JPH0278982A - 磁束計および磁気特性検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超電導量子干渉計を用いた磁束センサに係り、
特に化学プラント及び原子カプラント等の高温環境下で
使用される含フエライト系ステンレス鋼等の金属材料の
高温時効脆化損傷の検知に好適なプローブコイル及びプ
ローブコイル用コアに関する。

〔従来の技術〕

従来、小型のプローブコイルを具備した超電導量子干渉
素子（以下スキッド；ＳＱＵＩＤという）については１
チツプ型のＳＱＵＩＤとして、１９８８年、インターナ
ショナル，ソリッドステート　サーキツツ　コンファレ
ンス（１９８８ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　　Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔ
ｅ　　ＣｉｒｃｕｉｔｓＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　　（Ｉ
ＳＳＣＣ　　　８８））　　Ｐ２８９　〜Ｐ２９１にお
いて論じられている．。

一方、含フエデイトステンレス鋼実機部材の高温脆化損
傷度の検知方法として、特開昭６１−２８８５９号公報
に記載のような方法がある。これは。

フェライトスコープを用いて、実機部材の高温長時間使
用後のフェライト量変化を磁気的にＨ１ｌｌ定すること
によって当該部の脆化の進行度を検知する方法である。

また劣化診断ではないが、超電導発電機用マクネット等
に使用される高磁界域において高い臨界電流特性を発揮
する超電導シートコイルの製造方法について、特開昭６
．２−２７７７０４号公報に述べられている。

【発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は被測定体からの磁束を取り込む検出面積
が大きいために、原子カプラントの実機部材に用いられ
る２相ステンレス鋼のフェライト相中に高温時効により
析出するα′相やＧ相等の極微小析出物の磁気特性を調
べることができず、材料劣化に及ぼす材料の磁気特性と
組織変化の相関を十分に明確にできないという問題があ
った。

また上記従来技術は、一般に磁気特性の変化を伴なう材
料の内部組織変化を調べる際に、材料全体の磁気特性を
測定することはできたが、磁気特性変化の直接の原因と
なる内部組織変化部の磁気特性を計測することができな
いという問題があった。

さらに上記従来技術は、前記材料の磁気特性変化の直接
の原因となる内部組織変化部の大きさが非常に微小であ
る場合、該内部組織変化部の寸法を磁気特性とは別に極
微量分析′ＪＡｈ￥を用いて調べなければならないとい
う問題があった。

本発明の目的は、原子カプラント等の実機部材に用いら
れる２相ステンレス鋼の材料変化に及ぼす材料の磁気特
性の変化と組織変化との相関を明確にし、劣化診断の信
頼性を高めることであり、人オーダの位置分解能で磁気
特性を測定することができ非常に高い磁気信号感度を有
する磁束計を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、５ＱＵＩＤと５ＱＵＩＤに
磁束を取り込むための磁束伝達回路を具備する磁束計に
おいて、磁束伝達回路に備わり被測定試料に面するプロ
ーブコイルを先端の曲率半径を小さくした針状コアの先
端に形成させたものである。

また、前記針状コアの先端の曲率半径を小さくするため
に、コア用材料を棒状に切り出し棒状材料の端を電解研
摩又は化学研摩したものである。

また、５ＱＵＩＤへ取り込む磁束信号の感度を高めるた
めに、前記針状コアを高透磁率をもつ軟磁性材で作製し
たものである。

また、プローブコイルと針状コアとの間を絶縁するため
に、プローブコイルと針状コアとの間に薄膜を挿入した
ものである。

人オーダの位置分解能で磁気特性を測定する目的を達成
するために、前記プローブコイルと針状コアとの間に挿
入する絶縁薄膜を針状コアのプローブコイルリング内側
には形成させず、針状コアの先端と被測定試料との間の
トンネル電流が一定になるように針状コアをピエゾ素子
で三次元方向に駆動させる。

〔作用〕

軟磁性材の長さ１５ｍｍ０．２５ｍｍ角の角材に切り出
し、角材の一方の端を塩酸や硝酸等の電解液に浸漬し、
２〜３■の交流電圧をかけて上下すると、先端の曲率半
径が５００人程度の針状コアができ上がる。この針状コ
アの直上を残して表面全体に絶縁薄膜を真空蒸着等によ
って形成させ、その上に超電導薄膜のプローブコイルを
装着するので１例えば絶縁膜の厚さを３００人とすると
プローブコイルの直径は１ＧｏＯ人程度となり、極微小
の磁束検出面積を有するプローブコイルとなる。

