JPH0292825A - Production of zirconium oxide fine powder - Google Patents

Production of zirconium oxide fine powder

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JPH0292825A
JPH0292825A JP24547188A JP24547188A JPH0292825A JP H0292825 A JPH0292825 A JP H0292825A JP 24547188 A JP24547188 A JP 24547188A JP 24547188 A JP24547188 A JP 24547188A JP H0292825 A JPH0292825 A JP H0292825A
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JP
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powder
zirconium
zirconium oxide
atmosphere
reaction product
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Kazuhiko Nakano
和彦 中野
Norio Matsuda
憲雄 松田
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide the subject fine powder reduced in coarse particles and coaggulated particles thereof, having a sharp particle distribution and useful for obtaining sintered products having high densities by reacting a mixture of a Zr salt and a C powder with heating in an atmosphere containing N2 gas and subsequently oxidizing the reaction product in an atmosphere of O2 gas. CONSTITUTION:A mixture of zirconium oxychloride preferably free of metal impurities and a C powder (e.g., acetylene black) preferably having a particle size of <=1mum and an ash content of <=0.3wt.% is reacted with heating (e.g., 1300-1700 deg.C) in an atmosphere (e.g., N2) containing N2 and the reaction product is heated (e.g., 600-1400 deg.C) in an atmosphere (e.g., air) containing O2 to oxidize the reaction product and to oxidatively remove excess C powder.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は凝集粒が少なく粒径分布のシャープな酸化ジル
コニウム微粉末の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing fine zirconium oxide powder with few agglomerated particles and a sharp particle size distribution.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

酸化ジルコニウムは融点が2720 ’Cと高く、従来
から高温耐火物原料として使用されてきた。
Zirconium oxide has a high melting point of 2720'C and has been used as a raw material for high-temperature refractories.

また、その特性を生かした酸素センサーおよび他の物質
と複合酸化物を作成して光学ガラス、コンデンサー、圧
電体等に広く使用されている。さらに、酸化ジルコニウ
ムにCaO、MgO、Y@02. Ce01等を添加し
、応力誘起変態を生じさせて高強度、高靭性を達成した
部分安定化ジルコニア(以下PSZと称する)が開発さ
れたり、またアルミナ、スピネル他に酸化ジルコニウム
を添加して分散強化されたセラミックス等が開発された
りしており、酸化ジルコニウムは構造材料用セラミック
スを開発する上で有力な物質として注目を浴びている。
In addition, oxygen sensors that take advantage of its properties and composite oxides made with other substances are widely used in optical glasses, capacitors, piezoelectric materials, etc. Furthermore, zirconium oxide includes CaO, MgO, Y@02. Partially stabilized zirconia (hereinafter referred to as PSZ) has been developed which has achieved high strength and toughness by adding Ce01 etc. to cause stress-induced transformation, and dispersion strengthening by adding zirconium oxide to alumina, spinel, etc. Zirconium oxide is attracting attention as a powerful substance for developing ceramics for structural materials.

酸化ジルコニウム粉末の合成法にはジルコンサンドと炭
素質材料を混合し、アーク炉で高温に加熱しケイ案分を
Si0gガスとして炉外に排出して酸化ジルコニウムを
得る方法や、オキシ塩化ジルコニウム等のジルコニウム
酸性塩を中和または加水分解して水酸化ジルコニウムを
得、これを焼成する方法が知られている。しかし、前者
の方法はアーク炉を用いるため多大の熱エネルギーを必
要とし、かつ得られる粉末の粒子径が大きく炉材や研磨
材以外の用途に使用するには適切な粉末ではない、一方
、後者の方法はセラミックスの製造に適するより微粒の
粉末を得るために開発された方法であるが、中和や加水
分解によって得られる沈澱物の水酸化ジルコニウムを焼
成するため、凝集粒が生成しやす(通常は焼成後粉砕を
行って粒度調整されている。また、−次粒子が微細過ぎ
るため、焼成時に強固な凝集粒子が生成しやすく粉砕を
行っても粒径分布のブロードな粉末しか得られていない
のが現状である。
Zirconium oxide powder can be synthesized by mixing zircon sand and carbonaceous material, heating it to high temperature in an arc furnace, and discharging the silicate portion as Si0g gas outside the furnace to obtain zirconium oxide. A known method is to neutralize or hydrolyze a zirconium acid salt to obtain zirconium hydroxide, which is then fired. However, the former method uses an arc furnace, which requires a large amount of thermal energy, and the resulting powder has a large particle size, making it unsuitable for use in applications other than furnace materials and abrasive materials. This method was developed to obtain finer powder suitable for the production of ceramics, but since the precipitated zirconium hydroxide obtained by neutralization and hydrolysis is fired, agglomerated particles are likely to be formed ( Normally, the particle size is adjusted by pulverization after firing.Also, because the secondary particles are too fine, strong agglomerated particles are likely to be generated during calcination, and even if pulverization is performed, only powder with a broad particle size distribution is obtained. The current situation is that there is no such thing.

