JPH0294053A - 磁気記録再生装置のテープローディング装置 - Google Patents

磁気記録再生装置のテープローディング装置

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JPH0294053A
JPH0294053A JP63244182A JP24418288A JPH0294053A JP H0294053 A JPH0294053 A JP H0294053A JP 63244182 A JP63244182 A JP 63244182A JP 24418288 A JP24418288 A JP 24418288A JP H0294053 A JPH0294053 A JP H0294053A
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JP
Japan
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guide
tape guide
tape
cam
arm
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JP63244182A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Fukagawa
芳弘 深川
Kiyoshi Kano
狩野 潔
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Hitachi Image Information Systems Inc
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Video Engineering Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0294053A publication Critical patent/JPH0294053A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録再生装置に係り、特に装置の簡素化、
小形軽量化に好適なテープローディング装置に関する。
〔従来の技術〕
磁気記録再生装置には、テープカセット内に収納された
磁気テープ(以下テープと略す)を所定の案内経路に沿
って移動するテープガイドによって引出し、テープを回
転ドラムに所定角度巻付ける、いわゆるテープローディ
ング装置がある。このテープガイドを所定の案内経路に
沿って案内する方法として、例えば特開昭57−133
558号に記載の装置のように、T字状のレール(案内
体)と、このレールと係合するC字状の挟持部を有すテ
プガイドを用いるものや、特開昭60−18848号に
記載の装置のように案内溝を設け、この案内溝に沿って
テープガイドが添接するようにテープガイドが案内溝を
挟み込んで移動するものがある。これらの装置のテープ
ガイドが、ローディングされて最終的な位置に位置決め
される際は、テープガイドは案内体(案内溝)とは当接
せず、テープガイド位置決め部材(以下、キャッチャと
称す)と係合して位置決めされている。この場合、テー
プガイドのキャッチャへの位置決めは、テープガイドを
位置決めする押圧力を伝達する伝達部材と、キャッチャ
、テープガイドの位置関係によって決定されている。し
かしながら、この位置関係や圧着時のロス等によっては
、テープガイドは所望の押圧力、抑圧方向を得られない
場合があるため、板はね等の別部材を追加してテープガ
イドの位置を規制しているものがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、テープカイトの位置決めを規制するの
に別部材を用いず、テープガイド、キャッチャ、伝達部
材の位置関係のみで確実に行おうとすると、テープガイ
ドを位置決めするのに必要な駆動力が増大し、駆動する
モータの消費電力の増加や、しいてはモータの大型化を
招く問題があった。また、別部材を用いた場合、部品点
数や重量の増加や装置の小形化に問題があるばかりでは
なく、別部材の取付ミスによる装置の誤動作を招く恐れ
があった。
本発明の目的は、別部材を追加することなくテープガイ
ドの位置決めを確実に規制するローディング装置を提供
することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、テープガイドを案内する案内体をモールド
等の弾性体とし、テープガイド位置決め時にテープガイ
