JPH028109A - Vibrating parts feeder - Google Patents
Vibrating parts feederInfo
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- JPH028109A JPH028109A JP32500188A JP32500188A JPH028109A JP H028109 A JPH028109 A JP H028109A JP 32500188 A JP32500188 A JP 32500188A JP 32500188 A JP32500188 A JP 32500188A JP H028109 A JPH028109 A JP H028109A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は振動式部品供給装置に関し、特に振動系を改善
しようとするものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vibrating component supply device, and is particularly directed to improving the vibration system.
従来の部品供給装置を図に従って説明する。第1図及び
第2図において、1は部品を収納する逆円錐台形の部品
容器で、内部にトラックと呼ばれる部品の送路が設けら
れてあり、全体が振動することによって部品がトラック
に整列し、所定の方向に送り出されるようになっている
。A conventional parts supply device will be explained according to the drawings. In Figures 1 and 2, reference numeral 1 denotes an inverted truncated cone-shaped parts container for storing parts, and a parts feeding path called a track is provided inside, and the parts are aligned on the track by vibration of the whole. , and are sent out in a predetermined direction.
2は円板形の上部質量体で、その上面に部品容器1を装
着し、下面には円周方向に複数の凸部2aをそれぞれ設
けている。3は下部質量体で、その上面円周上に凸部2
aに対応するように凸部3aがそれぞれ設けられている
。4は板ばねで一端部を凸部2aに、他端部を凸部3a
に傾斜してそれぞれねじで固定され、上部質量体2と下
部質量体3とを接続している。Reference numeral 2 denotes a disk-shaped upper mass body, on the upper surface of which the component container 1 is mounted, and on the lower surface thereof a plurality of protrusions 2a are provided in the circumferential direction. 3 is a lower mass body, and a convex portion 2 is formed on the circumference of the upper surface of the lower mass body.
Convex portions 3a are provided so as to correspond to a. 4 is a leaf spring with one end connected to the convex portion 2a and the other end to the convex portion 3a.
The upper mass body 2 and the lower mass body 3 are connected with each other by screws.
駆動源となる圧電素子、又は電磁式等の加振装置(図示
せず)は、板ばね4又は下部it量体3に装着されてい
る。A piezoelectric element or an electromagnetic type vibration device (not shown) serving as a driving source is attached to the leaf spring 4 or the lower IT mass 3.
このような構成において、加振装置を駆動させると、下
部質量体3と上部質量体2は、板ばね4を介して振動し
、部品容器1を振動させ、部品容器1に収納された部品
を部品容器1のトラックに沿って移動させる。この場合
の振動は、板ばね4の上端部の上部質量体2の凸部2a
にねじで固定されている部分が矢印A−A’の方向に振
動し、部品容器1は回転運動と上下運動とが合成された
モードで振動する。In such a configuration, when the vibration device is driven, the lower mass body 3 and the upper mass body 2 vibrate via the leaf spring 4, vibrating the component container 1, and causing the components stored in the component container 1 to vibrate. It is moved along the track of the parts container 1. In this case, the vibration is caused by the convex portion 2a of the upper mass body 2 at the upper end of the leaf spring 4.
The part fixed with a screw to vibrates in the direction of arrow A-A', and the component container 1 vibrates in a mode in which rotational movement and vertical movement are combined.
板ばね4は上部質量体2及び下部f量体3の円周上に複
数個配設されていることにより、板ばね4が1枚では直
線方向に振動することになるが、全体として上部質量体
2及び部品容器1を回転方向に運動させる。Since a plurality of leaf springs 4 are arranged on the circumference of the upper mass body 2 and the lower mass body 3, a single leaf spring 4 vibrates in a linear direction, but the upper mass as a whole The body 2 and the parts container 1 are moved in the rotational direction.
この場合の振動は、複数個の板ばね4の集合と、上部質
量体2と、下部質量体3によって形成された単一の振動
系であり、板ばね4が複数個あってもすべて同位相で動
作をするので、1個の板ばねとして作動していると考え
ることができる。The vibration in this case is a single vibration system formed by a set of a plurality of leaf springs 4, an upper mass body 2, and a lower mass body 3, and even if there are multiple leaf springs 4, they all have the same phase. Since it operates as follows, it can be thought of as operating as a single leaf spring.
