JPH0292546A - 液体噴射記録ヘッド用基体および該基体を具備する液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、液体噴射記録ヘッドおよび該記録ヘッドに用
いる基板に関し、特に記録用液体に熱エネルギを作用さ
せることにより液体を沸騰させ、これにより液滴を噴射
（吐出）して記録を行う形態の液体噴射記録ヘッド、お
よび通電に応して上記熱エネルギを発生する電気熱変換
体を含む基体に関するものである。

［従来の技術］ この種液体噴射記録ヘッドないし電気熱変換体に要求さ
れる性能としては、高速駆動時の応答性が高いこと、液
体を沸騰させるのに充分な加熱が可能であることに加え
、耐久性が高いことがある。そのために従来より材料、
構成の面で種々の改良がなされてきた。

例えば、本願人の出願になる特開昭５８−３３４７１号
では、電気熱変換体を、電極との接続部における電流密
度を低下させるような抵抗分布を有する構成とし、電気
的耐久性を向上した記録ヘッドを開示している。

また、同じく特開昭６０−２０８２４５号では、電気熱
変換体に、液体供給に伴って生じる機械的衝箪を回避す
る部材を設け、機械的耐久性を向上した記録ヘッドを開
示している。

また、特開昭５９−９５１５５号では、電気熱変換体（
抵抗器）の中心部に導電領域を設ける構成が開示されて
いる。

さらに、本願人の出願になる特開昭６２−７３５８８号
では、電極および電気熱変換体（発熱抵抗体）に丸みを
付けることによって電流集中をなくすようにした構成を
開示している。

加えて、同じく特開昭６２−２０１２５４号では上記加
熱性能および耐久性を高めるための手段として、電気熱
変換体（発熱抵抗体）の熱発生部と液体との接触界面が
粗面であり、かつ発熱抵抗体の発熱量が中央部で大きく
なるようにした構成を開示している。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、吐出エネルギー発生手段に電気熱変換体
を有する記録ヘッドにあっては、上記条件に加え、沸騰
の再現性が高いことが要求される。

木１頭の発明者によれは、液体を繰り返し沸騰させる場
合、電気熱変換体に前回に与えた駆動信号（加熱パルス
）によって発生した気泡が消滅する際に、微視的残留気
体が電気熱変換体の表面にランダムに付着し、それが次
のパルス加熱の初期気泡発生時において発泡核となるた
めに沸騰の再現性か保証されないということが確認され
ている。

このように、沸騰現象が安定しないと、発生する気泡の
形状や大きさが一定しなくなり、従って液滴径や吐出速
度にバラツキが生じ、ひいては画像品位が低下するとい
う問題点が生じつる。

本発明の目的は、沸騰の再現性の高い記録ヘッドおよび
その基板を提供することにある。

本発明の他の目的は、液滴径や吐出速度にバラツキが生
じず、画像品位の高い液体ｆＩｒｔ射記録ヘッドを提供
することにある。

［課題を解決するための手段］ そのために、本発明に係る液体噴射記録ヘッド用基体で
は、支持体と、支持体上に配され、発熱抵抗体層および
発熱抵抗体層に電気的に接続された一対のＴＬ極を有し
、一対の電極間に熱発生部か形成されている電気熱変換
体であって、クツ覧発生部に対応する記録用液体接触面
上の記録用液体に生じる気泡が消滅する位置を含む部分
で、通電の方向に対して幅を広げた形状を有する電気熱
変換体とを具備し、ΔＴ−Ｔ）１−ＴＯが２０℃以上１
００’Ｃ以下であることを特徴とする。

また、本発明の他の形態に係る液体噴射記録ヘッドでは
、支持体と、支持体上に配され、発熱抵抗体層および該
発熱抵抗体層に電気的に接続された一対の電極を有し、
一対の電極間に熱発生部が形成されている電気熱変換体
であって、熱発生部に対応する記録用液体接触面上の記
録用液体に生じる気泡が消滅する位置を含む部分で、通
電の方向に対して幅を広げた形状を有する電気熱変換体
とを有し、ΔＴ−Ｔ、じＴＯが２０℃以上１００℃以下
である基体と、記録用液体の液路を形成するために基体
上に設けた部材とを具備したことを特徴とする。

