JPH0296405A - Surface acoustic wave oscillator - Google Patents

Surface acoustic wave oscillator

Info

Publication number
JPH0296405A
JPH0296405A JP11765288A JP11765288A JPH0296405A JP H0296405 A JPH0296405 A JP H0296405A JP 11765288 A JP11765288 A JP 11765288A JP 11765288 A JP11765288 A JP 11765288A JP H0296405 A JPH0296405 A JP H0296405A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
acoustic wave
surface acoustic
circuit
temperature compensation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11765288A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Kato
章 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP11765288A priority Critical patent/JPH0296405A/en
Publication of JPH0296405A publication Critical patent/JPH0296405A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the temperature compensation characteristic by forming a film resistance in which the resistance value is changed by temperature, on a piezoelectric substrate and using it as the temperature taking element to constitute a temperature compensating circuit. CONSTITUTION:A frequency control circuit 14 is connected to an oscillating circuit 11 including a surface acoustic wave resonator 13, further, a temperature compensating circuit 16 including temperature taking elements 17 and 18 is connected to the circuit 14 and the temperature compensation of the circuit 11 is executed. The resonator 13 respectively forms film resistances 27 and 28 in which the resistance value is changed by the temperature on a piezoelectric substrate 131. Such film resistances 27 and 28 are respectively used as the elements 17 and 18 to constitute the circuit 16. By the constitution, since the resonator 13 and the elements 17 and 18 are unified on the same substrate 131, the temperature difference between both is hardly eliminated and the temperature compensation characteristic is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、弾性表面波デバイスを用いた弾性表面波発
振器であって発振周波数の温度補償回路を有するものに
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a surface acoustic wave oscillator using a surface acoustic wave device and having a temperature compensation circuit for the oscillation frequency.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

この種の弾性表面波発振器の従来例を第5図に示す。 A conventional example of this type of surface acoustic wave oscillator is shown in FIG.

即ち、発振トランジスタ2と弾性表面波デバイスの一つ
である弾性表面波共振子3を含む発振回路lに、可変容
量ダイオード5を含む周波数制御回路4を接続し、更に
この周波数制御回路4に、検温素子としてこの例では負
特性のサーミスタ7.8を含む温度補償回路6を接続し
ている。
That is, a frequency control circuit 4 including a variable capacitance diode 5 is connected to an oscillation circuit 1 including an oscillation transistor 2 and a surface acoustic wave resonator 3 which is one of the surface acoustic wave devices, and further, to this frequency control circuit 4, In this example, a temperature compensation circuit 6 including a thermistor 7.8 with negative characteristics is connected as a temperature measuring element.

サーミスタ7.8は周囲の温度を検知してその温度に応
じた抵抗値を示すので、温度補償回路6は温度の関数と
してのチューニング電圧Vtを出力し、それに応じて可
変容量ダイオード15の容量が変化し、ひいては発振回
路1の発振周波数が温度に応じて制御される。
Since the thermistor 7.8 detects the ambient temperature and indicates a resistance value according to the temperature, the temperature compensation circuit 6 outputs a tuning voltage Vt as a function of temperature, and the capacitance of the variable capacitance diode 15 changes accordingly. As a result, the oscillation frequency of the oscillation circuit 1 is controlled according to the temperature.

この発振回路l単体の周波数温度特性は例えば第6図に
実線で示すようなものであり、従ってそれをキャンセル
するように上記チューニング電圧Vtを選べば(同図中
の破線参照)、発振回路1の発振周波数の温度補償を行
うことができる。チューニング電圧Vtのそのような特
性は、−S的にこの例のように少なくとも二つのサーミ
スタ7.8を用いれば実現することができる。
The frequency-temperature characteristic of this oscillation circuit 1 alone is, for example, as shown by the solid line in FIG. The oscillation frequency can be temperature compensated. Such a characteristic of the tuning voltage Vt can be realized using at least two thermistors 7.8 as in this example.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

所が上記のような従来の弾性表面波発振器においては、
弾性表面波共振子3とサーミスタ7.8とがそれぞれ独
立した部品であるため、両者間に温度差が必然的に生じ
、それによって温度補償特性が悪化するという問題があ
る。
However, in the conventional surface acoustic wave oscillator as mentioned above,
Since the surface acoustic wave resonator 3 and the thermistor 7.8 are independent components, a temperature difference inevitably occurs between them, which causes a problem in that the temperature compensation characteristics deteriorate.