ドと案内体の一部とが当接してテープガイドを付勢する
ように構成することにより達成される。
〔作用〕
案内体を弾性体とし、その弾性力を利用してテープガイ
ドがキャッチャの所定の位置へ位置決めされるように、
案内体によってテープガイドを付勢する。それによって
別部材を追加することなく、確実にテープガイドをキャ
ッチャの所定の位置に位置決めするように働く。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図〜第17図により説明
する。
第1図は本発明によるテープローディング装置を用いた
磁気記録再生装置の平面図を示し、1はシャシ、2は磁
気ヘッドを搭載するテープ案内ドラム、3は供給リール
4及び巻取リール5に巻回されるテープ6を内蔵するカ
セット、7は下端にモータ9が直結されるキャプスタン
、8はピンチローラ、10はテープ6の全幅にわたり消
去を行う消去ヘッド、11はテープ6の上下端にオーデ
ィオ信号及びコン)o−ル信号を記録及び再生するオー
ディオヘッド及びコントロールヘッドである。
カセット3が装置に装着されると、カセット3前面の蓋
12が開く。更に開口部13内には、テンションピン1
6.ガイド0−ラ17及び傾斜ピン18が挿入され、開
口部14内にはガイドローラ19及び傾斜ピン20が挿
入され、開口部15内には傾斜ピン21及びキャプスタ
ン7が各々破線及び実線で示す位置に挿入される。なお
この時ピンチローラ8も破線で示す位置にある。ローデ
ィング動作を行うと、各ガイドはテープ6を引出しなが
ら移動する。ガイドローラ17及び傾斜ピン18は一対
となって水平に移動し、テープ案内ドラム2の近傍に位
置決めされる。ガイドローラ19及び傾斜ピン2oは一
対となって、オーディオヘッド及びコント0−ルヘッド
11の近傍までは水平に、これ以降は斜め下方に移動し
てテープ案内ドラム2の近傍に位置決めされテープ案内
ドラム2にテープ6をほぼ27o°巻装する。傾斜ピン
21は傾斜ピン2oの後ろから水平に移動しオーディオ
ヘッド及びコントロールヘッド11の上流側に固定され
、テープ6の姿勢を補正し巻取リール5に導く。この結
果、テープ6はカセット3より出て、テンションピン1
6、インピーダンスローラ22、消去ヘッド10、ガイ
ドローラ17、傾斜ピン18を経てテープ案内ドラム2
に所定角度だけ螺旋状に巻装し、ガイドローラ19、傾
斜ピン20、傾斜ピン21、固定ガイドn1オーデイオ
ヘツド及びコントロールへラド11、高さ規制ガイド2
4、固定ガイド25を経て、キャプスタンク及びピンチ
ローラ8により圧接して駆動され、巻取り−ル5に至る
。第2図(a)はローディング完了時の側面図、第2図
(b)はアンロープインク完了時の側面図を示す。第2
図(a)において、26はガイドベースでガイドローラ
17及び傾斜ピン18が植立され、キャッチャ四により
位置決めして保持され、また27もガイドベースでガイ
ドローラ19及び傾斜ガイド20が植立され、同様にキ
ャッチャ28により位置決めされる。図示する様番こテ
ープ案内ドラム2の出側のテープガイドは入側に較べて
ほぼテープ幅分だけ太き(下降している。これにより、
テープ案内ドラム2の傾斜角度を低減するとともに、カ
セット3より若干低い位置に配置することにより、カセ
ット3の前方に開く蓋12の下にテープ案内ドラム2を
配置できる様にして装置の小形薄形化を図っている。
次にローディング機構について詳述する。第3図は出側
のガイド移動部材を示す。ガイドローラ19及び傾斜ピ
ン20を植立するガイドベース27は同図中に示すよう
に、連結板29と大きなガタをもって連結され、該連結
板29も同様に大きなガタをもって第2の円弧状スライ
ダ31の一端に支持される。
該第2の円弧状スライダ31は円弧形状をしており、そ
の外周にはギヤ部31 aが設けられている。第4図は
入側のガイド移動部材を示す。カイトローラ17及び傾
斜ピン18を植立するガイドベース26は、平面内を回
動自在に第1の円弧状スライダ33の一端に支持される
。該第1の円弧状スライダも同様に円弧形状をしており
、その外周にはギヤ部33 aが設けられている。第5
図はカム34を示す。カム34は上下2段より成り、上
段には右方より、ギヤ部34a、カム部34 dがあり
、下段にはゼネバギヤ(後述)に対応するストッパ面3
4b、ローディング後のモード操作に対応するカム部3
4c、ローアイングまたはアンローディング途中に対応
するカム部34f、アンO−ディング後のモード操作に
対応するカム部34 eがあり、全体としては円弧形状
を成している。これらは上から第1の円弧状スライダ3