針状コアの先端と被測定試料との間のトンネル゛電流を
一定に保持するように針状コアをピエゾ素子で駆動させ
るので、両者間の距離を１０Å以下まで近づけることが
できる。これにより、プローブコイルへの漏洩磁束が減
少し取り込む磁束が増加するとともに信号感度は高まる
。また針状コアが軟磁性材料であることも漏洩磁束の減
少と感度の向上につながる。針状コアの軸方向に垂直な
平面内をピエゾ素子に印加する電圧をＷ１４ｖＩｉシな
がら二次元方向に制御すると、被測定試料の表面を入オ
ーダの位置分解能で移動し磁気特性の変化を調にること
かできる。また、針状コアの位置制御をパルスモータ駆
動で行うと、ピエゾ素子駆動に比べてさらに粗い走査を
することもできる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１〜１４図を用いて説明す
る。

第１図は本発明の一実施例であるマイクロプローブコイ
ルの概観図である。先端の曲率半径の小さい針状コア１
の先端に、超電導膜のリングからなるプローブコイル２
を形成させ、プローブコイル２からリード線３を導出し
たものである。第２図に示すように、２本のリード線３
を絶縁薄膜３−ａを介して交差させるとプローブコイル
の感度は一段と向上する。針状コアの代わりに第３図の
ように棒状コア３−ｂを用い、棒状コア３−ｂの先端に
プローブコイル２を装着することも可能である。

以上記述したようなプローブコイルを具備した５ＱＵＩ
Ｄ磁束計を用いると、材料の非常に微細な領域の磁気特
性値を検出することができるようになる。例えば、次に
記述するようなシステムにおいて威力を発揮する。原子
カプラントにおける原子炉の炉壁や一次系配管には２相
ステンレス鋼が用いられているが、原子炉の稼動時間が
増加するに従って高温時効脆化により２相ステンレス鋼
のフェライト相中の微小な析出相が発生し、前記実機部
材は劣化する。このフェライト相中に生ずる析出相のた
めに２相ステンレス鋼の磁気特性が微妙に変化するので
、その磁気特性を高感度のＧＱＵＩＤとＧＱＵＩＤへ磁
束を取り込むためのプローブコイルを用いて測定するこ
とにより実機部材の劣化度を評価することができる。被
測定試料近傍に励磁装置を配置し被測定試料に起磁力を
与えると第４図、第５図に示すように、起磁力の変化に
対応して磁気ヒステリシスループ４を描く。

第４図は２相ステンレス鋼の受け入れ材の磁気特性を示
す図であり、第５図は２相ステンレス鋼の４７５℃の高
温時効を施した劣化材の磁気特性を示す図である。受け
入れ材と劣化材の磁気特性を比較すると、磁気ヒステリ
シス面積５や磁気ヒステリシス形態５−ａ、最大磁束密
度６．磁留磁束密度７．保磁力８等の特性値が変化して
いることがわかる。

実際に原子炉の実機部材の劣化度を評価するには、予め
２相ステンレス鋼について時効時間と時効温度に対する
磁気特性の変化と強度変化と内部組織変化についてのデ
ータの蓄積と各特性値の対応づけが必要とされる。しか
しながら、磁気特性と内部組織変化との相関を求める際
に、従来のプローブコイルを用いた５ＱＵＩＤ磁束計で
は磁束検出面積が大きいため、前記微小析出相による磁
気特性の変化を直接求めることができなかった。

第６図は５ＱＵＩＤを具備した磁束ｉ１１！Ｉ定部の構
成図である。被測定部から測定される磁束は磁伝伝達回
路９のプローブコイル２に入り、コイルＳ　９−　ａに
伝達される。コイルＳ　９−　ａとｒｆｓＱＵＩＤｌｏ
は相互インダクタンスＭｓ＝ｋＤ］τで結合されている
。ここでＬｓとＬはそれぞれコイル５９−ａとｒｆｓＱ
ＵＩＤｌｏの自己インダクタンスである。プローブコイ
ル２の巻数をｎｐ、１巻あたりの自己インダクタンスを
Ｌｐｏ、コイル５９−ａの巻数をｎｓ、１巻あたりの自
己インダクタンスをＬｓｏとすると、５ＱＵＩＤの感度
はＥ＝（ｎｐｎｓｋｒ丁ｐｏ）　／　（ｎｐ”Ｌｐｏ＋
　ｎｓ”Ｌｓｏ）≦（ｋ／２）＄で与えられる。上式に
おいて感度εが最大となるのはＬｐ＝Ｌｓを満足する時
である。つまり、プローブコイルとコイルＳの自己イン
ダクタンスを等しくしなければならない。−般にコイル
の自己インダクタンスはコイルの線の断面積Ａに比例し
、１巻あたりのコイルの長さに反比例する６本発明の針
状コア先端に形成させたプローブコイル２は、１巻あた
りのコイルの長さＱｐは非常に小さいが、断面積Ａｐも
十分に小さくできるので、Ｌｐ＝Ｌｓを充たすようなコ
イル５９−ａを作製することが可能である。さらにｒｆ
ｓＱＵＩＤｌｏの磁束信号はＬＣ共振回路１１で電気信
号に変換され、５ＱＵＩＤの制御回路へ伝送される。

