JPH03115984A - 光学式磁界測定器 - Google Patents
光学式磁界測定器Info
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- JPH03115984A JPH03115984A JP25501389A JP25501389A JPH03115984A JP H03115984 A JPH03115984 A JP H03115984A JP 25501389 A JP25501389 A JP 25501389A JP 25501389 A JP25501389 A JP 25501389A JP H03115984 A JPH03115984 A JP H03115984A
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Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光を用いて磁界を測定する測定器に関するもの
であり、特に直流磁界か直流成分を含む磁界を測定する
のに適するものである。
であり、特に直流磁界か直流成分を含む磁界を測定する
のに適するものである。
(従来の技術)
従来、光を用いて磁界を測定するが111定器として、
ファラデー効果を利用した第2図のようなものが知られ
ている。これは、光源Iから出た光が被測定磁界中に設
置されているファラデー磁界センサ4を経て受光器5に
入射するようにしたものである。ファラデー磁界センサ
4は入射した光を偏光子43で直線偏光にし、この光の
偏光面を被測定磁界中におけるファラデー索子44のフ
ァラデー効果により被測定磁界に比例して回転させ。
ファラデー効果を利用した第2図のようなものが知られ
ている。これは、光源Iから出た光が被測定磁界中に設
置されているファラデー磁界センサ4を経て受光器5に
入射するようにしたものである。ファラデー磁界センサ
4は入射した光を偏光子43で直線偏光にし、この光の
偏光面を被測定磁界中におけるファラデー索子44のフ
ァラデー効果により被測定磁界に比例して回転させ。
この偏光面の回転を検光子46(偏光子と同じ)によっ
て光の強弱に変換して出射させるものである。
て光の強弱に変換して出射させるものである。
なお、被測定磁界と受光器5に入射する光量との間の関
係を感度の良い直線関係とするために。
係を感度の良い直線関係とするために。
2つの偏光子43.46の間に適切な旋光子45を挿入
するのが一般的である。
するのが一般的である。
(発明が解決しようとする課題)
従来の磁界測定器では光源1.光伝送路7゜ファラデー
素子44、偏光子43.46、旋光子45.受光器5等
の各部品の特性が、温度変化、機械的な位置変化等によ
り変動し易いため、磁界の測定値にドリフトが生じるこ
とがあった。
素子44、偏光子43.46、旋光子45.受光器5等
の各部品の特性が、温度変化、機械的な位置変化等によ
り変動し易いため、磁界の測定値にドリフトが生じるこ
とがあった。
前記のドリフトの要因のうち、光源1の変動については
適当なフィードバックによって低減が可能である。また
、被測定磁界が交流磁界であれば被測定磁界の向きが反
転するため、受光器5の出力を平均することにより各種
の変動要因を補償するための信号を得ることができるが
、被測定磁界が直流磁界かまたは直流磁界を含む磁界で
ある場合には被測定磁界の向きが反転しないので、上記
の変動を補償することができず、測定誤差が大きくなる
という問題があった。
適当なフィードバックによって低減が可能である。また
、被測定磁界が交流磁界であれば被測定磁界の向きが反
転するため、受光器5の出力を平均することにより各種
の変動要因を補償するための信号を得ることができるが
、被測定磁界が直流磁界かまたは直流磁界を含む磁界で
ある場合には被測定磁界の向きが反転しないので、上記
の変動を補償することができず、測定誤差が大きくなる
という問題があった。
本件発明者らは鋭意研究した結果、被測定磁界の向きが
反転しない直流磁界又は直流磁界を含む磁界の場合に、
被測定磁界の向きを変える代わりに光の向きを反転させ