〔発明が解決しようとする!!!題〕[Invention tries to solve! ! ! Title]

粗粒、凝集粒の多い粒径分布の広い粉末を原料に用いて
焼結した場合には、一般に気孔を多く含んだ焼結体が得
られ易いことは良く知られている。
It is well known that when sintering is performed using a powder with a wide particle size distribution including many coarse particles and agglomerated particles as a raw material, it is generally easy to obtain a sintered body containing many pores.

高強度、高靭性セラミックスとして注目されているPS
Zにおいても、凝集粒子径が大きくなるにつれて高密度
の焼結体が得られにくくなることが指摘されており、所
定の物性を安定して得るために、凝集粒の少ない粒径分
布のシャープな原料粉末が要望されている。また、ジル
コニア分散強化セラミックスにおいては酸化ジルコニウ
ムに凝集粒が多く、かつ粒径分布がブロードなためアル
ミナ等の他のセラミック粉末との分散混合が十分に行え
ないということも指摘されている。
PS is attracting attention as a high-strength, high-toughness ceramic
It has been pointed out that it becomes difficult to obtain a high-density sintered body as the agglomerated particle size increases in Z. Raw material powder is requested. It has also been pointed out that in zirconia dispersion-strengthened ceramics, zirconium oxide has many agglomerated particles and has a broad particle size distribution, so that it cannot be sufficiently dispersed and mixed with other ceramic powders such as alumina.

本発明の目的は粗粒および凝集粒の少ない粒径分布のシ
ャープな酸化ジルコニウム微粉末の新規な製造方法を提
供することにある。
An object of the present invention is to provide a new method for producing fine zirconium oxide powder with a sharp particle size distribution and fewer coarse particles and agglomerated particles.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

すなわち、本発明はジルコニウム塩とカーボン粉末の混
合物を窒素を含む雰囲気中で加熱反応させた後、反応生
成物を酸素を含む雰囲気中で加熱し、反応生成物を酸化
するとともに余剰のカーボンを酸化除去することを特徴
とする酸化ジルコニウム@粉末の製造方法を提供するこ
とにある。
That is, the present invention heats and reacts a mixture of zirconium salt and carbon powder in an atmosphere containing nitrogen, and then heats the reaction product in an atmosphere containing oxygen to oxidize the reaction product and oxidize excess carbon. An object of the present invention is to provide a method for producing zirconium oxide@ powder, which is characterized by removing zirconium oxide powder.

以下、本発明について詳述する。The present invention will be explained in detail below.

本発明に用いるジルコニウム塩としてオキシ塩化ジルコ
ニウム、硝酸ジルコニル、硫酸ジルコニル、リン酸ジル
コニウム、炭酸ジルコニウム、酢酸ジルコニウム、炭酸
ジルコニウムアンモニウム、オクチル酸ジルコニウムお
よびステアリン酸ジルコニウム等が挙げられる。これら
の中でもオキシ塩化ジルコニウム、硝酸ジルコニルおよ
び硫酸ジルコニルが好ましく、さらに入手の容易さ、価
格の点を考慮するとオキシ塩化ジルコニウムが最も好ま
しい、また、ジルコニウム塩はこれらに含まれる金属不
純物が最終的に得られる酸化ジルコニウム中に残存して
くるので、できるだけ高純度のものを用いるのが好まし
い、オキシ塩化ジルコニウムを用いる場合には通常、再
結晶を繰り返して金属不純物を除去したものを用いるの
が好ましい。
Examples of the zirconium salt used in the present invention include zirconium oxychloride, zirconyl nitrate, zirconyl sulfate, zirconium phosphate, zirconium carbonate, zirconium acetate, ammonium zirconium carbonate, zirconium octylate, and zirconium stearate. Among these, zirconium oxychloride, zirconyl nitrate, and zirconyl sulfate are preferred, and zirconium oxychloride is most preferred in terms of availability and price. Since zirconium oxide remains in the zirconium oxide produced, it is preferable to use zirconium oxychloride of as high a purity as possible. When using zirconium oxychloride, it is usually preferable to use one that has been repeatedly recrystallized to remove metal impurities.

