JPH0298965A - 多素子赤外線検知センサ - Google Patents

多素子赤外線検知センサ

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JPH0298965A
JPH0298965A JP63252818A JP25281888A JPH0298965A JP H0298965 A JPH0298965 A JP H0298965A JP 63252818 A JP63252818 A JP 63252818A JP 25281888 A JP25281888 A JP 25281888A JP H0298965 A JPH0298965 A JP H0298965A
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earth line
ground
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Shigeki Hamashima
濱嶋　茂樹
Masaru Koseto
勝 小瀬戸
Shoji Nomura
昭司 野村
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 多素子赤外線検知センサに関し、 多数の受光部が共通に接続されるアースラインの抵抗、
発熱及び受光部の検出性能のバラツキを減少させること
を目的とし、 櫛歯状に成形された光導電体層の各櫛歯の中央部に受光
部を設け、各受光部の両側にアース電極と出力電極を形
成するとともに、各櫛歯に共通な支持部に各アース電極
に共通なアースラインを形成した受光素子板と、上記多
数の受光部に対応する窓を有するアパーチャ板を備えた
多素子赤外線検知センサに於いて、上記アパーチャ板の
アースラインに対応する位置に、該アースラインに接す
る導電体層を形成した構成とした。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多素子光検知センサに関し、特に、多素子赤
外線検知センサのアースラインの構成に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
第３図は視野角を制限するアパーチャ板７を外した状態
の従来の多素子赤外線検知センサの分解斜視図を示すも
のである。受光素子板１はサファイア等のセラミック基
板ｌａ上に貼り付けられた光導電体層１ｂを櫛歯型に成
形し、その各櫛歯の後端部にアース電極３ａを、また各
櫛歯に共通の支持部に各アース電板３ａに共通なアース
ライン３ｂを蒸着によって形成し、該アースライン３ｂ
は一端部（図面上左部）にある櫛歯に導かれてアースバ
ッド５を形成する一方、各櫛歯の中央部に受光部２を残
して、先端に出力電極４が前記アース電極３ａ、アース
ライン３ｂと同時蒸着によって形成された構成となって
いる。また、上記のように構成された光導電体層１ｂの
上面は各受光部２の視野を制限する窓６を有するアパー
チャ板７によって覆われるようになっている。
上述した赤外線検知センサは例えば液体窒素温度に冷却
され、撮像素子として利用される。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記アースライン３ｂは受光部２の数が増大すればする
程長くなり、それだけ抵抗も大きくなって、アースバッ
ド５から遠い受光部２に必要な電流を供給するためには
アースライン３ｂに流す電流を大きくする必要が生じる
が、アースライン３ｂの電流を大きくするとアースライ
ン３ｂの発熱が増大し、赤外線検知センサの冷却が不充
分となって満足な性能が得られなくなる。また、受光部
２の数が多くなると、その距離に応じてアースバッド５
と各受光部２間の抵抗値が異なり、各受光部２の検出性
能にバラツキが生じるという問題が顕著になってくる。
これらの問題を解決するためにはアースライン３ｂの膜
厚を厚くしてその抵抗値を低下させることが有効である
。しかしながら、アースライン３ｂは上記のように光導
電体層１ｂを櫛歯状に成形した後に蒸着によって形成し
ているので、素子の製造上充分な膜厚が得られない難点
がある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、ア
ースラインの抵抗、アースラインの発熱及び受光部の検
出性能のバラツキを減少させた多素子赤外線検知センサ
を提供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために本発明は、第１図に示すよう
に多数の受光部２の一端に形成された多数のアース電極
３ａに共通に連続して形成されるアースライン３ｂと上
記多数の受光部２に対応する窓６を有するアパーチャ板
７を備えた多素子赤外線検知センサに於いて、前記アパ