ることにより、被測定磁界の向きが反転したのと同等の
出力が受光器5で得られることが分かった。
反転しない直流磁界又は直流磁界を含む磁界の場合に、
被測定磁界の向きを変える代わりに光の向きを反転させ
ることにより、被測定磁界の向きが反転したのと同等の
出力が受光器5で得られることが分かった。
光の向きを変えるためには通常は光スィッチが用いられ
る。光スィッチには大別して、メカニカルスイッチと導
波路型スイッチとがある。しかし、m界測定の場合、フ
ァラデー素子と偏光子を通過した光の非常に微小な強度
変化を検出する必要があるため、どちらのスイッチも使
い物にならない6つまり、メカニカルスイッチは光ファ
イバやプリズムを機械的に動かして光を断続するもので
あるため、接続時の光電が断続する度に変動してしまい
使用できない。導波路型スイッチは可動部がないため接
続時の光量変動が小さ(、切替え時間も短いが、現状の
導波路型スイッチの特f1−レベルでは光の切断時に光
が漏れて通過してしまい、しかもその通過量が多い(ア
イソレーションが悪い)ため使用できない。
る。光スィッチには大別して、メカニカルスイッチと導
波路型スイッチとがある。しかし、m界測定の場合、フ
ァラデー素子と偏光子を通過した光の非常に微小な強度
変化を検出する必要があるため、どちらのスイッチも使
い物にならない6つまり、メカニカルスイッチは光ファ
イバやプリズムを機械的に動かして光を断続するもので
あるため、接続時の光電が断続する度に変動してしまい
使用できない。導波路型スイッチは可動部がないため接
続時の光量変動が小さ(、切替え時間も短いが、現状の
導波路型スイッチの特f1−レベルでは光の切断時に光
が漏れて通過してしまい、しかもその通過量が多い(ア
イソレーションが悪い)ため使用できない。
従って、本件発明者らが知得した1111記の光の向き
を反転させるという考えも、これまでの光スイッチを使
用したのでは実現困難であった。
を反転させるという考えも、これまでの光スイッチを使
用したのでは実現困難であった。
(発明の目的)
本発明の目的は現状で人[11丁能なレベルの8種部品
を使用して、光源、光伝送路、ファラデー素子、偏光子
、旋光子、受光器等の各部品に特性変動が生じても、磁
界の測定値に生じるドリフトを補償できるようにした光
学的磁界測定器を提供することにある。
を使用して、光源、光伝送路、ファラデー素子、偏光子
、旋光子、受光器等の各部品に特性変動が生じても、磁
界の測定値に生じるドリフトを補償できるようにした光
学的磁界測定器を提供することにある。
(課題を解決するためのL段)
本発明の光学的磁界測定器は第1図のように光源lと、
ファラデー磁界センリ′4と、受光235と、 iii
記光源1からの光を二分する方向性結合器21と、二分
された光の夫々を断続する光チョッパ31.32と、断
続された光を前記ファラデー磁界センサ4の光路の2つ
の端部41.42の夫々に入射させ、且つ同センサ4か
らの光を出射させる2つの方向性結合器22.23と、
同センサ4から出射した光の夫々を断続できる光チヨ・
ソバ33.34と、このチョッパ33.34からの光を
まとめて受光器5に入力する方向性結合器24とを備え
たことを特徴とするものである。
ファラデー磁界センリ′4と、受光235と、 iii
記光源1からの光を二分する方向性結合器21と、二分
された光の夫々を断続する光チョッパ31.32と、断
続された光を前記ファラデー磁界センサ4の光路の2つ
の端部41.42の夫々に入射させ、且つ同センサ4か
らの光を出射させる2つの方向性結合器22.23と、
同センサ4から出射した光の夫々を断続できる光チヨ・
ソバ33.34と、このチョッパ33.34からの光を
まとめて受光器5に入力する方向性結合器24とを備え
たことを特徴とするものである。
(作用)
本発明の光学式磁界測定器では方向性結合器21と、光
チョッパ31.32.33.34が設けられているので
次の二つの態様の動作をする。
チョッパ31.32.33.34が設けられているので
次の二つの態様の動作をする。
動作A
光チョッパ31.34を接続状態、光チョッパ32.3
3を切断状態にすると、光源1から出た光は方向性結合