本発明に用いるカーボン粉末は出来るだけ高純度で微粉
のものである。好ましくはその一次粒子径が1μm以下
、灰分0.3重量%以下のものである。このようなカー
ボン粉末としてはアセチレンブラック、チャンネルブラ
ック、ファーネスブラック等が知られており、この中で
もより高純度という点でアセチレンブラックが好ましい
、取り扱いの点からいうと分散が容易であれば、0.3
〜1゜5mに造粒した粒状のものや、プレス圧縮した粉
状のものを用いるのが有利である。
The carbon powder used in the present invention is as pure and fine as possible. Preferably, the primary particle size is 1 μm or less and the ash content is 0.3% by weight or less. As such carbon powder, acetylene black, channel black, furnace black, etc. are known, and among these, acetylene black is preferable from the viewpoint of higher purity, and from the viewpoint of handling, if it is easy to disperse, 0. 3
It is advantageous to use granules granulated to ~1°5 m or powder compressed by press.

ジルコニウム塩とカーボン粉末の混合比率はカーボン/
ジルコニウムのモル比で2〜10の範囲が好ましい0モ
ル比が2より小さいと、窒化ジルコニウムの生成が十分
ではなく結果として均一な粒径の酸化ジルコニウムが得
られ難くなる。一方IOを越えると未反応カーボンの残
存量が多くなり、その除去が困難となり、且つコスト的
にも高くなるので好ましくない。
The mixing ratio of zirconium salt and carbon powder is carbon/
The molar ratio of zirconium is preferably in the range of 2 to 10. If the molar ratio is less than 2, zirconium nitride is not sufficiently produced, and as a result, it becomes difficult to obtain zirconium oxide with a uniform particle size. On the other hand, if it exceeds IO, the amount of unreacted carbon remaining will increase, making it difficult to remove it and increasing the cost, which is not preferable.

ジルコニウム塩とカーボン粉末の混合分散方法としては
超音波分散法等の一般的な方法やボールミル、パーティ
カルグラニユレータ−等の各種混合機を用いることがで
きる。好ましくはジルコニウム塩を水等に溶解した溶液
にカーボン粉末を均一に分散できるような方法、湿式ボ
ールミル、超音波を用いた分散法等が用いられる。この
際、ジルコニウム塩の水溶液を用いる場合には、ポリオ
キシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエ
チレンアルキルエーテル等のノニオン系界面活性剤やイ
ソプロピルアルコール等のアルコールをジルコニウム塩
水溶液に添加してオく、これはカーボン粉末のより良い
分散に効果的である。
As a method for mixing and dispersing the zirconium salt and carbon powder, a general method such as an ultrasonic dispersion method or various mixers such as a ball mill or a particle granulator can be used. Preferably, a method capable of uniformly dispersing the carbon powder in a solution of a zirconium salt in water or the like, a wet ball mill, a dispersion method using ultrasonic waves, or the like is used. At this time, when using an aqueous solution of zirconium salt, a nonionic surfactant such as polyoxyethylene alkyl phenyl ether or polyoxyethylene alkyl ether or an alcohol such as isopropyl alcohol is added to the aqueous zirconium salt solution. is effective for better dispersion of carbon powder.

また、これらの原料と直接接触する装置の部品は金属不
純物が混入しないような材料から構成されたものを使用
することが望ましい、そのようなものとしてポリエチレ
ン、ナイロン、ウレタン等の合成樹脂、天然あるいは合
成ゴムおよびアルミナやジルコニア製のものあるいはこ
れらの材料で内張りあるいはコーティングされたものを
用いることが望ましい。
In addition, it is desirable to use equipment parts that come into direct contact with these raw materials from materials that do not contain metal impurities; such materials include synthetic resins such as polyethylene, nylon, and urethane, natural resins, It is preferable to use materials made of synthetic rubber, alumina or zirconia, or materials lined or coated with these materials.

混合物の乾燥方法としては通常の工業的方法を用いるこ
とができるが、混合時のスラリー粘度が低(乾熾時にカ
ーボン粉末の沈降等が生じる恐れのあるときは、スプレ
ードライ、凍結乾燥、ロータリーエバポレーター等の方
法を用いるのが好ましい、また、必要に応じて混合や乾
燥と共に20μm〜31m程度の大きさの粒子に造粒す
ることもでき、造粒すると以後の取り扱いがよりたやす
くなるという利点がある。
Normal industrial methods can be used to dry the mixture, but if the slurry viscosity during mixing is low (there is a risk that carbon powder will settle during drying), spray drying, freeze drying, rotary evaporation etc. It is preferable to use a method such as the above, and if necessary, it can also be granulated into particles with a size of about 20 μm to 31 m along with mixing and drying, and granulation has the advantage that subsequent handling becomes easier. be.