3、第2の円弧状スライダ31、カム34の順に、同心
状にシャシ上に配置される。
第6図は上述の3つの円弧形状を成す部材の組立構成を
示す斜視図である。カム34は、シャシ1に植立された
案内ピン74 a〜74 eとカム34の下部全周に形
成される溝34 gとが係合することにより、シャシ1
上を回動可能に案内される。案内ピン748〜74 e
は常時3個以上がカム34の溝部34 gと係合するよ
う配置されている。第2の円弧状スライダ31は案内ピ
ン76a、76bによってカム34に回動自在正こ挟持
され、案内ピン75a、76bと第2の円弧状スライダ
の長穴部31b、31Cとが、また第2の円弧状スライ
ダ31の下部に植立されたピン30とカム34の長穴部
34 hとが係合することにより、カム34と同心円状
に回動可能になっている。第1の円弧状スライダ33は
回動角が少なく、外周はギヤ75 、77が第1の円弧
状スライダギヤ部33 aと常に噛合い、保持されてい
る。第2の円弧状スライダ31とカム34は、同方向に
略180度、あるいはそれ以上の角度にわたって回動す
る。そこで第6図に示したように、第2の円弧状スライ
ダ31の回動を保持する基板をカム34に代替させるこ
とにより、第2の円弧状スライダ31に形成する長穴部
31b。
31 Cの角度は、第2の円弧状スライダ31とカム3
4の相対的な回動角差分ですますことができる。すなわ
ち、従来180度以上にわたって回動するリングを基板
上に保持する場合、リングの長穴部は180度以上必要
としたものに比べ、本実施例によると長穴部角度を少な
くすることができ、リングのガタ、強度等の問題を最小
に抑えることができる。
リング押さえ78、案内カム79、カム押さえ81はそ
れぞれネジ&8 、89 、80 、82によりシャシ
1にネジ止めされ、カム34の上下方向のガタを抑えて
いる。
また、案内部材83は、第1の円弧状スライダ33と第
2の円弧状スライダ31の間に介在し、一体成形された
ボス83 aが第1の円弧状スライダ33の長溝部33
 bと係合して第1の円弧状スライダ33を保持、案内
し、シャシ1にネジ84によりネジ止めされている。ホ
ルダ85は、シャシ1にネジ86にネジ止めされ、第1
の円弧状スライダ33の上下方向のガタを抑えている。
回動角度の少ない第1の円弧状スライダ33は、常に案
内部材83のボス83 aにより案内され、案内部材8
3上を回動する。第2の円弧状スライダ31は後掲の第
10図の(ロ)、(ハ)等の区間において、案内部材8
3と第2の円弧状スライダ31の端部31 dとが係合
しない場合がある。アンローディングになって第2の円
弧状スライダ31の端部31 dと案内部材83々が係
合する時、第7図に示すように例え端部31dに多少の
たわみや反りが生じていても、案内部材83には係合す
るテーパ面83 bを有しているため確実に第2の円弧
状スライダ31を案内部材83の下方へ導くことができ
る。案内部材83と係合する第2の円弧状スライダ31
の端部31 d 、 31 eはギヤ部31 aの径よ
りも犬とし、同径となっている第1及び第2のスライダ
33 、31のギヤ部33 a 、 31 aが案内部
材83のテーパ面83 bと係合しないようにし、第1
と第2のスライダ33 、31の間隔を最少に抑え、装
置の小形化を図っている。また、第2図(alに示すよ
うにローディング(動作)完了時、案内部材83は、第
2の円弧状スライダ31の端部31 eと係合しており
、ガイドベース27がキャッチャ28へ押圧する時の反
力を受けて第2の円弧状スライダ31の浮きを防止して
いる。
第8図はカム34上段と駆動系を示し、(a)はアンロ
ーディング、(b)はローディングまたはアンローディ
ング途中、(c)はローディングの状態を示す。
カム34は、駆動源(図示せず)により駆動されるギヤ
35がギヤ部34 aとかみ合うことにより駆動される
。カム34が回動することにより、ギヤ部34 aとか
み合うギヤ36が回転し、第2の円弧状スライダ31は
ギヤ37 、38を経てギヤ38と圧着用ばね(図示せ
ず)を介して一体に回転するギヤ39がギヤ部31 a
とかみ合うことにより駆動される。同様に第1の円弧状
スライダ33は、ギヤ40 、41を経て圧着用ばね(
図示せず)を内蔵する第6図に示すギヤ77がギヤ部3
3 aとかみ合うことにより駆動される。
O−ディングが完了する(c)の状態では後述するゼネ
バギヤによりギヤ36の回転は停止させられるとともに
、ギヤ36とギヤ部34の保合が解除される。
一方、ローディング途中の(b)の状態でカム34の先