これらにおいて、ＴＯは気泡が消滅する位置での、記録
用液体が存在しないときの電気熱変換体の駆動状態の温
度のピーク値、Ｔｌ＋はその位置以外の位置での、記録
用液体が存在しないときの電気熱変換体の駆動状態での
温度のピーク値である。

［作　用］ 木発明によれば、電気熱変換体の幅を、電極との電極と
の間の電流の通り道の部分において広くすることによっ
て、電気熱変換体から上部の液体に伝わる熱流束が、そ
の部分において小さくなる。

従って、この部分は他の部分に比べて温度が低く、気泡
消滅後にその部分に微視的残留気体が付着していても、
続く駆動時にこれが発泡核となることがない。

また、当該温度差を適切に選定して構成することにより
、高い吐出性能を維持し、これによる効果とあいまりて
、沸騰の再現性が向上し、ひいては良好な記録品位が得
られる。

［実施例コ 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図（Ａ）および（ロ）は、木発明を適用可能な液体
噴射記録ヘッドの一例として、複数の液路、電気熱変換
体および吐出口（オリフィス）を含む吐出部を複数集積
して配置した形態の液体噴射記録ヘッドを示す斜視図お
よびそのｘ−ｘ’線断面図である。

これら図において、基板１０３上に発熱抵抗体１０７　
（１０７−１〜１０７−６）、および通電のための電極
どして共通電極１０Ｂ　、選択電極１０５が配されてお
り、発熱抵抗体１０７が丁度溝蓋板１０２に形成された
隔壁１０１ａ〜１０１ｇにより限界された溝１０１　（
１０１−１〜１ｏｔ−６）と一致するように接着層１０
４　（１０４−１〜１０４−７）によって接合する。こ
れに液体（インク）を導入し、通電により発熱抵抗体１
０７を加熱すると、発熱抵抗体１０７上の液体に急峻な
状態変化によって気泡が生じ、その体積増加に対応した
液滴か溝蓋板１０２と基板１０３とによって形成された
オリフィスより吐出される。

本例に係る発熱抵抗体１０７は、後述のように、気泡／
ｉ！ｌ滅位置において幅広の部分を有する構成とする。

ここで、気泡消滅位置（消泡位置）について考察する。

消泡位置は、発熱抵抗体を配設した液路の形状、配設位
置、温度その他の環境条件などにより定まり、気泡周辺
の流域における流体力学的インピーダンスの慣性成分Ｚ
の影習を受け、そのＺの逆比で発熱抵抗体を比例配分し
た位置付近で消泡することを本願の発明者は確認した。

ここに、看目する流域について、流れの方向にとった位
置をＸ、流域の位置Ｘにおける断面積をＳ　ｌｘｌ　、
流域の長さを℃、流体（記録用液体）の密度をρとする
と、流域のインピーダンスの慣性成分２は、 によって求められる。

例えば、第１図示のように、発熱抵抗体１０７に対して
、液体の供給方向と吐出方向とが一致する形態のものに
あっては、第２図に示すように、断面積Ｓ　（ｘｉ−５
−一定とすると、 Ｌ−ρｆ！、＋／ｓ、　Ｚｔ−９１２／Ｓ　　　　　　
　（２）ＣＩ：Ｃ２＝Ｚ２：Ｚｌ−ｆｔ２：Ｉｌ　＋　
　　　　　　　（３）となる。すなわち、この関係式に
より定まる位置付近で消泡することになる。

そこで、その位置を含む部位で発熱抵抗体１０７を幅広
のものとしておけば、上部の液体に伝わる熱流束がその
部分において小となる。

以上が一般的な関係であるが、簡易的に位ｉ２ｘにおけ
るノズル天井の高さをｈ（×）としたとき、Ｗｌ−Ｊｏ
［１／ｈ（ｘ）］ｄｘ、　Ｗ２−　Ｊ、”［１／ｈ（ｘ
）ｌｄｘ　（４）として、［；Ｉ：Ｃ２・ｌ’＋２：Ｗ
ｌなる位置において気泡が消滅するとしても十分であっ
た。

次に、当該消泡位置を含む領域がそれ以外の領域と何程
の温度差を有している場合に吐出性能を良好に維持でき
るかについて考察する。

第３図は発熱抵抗体の表面温度のピーク値ＴＨと、幅広
とした領域に対応した表面温度のピーク値丁。どの差Δ
Ｔ　（＝ＴＯ−ＴＯ）について、液滴吐出速度の平均値
Ｖおよび速度の標準偏差０■をプロットしたものである
。ただし、ここに温度差ΔＴは、流路内にインクを存在
させない状態での値である。