このようにして得られた混合物(粉末又は造粒物)を窒
素を含む雰囲気中で加熱処理することにより還元窒化反
応を行うが、その雰囲気としてはN2ガス、 NH3ガ
ス、 N、−11t+3混合ガス、 Ng−1h混合ガ
ス、N8−^「混合ガスを使用することができる。
The mixture (powder or granules) obtained in this way is heat-treated in an atmosphere containing nitrogen to perform a reductive nitriding reaction, and the atmosphere includes N2 gas, NH3 gas, N, -11t+3 mixed gas. , Ng-1h mixed gas, N8-^ "Mixed gases can be used.

これらの中でもN、ガス雰囲気が好ましい。Among these, N and gas atmospheres are preferred.

加熱処理温度は一般に1300〜1700°C2好まし
くは1400〜1600℃の範囲がよい、 1300℃
未満では還元窒化反応を十分進めるために長時間を要し
、1700℃を越えると粗粒の生成が多くなるので好ま
しくない、経済的な面も考慮して1400〜1600°
Cの温度で2〜6時間保持するのが最も適当である。
The heat treatment temperature is generally in the range of 1300 to 1700°C, preferably 1400 to 1600°C, 1300°C.
If it is less than 1,700°C, it will take a long time to sufficiently proceed with the reductive nitriding reaction, and if it exceeds 1,700°C, coarse particles will be produced in large quantities, which is undesirable.
It is most suitable to hold at a temperature of 2 to 6 hours.

さらに、還元窒化反応により生成した窒化ジルコニウム
を主成分とする生成物を酸化して酸化ジルコニウムにす
ると共に残存している余剰カーボンの除去を目的として
酸素を含む雰囲気中で加熱処理を行う、酸素を含む雰囲
気中とは空気中、酸素雰囲気中をいう、その処理はカー
ボンが確実に燃焼除去される温度以上で行う必要があり
、600〜1400℃、1〜5時間が適当である。加熱
処理温度が6θ0°C未満ではカーボンを完全に燃焼さ
せるのに長時間を要し、一方1400°Cを超えると酸
化ジルコニウム粉末同士の焼結が一部において起こり、
また経済的にも好ましくない。
Furthermore, the product mainly composed of zirconium nitride produced by the reductive nitriding reaction is oxidized to zirconium oxide, and a heat treatment is performed in an atmosphere containing oxygen for the purpose of removing the remaining excess carbon. The term "in an atmosphere containing carbon" means in air or in an oxygen atmosphere, and the treatment must be carried out at a temperature higher than that at which carbon is reliably burnt and removed, and a temperature of 600 to 1400 DEG C. for 1 to 5 hours is appropriate. If the heat treatment temperature is less than 6θ0°C, it will take a long time to completely burn the carbon, while if it exceeds 1400°C, sintering of the zirconium oxide powder will occur in some parts.
It is also economically unfavorable.

また、ジルコニウム塩とカーボン粉末の混合の際に酸化
カルシウム、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化イ
ツトリウム、カルシウム塩、マグネシウム塩、セリウム
塩、インドリウム塩等を適当量添加しておくことにより
、結晶相の制御されたジルコニア微粉末を合成すること
ができる。
In addition, by adding an appropriate amount of calcium oxide, magnesium oxide, cerium oxide, yttrium oxide, calcium salt, magnesium salt, cerium salt, indolium salt, etc. when mixing zirconium salt and carbon powder, the crystal phase can be improved. Controlled zirconia fine powder can be synthesized.

(発明の効果) 本発明方法で得られた酸化ジルコニウム粉末は粗粒、凝
集粒が少なく、粒径分布がシャープな微粉末であり、こ
れを用いることにより殆ど気孔を含まない高密度の焼結
体を容易に得ることができ、高強度、高靭性のジルコニ
ア系焼結体製造用原料やコンデンサー、圧電材料の原料
として有用なものである。
(Effect of the invention) The zirconium oxide powder obtained by the method of the present invention is a fine powder with few coarse particles and agglomerated particles and a sharp particle size distribution. It is useful as a raw material for producing high-strength, high-toughness zirconia-based sintered bodies, capacitors, and piezoelectric materials.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらにより限定されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