ーチャ板７のアースライン３ｂに対応する位置に、該ア
ースライン３ｂに接する導電体層８を形成した構成とし
ている。
〔作用〕
上記の構成によれば、各アース電極３ａがアースライン
３ｂと導電体層８とに共通に接続されるので、アースラ
イン３ｂ端（アースバッド）と各受光部２間の抵抗が減
少し、また、アースライン３ｂ端と各受光部２間の抵抗
値を均一化できる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る多素子赤外線検知セン
サの分解斜視図であり、第２図はその縦断正面図である
。受光素子板１は従来と全く同様に構成される。すなわ
ち、セラミック基板ｌａ上の櫛歯型に成形された光導電
体ｉｔｂの上面の一＃１（図面上左端）の櫛歯を除く各
櫛歯上面の後端側にアース電極３ａ、先端側に出力電極
４、中央に受光部２を形成し、また上記アース電極３ａ
が各櫛歯に共通な支持部に形成されたアースライン３ｂ
で共通に接続されて、一端の櫛歯（図面上左端部）に形
成されたアースバッド５に導かれる。
また上記アースライン３ｂ、出力電極４及びアースバン
ド５等が公知の金属蒸着法によって光導電体層１ｂに形
成されることも従来と同じである。
一方、前記光導電体層１ｂの上面は、各受光部４の視野
を制限する窓６を有するアパーチャ板７で覆われる。こ
のアパーチャ板７は金属板からなり、その裏面を絶縁化
した後、黒化処理を施し、光の反射を防止するようにし
ている。また、このアパーチャ板７の裏面の上記アース
ライン３ｂ及びアースバッド５に対応する位置には、該
アースライン３ｂ及びアースバッド５に対応する形状に
形成された導電体層８が成形される。該導電体層８は、
例えば蒸着によって形成されるのであるが、アパーチャ
板７の裏面は平面状であるので、形成される蒸着膜の厚
みが制限されることはなく、長さに対して比較的抵抗の
少ないパターンを形成できる。そして、この導電体層８
は、アパーチャ板７を光導電体層ｌｂの上面に重ねた時
にアースライン３ｂ及びアースバッド５に密着するよう
になっている。
上記の構成によれば、各受光部２はアースライン３ｂ及
び導電体層８を介してアースバッド５に接続されること
になり、かつ、導電体層８の厚みを充分に大きくするこ
とができるので、アースバッド５と各受光部２間の抵抗
値は小さくなる。従って、アースバッド５から距離的に
遠い受光部２であっても電流を小さくすることができ、
アースライン３ｂの発熱を減少させることができる。ま
た、アースバッド５と各受光部２間の抵抗値のバラツキ
を小さくでき、各受光部２の出力性能を均一化させるこ
とができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の多素子赤外線検知センサ
によれば、各受光部が光導電体層上に形成されたアース
ライン及びアパーチャ板裏面に形成された導電体層に共
通に接続されるので、アースライン端（アースバンド）
と各受光部間の抵抗値を低くでき、アースラインに流す
電流を小さくして、その発熱を減少させることができ、
また、各受光部の出力性能を均一化できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係る多素子赤外線検知セン
サの分解斜視図であり、第２図はその縦断正面図、第３
図は従来の赤外線検知センサの分解斜視図である。 図中、

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 〔１〕櫛歯状に成形された光導電体層（１ｂ）の各櫛歯
    の中央部に受光部（２）を設け、各受光部（２）の両側
    にアース電極（３ａ）と出力電極（４）を形成するとと
    もに、各櫛歯に共通な支持部に各アース電極（３ａ）に
    共通なアースライン（３ｂ）を形成した受光素子板（１
    ）と、上記多数の受光部（２）に対応する窓（６）を有
    するアパーチャ板（７）を備えた多素子赤外線検知セン
    サに於いて、 上記アパーチャ板（７）のアースライン（３ｂ）に対応
    する位置に、該アースライン（３ｂ）に接する導電体層
    （８）を形成したことを特徴とする多素子赤外線検知セ
    ンサ。
JP63252818A 1988-10-05 1988-10-05 多素子赤外線検知センサ Pending JPH0298965A (ja)

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US07/413,751 US5006711A (en) 1988-10-05 1989-09-28 Multielement infrared detector for thermal imaging

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