第７図は本発明の一実施例である多巻型プローブコイル
の概観図である。針状コア１の先端に多巻プローブコイ
ル１２を形成し、リード（１）１３とリード線（２）１
４を先端から導出し、さらにリード線（２）１４と多巻
プローブコイル１２との間に絶縁材１５を介在させた構
造となっている。

第８図は絶縁薄膜と軟磁性材料からなる針状コアと１巻
のマイクロプローブコイルの断面図、第９図は絶縁材料
からなる針状コアと１巻のマイクロプローブコイルの断
面図である。第８図のように、高透磁率を有するパーマ
ロイ（ＰＣ）や高硬度パーマロイ（ＨＰ　Ｃ）等の鉄−
ニッケル合金等の軟磁性材の針状コア１６上に透磁率が
工程度のポリエチレンやテフロン等の有機絶縁材料や無
機絶縁材料等の絶縁膜ｌＩ！１７を被覆し、その上に１
巻プローブコイル１８を形成させると、透磁率の低い材
料を針状コアに用いた場合と比較して、漏洩磁束が減少
し取り込む磁束が増加し５ＱＵＩＤの感度が向上すると
いう効果がある。第９図のごとく、絶縁材料に直接機械
加工や化学研摩等を施して絶縁材の針状コア１９を作製
し、その上に１巻プローブコイル１８を形成させると、
第８図の場合に比べて漏洩磁束の減少はそれ程望まない
が。

プローブコイルの製作工程が簡略化されるという効果が
ある。

第１０図は絶縁膜と軟磁性材からなる針状コアと１巻マ
イクロプローブコイルの作製手順の一実施例である。軟
磁性材料を長さ１５ｍｍ、断面０．５＋ｍｍ角のロッド
に切り出し、塩酸や硝酸等の電解液中に浸漬し数ボルト
の交流又は直流で電解研摩すると、先端の曲率半径がＲ
＝５００人程度の鋭い針状コア１６ができる。また、こ
の針状コア１６を超高真空中へ導入し、数キロボルトの
正の高電圧を印加すると、針状コア先端の表面原子が高
電界によって電界蒸発をし理想的な半球面に近い先端形
状が得られる０次に針状コア１６を真空中で軸方向に自
転させながら絶縁材の蒸着を行ない、表面に均一な膜を
有する絶縁薄膜１７を形成する。

続いて前記絶縁薄膜１７の上に第１０図に示すようにレ
ジスト２ｏを塗付し、再び真空中で超電導材を蒸着し超
電導膜２１を全体に形成させる。最後にレジスト２０を
除去すると、直径約１０００人の極微小１巻プローブコ
イルが完成する。

第１１図は２相ステンレス鋼の劣化材を１チツプ型プロ
ーブコイルを用いて磁束を測定した場合の模式図と対応
する残留密束密度を示す図である。

前述したごとく、被測定試料である２相ステンレス鋼２
２のフェライト相２２−ａ中には、時効時間の増加に伴
ってα′相２３やＧ相２４という微小析出相が発生する
。それらの析出相の大きさは数百人とも言われる程の微
小なもので、２謙謙ｘ３麓■の１チツプ型５ＱＵＩＤに
搭載された積層型のプローブコイル２５では、被測定試
料である２相ステンレス鋼２２に積層型のプローブコイ
ル２５を十分近づけることができず、漏洩磁束が多く取
り込む磁束が少なかった。また、受け入れ材と劣化材の
磁気特性の相違は測定できても、第１１図のごとくα′
相２３やＧ相２４による残留磁束密度プロファイル２６
の変化を検出できる程の感度がなかった。