yi21で二分され、このうち光チョッパ31に向かう
光だけが開光チョッパ;31を通過して方向性結合器2
2に入る。この光はファラデー磁界センサ4の光路8の
端部41から端部42の方向に通過する。このとき、フ
ァラデー磁界センサ4に入射した光は偏光p43により
直線偏光にされ、この光の偏光面が被測定磁界中におけ
るファラデー素子44のファラデー効果により被測定磁
界に比例して回転され、この偏光面の回転が検光子46
により光の強弱に変換され、磁界の強さに応じた強度変
化を受けて出射される。
3を切断状態にすると、光源1から出た光は方向性結合
yi21で二分され、このうち光チョッパ31に向かう
光だけが開光チョッパ;31を通過して方向性結合器2
2に入る。この光はファラデー磁界センサ4の光路8の
端部41から端部42の方向に通過する。このとき、フ
ァラデー磁界センサ4に入射した光は偏光p43により
直線偏光にされ、この光の偏光面が被測定磁界中におけ
るファラデー素子44のファラデー効果により被測定磁
界に比例して回転され、この偏光面の回転が検光子46
により光の強弱に変換され、磁界の強さに応じた強度変
化を受けて出射される。
この光は中にノj向性結合器2:3、光J−ヨッパ34
、方向性結合器24を経て受光器5に至る。
、方向性結合器24を経て受光器5に至る。
動作B
光チョッパ32.33を接続状態、光チョッパ31.3
4を切断状態にすると、光源lから出た光は方向性結合
器21で二分され、このうち光チョッパ32に向かう光
だけが同光チョッパ32を通過してノj向性結合a:i
2 :’3に入る。この光はファラデー磁界センサ4
を1111回の動作Aとは逆に、ファラデー磁界センザ
4の光路8の端部42から端部41の方向に通過し、こ
の間に動作Aの場合と同様に磁界の強さに応じた強度変
化(但し動作Aとは逆の変化)を受ける。この光は川に
方向性結合器22、光チョッパ33、方向性結合′Ai
:24を経て受光器5に至る。
4を切断状態にすると、光源lから出た光は方向性結合
器21で二分され、このうち光チョッパ32に向かう光
だけが同光チョッパ32を通過してノj向性結合a:i
2 :’3に入る。この光はファラデー磁界センサ4
を1111回の動作Aとは逆に、ファラデー磁界センザ
4の光路8の端部42から端部41の方向に通過し、こ
の間に動作Aの場合と同様に磁界の強さに応じた強度変
化(但し動作Aとは逆の変化)を受ける。この光は川に
方向性結合器22、光チョッパ33、方向性結合′Ai
:24を経て受光器5に至る。
以Vのように動作Aと動作Bとを適宜切替えることによ
り、ファラデー磁界センザ4の磁界が零であるときに得
られるはずの光出力を中心にして、磁界の強さに応じた
強度変調を受けた光出力が受光器5に得られる。
り、ファラデー磁界センザ4の磁界が零であるときに得
られるはずの光出力を中心にして、磁界の強さに応じた
強度変調を受けた光出力が受光器5に得られる。
受光2に5からの出力を+’+77記動作△、Bの切替
えに同量させて信り処理することにより、ファラデー磁
界センサ4の磁界が零であるときに得られるはずの受光
器5からの出力レベルを知ることができるにの出力レベ
ルが当初設定した零磁界における出力と等しければ、各
部品の特性は〉11初没定した値から変化していないこ
とになり、測定値がドリフトの556を受けないH’(
の1inlW値となる。。
えに同量させて信り処理することにより、ファラデー磁
界センサ4の磁界が零であるときに得られるはずの受光
器5からの出力レベルを知ることができるにの出力レベ
ルが当初設定した零磁界における出力と等しければ、各
部品の特性は〉11初没定した値から変化していないこ
とになり、測定値がドリフトの556を受けないH’(
の1inlW値となる。。
しかし、その出力レベルが当初設定した零磁界における
出力レベルと穴なっていれば、このときは諸部品の特性
が当初の設定値から変動していることになるので、この
ときは何らかのフィードバックを施すとか、得られる磁
界の測定値に適切な補正を施す等して、古部品の特性変
動により測定値に生じるドリフトを補償し、真の磁界の
測定値を得ることができる。