端部とアーム42が係合し、アーム42は軸43を中心
に回動し、軸45を中心としてアーム44を回動する。
アーム44は軸47を介してアーム46によりアーム4
8の軸49と係合しているのでアーム48に軸支される
ピンチローラ8をローディング位置まで移動させる。ア
ーム48ははねにより矢印A方向に付勢されているので
、カム34とアーム42が係合しない(a)の状態では
ピンチローラ8はアンローディング位tまで後退してい
る。(b)の状態より更にカム34が回転しくclの状
態になると、アーム42はカム部34 dと係合し、ア
ーム44と46で形成されるトグル機構によりピンチロ
ーラ8をキャプスタン7に圧接する。
軸45は軸52に支持されるアーム51に植立され、ア
ーム51ははね53により常に引張られストッパ54に
より位置規制されているので、ピンチローラ8の移動が
停止した後もアーム42が回動することにより、アーム
51はばね53に逆らってストッパ54から離れること
により、ピンチローラとキャプスタンの圧着力が確保さ
れる。
第9図はカム34の下段とモード操作機構を示し、(a
)はアンローディング、(b)はローディングまたはア
ンローディング途中、(C)はローディングの状態を示
す。36 aはギヤ36と一体に設けられるゼネバギヤ
部である。アーム55はその一端がカム部34 Cある
いは34 eと係合し、一端に取付けたばね57により
軸56のまわりに反時計方向に付勢される。アーム55
の他端にはブレーキ部材58が装着され、供給リール台
59にブレーキ力を与える。アーム60はカム部34 
cあるいは34 eと係合し、一端に取付けたばね61
により軸62まわりに時計方向に付勢される。またアー
ム63はアーム60上の軸60 aと保合可能な腕63
 aをもち、一端にばね65が取付けられ軸62のまわ
りに反時計方向に付勢される。更に他端にブレーキ部材
64が装着され、巻取リール5に係合する駆動ディスク
66にブレーキ力を与える。(a)はアンローディング
後の停止状態を表し、アーム55はカム部34 eの凹
部に係合し供給リール台59にブレーキ力が付与されて
いる。この時凹部とアーム55は直接係合しないので、
ブレーキ力ばばね57の力のみにより決定され、カム部
34 Cのストロークによらず安定である。またアーム
60はカム部34eの凸部に係合し、ばね61に逆らっ
て軸60 aと腕63 aの係合を解除するので、はね
65の付勢力により駆動ディスク66にブレーキ力が付
与されカム部34 eのストロークによらず安定に確保
できる。(b)の状態では、アーム55及び60はカム
部34 fに係合し、供給リール台59へのブレーキ力
のみ解除される。従ってO−ディングに際しては基本的
に供給J−ル側よりテープ6が繰り出される。(c)の
状態は記録または再生状態を示し、供給リール台59に
はブレーキ力が付与されるが、アーム60はカム部34
 Cの凹部と係合しばね61の引張力により回動し、軸
60 aは腕63 aと係合しアーム63をはね65に
逆らって回動させ、駆動ディスク66へのブレーキ力を
解除する。この時、ゼネバギヤ部36 aとストッパ面
34 bが係合することにより、ギヤ36の回転は停止
され第1の円弧状スライダ31及び33は停止するとと
もに、各テープガイド群の位置決め部材への圧着力が保
持される。この様にカム34の動きを、ゼネバギヤ等の
切替機構を介して円弧状スライダに伝達することにより
、操作モード数の増加にも容易に対応することができる
第10図は、前記した三つの円弧状スライダ31及び3
3とカム34の動きを示したもので(イ)がイジェクト
時、(ホ)がローディング完了時、(へ)が記録または
再生等のモード操作時である。各スライダはその形状を
簡略化して円弧形状で示した。第7図に示した様にカム
34の動きに対して第1の円弧状スライダ33は逆方向
にほぼ同速度で回転し、第2の円弧状スライダ31は同
方向にほぼ倍の速度で回転する。
第11図はキャッチャ28の斜視図である。テープ案内
ドラム2の入側及び出側のテープガイド群を位置決めす
る一体構造となっている。入側のテープガイド群につい
ては、第5図に示すガイドローラ17の上部にある軸部
をV溝28 aで位置決めし、下部をU溝28 bで規
制しガイドローラ17の進入方向とは直角な方向の倒れ
を防止する。ガイドローラ17の高さは、ガイドベース
27の先端上部がストッパ面28 cと当接することに
より規制される。また傾斜ピン18の傾斜は、ガイドベ
ース27の側面が壁28dと当接して定まる。出側のテ
ープガイド群についても同様で、ガイドローラ19の位
