発明では、次の技術的手
段を講じている。 すなわち、本願発明は、回転可能に支持された複数の押
圧ローラを外周部に備え、支軸回りに回転する回転体と
、上記回転体の外周の一部に対して一定距離を隔てて対
向する内壁をもつガイド体と、上記回転体の外周部と上
記ガイド体の内壁との間に中間部が保持されるように配
置される弾性変形可能なチューブとを備え、上記回転体
の回転にともなって、上記押圧ローラが上記ガイド体の
内壁と協働しつつチューブを吐出方向に連続的にしごく
ことにより、上記チューブ内の液体樹脂を移送するポン
プを備える樹脂吐出装置において、上記チューブにおけ
る、上記回転体と上記ガイド体との間に保持される部位
を冷却する冷却手段を設ける一方、上記チューブにおけ
る、上記ポンプの吐出側から延出する部位を加熱する加
熱手段を設けたことを特徴とする。 !発明の作用および効果】 本願発明は、上記樹脂吐出装置のポンプにおける、押圧
ローラがチューブを連続的にしごいて液状樹脂を加圧す
る過程において、チューブを冷却するための冷却手段を
設ける。 チューブは、上記回転体と上記ガイド体との間で上記押
圧ローラによってしごかれ、樹脂に吐出圧力を付加する
。上記過程において樹脂の静圧が部分的に低下し、ある
いは樹脂の温度が上昇して気泡が生じるものと思われる
0通常、本願発明の吐出装置で供給される樹脂は、イソ
プロピルアルコール、ブタノール、メチルエチルケトン
等の低沸点を有する溶剤を含んでいる。一般に、上記の
ような溶剤は温度が低いほど気化しにくく、このため、
この加圧過程において樹脂の温度を溶剤が気化しない温
度以下に保持することにより、樹脂中に気泡が発生する
ことを防止できる。上記冷却手段によって、気泡の発生
していない樹脂を電子部品製造工程に供給するすること
ができ、電子部品等の信頼性を飛躍的に高めることが可
能となる。 しかしながら、上記の冷却手段を設けるという構成のみ
では、冷却された樹脂がそのまま吐出装置から吐出され
る場合がある。このように周囲環境の温度より低い温度
の樹脂が吐出された場合、上記樹脂の表面に空気中の水
蒸気が結露し、水滴が付着する。このため、上記水滴に
よって電子部品の信頼性が低下するという不都合がある
。 また、冷却温度が低い場合には、上記樹脂吐出装置内の
チューブの外周表面等にも結露が生じ、水滴が垂れて樹
脂吐出装置自体をいためることにもなる。 本願発明は、上記冷却手段を設けるとともに、冷却装置
を設けた上記不都合を解消するため、チューブの上記ポ
ンプの吐出側から延出する部位を加熱する加熱手段を設
ける。 気泡が発生し易いのは、チューブの加圧部分のみであり
、その部分で気泡が発生しなかった場合以後の部分で気
泡が発生することはない、このため、本願発明では、冷
却された樹脂を周囲の温度にまで加熱するための加熱手
段を、チューブの上記ポンプの吐出側から延出する部分
に設ける。 上記加熱手段によって、気泡が発生し易いポンプの加圧
過程を低温で通過した樹脂を、連続して周囲の温度まで
加熱することができ、吐出後の樹脂表面への結露、およ
び4M脂吐出装置の配管への結露を防止することができ
る。 本願発明の上記構成によって、樹脂吐出装置において樹
脂移送中の気泡の発生を防止し、電子部品製造工程に品
質の高い封止樹脂を供給することが可能となり、電子部
品の信頬性を飛躍的に高めることができる。
[Means for Solving the Problems] To solve the above problems, the present invention takes the following technical measures. That is, the present invention includes a plurality of rotatably supported pressing rollers on the outer periphery, and faces a rotating body that rotates around a spindle and a certain distance from a part of the outer periphery of the rotating body. A guide body having an inner wall, and an elastically deformable tube disposed such that an intermediate portion is held between an outer peripheral portion of the rotary body and an inner wall of the guide body, and the tube is elastically deformable as the rotary body rotates. In the resin discharging apparatus, the resin discharging apparatus includes a pump that transfers the liquid resin in the tube by continuously squeezing the tube in the discharging direction while the pressure roller cooperates with the inner wall of the guide body. A cooling means is provided for cooling a portion held between the rotating body and the guide body, and a heating means is provided for heating a portion of the tube extending from the discharge side of the pump. . ! Effects and Effects of the Invention The present invention provides a cooling means for cooling the tube in the pump of the resin discharging device in the process in which the pressure roller continuously squeezes the tube and pressurizes the liquid resin. The tube is squeezed by the pressure roller between the rotating body and the guide body, applying discharge pressure to the resin. In the above process, the static pressure of the resin may partially decrease or the temperature of the resin may rise, causing bubbles.Normally, the resin supplied by the dispensing device of the present invention is made of isopropyl alcohol, butanol, methyl ethyl ketone, etc. Contains solvents with low boiling points such as In general, the lower the temperature, the less likely the solvents mentioned above to vaporize; therefore,