この振動はまた、矢印A−A’のように傾斜したほぼ直
線範囲を振動しており、しかもこの振動モードが正弦波
の場合は、十分な部品の前進が得にくいが、電磁石の吸
引力で駆動させる方式の加振用電磁石等を用いた加振装
置は、振動の往路と復路とで速度を変えてより多い前進
を得るようになされている。This vibration also oscillates in an inclined, almost linear range as shown by the arrow A-A'.Moreover, if this vibration mode is a sine wave, it is difficult to obtain sufficient advancement of the part, but due to the attraction force of the electromagnet. A vibrating device using a driving type vibrating electromagnet or the like is configured to change the speed of the vibration between the forward and backward paths to obtain more forward movement.
しかしながら加振用電磁石の加振方式でも、共振点近傍
の周波数で加振すると結果として振動モードは正弦波に
極似してしまい、多くの前進を得にくくなる。そのため
共振点を大きくはずした周波数で加振することが必要と
なり、必要な振幅を得るために大きなエネルギーを必要
とする結果となっている。However, even with the excitation method of the excitation electromagnet, if the vibration is applied at a frequency near the resonance point, the vibration mode will become extremely similar to a sine wave as a result, making it difficult to obtain much forward movement. Therefore, it is necessary to excite at a frequency that is far off the resonance point, resulting in a large amount of energy being required to obtain the necessary amplitude.
また、圧電素子を駆動源とした場合、共振周波数で振動
させることが得策なため、大きなエネルギーは必要とし
ないが、振動の往路と復路との速度は同じであるため、
部品の移動に対する効率は悪かった。In addition, when using a piezoelectric element as a driving source, it is a good idea to vibrate at a resonant frequency, so a large amount of energy is not required.
The efficiency of moving parts was poor.
本発明は、上述のような従来技術の欠点を除去しようと
してなされたものであり、共振点近傍の周波数で励振す
ると共に、励振エネルギーを最小限に抑えるために、位
相差をもたせた互いに異なる2方向の振動を合成するこ
とにより、いわゆるリサージュ波形のような振動(すな
わちリサージュ振動)を与えて、効率のよい部品の移動
を得る振動式部品供給装置を提供することを目的とする
。The present invention was made in an attempt to eliminate the drawbacks of the prior art as described above, and in order to excite at a frequency near the resonance point and to minimize the excitation energy, two different It is an object of the present invention to provide a vibrating component supply device that can efficiently move components by combining directional vibrations to give vibrations in a so-called Lissajous waveform (i.e., Lissajous vibrations).
以下対応部分に同一符号を付して示す図面について、本
発明の一実施例を詳述する。An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings in which corresponding parts are denoted by the same reference numerals.
第3図において、11は部品を収納し、その部品を移動
させるための逆円錐台形の部品容器で、内部にトラック
と呼ばれる部品の送路が設けられてあり、全体が振動す
ることによって部品がトラックに整列し、所定の方向に
送り出されるようになっている。In Fig. 3, reference numeral 11 is an inverted truncated cone-shaped parts container for storing and moving parts, and a part feeding path called a track is provided inside, and the parts are moved by vibration of the whole. They are arranged in a track and sent out in a predetermined direction.
12は円板形(角板形でもよい)の上部質量体で、上面
に部品容器11を着脱可能に装着し、下面に所定の半径
でなる円周上に、例えば120°離れて3つ又は90°
離れて4つのように複数個所に所定の間隔をおいて、所
定、の異なった高さの角柱形でなる一対の凸部12a、
12bがそれぞれ設けられている。Reference numeral 12 denotes an upper mass body in the shape of a disk (or a square plate), on which the parts container 11 is removably attached, and on the lower surface there are three or 90°
A pair of prismatic protrusions 12a having predetermined different heights, spaced apart from each other by a predetermined interval, such as four protrusions 12a;
12b are provided respectively.
13は円板形(角板形でもよい)の下部質量体で、上面
に凸部12a、12bの中央部近傍に対応して角柱形で
なる凸部13aが設けられている。Reference numeral 13 denotes a disk-shaped (or rectangular plate-shaped) lower mass body, and a prismatic convex portion 13a is provided on the upper surface of the mass body in the vicinity of the center of the convex portions 12a, 12b.