一方、第１２図のごとく本発明のマイクロプローブコイ
ル２６−ａを具備した５ＱＵＩＤを用いて２相ステンレ
ス鋼２２の劣化材を測定すると。

半径５００人という非常に微少な検出面積のために、プ
ローブの中心位置に対する残留磁束密度プロファイル２
６はα′相２３やＧ相２４の変化を直接反映した形状を
とるようになる。また軟磁惨材の針状コアを具備してい
るので、漏洩磁束が減少し取り込む磁束が増加する。さ
らに、マイクロプローブコイル２６−ａの中心にセンタ
ーホール２７を開けて走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）の
プローブとして取り扱うと、トンネル電流を測定するこ
とのできる距離である数人の位置までセンターホール２
７を２相ステンレス鋼２２に近づけることが可能となり
、５ＱＵＩＤの感度は一段と高まるという効果がある。

第１３図はマイクロプローブコイル２６−８を具備した
５ＱＵＩＤ磁束計に走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）の駆
動機構を適用したＳ　Ｔ　Ｍ　−５ＱＵＩＤの概略図で
ある。マ°イクロプローブコイル２６−ａを具備した針
状コア１とα′相２３やＧ相２４を有するフェライト相
２２−ａとの間にトンネルｆ！ｉ流を流し、その距離を
≦人程度で一定に保つようにＺ軸ピエゾ２８をＰＩ制御
回路２９で制御し、これと独立にＸ軸ピエゾ３０とＹ軸
ピエゾ３１で走査することにより、コンピュータ（１）
３２ｔｊｊｌｌしてモニター（１）３３上で試料表面の
構造が原子レベルで観察できる。また本発明によればこ
れらの走査と平行して針状コア１を極低温冷凍機３４で
針状コア１を真空中でＩＩＫまで冷却し、マイクロプロ
ーブコイル２６−ａで測定される磁束信号を、リード線
３．コイルＳ　９−　ａ　、　ｒｆｓＱＵＩＤｌｏ　。

ＬＣ共振回路１１を通じて５ＱＵＩＤ制御回路３５に伝
送し、コンピューター（２）３６によりモニター（２）
３７上に残留磁束密度プロファイル３８等の各磁気特性
の分子寸法の面分布を観察することが可能となる。また
ここで、冷凍機によりプローブコイルや磁束伝達回路や
５Ｑ（Ｊ４０等の超電導材を容易に遷移温度以下に下げ
ることができるという効果がある。

第１４図は多針状に配したコアとマイクロプローブコイ
ルの概略図である。

第１４図のごとく多数のマイクロプローブコイル２６−
ａと針状コア１をコアステージ３９上に一定間隔で配置
し、各マイクロプローブコイル２６−ａからの磁束信号
を連続的に処理すると、ＳＴＭの駆動機構を用いずに２
相ステンレス鋼２２表面の各磁気特性の面分布を離散的
に測定できるという効果もある。

また本発明のマイクロプローブコイルを具備した５ＱＵ
ＩＤ磁束計を用いると、磁気ディスクや磁気ヘッドの磁
区や、初期構造欠陥さらに経年劣化による構造欠陥の測
定も可能となるという効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、針状コアまたは棒状コアの先端に非常
に微少な磁束検出面積を備えたプローブコイルを備えた
５ＱＵＩＤを作製できるので、２相ステンレス鋼のフェ
ライト相中に析出するα′相やＧ相ごとく材料内部の微
細な組織変化に件なう磁気特性の変化をその組織変化の
位置に追従して測定することができるという効果がある
。また予めα′相やＧ相のごとく微細な組織変化に対応
する磁気特性を調べておけば、前記プローブコイルを用
いて同一材料の磁束測定をすることにより。

