JPH0260239U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0260239U JPH0260239U JP13851988U JP13851988U JPH0260239U JP H0260239 U JPH0260239 U JP H0260239U JP 13851988 U JP13851988 U JP 13851988U JP 13851988 U JP13851988 U JP 13851988U JP H0260239 U JPH0260239 U JP H0260239U
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- JP
- Japan
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- positional deviation
- die
- stage
- deviation correction
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
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- Die Bonding (AREA)
Description
図は本考案の実施例を示すものであつて、第１
図はダイボンデイング装置の全体斜視図、第２図
は位置ずれ補正装置の斜視図、第３図は位置ずれ
補正部材の部分平面図、第４図は調整部の正面図
、第５図は部分側面図、第６図はステージの昇降
機構の側面図、第７図は同部分側面図、第８図及
び第９図は従来装置の部分側面図である。 １３……位置ずれ補正ステージ、７３……位置
ずれ補正部材、８３，８４……昇降ガイド部、９
７……昇降装置。
図はダイボンデイング装置の全体斜視図、第２図
は位置ずれ補正装置の斜視図、第３図は位置ずれ
補正部材の部分平面図、第４図は調整部の正面図
、第５図は部分側面図、第６図はステージの昇降
機構の側面図、第７図は同部分側面図、第８図及
び第９図は従来装置の部分側面図である。 １３……位置ずれ補正ステージ、７３……位置
ずれ補正部材、８３，８４……昇降ガイド部、９
７……昇降装置。
Claims (1)
- 位置ずれ補正ステージに置かれたダイに、位置
ずれ補正部材を押当して、このダイの位置ずれを
補正するダイの位置ずれ補正装置において、上記
ステージを昇降ガイド部に沿つて昇降自在に配設
するとともに、このステージを昇降させる昇降装
置を設けたことを特徴とするダイの位置ずれ補正
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988138519U JPH085551Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | ダイの位置ずれ補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988138519U JPH085551Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | ダイの位置ずれ補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260239U true JPH0260239U (ja) | 1990-05-02 |
| JPH085551Y2 JPH085551Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=31400931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988138519U Expired - Lifetime JPH085551Y2 (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | ダイの位置ずれ補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085551Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60248323A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | 松下電工株式会社 | ダイボンダ−のセンタリング装置 |
| JPS62219537A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
-
1988
- 1988-10-24 JP JP1988138519U patent/JPH085551Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60248323A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-09 | 松下電工株式会社 | ダイボンダ−のセンタリング装置 |
| JPS62219537A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085551Y2 (ja) | 1996-02-14 |