14は一端部に角柱形でなる取付部材15を固着した所
定の大きさの長方形状の仮ばねで、長軸方向の下端部が
凸部13aにねし止めされ、これによりほぼ上下方向に
垂直に延長しながら下部質量体13に対して固着されて
おり、下部質量体13と板ばねI4とで横方向の振動系
を形成している。Reference numeral 14 denotes a rectangular temporary spring of a predetermined size to which a prismatic mounting member 15 is fixed to one end, and the lower end in the long axis direction is screwed to the convex portion 13a, so that the spring 14 is fixed almost perpendicularly in the vertical direction. The lower mass body 13 and the leaf spring I4 form a lateral vibration system.
16は長方形状の板ばねで、板ばね14より大きいばね
性を有しており、その上端部が凸部12aの下端面にね
じ止めされていると共に、下端部を凸部12bの下端面
にねじ止めされている。その中央部近傍には取付部材1
5がねし止め固着され、かくして上部質量体12と板ば
ね16とで上下方向の振動系を形成している。ここで、
凸部12a及び12bは互いに異なる高さに選定され(
この実施例の場合、凸部12bの方が凸部12aより高
い)、これにより、板ばね16は板ばね14に対して斜
交するように結合されている。Reference numeral 16 denotes a rectangular leaf spring, which has greater springiness than the leaf spring 14. Its upper end is screwed to the lower end surface of the projection 12a, and its lower end is screwed to the lower end surface of the projection 12b. It is screwed on. There is a mounting member 1 near the center of the
5 is fixed with screws, and thus the upper mass body 12 and the leaf spring 16 form a vertical vibration system. here,
The convex portions 12a and 12b are selected to have different heights (
In this embodiment, the protrusion 12b is higher than the protrusion 12a), so that the leaf spring 16 is coupled obliquely to the leaf spring 14.
17は一対の圧電素子で、板ばね14の両面に駆動源と
して貼着され、それぞれリード線18を介して外部電源
(図示せず)によって駆動される。A pair of piezoelectric elements 17 are attached as driving sources to both sides of the leaf spring 14, and each is driven by an external power source (not shown) via a lead wire 18.
この場合圧電素子17は片側だけでよいのは勿論のこと
である。In this case, it goes without saying that the piezoelectric element 17 only needs to be provided on one side.
ここで、横方向とは水平より多少傾斜がある場合も含め
ている。また上下方向の場合も垂直方向より多少傾斜が
ある場合も含める。Here, the lateral direction includes cases where there is a slight inclination from the horizontal. In addition, cases in the vertical direction also include cases in which there is a slight inclination from the vertical direction.
次に動作を説明する。リード線18を介して圧電素子1
7に駆動電圧を印加すると、板ばね14は横方向に励振
し、その振動が板ばね16に伝達されて当該機ばね16
が板ばね14の振動に従動するように上下方向に励振し
、その結果上部’ff1体12及び部品容器11に回転
捩り及び上下振動を励起させる。Next, the operation will be explained. Piezoelectric element 1 via lead wire 18
When a driving voltage is applied to 7, the leaf spring 14 is excited in the lateral direction, and the vibration is transmitted to the leaf spring 16.
is excited in the vertical direction following the vibration of the leaf spring 14, and as a result, the upper 'ff1 body 12 and the component container 11 are excited to rotate and vibrate vertically.
板ばね16は予め水平より所定の角度で右下りに傾斜さ
せであるので、板ばね14の横方向の振動に対する上下
方向の振動の周期遅れが右向となり、部品容器11の正
面周辺部を正面より見た場合、矢印Bの如く長楕円状(
リサージュ図形状)に振動し、部品の前進方向が部品容
器11を上方より見て反時計方向となる。Since the leaf spring 16 is tilted downward to the right from the horizontal at a predetermined angle, the period delay of the vertical vibration with respect to the horizontal vibration of the leaf spring 14 is to the right, and the front peripheral part of the component container 11 is tilted to the right. When viewed from a distance, it has an elongated oval shape (as shown by arrow B).