図より明らかなように、温度差６丁が２０℃以上であれ
ば、ａｖｈ＜はぼ一定となり、吐出のばらつきが安定す
るが、１００℃を超えると平均速度Ｖが低下することが
確認された。これより、この場合には温度差ΔＴは２０
℃以上１００℃以下が好ましいことがわかる。

より好ましくは、液体の吐出速度の標準偏差については
ある程度無視し得る場合、すなわち液体の吐出速度を主
として考慮した場合には、ΔＴは２０℃以上６０℃以下
、液体の吐出速度をある程度無視し得る場合、すなわち
上記標準偏差を主として考慮した場合にはΔＴは２５℃
以上１００　’Ｃ以下であった。さらに、最も好ましく
は、ΔＴは２５℃以上６０℃以下であった。

さらに、本実施例においては、発熱抵抗層を幅広とした
消泡位置を含む領域の寸法を適切に定める。

第４図は、当該領域の発熱部面積Ｓ。と発熱抵抗体の全
発熱部面積Ｓ、との比Ｓ。／ＳＨについて、およびＱＶ
をプロットしたものである。図より明らかなように、Ｓ
ｏ／Ｓｓを１／ｌＯ以上１／２以下としたとぎにＶおよ
びＱＶ値が安定し、吐出性能が良好となることが確認さ
れた。

より好ましくは、液体の吐出速度の標準偏差については
ある程度無視し得る場合、すなわち液体の吐出速度を主
として考慮した場合にはＳ。／ｓ、１はｌ／１０以上１
／４以下、液体の吐出速度をある程度無視し得る場合、
すなわち上記標準偏差を主として考慮した場合にはＳ。

／Ｓ□は１／８以上１／２以下であった。さらに、最も
好ましくは、Ｓｏ／ＳＲは１７８以上１／４以下であっ
た。

（実施例Ｉ） 第５図（Ａ）および（Ｂ）は本発明に係る基板の第１の
実施例を示し、それぞれ、第１図（Ａ）において液路方
向に沿った平面図およびその八−Ａ′線断面図である。

ここて、１は例えば厚さ　５２５μｍの基板であり、ガ
ラスまたはＳｉ等で形成できる。２は冴さ２５μｍの表
面酸化５ｉＣｈ層であり、蓄熱層として用いる。３は例
えばスパッタリング法で形成した厚さ０．１μｍ１発熱
部幅３０μｍ２発熱部長さ１５０μｍのＩＩ　ｆ　Ｂ２
から成る発熱抵抗体層で、気泡が消滅する３−１の部分
（式（２）においてＩｔ　＋　ｚＩ１２とすれば、ヱ極
４間の電流の通り道の半ば付近）で幅が広がっているも
のである。４は例えばＥＢ蒸着法で形成した厚さ　０．
５μｍのへｊ２等の電極である。

５は、例えばスパッタリング法で形成した厚さ１５μｍ
の５ｉｎ２．ＳｉＮ等の層、６は例えばスパッタリング
法で形成した厚さ　０１μｍのＴａ２０５等の層、７は
スパッタリング法で形成した厚さ　０．５μｍのＴａ等
の層であり、これらは保護層として機能する。また、８
は沸騰させられる液体（インク）である。

本実施例において、発熱抵抗層３の幅広の部分３−１の
その幅ｄと、空焚き時（インクを導入せずに通電を行っ
たとき）の温度差ΔＴの間の関係は次の通りであった。

従って、部分３−１の幅は３０．５μｍ以上３３μｍ以
下であるのが適当であり、本例ではｄ＝３１μｍとした
。

また、部分３−１の長さを２５μｍとし、ここにＳ０＝
　３１ｘ　２５　（ｐ　ｍ２）　、Ｓ、＝　３０ｘ　１
５０（μｍ２）であり、従って５ｏ１５Ｎは１／６であ
るので、第４図について説明した条件も満たしている。