By keeping the temperature of the resin at a temperature at which the solvent does not vaporize during this pressurization process, it is possible to prevent bubbles from forming in the resin. By using the cooling means, resin without bubbles can be supplied to the electronic component manufacturing process, and the reliability of electronic components and the like can be dramatically improved. However, with only the above-mentioned configuration in which the cooling means is provided, the cooled resin may be discharged as is from the discharge device. When resin having a temperature lower than that of the surrounding environment is discharged in this manner, water vapor in the air condenses on the surface of the resin, and water droplets adhere to the surface of the resin. Therefore, there is an inconvenience that the reliability of electronic components is degraded by the water droplets. Furthermore, if the cooling temperature is low, dew condensation will occur on the outer circumferential surface of the tube in the resin discharging device, and water droplets will drip and damage the resin discharging device itself. The present invention provides the above-mentioned cooling means, and also provides a heating means for heating a portion of the tube extending from the discharge side of the pump in order to eliminate the above-mentioned disadvantages of providing a cooling device. Bubbles are likely to occur only in the pressurized part of the tube, and if bubbles do not occur in that part, bubbles will not occur in subsequent parts.For this reason, in the present invention, the cooled resin Heating means for heating the tube to ambient temperature are provided in the portion of the tube extending from the discharge side of the pump. The above heating means can continuously heat the resin that has passed through the pressurization process of the pump, where air bubbles are likely to occur, at a low temperature to the ambient temperature, preventing dew condensation on the resin surface after discharge, and preventing 4M fat dispensing equipment. can prevent condensation on pipes. The above configuration of the present invention makes it possible to prevent the generation of air bubbles during resin transfer in the resin discharging device, supply high quality sealing resin to the electronic component manufacturing process, and dramatically improve the reliability of electronic components. can be increased to

【実施例の説明】[Explanation of Examples]

以下、本願発明の実施例を第1図および第2図に基づい
て具体的に説明する。 第1図は本願発明を適用した樹脂吐出装置の全体構成を
模式的に表した図である。この図に示すように、本願発
明の樹脂吐出装置1は、樹脂2を吐出口3まで外部の環
境と接触させることなく導く弾性チューブ4と、上記弾
性チューブ4を連続的にしごき、上記液状樹脂2に圧力
を付加して上記チューブ4内を流動させるポンプ5と、
上記ポンプ5の加圧過程において上記チューブ4を冷却
する冷却手段6と、上記チューブ4における、ポンプ5
の吐出側から延出する部位を加熱する加熱手段7と、上
記チューブ4の先端に設けられた吐出ノズル8とで大略
構成される。 上記弾性チューブ4は、ゴム、軟質樹脂等の弾性素材で
形成されたものであって、一端が、液状の樹脂2を貯留
するタンク9に挿入されるとともに、他端は電子装置製
造工程に設けられる樹脂吐出ノズル8に接続される。 上記ポンプ5ば、回転可能に支持された複数の押圧ロー
ラ10を外周部に備え、支軸11回りに回転する回転体
12と、上記回転体12の外周の一部に対して一定距離
を隔てて対向する内壁13をもつガイド体14とを備え
、上記回転体12の外周部と上記ガイド体14の内壁1
3との間に上記弾性チューブ4が、その中間部が保持さ
れるように配置されている。本実施例においては、上記
回転体12はその外周に等間隔に8個の円筒状押圧ロー
ラ10を回転可能に保持している。また、上記ガイド体
14は断面が半割り円筒状をしており、上記回転体12
の外周のほぼ半分の部分と対向する内壁13が形成され
ている。 第2図に、上記ポンプ5におけるチューブ4の加圧過程
を直線的に表した一部拡大断面図を示す。 上記回転体12の吐出方向への回転にともなって、上記
押圧ローラ10が、ガイド体14の内壁13にバックア
ップされた上記チューブの上を液状樹脂2の移送方向に
圧迫移動され、上記ガイド体14の内壁13と協働して
チューブ4を吐出方向に連続的にしごく。すると、上記
押圧ローラlOによって押圧される部分がくびれでチュ
ーブ内壁が接近する一方、上記チューブ4の相隣合うく
びれ部分の間に樹脂を満たした空間ができ、上記空間が
樹脂2の移送方向に移動されることにより、樹脂2が移
送される。第2図に示すように、上記押圧ローラ10に
押圧されるチューブ4の内壁は完全に密着していない場
合があり、上記押圧部位の対向する内壁4a、4bに微
小な隙間15が生しる。上記隙間15が生じることによ
り、樹脂2の移送方向(矢印P方向)と逆方向の流れが
上記隙間15に生じ、そのため、部分的に樹脂2の圧力