また同上の理由から、部品点数が多く、かつそれぞれに
スペースを取られるため、そのぶん当該弾性表面波発振
器の小型軽量化が阻害されるという問題もある。
Furthermore, for the same reason as above, there is a problem that the number of parts is large and each takes up space, which hinders the reduction in size and weight of the surface acoustic wave oscillator.

このような問題は、他のタイプの弾性表面波デバイスを
用いた他のタイプの弾性表面波発振器にも同様に存在す
る。
Such problems similarly exist in other types of surface acoustic wave oscillators using other types of surface acoustic wave devices.

そこでこの発明は、上記のような問題点を解消した弾性
表面波発振器を提供することを主たる目的とする。
Therefore, the main object of the present invention is to provide a surface acoustic wave oscillator that solves the above-mentioned problems.

(課題を解決するための手段〕 この発明の弾性表面波発振器は、弾性表面波デバイスを
構成する圧電基板上に、温度によって抵抗値が変化する
膜抵抗を形成し、それを温度補償回路を構成する検温素
子として用いていることを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In the surface acoustic wave oscillator of the present invention, a film resistor whose resistance value changes depending on temperature is formed on a piezoelectric substrate constituting a surface acoustic wave device, and this is used to construct a temperature compensation circuit. It is characterized by being used as a temperature measuring element.

〔作用〕[Effect]

上記構成によれば、弾性表面波デバイスと温度補償回路
の検温素子とが同一基板上で言わば一体になっているた
め、両者間の温度差が殆どなくなり、従って温度補償特
性が向上する。しかも同上の理由から、部品点数やスペ
ースを削減できるため、そのぶん当該弾性表面波発振器
の小型軽量化および低コスト化を図ることができる。
According to the above configuration, since the surface acoustic wave device and the temperature sensing element of the temperature compensation circuit are integrated on the same substrate, the temperature difference between them is almost eliminated, and therefore the temperature compensation characteristics are improved. Moreover, for the same reasons as above, the number of parts and space can be reduced, so the surface acoustic wave oscillator can be made smaller, lighter, and less expensive.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、この発明の一実施例に係る弾性表面波発振器
を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a surface acoustic wave oscillator according to an embodiment of the present invention.

この実施例の弾性表面波発振器は、基本的には第5図の
ものと同様に弾性表面波共振子タイプのものであり、発
振トランジスタ12と弾性表面波デバイスの一つである
1ポート形の弾性表面波共振子13を含む発振回路11
に、可変容量ダイオード15を含む周波数制御回路14
を接続し、更にこの周波数制御回路14に、二つの検温
素子17および1日を含む温度補償回路16を接続して
、それから例えば前述したようなチューニング電圧V【
を出力し、それによって発振回路11の温度補償を行う
よう構成している。
The surface acoustic wave oscillator of this embodiment is basically of the surface acoustic wave resonator type similar to the one shown in FIG. Oscillation circuit 11 including surface acoustic wave resonator 13
, a frequency control circuit 14 including a variable capacitance diode 15
, further connect the frequency control circuit 14 with the temperature compensation circuit 16 including the two temperature detection elements 17 and the temperature compensation circuit 16, and then, for example, adjust the tuning voltage V [
The oscillator circuit 11 is configured to output a temperature of 100 Ω, thereby compensating the temperature of the oscillation circuit 11.

但しこの実施例における弾性表面波共振子13は、例え
ば第2図に示すように、圧電基板131上の中央部にイ
ンタディジタル形トランスジューサ(以下IDTと略す
)132を、その左右に格子状の反射器133および1
34をそれぞれ形成したものであり、更に同圧電基板1
31上に、しかもこの例では当該弾性表面波共振子13
のQの低下を防ぐために弾性表面波の導波路外に直角に
、温度によって抵抗値が変化する二つの膜抵抗27およ
び28をそれぞれ形成している。
However, as shown in FIG. 2, for example, the surface acoustic wave resonator 13 in this embodiment has an interdigital transducer (hereinafter abbreviated as IDT) 132 in the center on a piezoelectric substrate 131, and a grid-shaped reflection transducer on the left and right sides. vessels 133 and 1
34, and further the same piezoelectric substrate 1
31, and in this example, the surface acoustic wave resonator 13
In order to prevent the Q from decreasing, two film resistors 27 and 28 whose resistance value changes depending on the temperature are formed at right angles outside the surface acoustic wave waveguide.