なお、発熱抵抗体層３および電極４の平面パターンはエ
ツチングによって形成し、発熱抵抗体層３の幅が広がる
ところ３−１では、電流集中が、起きないように、角を
丸めた。これは、電流集中による耐久性の低下（上記特
開昭８２−７２５８８号参照）や局所的な発泡が起こら
ないようにするためである。また、図より明らかなよう
に、電極４と発熱抵抗体層３との接続部において電流集
中が生じない構成としである。

かかる構成において、電極４の間に電圧を印加すると、
発熱抵抗体層３に電流が流れ、発熱が起こる。発熱抵抗
体層３で発生する単位時間・単位面積当たりの発熱量は
発熱抵抗体の幅の２乗に反比例するから、部分３−１か
ら上部層５．６および７を通して液体８に伝えられる熱
は、発熱抵抗体層３の他の部分から液体に伝えられる熱
に比べて少なくなる。

本実施例に係る基板を用いて実際に気泡を発生させてみ
たところ、第６図に示すように、部分３−１の上部の場
所９において気泡ｌＯが消滅することが観察されたが、
この部分に伝わる熱は少なく、残りの部分に比べて温度
が低いために残留気体が付着してもそこからランダムな
核沸騰が起きて気泡発生を乱すということはなく、残り
の部分から極めて再現性の高い膜沸騰が起きていた。こ
の場合、気泡の形状・大きさは毎回一定であった。そし
て、この基板を第１図のように記録ヘッドに用いて記録
を行ったところ、液滴径・吐出速度が均一となり、良好
な画像が得られた。

部分３−１の上部以外の部分での沸騰の再現性が高いの
は残留気体が付着していない上に液体８が急激に加熱さ
れるために、液体８が過熱限界付近に到達し、液体内部
の分子運動に基づく自発的核生成現象によって気泡が形
成されるからである。

が低下することが観察された。

比較例 第７図（従来例）は、発熱抵抗体層３に幅広の部分３−
１を設けず、単純な長方形とした以外は本実施例と同一
の構成からなる電気熱変換体を用いて気泡を発生させた
場合の図を示し、本実施例とは異なり気泡ｌＯが消滅す
る場所からランダムな核沸騰が起こり、気泡発生の再現
性が低下している。

すなわち図中（ａ）の場合には核沸騰の起こる場所が１
箇所であって比較的良好な気泡生成が実現しているが、
いつもそのような気泡生成が実現するわけではなく、図
中（ｂ）あるいは（Ｃ）のように複数の場所から核沸騰
が起こる場合もあり、その場合核沸騰熱伝達によって熱
エネルギが液体中に逃げ、気泡体積が小さくなってしま
う。このような例では、気泡の形状・大きざが一定でな
いために、記録ヘッドを構成して記録を行ったところ、
？ｒ１滴径や吐出速度にバラツキが生じ、画像の品位（
実施例２） 第８図は、本発明に係る基板の第２の実施例を示す。

本実施例では、発熱抵抗体層３′の幅広の部分３′−１
に直線部分かなく、なめらかな曲線によって構成されて
いる。この場合にも、（実施例１）と同禄の効果が得ら
れたことに加え、電流集中による耐久性の低下や局所的
な発泡がさらに起こりにくくなるという効果が得られた
。

第２図につぎ前述したように、気泡が消滅する位置が、
完全に含まれるものであれば、幅広の部分の形状はいか
なるものであってもよい。

（実施例３） 以上の実施例では、液路が直線状である記録ヘッドに本
発明を適用した場合について述べたが、供給方向と吐出
方向とが異なる形態の記録ヘッド、例えば第９図に示す
ように、基板１′　に対して垂直方向に吐出がなされる
形態のものであっても、図示の消泡位置９′を含む部分
において発熱抵抗体１０７′　を幅広にすることにより
、上述と同様の効果が得られる。

（さらに他の実施例） 本発明は、発熱抵抗体の形状によらず適用できるのは勿
論である。すなわち、上述した従来例において採用され
ている発熱抵抗体に対しても、その消泡位置に幅広の部
分を設ければよい。

また、近年開発されている階調表現が可能な形状の電気
熱変換体を有する記録−、ラド、例えば本願人の提案に
なる特公昭５９−３１９４３号に開示されるようなもの
に対しても有効に適用可能である。すなわち、電気熱変
換体を、その発熱部において人力される信号のレベルに
応じて制御可能な温度分布を生しる構造（発熱量調整構
造）とし、信号レベルに応して気泡を多段階に調整する
ような構成の記録ヘッドに対しても適用てきる。