が低下して溶剤等の気泡が発生するのである。 上記冷却手段6は、本実施例においては、空気圧を利用
したものが採用されており、高圧空気を上記ポンプ5の
ガイド体14の外周に向けて噴出するエアノズル16を
備えている。上記冷却手段6は、エアノズル16から噴
出された高圧空気が上記ガイド体14の外周表面で断熱
的に急激に膨張して温度が低下することを利用したもの
であり、上記ガイド体14をその外周部から冷却するこ
とにより、上記回転体12と上記ガイド体14との間に
保持されるチューブ4を冷却することができる0本実施
例のガイド体14は熱良導体の金属によって形成されて
おり、このため、上記エアノズル16で上記ガイド体1
4の一点に空気を吹きつけてもガイド体14の全体を冷
却することができ、ガイド体14の内壁13と接触する
チューブ4を平均的に冷却することができる。 本実施例における、上記加熱手段7は、上記ポンプ5の
吐出側から延出した上記チューブ4を取り巻くように設
けられた電熱線17と、上記電熱線17に電流を流す電
源装置18とを備える。上記電熱線17に通電すること
により、電熱線17が発熱しチューブ4の加熱が行われ
る。 吐出ノズル8は、電子部品の製造装置に組み込まれてお
り、所定の位五において所定の鼠の樹脂を吐出できるよ
うに構成されている。 本実施例の上記の構成において、上記冷却手段6によっ
て、ポンプ5の加圧過程において樹脂2を低温に維持し
て溶剤の気化を阻止することにより気泡の発生を抑制す
ることができ、気泡を含まない樹脂2を安定確実に供給
することができる。 一方、上記加熱手段7によって、ポンプ5によって加圧
された樹脂5を、上記加圧過程の終了後直ちに加熱して
もとの温度にもどすことがでできるため、吐出されるま
でのチューブ配管の表面に結露が生じたり、また、電子
部品の製造工程において吐出ノズル8から吐出された上
記樹脂2に結露が生じることもない。このため、気泡を
含まない封止樹脂を安定して供給することが可能となり
、製品の歩留まりを向上させることができるとともに、
電子部品等製品の信頼性を格段に向上させることができ
る。 本願考案は上述の実施例に限定されることはない0本実
施例においては、冷却手段6として圧縮空気を噴射する
冷却装置を設けたが、冷凍サイクル等のガスサイクルを
利用した冷却装置を設けることもできる。また、加熱手
段7としても、電熱線17以外の発熱体を利用したもの
、たとえばセラミックヒータ等を採用した加熱装置を設
けることもできる。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a diagram schematically showing the overall configuration of a resin discharging device to which the present invention is applied. As shown in this figure, the resin dispensing device 1 of the present invention includes an elastic tube 4 that guides the resin 2 to the dispensing port 3 without contacting the external environment, and the elastic tube 4 that is continuously squeezed to form the liquid resin. a pump 5 that applies pressure to the tube 2 and causes the tube 4 to flow;
a cooling means 6 for cooling the tube 4 during the pressurization process of the pump 5; and a pump 5 in the tube 4;
It is generally composed of a heating means 7 for heating a portion extending from the discharge side of the tube 4, and a discharge nozzle 8 provided at the tip of the tube 4. The elastic tube 4 is made of an elastic material such as rubber or soft resin, and one end is inserted into a tank 9 that stores the liquid resin 2, and the other end is installed in the electronic device manufacturing process. The resin discharge nozzle 8 is connected to the resin discharge nozzle 8. The pump 5 is equipped with a plurality of rotatably supported pressure rollers 10 on its outer periphery, and a rotating body 12 that rotates around a support shaft 11 and a part of the outer periphery of the rotating body 12 that is spaced apart from each other by a certain distance. a guide body 14 having an inner wall 13 facing each other;
The elastic tube 4 is disposed between the elastic tube 3 and the elastic tube 3 so that the intermediate portion thereof is held. In this embodiment, the rotating body 12 rotatably holds eight cylindrical pressing rollers 10 at equal intervals on its outer periphery. Further, the guide body 14 has a half-cylindrical cross section, and the rotating body 12
An inner wall 13 is formed to face approximately half of the outer periphery of the inner wall 13 . FIG. 2 is a partially enlarged sectional view linearly showing the process of pressurizing the tube 4 in the pump 5. As the rotary body 12 rotates in the discharge direction, the pressure roller 10 is pressed and moved in the direction of transporting the liquid resin 2 over the tube backed up by the inner wall 13 of the guide body 14. The tube 4 is continuously squeezed in the discharge direction in cooperation with the inner wall 13 of the tube 4. Then, the inner wall of the tube approaches the constricted