The parts vibrate in a Lissajous figure shape), and the advancing direction of the parts is counterclockwise when looking at the parts container 11 from above.
これに対して第3図の場合とは異なり、板ばね16が右
上りに傾斜していると、板ばね14の横方向の振動に対
する上下方向の振動の周期遅れが左向きとなり部品の前
進方向は時計方向となる。On the other hand, unlike the case in FIG. 3, if the leaf spring 16 is tilted upward to the right, the period delay of the vertical vibration with respect to the horizontal vibration of the leaf spring 14 will be to the left, and the forward direction of the component will be The direction is clockwise.
この様にして2つの振動系の間に位相差を生じさせるこ
とにより、板ばね14を含む横方向の振動系を共振点近
傍の周波数で用いることができる。By creating a phase difference between the two vibration systems in this manner, the horizontal vibration system including the leaf spring 14 can be used at a frequency near the resonance point.
すなわち第3図の場合、板ばね14を共振周波数で振動
させることにより、板ばね16を上下方向に励振させる
が、板ばね16は板ばね14よりばね性が大であるため
、上下方向振動は、共振周波数より外れることとなるの
で上下方向振動の振幅は、横方向振動の振幅に対して種
度に小となる。In other words, in the case of FIG. 3, by vibrating the leaf spring 14 at the resonant frequency, the leaf spring 16 is excited in the vertical direction, but since the leaf spring 16 has greater springiness than the leaf spring 14, the vertical vibration is , deviates from the resonant frequency, so the amplitude of the vertical vibration is significantly smaller than the amplitude of the lateral vibration.
因に第2図の場合のように、上下方向に振動する部材を
設けない場合には、上下方向の振動の振幅が適度を超え
て大となって部品容器11に収納された部品が飛び上り
現象を生じて逆に前進の妨害となるのに対して、第3図
の場合のように共振周波数を避けるようにすることによ
り上下振動の振幅を適度に抑えることができ、かくして
飛び上り現象が生じる問題を有効に解決することができ
る。Incidentally, if a member that vibrates in the vertical direction is not provided as in the case of FIG. However, by avoiding the resonance frequency as in the case of Figure 3, the amplitude of the vertical vibration can be moderately suppressed, thus preventing the jump phenomenon. Able to effectively solve problems that arise.
第4図は第2の実施例を示すもので、円板形の上部質量
体62はその上面に部品容器11を装着し、下面に所定
の半径でなる円周上に、所定の間隔をおいて、所定の異
なった高さの角柱形でなる一対の凸部62a、62bが
それぞれ複数設けられている。FIG. 4 shows a second embodiment, in which a disc-shaped upper mass body 62 has a parts container 11 mounted on its upper surface, and a predetermined interval on the circumference of a predetermined radius on its lower surface. A plurality of pairs of prismatic protrusions 62a and 62b each having a predetermined different height are provided.
円板形の下部質量体63はその上面に一対の凸部62a
、62bに対応する角柱形の凸部63bを設けている。The disk-shaped lower mass body 63 has a pair of convex portions 62a on its upper surface.
, 62b are provided with prismatic protrusions 63b.
この場合板ばね14は上端部に取付部材65を固着し、
下端部は凸部63aにねし止め固着されている。66は
長方形状の板ばねで、長軸方向に互いにほぼ等しい長さ
の3つの部分でなり、その左端部を中央部より高くし、
右端部を中央部より低くして、左及び右端部をそれぞれ
凸部62a及び62bの下面にねし止め固着され、中央
部は取付部材65にねじで固着されている。In this case, the leaf spring 14 has a mounting member 65 fixed to its upper end,
The lower end portion is fixed to the convex portion 63a with a screw. 66 is a rectangular leaf spring, consisting of three parts of approximately equal length in the long axis direction, the left end of which is higher than the center part,
The right end portion is lower than the center portion, the left and right end portions are fixed to the lower surfaces of the convex portions 62a and 62b, respectively, with screws, and the center portion is fixed to the mounting member 65 with screws.