置と角度はV溝28 e及びU溝28 fで定まり、高
さはストッパ面28 gで定まる。また傾斜ピン20の
傾斜は壁間りにより規制される。更にキャッチャ路の■
溝28eとU溝28 fとの間には切欠部28iが設け
られる。
第2図(blで示すアンローディング状態においては、
カム34の一端と、第2の円弧状スライダの一端が前記
切欠部28 iを貫通しているが、ローディング動作に
より、これら部材は切欠部28 iより脱出するので、
ローディング完了状態においては、ガイドローラ19及
び傾斜ピン20を所定の位置に保持することができる。
第12図は出側に配置される傾斜ピン21の移動機構を
示す。第12図(a)は第9図(a)に示したアンロー
ディング状態に対応する状態である。アーム48と同軸
で回動可能に軸支されるギヤ69は、その両端をギヤ6
9の折曲部69 bとアーム48の左端48 aに引掛
けているばね70により付勢され、アーム48の右端4
8 bとギヤ69の折曲部69 cとが当接している。
この状態から第9図(c)に対応する第12図(b)の
状態にモードが移行してピンチローラ8がキャプスタン
7と圧接するようにアーム48が回動すると、ギヤ69
のギヤ部69 aと噛合うギヤ部72 aを有すアーム
72が回動し、アーム72の先端に植設される傾斜ピン
21をキャッチャ73により所定の位置に位置決めする
。位置決め後、更にアーム48は回動することにより第
12図(b)に示すようにアーム48ははね70に逆ら
ってギヤ69の折曲部69 cから離れることにより傾
斜ピン21のキャッチャ73への圧着力が確保される。
なお上記したタイミングで傾斜ピン21を駆動すること
により、傾斜ピン21は、ガイドベース27の後方より
O−ディングされる。すなわち、てオーバーラツプ部を
通過する  、     −様にアー ム42の位置とアーム72駆動系の減速比を設定しであ
る。従ってカム34の動きによりアーム72の動きを制
御するので、前記オーバーラツプ部での干渉はない。
第13図はテープガイド群のテープガイドレール68、
及び該テープガイドレール68による出側のガイドベー
ス27の支持方法を示す斜視図である。テープガイドレ
ール68は第14図に示すように断面がT字状になって
おり、ガイドベース27のツメ部27a、27bは該1
字部をくわえ込むように係合し、ガイドベース27の移
動経路を規制する。入側のガイドベース26の移動経路
は、第6図に示すように、ガイドローラ17の下部にあ
る軸部とリング押さえ781の壁78aとが、また、ガ
イドベース26の端面26aと案内カム79の壁79 
aとが係合することによって規制される。
第15図(a)はO−ディング完了前、(b)はローデ
ィング完了状態でのガイドベース、テープガイドレール
の上面図である。ガイドベース27のツメ部27a、2
7bのテープガイドレール68との相接面は円弧形状を
しており、多曲率なテープガイドレール68でもガイド
ベース27を移動可能としている。第15図(a)の状
態から、連結板29によって伝達される駆動力によって
ガイドベース27はテープガイドレール68に案内され
、キャッチャ28へ移動される。
移動されて、ガイドベース27のツメ部27 aの取付
ボス27 dの真下にある、第14図に示したボス27
 Cが、そのボス27 cよりも幅広のキャッチャ28
のU溝28 fへ案内されると、ガイドベース27はこ
のキャッチャ28のU溝に沿って軌跡を規制される。第
15図(b)のローディング完了状態では、ガイドベー
ス27は連結板29によって矢印C方向へ押圧される。
ガイドベース27は、ガイドローラ19の細部とキャッ
チャ28のV溝28 eとが当接して位置を規制され、
ガイドローラ19の中心に対するガイドベース27へト
を受ける。ガイドベース27はこの回転モーメントによ
ってガイドベース27のボス27 cがキャッチャあの
ストッパ面28 hに当接し、回転方向の位置製で弾性
力を有しており、その先端68 Cは第15図(a)の
ローディング完了前は第15図(blのローディング完
了状態の位置よりも幾分キャッチャ28のU溝28 f
側にあるように成形されているため、ローディング完了
時はテープカイトレール68の先端68 cはたわみ、
ガイドベース27を矢印り方向に押している。前述の回
転モーメントは、ガイドローラ19に対する、連結板2
9の抑圧方向(矢印C)のすれθによってその大きさが
左右される。この回転モーメントが小さいと、張架され
るテープ6(図示せず)の張力や、キャッチャ28とガ
イドベース27との摺動ロスによってガイドベース27