例えば、第１Ｏ図（Ａ）〜（Ｃ）　　に示すような電気
熱変換体において、消泡位置が符号９″で示す位置にあ
れば、そこを含む部分で電気熱変換体１０７″ないし発
熱抵抗層３″を幅広に形成すればよい。

また、生じる気泡の大きさによって消泡位置が異なるの
であれば、そのような幅広の部分を複数設けてもよい（
第１Ｏ図（Ａ）の破線部参照）。

ざらに、以上の実施例においては、電気熱変換体を、消
泡位置を含む部分で幅広の形状としたが、発熱抵抗層で
発生する単位時間・単位面積当たりの発熱量は層厚にも
依存し、その厚さに反比例するから、当該部分において
幅を広くするとともに、厚みを犬とするようにしてもよ
い。

加えて、本発明は、電気熱変換体を吐出エネルギ発生手
段とするものであれば、第１図に示したような集積型の
ものに限られることなく適用できるのは勿論であり、さ
らにシリアル走査される形態の記録ヘッドや、記録媒体
の全幅にわたって吐出口を選別させたフルマルチ形態の
記録ヘッドにも適用できるのは言うまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、発熱抵抗層の幅
を、気泡が消滅する位置を含む部分において広くするこ
とによって、沸騰の再現性が向上し、得られる画像の品
位が向上するという効果が得られた。