この膜抵抗27.2日としては、例えば白金(pt )
またはニッケル(Ni )の薄膜または厚膜を用いれば
良く、それによればサーミスタと同様に負の温度係数を
得ることができる。
As this film resistance 27.2 days, for example, platinum (pt)
Alternatively, a thin or thick film of nickel (Ni 2 ) may be used, whereby a negative temperature coefficient can be obtained like a thermistor.

そしてこのような膜抵抗27および2日を、第1図の温
度補償回路16を構成する検温素子17および18とし
てそれぞれ用いている。
Such film resistors 27 and 2 are used as temperature measuring elements 17 and 18, respectively, constituting the temperature compensation circuit 16 in FIG.

上記構成によれば、弾性表面波共振子13と温度補償回
路16の検温素子17および18とが同−基Fi131
上で言わば一体になっているため、従来のように検温素
子に独立した部品であるサーミスタ等を用いる場合と違
って、両者間の温度差が殆どなくなり、従って温度補償
特性が向上する。
According to the above configuration, the surface acoustic wave resonator 13 and the temperature measuring elements 17 and 18 of the temperature compensation circuit 16 are based on the same base Fi131.
Since they are integrated, so to speak, unlike the conventional case where a thermistor or the like, which is an independent component, is used as the temperature measuring element, there is almost no temperature difference between the two, and therefore the temperature compensation characteristics are improved.

即ち、幅広い温度範囲に亘って発振周波数が安定した弾
性表面波発振器を得ることができる。
That is, it is possible to obtain a surface acoustic wave oscillator whose oscillation frequency is stable over a wide temperature range.

しかも同上の理由から、部品点数やスペースを削減でき
るため、そのぶん当該弾性表面波発振器の小型軽量化お
よび低コスト化を図ることができる。
Moreover, for the same reasons as above, the number of parts and space can be reduced, so the surface acoustic wave oscillator can be made smaller, lighter, and less expensive.

また、上記のような膜抵抗27.28によれば、その経
路の全長に応じて抵抗値を様々に設定することができる
ので、検温素子にサーミスタ等の既存の素子を用いる従
来例と違って、回路設計の自由度が増大すると共に、所
望の抵抗温度特性を得るのに必要な直並列の固定抵抗(
第1図のR参照)を省略することも可能となり、それに
よって回路構成の一層の簡素化を図ることもできる。
Furthermore, according to the membrane resistors 27 and 28 mentioned above, the resistance value can be set variously depending on the total length of the path, so unlike the conventional example in which an existing element such as a thermistor is used as a temperature measuring element. , the degree of freedom in circuit design increases, and the series and parallel fixed resistances (
(see R in FIG. 1) can be omitted, thereby further simplifying the circuit configuration.

第3図は、この発明の他の実施例に係る弾性表面波発振
器を示すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a surface acoustic wave oscillator according to another embodiment of the invention.

この弾性表面波発振器は、遅延線タイプの例であり、増
幅器31の入出力部間に弾性表面波フィルタ(これは遅
延線と見ることもできる)33および可変容量ダイオー
ドを含む移相器34を挿入して発振ループを形成すると
共に、この移相器34に温度補償回路36から前述した
ようなチューニング電圧Vtを供給して発振周波数の温
度補償を行うようにしている。32は出力用の方向性結
合器である。
This surface acoustic wave oscillator is an example of a delay line type, and includes a surface acoustic wave filter (which can also be seen as a delay line) 33 and a phase shifter 34 including a variable capacitance diode between the input and output sections of an amplifier 31. The phase shifter 34 is inserted to form an oscillation loop, and the above-mentioned tuning voltage Vt is supplied from the temperature compensation circuit 36 to the phase shifter 34 to perform temperature compensation of the oscillation frequency. 32 is an output directional coupler.

しかもこの弾性表面波フィルタ33は、例えば第4図に
示すように、圧電基板331上の左右に二つのI DT
332お津び333を、その間に両者間の直結を防ぐシ
ールド電極334をそれぞれ形成したものであり、更に
この例では同圧電基板331上であって弾性表面波の導
波路外に直角に、前記膜抵抗27.28と同様の温度に
よって抵抗値が変化する二つの膜抵抗37および38を
それぞれ形成している。
Moreover, this surface acoustic wave filter 33 has two IDTs on the left and right sides of the piezoelectric substrate 331, for example, as shown in FIG.
332 and 333, and a shield electrode 334 is formed therebetween to prevent direct connection between the two, and furthermore, in this example, on the same piezoelectric substrate 331, at right angles to the outside of the surface acoustic wave waveguide, Two film resistors 37 and 38 whose resistance value changes depending on the temperature similar to the film resistors 27 and 28 are formed.