出力レベルと穴なっていれば、このときは諸部品の特性
が当初の設定値から変動していることになるので、この
ときは何らかのフィードバックを施すとか、得られる磁
界の測定値に適切な補正を施す等して、古部品の特性変
動により測定値に生じるドリフトを補償し、真の磁界の
測定値を得ることができる。
(実施例)
第1図は本発明の光学式磁界測定器の一実施例である。
本発明の方向性結合器21〜24としては8神のものを
使用することができるが、できるだけ結合損失の小さい
ものを使用するのが望ましい、また、同結合器21〜2
4はアイソレーションが良いこと(例えば光チョッパ3
1を経て、方向性結合器22に入射した光のうち、ファ
ラデー磁界センザ4へ向かわずに光チョッパ33へ出射
してしまう光が少ないこと)が望まれるが、この場合、
光チョッパ33へ出射してしまう光は、結局は同光チョ
ッパ33で■トぬられてしまう(これは他のlj向性結
合器の場合も同じ)ので、アイソレーションが良いこと
は絶対条件ではない。
使用することができるが、できるだけ結合損失の小さい
ものを使用するのが望ましい、また、同結合器21〜2
4はアイソレーションが良いこと(例えば光チョッパ3
1を経て、方向性結合器22に入射した光のうち、ファ
ラデー磁界センザ4へ向かわずに光チョッパ33へ出射
してしまう光が少ないこと)が望まれるが、この場合、
光チョッパ33へ出射してしまう光は、結局は同光チョ
ッパ33で■トぬられてしまう(これは他のlj向性結
合器の場合も同じ)ので、アイソレーションが良いこと
は絶対条件ではない。
また、方向性結合器21.24には分岐比が1・1のも
のを使用するのが望ましい。
のを使用するのが望ましい。
本発明の光チョッパ31〜34としてはメカニカルチョ
ッパ、電気光学式チョッパなどを使用することができる
。特性的には消光比がよく、また断続を繰返したときの
接続時の光は変動が非常に小さいものが望ましい。これ
らの特性が悪いとそのまま測定精度の低下につながる1
、14体的には消光比25dB以−ト、接続時の光楢変
動0.01dB以Fのものが望ましい。
ッパ、電気光学式チョッパなどを使用することができる
。特性的には消光比がよく、また断続を繰返したときの
接続時の光は変動が非常に小さいものが望ましい。これ
らの特性が悪いとそのまま測定精度の低下につながる1
、14体的には消光比25dB以−ト、接続時の光楢変
動0.01dB以Fのものが望ましい。
本発明のファラデー磁界センサ4は、入射した光を偏光
子43により直線偏光にし、この光の偏光面を被測定磁
界中におけるファラデー素P44のファラデー効果によ
り被測定磁界に比例して回転させ、この偏光面の回転が
検光子46により光の強弱に変換して出射されるように
したものである。
子43により直線偏光にし、この光の偏光面を被測定磁
界中におけるファラデー素P44のファラデー効果によ
り被測定磁界に比例して回転させ、この偏光面の回転が
検光子46により光の強弱に変換して出射されるように
したものである。
このファラデー磁界センザ4は第1図に示したものに限
らず、様々な構成のものを使用することができるが、光
路の両端部が光学的に対称に構成されているものが望ま
しい。これは本発明の光字式磁界測定器では、光がファ
ラデー磁界センサ4を通過する方向を逆にしたときに、
できるだけ条件が変わらないほうが良いからである。
らず、様々な構成のものを使用することができるが、光
路の両端部が光学的に対称に構成されているものが望ま
しい。これは本発明の光字式磁界測定器では、光がファ
ラデー磁界センサ4を通過する方向を逆にしたときに、
できるだけ条件が変わらないほうが良いからである。
実際の磁界測定に4またってはファラデーFIB界セン
サ4のみを被il+1定磁界内に置き、他の部品との間
を光ファイバで接続すれば、同センザ4と測定イに本体
を一つなぐものは光フ、・イバのみとなり、χ・1電撃
性や誘導ノイズの低減等の面でイー■利である。
サ4のみを被il+1定磁界内に置き、他の部品との間
を光ファイバで接続すれば、同センザ4と測定イに本体
を一つなぐものは光フ、・イバのみとなり、χ・1電撃
性や誘導ノイズの低減等の面でイー■利である。