第4図の構成において、圧電素子17によって板ばね1
4が振動すると、その振動が板ばね66に伝達されるこ
とにより、上部質量体62及び部品容器11を励振して
部品容器11に収納されている部品を移動させる。この
場合、板ばね66は第3図について上述したと同様にし
て凸部62a及び62bにそれぞれねじ止めされた点を
直線で結んだ板ばねと同じ方向に振動すると考えられる
。In the configuration of FIG. 4, the piezoelectric element 17 causes the leaf spring 1 to
4 vibrates, the vibration is transmitted to the leaf spring 66, thereby exciting the upper mass body 62 and the parts container 11, thereby moving the parts stored in the parts container 11. In this case, the leaf spring 66 is considered to vibrate in the same direction as the leaf spring drawn by connecting the points screwed to the protrusions 62a and 62b with a straight line in the same manner as described above with reference to FIG.
このように構成すれば、第3図の場合と同様の効果を得
ることができると共に、これに加えて上部質量体62の
凸部62a及び62bの下端面がほぼ水平であるため加
工が容易になる。With this configuration, it is possible to obtain the same effect as in the case shown in FIG. Become.
第5図は第3図の実施例を示すもので、円板形の上部質
量体52はその上面に部品容器11を装着し、下面に所
定の半径でなる円周上に、所定の間隔をおいて、所定の
同一高さの角柱形の一対の凸部52a及び52bがそれ
ぞれ複数設けられている。FIG. 5 shows the embodiment shown in FIG. 3, in which a disc-shaped upper mass body 52 has a component container 11 mounted on its upper surface, and a predetermined interval on a circumference of a predetermined radius on its lower surface. A plurality of a pair of prismatic convex portions 52a and 52b having the same predetermined height are provided.
円板形の下部質量体53はその上端部に一対の凸部52
a及び52bに対応するように傾斜面53a+を形成し
た角柱形の凸部53aを設けている。板ばね14の上端
部には取付部55が固着され、下端部は凸部53aの傾
斜面53a、にねし止めされている。板ばね16はその
両端部をそれぞれ凸部52a、52bの下端面にねじ止
めされ、中央部近傍を取付部55にねじ止めされている
。The disk-shaped lower mass body 53 has a pair of convex portions 52 at its upper end.
A prismatic convex portion 53a having an inclined surface 53a+ is provided so as to correspond to the angles a and 52b. A mounting portion 55 is fixed to the upper end of the leaf spring 14, and the lower end is screwed onto the inclined surface 53a of the convex portion 53a. The leaf spring 16 has its both ends screwed to the lower end surfaces of the convex portions 52a and 52b, respectively, and its central portion near the center portion is screwed to the mounting portion 55.
かくして板ばね14は水平方向に延長する仮ばね16に
対して斜交するように斜め上方に延長することにより、
横方向の振動系を形成すると共に、板ばね16は上下方
向の振動系を形成する。Thus, by extending the leaf spring 14 diagonally upward so as to be oblique to the temporary spring 16 extending in the horizontal direction,
In addition to forming a lateral vibration system, the leaf spring 16 also forms a vertical vibration system.
第5図の構成において、圧電素子17によって板ばね1
4に発生する振動が板ばね16に伝達されると、上部質
量体52及び部品容器11が励振され、これにより部品
容器11に収納されている部品を移動させる。この場合
も横方向の振動系と上下方向の振動系との間には位相差
が生じ、板ばね14の傾き方向で決定される回転方向へ
部品を移動させることができる。In the configuration shown in FIG. 5, the leaf spring 1 is
4 is transmitted to the leaf spring 16, the upper mass body 52 and the parts container 11 are excited, thereby moving the parts stored in the parts container 11. In this case as well, a phase difference occurs between the horizontal vibration system and the vertical vibration system, and the component can be moved in the rotational direction determined by the inclination direction of the leaf spring 14.
第5図の実施例によれば、第3図について上述したと同
様の効果を得ることができると共に、これに加えて上部
質量体52の凸部を52a及び52bを互いに同じ簡さ
に加工できるため、−段と加工が容易になる。According to the embodiment shown in FIG. 5, it is possible to obtain the same effect as described above in connection with FIG. Therefore, processing becomes much easier.
