JPH0291632U - - Google Patents

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JPH0291632U
JPH0291632U JP16904488U JP16904488U JPH0291632U JP H0291632 U JPH0291632 U JP H0291632U JP 16904488 U JP16904488 U JP 16904488U JP 16904488 U JP16904488 U JP 16904488U JP H0291632 U JPH0291632 U JP H0291632U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の一実施例である真空含浸装
置のシール構造の一部欠截斜視図、第2図は、第
1図の真空含浸装置のシール構造の一部分を示す
一部欠截斜視図、第3図は、第1図の真空含浸装
置のシール構造の一部欠截断面図、第4図は、第
3図の〜線における端面図、第5図は、第1
図のシール構造を装着した連続真空含浸装置の断
面図、第6図は、第1図の〜線における端面
図、第7図は、第2の実施例の真空含浸装置のシ
ール構造の縦断面図、第8図は、従来の真空含浸
装置のシール構造の断面図である。 符号の説明、1……連続真空含浸装置、10…
…含浸液槽、12,12a,12b……枠体、1
5……開口、20……気密ロール、22……固定
シール部材、26……可動シール部材、30……
空気ばね、60,66……側部シール部材、61
,62……シール部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 真空室の搬出入口において1対の気密ロール
    を対向させ、気密ロールの端部の側方において固
    定シール部材を前記搬出入口の開口縁に気密状態
    で取付け、固定シール部材の気密ロール側におい
    て可動シール部材を空気ばねを介して支持し、前
    記固定シール部材に可動シール部材の側面が摺動
    可能に密接すると共にその内面が前記気密ロール
    の端面に密接するようにし、固定シール部材と可
    動シール部材により気密ロールの端面と前記開口
    縁との間を気密状態にしたことを特徴とする真空
    装置のシール構造。 2 真空室の搬出入口において1対の気密ロール
    を対向させ、気密ロールの側方において、軸方向
    に伸びる複数の側部シール材を間隔を介して前記
    搬出入口の開口縁に取付け、これら側部シール材
    の側面が気密ロールの周面に密接するようにした
    ことを特徴とする真空装置のシール構造。 3 請求項2記載の複数の側部シール材を配設し
    たことを特徴とする請求項1記載の真空装置のシ
    ール構造。
JP1988169044U 1988-12-26 1988-12-26 真空装置のシール構造 Expired - Lifetime JPH0717378Y2 (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5730733A (en) * 1980-07-30 1982-02-19 Shin Etsu Chem Co Ltd Device for continuous plasma treatment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5730733A (en) * 1980-07-30 1982-02-19 Shin Etsu Chem Co Ltd Device for continuous plasma treatment

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JPH0717378Y2 (ja) 1995-04-26

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