JPH0259474U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0259474U JPH0259474U JP13701188U JP13701188U JPH0259474U JP H0259474 U JPH0259474 U JP H0259474U JP 13701188 U JP13701188 U JP 13701188U JP 13701188 U JP13701188 U JP 13701188U JP H0259474 U JPH0259474 U JP H0259474U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- reflected light
- oscillation unit
- reflector
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 10
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例によるアライメン
ト調整装置を示す側面図、第2図は反射光センサ
の正面図、第3図は従来のアライメント調整装置
を示す側面図である。 図において、1はレーザ発振部、2はレーザ発
振装置、3はレーザ発振部用治具、4はレーザ発
振部側回転台、5はレーザ発振部側コントローラ
、6は反射ミラー、7は反射ミラー用治具、8は
反射ミラー側回転台、9は反射ミラー側コントロ
ーラ、10はレーザ光、11は反射レーザ光、1
2は反射光センサ、13は反射光検出器、14は
コンピユータ、15はセンサである。なお、図中
同一符号は同一、または相当部分を示す。
ト調整装置を示す側面図、第2図は反射光センサ
の正面図、第3図は従来のアライメント調整装置
を示す側面図である。 図において、1はレーザ発振部、2はレーザ発
振装置、3はレーザ発振部用治具、4はレーザ発
振部側回転台、5はレーザ発振部側コントローラ
、6は反射ミラー、7は反射ミラー用治具、8は
反射ミラー側回転台、9は反射ミラー側コントロ
ーラ、10はレーザ光、11は反射レーザ光、1
2は反射光センサ、13は反射光検出器、14は
コンピユータ、15はセンサである。なお、図中
同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- レーザ光を発信するレーザ発振部と、このレー
ザ光発振部を動かす回転台と、上記レーザ発振部
と対向して設けられ、上記レーザ光を上記レーザ
発振部方向へ反射させる反射体と、この反射体を
動かす回転台と、上記レーザ発振部の上記反射体
との対向面に設けられ、中心にレーザ光が通過す
る穴を有し、かつレーザ光を検出するセンサを格
子状に配置した反射光センサと、上記反射光セン
サの出力信号を検出する反射光検出器と、上記反
射光検出器からの出力信号を入力し、コントロー
ラに制御信号を出力するコンピユータと、上記コ
ンピユータからの角度信号を入力し、上記反射光
センサと上記反射体を動かす回転台を駆動制御す
るコントローラとを具備したアライメント調整装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13701188U JPH0259474U (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13701188U JPH0259474U (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0259474U true JPH0259474U (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=31398057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13701188U Pending JPH0259474U (ja) | 1988-10-20 | 1988-10-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0259474U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012149901A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Japan Aerospace Exploration Agency | 高精度非接触位置測定機構を持つサブミリ波近傍界測定装置 |
JP2015127718A (ja) * | 2015-04-03 | 2015-07-09 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 | 高精度非接触位置測定機構を持つサブミリ波近傍界測定装置 |
-
1988
- 1988-10-20 JP JP13701188U patent/JPH0259474U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012149901A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Japan Aerospace Exploration Agency | 高精度非接触位置測定機構を持つサブミリ波近傍界測定装置 |
JP2015127718A (ja) * | 2015-04-03 | 2015-07-09 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 | 高精度非接触位置測定機構を持つサブミリ波近傍界測定装置 |