【図面の簡単な説明】

第１図（八）および（ＩＩ）は、それぞれ、本発明の実
施例に係る液体噴射記録ヘッドの分解斜視図および正面
図、 第２図はその消泡位置を説明するための説明図、 ｆＪ３図は吐出に最適な温度差の範囲を説明するための
説明図、 第４図は同しく面積比を説明するための説明図、 第５図（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明に係る
基板の第１実施例を示す平面図およびそのＡ−Ａ’線断
面図、 第６図は本発明を用いた場合の気泡挙動を示す説明図、 第７図は従来例における気泡挙動を示す説明図、 第８図は本発明の第２実施例に係る基板の平面図、 第９図は本発明の第３実施例に係る記６Ｊヘッドを示す
説明図、 第１Ｏ図（八）〜（Ｃ）　は本発明のさらに他の実施例
を示す平面図である。 １．１′・・・基板、 ２・・・蓄熱層、 ３．３′、３″・・・発熱抵抗層、 ３−１・・・発熱抵抗層３の幅広の部分、４・・・電極
、 ５・・・保護層（Ｓｉ０２）、 ６・・・保護層（Ｔａ２０ｓ）、 ７・・・保護層けａ）、 ８　・・冑夜イ本、 ９、９′ ９″・・・気泡の消滅位置、 ｌＯ・・・気泡。 第２図 （ＴＨ−ＴＯ）＝△Ｔ 第３図 ０１／１０ １／２ ｏ１５８ 第４図 凸 通Ａ 第６図 敗出口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）支持体と、 該支持体上に配され、発熱抵抗体層および該発熱抵抗体
   層に電気的に接続された一対の電極を有し、前記一対の
   電極間に熱発生部が形成されている電気熱変換体であっ
   て、前記熱発生部に対応する記録用液体接触面上の記録
   用液体に生じる気泡が消滅する位置を含む部分で、通電
   の方向に対して幅を広げた形状を有する当該電気熱変換
   体とを具備し、ΔＴ＝Ｔ＿Ｈ−Ｔ＿Ｏが２０℃以上１０
   ０℃以下であることを特徴とする液体噴射記録ヘッド用
   基体。 Ｔ＿Ｏ：前記位置での、記録用液体が存在しないときの
   前記電気熱変換体の駆動状態の温度のピーク値。 Ｔ＿Ｈ：前記位置以外の位置での、記録用液体が存在し
   ないときの前記電気熱変換体の駆動状態での温度のピー
   ク値。 ２）より好ましくは、前記ΔＴを、主として前記記録用
   液体の吐出速度を考慮した場合には２０℃以上６０℃以
   下、主として前記記録用液体の吐出速度の標準偏差を考
   慮した場合には２５℃以上１００℃以下、最も好ましく
   は前記ΔＴを２５℃以上６０℃以下としたことを特徴と
   する請求項１記載の液体噴射記録ヘッド用基体。 ３）前記記録用液体の液路に沿った前記熱発生部の長さ
   を前記液路に沿った前記熱発生部の両側にある流域の流
   体力学的インピーダンスの慣性成分Ｚの逆比で比例配分
   した位置を、前記気泡が消滅する位置としたことを特徴
   とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッド用基体。 ▲数式、化学式、表等があります▼ ［ｘ：着目する流域について流れ方向にとった位置、ｌ
   ：着目する流域の長さ、Ｓ（ｘ）：位置ｘにおける液路
   の断面積、ρ：記録用液体の密度］ ４）流域について記録用液体の流れ方向にとった位置ｘ
   における液路の高さをｈ（ｘ）としたとき、前記両側の
   ▲数式、化学式、表等があります▼の逆比で前記熱発生
   部 の前記長さを比例配分した位置を、前記気泡が消滅する
   位置としたことを特徴とする請求項３記載の液体噴射記
   録ヘッド用基体。 ５）前記部分に対応した前記熱発生部上の面積Ｓ＿Ｏと
   、前記熱発生部上の全面積Ｓ＿Ｈとの比Ｓ＿Ｏ／Ｓ＿Ｈ
   を、好ましくは１／１０以上１／２以下、より好ましく
   は、主として液体の吐出速度を考慮した場合には１／１
   ０以上１／４以下、主として液体の吐出速度の標準偏差
   を考慮した場合には１／８以上１／２以下、最も好まし
   くは１／８以上１／４以下としたことを特徴とする請求
   項１に記載の液体噴射記録ヘッド用基体。 ６）支持体と、 該支持体上に配され、発熱抵抗体層および該発熱抵抗体
   層に電気的に接続された一対の電極を有し、前記一対の
   電極間に熱発生部が形成されている電気熱変換体であっ
   て、前記熱発生部に対応する記録用液体接触面上の記録
   用液体に生じる気泡が消滅する位置を含む部分で、通電
   の方向に対して幅を広げた形状を有する当該電気熱変換
   体とを有し、ΔＴ＝Ｔ＿Ｈ−Ｔ＿Ｏが２０℃以上１００
   ℃以下である基体と、 前記記録用液体の液路を形成するために前記基体上に設
   けた部材と を具備したことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 Ｔ＿Ｏ：前記位置での、記録用液体が存在しないときの
   前記電気熱変換体の駆動状態の温度のピーク値。 Ｔ＿Ｈ：前記位置以外の位置での、記録用液体が存在し
   ないときの前記電気熱変換体の駆動状態での温度のピー
   ク値。 ７）より好ましくは、前記ΔＴを、主として前記記録用
   液体の吐出速度を考慮した場合には２０℃以上６０℃以
   下、主として前記記録用液体の吐出速度の標準偏差を考
   慮した場合には２５℃以上１００℃以下、最も好ましく
   は前記ΔＴを２５℃以上６０℃以下としたことを特徴と
   する請求項６記載の液体噴射記録ヘッド。 ８）前記記録用液体の液路に沿った前記熱発生部の長さ
   を前記液路に沿った前記熱発生部の両側にある流域の流
   体力学的インピーダンスの慣性成分Ｚの逆比で比例配分
   した位置を、前記気泡が消滅する位置としたことを特徴
   とする請求項６記載の液体噴射記録ヘッド。▲数式、化
   学式、表等があります▼ ９）流域について記録用液体の流れ方向にとった位置ｘ
   における液路の高さをｈ（ｘ）としたとき、前記両側の
   ▲数式、化学式、表等があります▼の逆比で前記熱発生
   部 の前記長さを比例配分した位置を、前記気泡が消滅する
   位置としたことを特徴とする請求項８記載の液体噴射記
   録ヘッド。 １０）前記部分に対応した前記熱発生部上の面積Ｓ＿Ｏ
   と、前記熱発生部上の全面積Ｓ＿Ｈとの比Ｓ＿Ｏ／Ｓ＿
   Ｈを、好ましくは１／１０以上１／２以下、より好まし
   くは、主として液体の吐出速度を考慮した場合には１／
   １０以上１／４以下、主として液体の吐出速度の標準偏
   差を考慮した場合には１／８以上１／２以下、最も好ま
   しくは１／８以上１／４以下としたことを特徴とする請
   求項６に記載の液体噴射記録ヘッド用基体。