また、そのようにすれば複数の方向性:結合′l321
〜24及び複数の光チョッパ:31〜34の設置条件を
一定に保ち易くなる。本発明の光学式磁界測定器ではこ
れらの部品の設置条件を一定に保つことが重要である。
〜24及び複数の光チョッパ:31〜34の設置条件を
一定に保ち易くなる。本発明の光学式磁界測定器ではこ
れらの部品の設置条件を一定に保つことが重要である。
(発明の効果)
本発明の光字式磁界測定器は次のような効果がある。
■ 光源、光伝送路、ファラデー素子、偏光r−1旋光
子、受光器等の各受光器5性変動が生じても、磁界の測
定値に生じるドリフトを容易に補償することができるの
で、精度の高い磁界測定が可能となる。この効果は破割
定磁界が直流磁界であるか直流磁界を含む磁界である場
合に特に大きい。
子、受光器等の各受光器5性変動が生じても、磁界の測
定値に生じるドリフトを容易に補償することができるの
で、精度の高い磁界測定が可能となる。この効果は破割
定磁界が直流磁界であるか直流磁界を含む磁界である場
合に特に大きい。
■4現状で人手可能な特性レベルの諸都市を用いて構成
できるので容号に実用化でき、又、格別高価にもならな
い。
できるので容号に実用化でき、又、格別高価にもならな
い。
第1図は本発明の光学式磁界測定器の一実施例を示す説
明図、第2図は従来の光学的磁界測定器の一例を示す説
明図である。 lは光源 4はファラデー磁界センザ I 5は受光器 21〜24は方向性結合器 31〜34は光チョッパ 41.42は端部 43は偏光子 44フアラデー素r 45は旋光子 46は検光子
明図、第2図は従来の光学的磁界測定器の一例を示す説
明図である。 lは光源 4はファラデー磁界センザ I 5は受光器 21〜24は方向性結合器 31〜34は光チョッパ 41.42は端部 43は偏光子 44フアラデー素r 45は旋光子 46は検光子
Claims (1)
- 光源1と、ファラデー磁界センサ4と、受光器5と、前
記光源1からの光を二分する方向性結合器21と、二分
された光の夫々を断続する光チョッパ31、32と、断
続された光を前記ファラデー磁界センサ4の光路の2つ
の端部41、42の夫々に入射させ、且つ同センサ4か
らの光を出射させる2つの方向性結合器22、23と、
同センサ4から出射した光の夫々を断続できる光チョッ
パ33、34と、このチョッパ33、34からの光をま
とめて受光器5に入力する方向性結合器24とを備えた
ことを特徴とする光学式磁界測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25501389A JPH03115984A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式磁界測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25501389A JPH03115984A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式磁界測定器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03115984A true JPH03115984A (ja) | 1991-05-16 |
Family
ID=17272985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25501389A Pending JPH03115984A (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式磁界測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03115984A (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25501389A patent/JPH03115984A/ja active Pending
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