portion of the tube 4 that is pressed by the pressing roller 1O, while a space filled with resin is created between the adjacent constricted portions of the tube 4, and the space is moved in the direction of transfer of the resin 2. By being moved, the resin 2 is transferred. As shown in FIG. 2, the inner wall of the tube 4 pressed by the pressure roller 10 may not be in complete contact with each other, and a small gap 15 is created between the opposing inner walls 4a and 4b of the pressed area. . By creating the gap 15, a flow occurs in the gap 15 in the opposite direction to the transfer direction (direction of arrow P) of the resin 2, which partially reduces the pressure of the resin 2 and generates bubbles of solvent, etc. It is. In this embodiment, the cooling means 6 uses air pressure, and includes an air nozzle 16 that blows high-pressure air toward the outer periphery of the guide body 14 of the pump 5. The cooling means 6 utilizes the fact that the high-pressure air ejected from the air nozzle 16 rapidly expands adiabatically on the outer circumferential surface of the guide body 14 to lower its temperature. By cooling the tube 4 held between the rotating body 12 and the guide body 14, the guide body 14 of this embodiment is made of a metal that is a good thermal conductor. For this reason, the air nozzle 16 allows the guide body 1 to
Even if air is blown onto one point of the guide body 14, the entire guide body 14 can be cooled, and the tube 4 in contact with the inner wall 13 of the guide body 14 can be cooled evenly. In this embodiment, the heating means 7 includes a heating wire 17 provided so as to surround the tube 4 extending from the discharge side of the pump 5, and a power supply device 18 that supplies current to the heating wire 17. . By energizing the heating wire 17, the heating wire 17 generates heat and the tube 4 is heated. The discharge nozzle 8 is incorporated into an electronic component manufacturing apparatus, and is configured to discharge a predetermined amount of resin at a predetermined position. In the above configuration of this embodiment, the cooling means 6 can suppress the generation of bubbles by keeping the resin 2 at a low temperature and preventing vaporization of the solvent during the pressurization process of the pump 5. It is possible to stably and reliably supply the resin 2 containing no resin. On the other hand, the heating means 7 can heat the resin 5 pressurized by the pump 5 to return it to the original temperature immediately after the end of the pressurization process, so that the resin 5 can be heated to the original temperature immediately after the end of the pressurization process. Dew condensation does not occur on the surface, nor does dew condensation occur on the resin 2 discharged from the discharge nozzle 8 in the manufacturing process of electronic components. Therefore, it is possible to stably supply sealing resin that does not contain bubbles, improve product yield, and
The reliability of products such as electronic components can be significantly improved. The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. In this embodiment, a cooling device that injects compressed air is provided as the cooling means 6, but a cooling device that uses a gas cycle such as a refrigeration cycle is also provided. You can also do that. Further, as the heating means 7, it is also possible to provide a heating device using a heating element other than the heating wire 17, for example, a ceramic heater or the like.