その材料の組織を逆に調べることができるという効果も
ある。

また本発明によれば、プローブコイルを先端に形成させ
たプローブコイルを剥ぎ取ることなくその金属をコアと
して利用できるという効果がある。

さらに、ＳＴＭの駆動機構を併用できるので。

プローブコイルを被測定試料の極近傍まで近づけること
ができるので５ＱＵＩＤの感度が向上するのみならず、
人オーダの位置の分解能で磁気特性を調べることができ
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるマイクロプローブコイ
ルの概観を示す部分斜視図、第２図はリード線を交差さ
せたマイクロプローブコイルの概観を示す部分斜視図、
第３図は棒状コアの先端部に形成させたマイクロプロー
ブコイルの概観を示す部分斜視図、第４図は２相ステン
レス鋼の受け入れ材の磁気特性図、第５図は２相ステン
レス鋼に４７５℃の高温時効を施した劣化材の磁気特性
図、第６図は５ＱＵＩＤを具備した磁束測定部の回路図
、第７図は本発明の一実施例である多巻型プローブコイ
ルの概観を示す部分斜視図、第８図は絶縁薄膜と軟磁性
材からなる針状コアと１巻のマイクロプローブコイルの
断面図、第９図は絶縁材からなる針状コアと１巻のマイ
クロプローブコイルの断面図、第１０図は絶縁膜と軟磁
性材からなる針状コアと１巻マイクロプローブコイルの
作製手順を示す工程図、第１１図は２相ステンレス鋼の
劣化材を１チツプ型プローブコイルを用いて磁束測定し
た場合の模式図と対応する残留磁束密度を示す特性図、
第１２図は２相ステンレス鋼の　　　　。 劣化材を本発明のマイクロプローブコイルを用いて磁束
測定した場合の模式図と対応する残留磁束密度を示す特
性図、第１３図はマイクロプローブコイルを具備したＳ
　Ｑ　Ｕ　Ｔ　Ｄ磁束計に走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ
）の駆動機構を適用したＳ　Ｔ　Ｍ−３ＱＵＩＤの概略
回路図、第１４図は多針状に配したコアとマイクロプロ
ーブコイルの概観を示す斜視図である。 １・・・針状コア、２・・・プローブコイル、３・・・
リード線、３−ａ・・・絶縁薄膜、３−、ｂ・・・棒状
コア、４・・・磁気ヒステリシスループ、５・・・磁気
ヒステリシス面積、５−ａ・・・磁気ヒステリシス形態
、６・・・最大磁束密度、７・・・残留磁束密度、８・
・・保磁力、９・・・磁束伝達回路、９−　ａ　−ｒｆ
ｓＱＵＩＤ、　　ｌ　Ｏ−ｒｆｓＱＵＩＤ、１１・・・
ＬＣ共振回路、１２・・・多巻プローブコイル。 １３・・・リード線（１）、１４・・・リード線（２）
、１５・・・絶縁材、１６・・・軟磁性材の針状コア、
１７・・・絶縁薄膜、１８・・・１巻プローブコイル、
１９・・・絶縁材の針状コア、２０・・・レジスト、２
１・・・超電導薄膜、２２・・・２相ステンレス鋼、２
２−ａ・・・フェライト相、２３・・・α′相、２４・
・・Ｇ相、２５・・・積層型のプローブコイル、２６・
・・残留磁束密度プロファイル、２６−ａ・・・マイク
ロプローブコイル。 ２７・・・センターホール、２８・・・Ｚピエゾ、２９
・・・ＰＩ制御回路、３０・・・Ｘ−ピエゾ、３１・・
・Ｙ−ピエゾ、３２・・・コンピューター（１）、３３
・・・モニター（１）、３４・・・極低温冷凍機、３５
・・・５ＱＵＩＤ制御回路、３６・・・コンピューター
（２）、３７・・・モニター（２）、３８・・・残留磁
束密度分布、３９・・・コアステージ。 代理人　弁理士　小川勝馬−ヘ・ 鴬１図　　　　′ｆＪｚ図 ％３図 ｊ−９−−＃；Ｉ入コア　　　− 第　４　図 戸６図 ＶＪ　７　図 １３−一−リーに糸泉、（１） 第　３　　図　　　　　　　第　９　図１６−−−季に
月除性不ｋｆ）金ｊＪ人′コア第　７０　　　図 篤１２図 アローブの中１（４１１１ 第　１３　　図 ３０−Ｘ化・エン゛　　　　　３６−−−エンし０ニー
クー（２）３１−Ｙ’−こ゛エーソ゛　　　　　３１−
（士、ニター（２ン３２−−コシし°ニー９−（１）３
Ｆ３−一一残留膚乗袈・曳今斗３５−−モ、ユタ−（１
） 不　１４　　図　　　　′ ２２−−−２相ステエＬスＩ用 ３９−−−　コアステージ゛