そしてこのような膜抵抗37および38を、第3図の温
度補償回路36を構成する検温素子として用いている。
Such membrane resistors 37 and 38 are used as temperature measuring elements constituting the temperature compensation circuit 36 in FIG.

従ってこの実施例においても、前記実施例と同様の効果
が得られる。
Therefore, in this embodiment as well, the same effects as in the previous embodiment can be obtained.

また上記弾性表面波フィルタ33の代わりに、2ポート
形の弾性表面波共振子を用いることもでき、その場合も
その圧電基板上に上記例と同様に膜抵抗を形成すれば良
い。
Moreover, a two-port surface acoustic wave resonator can be used instead of the surface acoustic wave filter 33, and in that case, a membrane resistor may be formed on the piezoelectric substrate in the same manner as in the above example.

尚、上記のような温度補償回路16あるいは36の回路
構成やその検温素子の数は、必ずしも上記例のようなも
のに限定されるものではなく、所望とする特性に応じて
種々のものが採り得る。
Note that the circuit configuration of the temperature compensation circuit 16 or 36 and the number of temperature sensing elements thereof are not necessarily limited to those shown in the example above, and various configurations may be adopted depending on the desired characteristics. obtain.

また、弾性表面波発振器としての回路構成も必ずしも上
記例のようなものに限定されるものではない。
Further, the circuit configuration of the surface acoustic wave oscillator is not necessarily limited to the above example.

また、上記のような弾性表面波共振子13や弾性表面波
フィルタ33等の弾性表面波デバイスの圧電基板上には
、必ずしも温度補償回路の検温素子と同数だけ膜抵抗を
形成する必要は無く、必要とする検温素子の一部に上記
のような膜抵抗を用いても良い。
Further, it is not necessarily necessary to form the same number of film resistors as the temperature sensing elements of the temperature compensation circuit on the piezoelectric substrate of the surface acoustic wave device such as the surface acoustic wave resonator 13 or the surface acoustic wave filter 33 as described above. A film resistor as described above may be used as a part of the required temperature measuring element.

また、温度補償回路の回路構成に応じて、複数の膜抵抗
を弾性表面波デバイスの圧電基板上で予め互いに配線し
ておいても良く、そのようにすれば外部配線を簡略化す
ることができる。
Furthermore, depending on the circuit configuration of the temperature compensation circuit, multiple film resistors may be wired to each other in advance on the piezoelectric substrate of the surface acoustic wave device, and in this way, external wiring can be simplified. .

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のようにこの発明によれば、弾性表面波デバイスと
温度補償回路の検温素子とが同一基板上で言わば一体に
なっているため、両者間の温度差が殆どなくなり、従っ
て温度補償特性が向上する。
As described above, according to the present invention, since the surface acoustic wave device and the temperature sensing element of the temperature compensation circuit are integrated on the same substrate, the temperature difference between them is almost eliminated, and therefore the temperature compensation characteristics are improved. do.

しかも同上の理由から、部品点数やスペースを削減でき
るため、そのぶん当該弾性表面波発振器の小型軽量化お
よび低コスト化を図ることができる。
Moreover, for the same reasons as above, the number of parts and space can be reduced, so the surface acoustic wave oscillator can be made smaller, lighter, and less expensive.