実施例 オキシ塩化ジルコニウム[Zr0Ch ・811!OF
 64.4gをビーカーに採り、イオン交換水200g
とイソプロピルアルコール2gを加えて撹拌して溶解さ
せる。この溶液を直径15gのナイロンコーティングボ
ール500m1の入った12のポリエチレン製ポットに
入れ、アセチレンブラック12gを加えて60rp−の
回転速度で5時間ボールミル混合を行った。その後、ポ
ットから混合スラリーを取り出しロータリーエバポレー
ク−で乾燥させて原料粉末とした。
Example Zirconium oxychloride [Zr0Ch ・811! OF
Take 64.4g in a beaker and add 200g of ion exchange water.
Add 2 g of isopropyl alcohol and stir to dissolve. This solution was placed in 12 polyethylene pots containing 500 ml of nylon coated balls each having a diameter of 15 g, and 12 g of acetylene black was added thereto, followed by ball mill mixing at a rotational speed of 60 rpm for 5 hours. Thereafter, the mixed slurry was taken out from the pot and dried in a rotary evaporator to obtain a raw material powder.

この原料粉末10gをグラファイト容器に採り、管状電
気炉を用いて200cm/win、の速度で窒素ガスを
流しながら1500°Cで5時間加熱し、還元窒化反応
を行った0次いでこの反応生成物を空気中にて800℃
で3時間加熱して5gの酸化ジルコニウム粉末を得た。
10 g of this raw material powder was placed in a graphite container and heated at 1500°C for 5 hours while flowing nitrogen gas at a rate of 200 cm/win using a tubular electric furnace to perform a reductive nitriding reaction. 800℃ in air
The mixture was heated for 3 hours to obtain 5 g of zirconium oxide powder.

この酸化ジルコニウム粉末のセディグラフ(Micro
seritics社5edi Graph 5000E
T)による粒径分布曲線を第1図に示した。この酸化ジ
ルコニウム粉末は中心粒径が0.65μmであり、2μ
m以下が95χであり、粗粒、凝集粒の殆どない粒径分
布のシヤーブな粉末であった。
Sedigraph (Micro) of this zirconium oxide powder
Seritics 5edi Graph 5000E
The particle size distribution curve according to T) is shown in FIG. This zirconium oxide powder has a center particle size of 0.65 μm and 2 μm.
m or less was 95χ, and the powder had a coarse particle size distribution with almost no coarse particles or agglomerated particles.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例で得られた酸化ジルコニウム粉末のセデ
ィグラフで求めた粒径分布曲線を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing the particle size distribution curve of the zirconium oxide powder obtained in the example, determined by Sedigraph.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ジルコニウム塩とカーボン粉末の混合物を窒素を含む雰
囲気中で加熱反応させた後、該反応生成物を酸素を含む
雰囲気中で加熱し、反応生成物を酸化するとともに余剰
のカーボン粉末を酸化除去することを特徴とする酸化ジ
ルコニウム微粉末の製造方法
After heating and reacting a mixture of zirconium salt and carbon powder in an atmosphere containing nitrogen, the reaction product is heated in an atmosphere containing oxygen to oxidize the reaction product and oxidize and remove excess carbon powder. A method for producing fine zirconium oxide powder characterized by
JP24547188A 1988-09-28 1988-09-28 Production of zirconium oxide fine powder Pending JPH0292825A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07187668A (en) * 1993-10-16 1995-07-25 Philips Electron Nv Production of monodisperse fine oxide powder, monodisperse fine oxide powder and ceramic composition containing this powder
JP2002255515A (en) * 2000-12-27 2002-09-11 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Production method for metal oxide fine particle
JP2008024555A (en) * 2006-07-21 2008-02-07 Tosoh Corp Zirconia fine powder, its manufacturing method and its use
JP2009102223A (en) * 2007-10-25 2009-05-14 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Method of manufacturing vanadium oxide nanoparticles
JP2010037183A (en) * 2008-08-05 2010-02-18 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Method for producing magnesium vanadium multiple oxide nanoparticle and magnesium vanadium multiple oxide nanoparticle produced thereby

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07187668A (en) * 1993-10-16 1995-07-25 Philips Electron Nv Production of monodisperse fine oxide powder, monodisperse fine oxide powder and ceramic composition containing this powder
JP2002255515A (en) * 2000-12-27 2002-09-11 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Production method for metal oxide fine particle
JP2008024555A (en) * 2006-07-21 2008-02-07 Tosoh Corp Zirconia fine powder, its manufacturing method and its use
JP2009102223A (en) * 2007-10-25 2009-05-14 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Method of manufacturing vanadium oxide nanoparticles
JP2010037183A (en) * 2008-08-05 2010-02-18 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Method for producing magnesium vanadium multiple oxide nanoparticle and magnesium vanadium multiple oxide nanoparticle produced thereby

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