【図面の簡単な説明】 第1図は本願発明の樹脂吐出装置の一実施例の概略を示
す全体構成図。第2図は、要部の断面を模式的に表した
図である。 l・・・樹脂吐出装置、 ンプ、6・・・冷却手段、 ローラ、11・・・支軸、 14・・・ガイド体。 4・・・弾性チューブ、5・・・ボ ア・・・加熱手段、10・・・押圧 12・・・回転体、13・・・内壁、
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an overall configuration diagram schematically showing an embodiment of a resin discharging device of the present invention. FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross section of the main part. l...Resin discharge device, pump, 6...cooling means, roller, 11...support shaft, 14...guide body. 4... Elastic tube, 5... Bore... Heating means, 10... Pressing 12... Rotating body, 13... Inner wall,

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)回転可能に支持された複数の押圧ローラを外周部
に備え、支軸回りに回転する回転体と、上記回転体の外
周の一部に対して一定距離を隔てて対向する内壁をもつ
ガイド体と、上記回転体の外周部と上記ガイド体の内壁
との間に中間部が保持されるように配置される弾性変形
可能なチューブとを備え、上記回転体の回転にともなっ
て、上記押圧ローラが上記ガイド体の内壁と協働しつつ
チューブを吐出方向に連続的にしごくことにより、上記
チューブ内の液体樹脂を移送するポンプを備える樹脂吐
出装置において、 上記チューブにおける、上記回転体と上記 ガイド体との間に保持される部位を冷却する冷却手段を
設ける一方、上記チューブにおける、上記ポンプの吐出
側から延出する部位を加熱する加熱手段を設けたことを
特徴とする、樹脂吐出装置。
(1) It has a plurality of rotatably supported press rollers on the outer periphery, a rotating body that rotates around a support shaft, and an inner wall that faces a part of the outer periphery of the rotating body at a certain distance. a guide body; and an elastically deformable tube disposed such that an intermediate portion thereof is held between an outer peripheral portion of the rotary body and an inner wall of the guide body; A resin dispensing device comprising a pump that transfers liquid resin in the tube by continuously squeezing the tube in the discharging direction while a pressure roller cooperates with the inner wall of the guide body, wherein the rotary body in the tube and A resin discharger characterized in that a cooling means is provided for cooling a portion held between the guide body and a heating means is provided for heating a portion of the tube extending from the discharge side of the pump. Device.
JP1259418A 1989-10-03 1989-10-03 Resin discharge device Expired - Lifetime JPH0620760B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1259418A JPH0620760B2 (en) 1989-10-03 1989-10-03 Resin discharge device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1259418A JPH0620760B2 (en) 1989-10-03 1989-10-03 Resin discharge device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03120020A true JPH03120020A (en) 1991-05-22
JPH0620760B2 JPH0620760B2 (en) 1994-03-23

Family

ID=17333830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1259418A Expired - Lifetime JPH0620760B2 (en) 1989-10-03 1989-10-03 Resin discharge device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0620760B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011050823A (en) * 2009-08-31 2011-03-17 Fujifilm Corp Liquid applying device and image forming device
JP2018200997A (en) * 2017-05-30 2018-12-20 日亜化学工業株式会社 Method for manufacturing light emitting device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011050823A (en) * 2009-08-31 2011-03-17 Fujifilm Corp Liquid applying device and image forming device
JP2018200997A (en) * 2017-05-30 2018-12-20 日亜化学工業株式会社 Method for manufacturing light emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0620760B2 (en) 1994-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6457631B2 (en) Rework and underfill nozzle for electronic components
US6653743B2 (en) Electronic component mounted on a flat substrate and padded with a fluid filler
KR100480146B1 (en) Apparatus and Method of Fabricating Liquid Crystal Display Device
JPH04348540A (en) Flip chip bonder
US6273328B1 (en) Solder bump forming method and apparatus
CN103985640A (en) Fill head apparatus
TWI221143B (en) Dispenser device for fabricating semiconductor chips
WO2000029128A1 (en) Method of forming paste
US20020000190A1 (en) Method, device and printing form for transferring free-flowing printing ink onto a printing material
TWI234488B (en) Paste injection nozzle and paste application device
JPH03120020A (en) Resin-discharging apparatus
JP2572289B2 (en) High-viscosity liquid metering device
US6644238B2 (en) Conveyorized vacuum injection system
JP3708755B2 (en) Resin sealing method and resin sealing device
TWI717042B (en) Underfill method and underfill apparatus of semiconductor package
JP3255071B2 (en) Flux coating device for soldering conductive balls
KR100474843B1 (en) Lead frame, method of making the same, and semiconductor device using the same
JP2002016108A (en) Semiconductor device and its manufacturing device
KR100767360B1 (en) Spacer chamber for a liquid crystal display
TWI605527B (en) Adhesive coating apparatus and method of forming adhesive material
JP2527452B2 (en) Soldering equipment
JP2015522218A (en) Vacuum assisted underfill method for electronic devices
JP2619976B2 (en) Reflow method
JP2008192947A (en) Resin sealing apparatus and resin sealing method
JP2002292323A (en) Resin coating device