更に、上記膜抵抗はその経路の全長に応じて抵抗値を様
々に設定することができるので、回路設計の自由度が増
大すると共に、所望の特性を得るのに必要な直並列の固
定抵抗を省略することも可能となる。
Furthermore, since the resistance value of the membrane resistor can be set variously depending on the total length of the path, the degree of freedom in circuit design increases and it is possible to select the series and parallel fixed resistances necessary to obtain the desired characteristics. It is also possible to omit it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明の一実施例に係る弾性表面波発振器
を示す回路図である。第2図は、第1図の弾性表面波共
振子の一例を示す平面図である。 第3図は、この発明の他の実施例に係る弾性表面波発振
器を示すブロック図である。第4図は、第3図の弾性表
面波フィルタの一例を示す平面図である。第5図は、従
来の弾性表面波発振器の一例を示すブロック図である。 第6図は、発振回路単体の周波数温度特性の一例を示す
図である。 13・・・弾性表面波共振子、16・・・温度補償回路
、17.18・・・検温素子、27.28・・・膜抵抗
、33・・・弾性表面波フィルタ、36・・・温度補償
回路、37.38・・・膜抵抗。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a surface acoustic wave oscillator according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing an example of the surface acoustic wave resonator shown in FIG. 1. FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a surface acoustic wave oscillator according to another embodiment of the invention. FIG. 4 is a plan view showing an example of the surface acoustic wave filter shown in FIG. 3. FIG. 5 is a block diagram showing an example of a conventional surface acoustic wave oscillator. FIG. 6 is a diagram showing an example of frequency-temperature characteristics of a single oscillation circuit. 13...Surface acoustic wave resonator, 16...Temperature compensation circuit, 17.18...Temperature measuring element, 27.28...Membrane resistance, 33...Surface acoustic wave filter, 36...Temperature Compensation circuit, 37.38... membrane resistance.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)弾性表面波デバイスを用いた弾性表面波発振器で
あって発振周波数の温度補償回路を有するものにおいて
、前記弾性表面波デバイスを構成する圧電基板上に、温
度によって抵抗値が変化する膜抵抗を形成し、それを前
記温度補償回路を構成する検温素子として用いているこ
とを特徴とする弾性表面波発振器。
(1) In a surface acoustic wave oscillator using a surface acoustic wave device and having a temperature compensation circuit for the oscillation frequency, a film resistor whose resistance value changes depending on temperature is provided on the piezoelectric substrate constituting the surface acoustic wave device. 1. A surface acoustic wave oscillator, characterized in that the surface acoustic wave oscillator is formed with a temperature sensor and is used as a temperature measuring element constituting the temperature compensation circuit.
JP11765288A 1988-05-14 1988-05-14 Surface acoustic wave oscillator Pending JPH0296405A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11765288A JPH0296405A (en) 1988-05-14 1988-05-14 Surface acoustic wave oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11765288A JPH0296405A (en) 1988-05-14 1988-05-14 Surface acoustic wave oscillator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0296405A true JPH0296405A (en) 1990-04-09

Family

ID=14716973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11765288A Pending JPH0296405A (en) 1988-05-14 1988-05-14 Surface acoustic wave oscillator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0296405A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10313216A (en) * 1997-05-13 1998-11-24 Fujitsu Ltd Oscillation circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10313216A (en) * 1997-05-13 1998-11-24 Fujitsu Ltd Oscillation circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4872765A (en) Dual mode quartz thermometric sensing device
US4484157A (en) Voltage controlled crystal oscillator having wide frequency range
WO2006046672A1 (en) Composite resonance circuit and oscillation circuit using the circuit
US7847647B2 (en) Oscillator circuit with acoustic single-port surface wave resonators
JP2021022954A (en) Transmitter with coupled resonator
US6803698B2 (en) Acceleration sensor
JP2748740B2 (en) Temperature compensated oscillator and temperature detector
US4607239A (en) Adjustment of the frequency-temperature characteristics of crystal oscillators
JPH0296405A (en) Surface acoustic wave oscillator
JPH01288003A (en) Surface acoustic wave oscillator
JPH06276020A (en) Temperature compensated crystal oscillator
JP3155113B2 (en) Temperature compensated crystal oscillation circuit
JP2975411B2 (en) Temperature compensated piezoelectric oscillator
JPH0870232A (en) Surface acoustic wave element and oscillat0r
JPH03252204A (en) Temperature compensated crystal oscillator
Dufilie et al. Performances of monolithic micro-oven heated SAW and STW resonators
RU2260900C1 (en) Crystal oscillator
JP2006074096A (en) Saw oscillator and electronic equipment
JP3058425B2 (en) Temperature compensated oscillator
JPS5843282Y2 (en) Ondohoshiyoosuishiyoohatsushinki
JPH09153738A (en) Temperature compensation oscillator
JP2006333099A (en) Wiring structure of circuit wiring board for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator
JP4432670B2 (en) Temperature characteristic compensation circuit
JPS58155321A (en) Surface wave device for temperature sensor
JPH02183128A (en) Piezo-electric vibrator for temperature detection, and detection of temperature