JPH0272544U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0272544U JPH0272544U JP15100388U JP15100388U JPH0272544U JP H0272544 U JPH0272544 U JP H0272544U JP 15100388 U JP15100388 U JP 15100388U JP 15100388 U JP15100388 U JP 15100388U JP H0272544 U JPH0272544 U JP H0272544U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- basket
- semiconductor
- detection device
- wafer basket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案によるウエーハバスケツト内
のウエーハ検出装置の実施例の基本的な構成と動
作原理を示す略図である。第２図は、ウエーハバ
スケツトにウエーハを挿入してある状態を示す斜
視図である。第３図は、先の提案に係るウエーハ
バスケツト内のウエーハ検出装置の基本的な構成
と動作原理を示す略図である。 １…ウエーハバスケツト、２…昇降台、１５…
半導体ウエーハ、１６…投光センサのヘツド、１
７…受光センサのヘツド、１８，１９…伝送用の
光フアイバ、２０…投光素子（ＬＥＤ）、２１…
受光素子（ＰＤ）、２５，２６…反射形センサ。
のウエーハ検出装置の実施例の基本的な構成と動
作原理を示す略図である。第２図は、ウエーハバ
スケツトにウエーハを挿入してある状態を示す斜
視図である。第３図は、先の提案に係るウエーハ
バスケツト内のウエーハ検出装置の基本的な構成
と動作原理を示す略図である。 １…ウエーハバスケツト、２…昇降台、１５…
半導体ウエーハ、１６…投光センサのヘツド、１
７…受光センサのヘツド、１８，１９…伝送用の
光フアイバ、２０…投光素子（ＬＥＤ）、２１…
受光素子（ＰＤ）、２５，２６…反射形センサ。
Claims (1)
- ウエーハバスケツトに多数枚の半導体ウエーハ
を収容して上下させ任意の半導体ウエーハを所定
の出し入れ高さにもたらす昇降装置において、透
過形光センサの光軸が前記所定の高さにある半導
体ウエーハの理想中心を通りかつその上下の半導
体ウエーハからはずれるように傾けて配置して構
成したことを特徴とするウエーハバスケツト内の
ウエーハ検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100388U JPH0272544U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | |
| US07/423,043 US5003188A (en) | 1988-11-18 | 1989-10-18 | Semiconductor waxer detection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100388U JPH0272544U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272544U true JPH0272544U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31424658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15100388U Pending JPH0272544U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272544U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633846A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-04 | Fujitsu Ltd | Detecting method for semiconductor substrate |
| JPS5636139A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Fujitsu Ltd | Detecting method for substrate of semiconductor device |
| JPS5720444A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | Feeding device for semiconductor wafer |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP15100388U patent/JPH0272544U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633846A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-04 | Fujitsu Ltd | Detecting method for semiconductor substrate |
| JPS5636139A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Fujitsu Ltd | Detecting method for substrate of semiconductor device |
| JPS5720444A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | Feeding device for semiconductor wafer |