はその回転方向の位置が定まらない事になる。ガイドベ
ース27を押圧するための駆動力を少なく、かつ確実に
位置決めするのにθを少さくし、その分テープガイドレ
ール68によってガイドベース27の位置決め力を付加
している。
本実施例ではガイドベースの保持方法として片持のレー
ルとツメの場合を述べたが、第16図に示すように、案
内溝を設け、その案内溝を上下で挟み、ガイドベース2
7の左右端を支持する方法がある。この場合もテープガ
イドレール68の先端68 Cとガイドベース27の左
端面とを当接させてテープガイドレール68の弾性でガ
イドベース27への押付力を発生させている。
また、その他の実施例として、本実施例ではガイドベー
スの押付方向に対して左右方向の付勢法について述べた
が、第17図に示すように、ガイドベース27の後端と
テープガイドレール68の先端68Cとを当接させ、ガ
イドベース27の押付方向に対して上下方向の押付力を
付加してもよい。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように構成されているので以下
に記載されるような効果を奏する。
テープガイドをキャッチャに位置決めするのに1)別部
材を追加する必要がないため、部品点数、重量を低減で
き、また、装置の小形化が可能となる。
2)別部材を追加する必要がないため、取付ミスによる
誤動作を防ぐことができる。
3)テープガイドの駆動力を効率よく伝達できるため、
省電力、駆動源の小形化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のテープローディング装置の上面図、第
2図は第1図の側面図、第3〜5図は円弧状スライダの
斜視図、第6図は本発明の装置の部品構成を示す斜視図
、第7図は案内部材によるスライダの動作説明図、第8
図はピンチローラ圧着機構部の上面図、第9図はブレー
キ操作部の上面図、第10図は円弧状スライダの回動位
相を示すモデル図、第11図はキャッチャの斜視図、第
12図は傾斜ピン圧着機構部の上面図、第13図はレー
ルの斜視図、第14図はレールの断面図、第15 、1
6図はガイドベースと案内部材の結合上面図、第17図
はガイドベースと案内部材の斜視図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、テープ案内ドラム(2)の周囲に沿って移動してテ
    ープ(6)を引出すテープガイド(27)と、上記テー
    プガイド(27)を案内するテープガイド案内体(68
    )と、 上記テープガイド(27)を所定の位置に係止するテー
    プガイド位置決め部材(28)において、上記テープガ
    イド案内体(68)を弾性体とし、上記テープガイド(
    27)が上記テープ案内ドラム(2)に上記テープ(6
    )を所定角度巻付け、上記テープガイド(27)が上記
    テープガイド位置決め部材(28)で係止されるローデ
    ィング完了状態で、 上記テープガイド案内体(68)の少なくとも一部が上
    記テープガイド(27)と当接していることを特徴とす
    る磁気記録再生装置のテープローディング装置。 2、上記テープガイド(27)は、上記テープ案内ドラ
    ム(2)の周囲に沿って移動する範囲に亘って、上記テ
    ープガイド案内体(68)と常に当接している請求項1
    に記載の磁気記録再生装置のテープローディング装置。 3、上記テープガイド(27)は、ローディング完了状
    態において、上記テープガイド案内体(68)の弾性力
    によって上記テープガイド位置決め部材(28)へ押圧
    される請求項1に記載の磁気記録再生装置のテープロー
    ディング装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05135449A (ja) * 1991-10-22 1993-06-01 Gold Star Co Ltd Vcrの傾斜ポスト駆動装置
US5716890A (en) * 1996-10-18 1998-02-10 Vanguard International Semiconductor Corporation Structure and method for fabricating an interlayer insulating film

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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