上述のように本発明によれば、振動駆動源によって励振
される第1の坂ばねに結合された第2の板ばねによって
部品容器を励振させるようにしたことにより、横方向の
振動系を固有の振動数に同期した周期で効率良く振動さ
せることができると共に、当該横方向の振動位相に対し
て所定の位相差をもつ振動を上下方向の振動系に生じさ
せることにより部品容器をリサージュ振動させることが
できる振動式部品供給装置を容易に実現し得る。As described above, according to the present invention, the component container is excited by the second plate spring coupled to the first slope spring excited by the vibration drive source, so that the lateral vibration system is uniquely The parts container can be vibrated efficiently with a period synchronized with the frequency of vibration, and the parts container can be caused to vibrate by Lissajous by causing the vertical vibration system to vibrate with a predetermined phase difference with respect to the lateral vibration phase. It is possible to easily realize a vibrating component feeding device that can perform the following functions.
第1図及び第2図は従来の振動式部品供給装置を示す一
部破断斜視図及び正面図、第3図は本発明による振動式
部品供給装置の一実施例を示す正面図、第4図及び第5
図は本発明の他の実施例を示す正面図である。
■、11・・・・・・部品容器、2.12.52.62
・・・・・・上部質量体、3.13.53.63・・・
・・・下部f量体、4.14.16.66・・・・・・
板ばね、17・・・・・・圧電素子。
第1図1 and 2 are a partially cutaway perspective view and a front view showing a conventional vibrating component supply device, FIG. 3 is a front view showing an embodiment of the vibrating component supply device according to the present invention, and FIG. 4 and fifth
The figure is a front view showing another embodiment of the present invention. ■, 11... Parts container, 2.12.52.62
...... Upper mass body, 3.13.53.63...
...lower f-mer, 4.14.16.66...
Leaf spring, 17...Piezoelectric element. Figure 1
Claims (1)
と、 前記上部質量体の上面に装着された部品容器と、前記下
部質量体に一端が連結され駆動源をなす圧電素子が貼着
され前記下部質量体と共に第1の振動系を形成する長方
形の第1の板ばねと、前記上部質量体および前記第1の
板ばね間に連結され前記第1の板ばねより大きいばね性
を有し前記上部質量体と共に前記第1の振動系に従動す
る第2の振動系を形成する第2の板ばねと を具え、前記第1の板ばねはその長軸を上下方向又は斜
め上方に延長するように配設されると共に、前記第2の
板ばねはその長軸を前記第1の板ばねの長軸と斜交する
ように配設され、前記第2の板ばねは長軸方向の両端部
を前記上部質量体の下面に固着されかつ長軸方向の中央
部を前記第1の板ばねの上端に固着された ことを特徴とする振動式部品供給装置。[Claims] An upper mass body and a lower mass body arranged vertically opposite each other, a parts container mounted on the upper surface of the upper mass body, and one end connected to the lower mass body to form a driving source. a rectangular first leaf spring to which a piezoelectric element is attached and forms a first vibration system together with the lower mass; and a first leaf spring connected between the upper mass and the first leaf spring; a second leaf spring having a large spring property and forming a second vibration system that follows the first vibration system together with the upper mass body, the first leaf spring having its long axis in the vertical direction. Alternatively, the second leaf spring is arranged so as to extend obliquely upward, and the second leaf spring is arranged so that its long axis is obliquely intersecting the long axis of the first leaf spring, and the second leaf spring A vibrating component supply device, wherein both ends in the longitudinal direction are fixed to the lower surface of the upper mass body, and the central part in the longitudinal direction is fixed to the upper end of the first leaf spring.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32500188A JPH0717256B2 (en) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | Vibratory parts feeder |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32500188A JPH0717256B2 (en) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | Vibratory parts feeder |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5400784A Division JPS60197507A (en) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | Parts supplier of vibratory type |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0717256B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0524613U (en) * | 1991-03-29 | 1993-03-30 | エヌテイエヌ株式会社 | Piezoelectric drive type vibrating article carrier |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP32500188A patent/JPH0717256B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0524613U (en) * | 1991-03-29 | 1993-03-30 | エヌテイエヌ株式会社 | Piezoelectric drive type vibrating article carrier |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0717256B2 (en) | 1995-03-01 |
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