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、プローブコイルが被測定物に面するよう配置された
   磁束伝達回路と、該回路から発生する磁束の届く範囲内
   に設けた超電導量子干渉素子と、針状のコアを備え、該
   針状のコアの先端に前記プローブコイルを設けたことを
   特徴とする磁束計。 ２、ピックアップコイルが被測定物に面するよう配置さ
   れた磁束トランスと、該トランスから発生する磁束の届
   く範囲内に設けた超電導量子干渉素子と、針状のコアを
   備え、該針状のコアの先端に前記ピックアップコイルを
   設けたことを特徴とする磁束計。 ３、プローブコイルが被測定物に面するよう配置された
   磁束伝達回路と、該回路から発生する磁束の届く範囲内
   に設けた超電導量子干渉索子と、棒状のコアを備え、該
   棒状のコアの先端に前記プローブコイルを設けたことを
   特徴とする磁束計。 ４、ピックアップコイルが被測定物に面するよう配置さ
   れた磁束トランスと、該トランスから発生する磁束の届
   く範囲内に設けた超電導量子干渉素子と、棒状のコアを
   備え、該棒状のコアの先端に前記ピックアップコイルを
   設けたことを特徴とする磁束計。 ５、請求項１、２、３または４記載のコアを軟磁性材と
   することを特徴とする磁束計。 ６、請求項１または３記載のプローブコイルを超電導性
   薄膜コイルとすることを特徴とする磁束計。 ７、請求項２または４記載のピックアップコイルを超電
   導性薄膜コイルとすることを特徴とする磁束計。 ８、プローブコイルと組み合わせて磁束伝達回路を形成
   しかつ軟磁性材料で針状または棒状に形成されているこ
   とを特徴とするコア。 ９、ピックアップコイルと組み合わせて磁束トランスを
   形成しかつ軟磁性材料で針状または棒状に形成されてい
   ることを特徴とするコア。 １０、軟磁性材料製の針状または棒状のコアの先端に薄
   膜状のプローブコイルを形成させた部分を有することを
   特徴とする磁束伝達回路。 １１、軟磁性材料製の針状または棒状のコアの先端に薄
   膜状のピックアップコイルを形成させた部分を有するこ
   とを特徴とする磁束トランス。 １２、被測定物に磁場を印加すると共に該被測定物の固
   有の磁気特性の変化を監視し、予め該被測定物と同一の
   材料の磁気特性の変化と劣化の程度との関係を求めてお
   き、該関係をもとに前記被測定物の検出時点での磁気特
   性の変化より劣化の程度を知る劣化検出方法において、
   前記予め求める磁気特性の変化を請求項１乃至７のいず
   れかを用いて計測することを特徴とする劣化検出方法。 １３、請求項１、２、３または４記載の針状または棒コ
   アの表面に薄膜をコア全面または一部分に被覆し、プロ
   ーブコイルまたはピックアップコイルと前記針状または
   棒状コアとの間を絶縁することを特徴とする磁束計。 １４、請求項１３において、プローブコイルまたはピッ
   クアップコイルのリング内の一部に前記薄膜を形成させ
   ない部分を有することを特徴とする磁束計。 １５、請求項１、２、３または４記載の針状コアまたは
   棒状コアを、電解研摩または化学研摩によつて作製する
   ことを特徴とするコアの製法。 １６、請求項１、２、３または４記載の針状コアまたは
   棒状コアを、イオンシリングまたはへき開、機械的加工
   によつて作製することを特徴とするコアの製法。 １７、針状コアまたは棒状コアに絶縁薄膜を塗付した後
   、プローブコイルまたはピックアップコイルの形状に合
   わせて作製したマスクを置き、該型の前方または周囲部
   に配置した超電導材ターゲットをスパッタすることによ
   り針状コアまたは棒状コアの先端に超電導性薄膜コイル
   状物を形成することを特徴とするプローブコイルまたは
   ピックアップコイルの製法。 １８、請求項１７のスパッタに代えて電子ビーム蒸着、
   レーザスパッタ蒸着、ＭＢＥ蒸着、ＭＯＣＶＤ蒸着、ス
   プレーパイロリシス法蒸着、若しくはこれらの組合わせ
   、またはこれらとスパッタとの組合わせを行うことを特
   徴とするプリントコイルの製法。 １９、請求項１または２記載の針状コアをピエゾ素子駆
   動で三次元方向に位置決めすることを特徴とする磁束計
   。 ２０、請求項１または２記載の針状コアをパルスモータ
   駆動で三次元方向に位置決めすることを特徴とする磁束
   計。 ２１、請求項１９及び２０記載の磁束計において、プロ
   ーブコイルまたはピックアップコイルが前記被測定物か
   ら受け取る磁束信号を制御回路及びコンピューターを介
   してモニター上に磁気特性値の面分布として表示するこ
   とを特徴とする磁気特性検査システム。 ２２、請求項１、２、３または４記載の針状コアまたは
   棒状コアを複数個同一平面上にコアの先端が並ぶように
   配置したことを特徴とする磁束計。