JPH02502581A - 表面検知スタイラス用マウントおよび該マウントの使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 表面検知スタイラス用マウント および該マウントの使用方法 技術分野 本発明は、表面検知スタイラス用のマウント（ｍｏｕｎｔｉｎｇ）、並びに該マ ウントを用いてワークピースの輪郭（ｐｒｏｆｉｌｅ）を決定する機械および方 法に関するものである。ここに、本発明の範囲は請求の範囲において明記される 。

発明の開示 請求の範囲に係る本発明は、前記輪郭上を移動するスタイラスを用い、この移動 の間スタイラスと輪郭との間の保合が連続して維持されるとともに、スタイラス とワークピースとの間の接触圧が変化せず、もしくは過度に変化しないようにし て座標位置決め機械内の前記輪郭の決定を行うことを可能とする。また、本発明 は、マウントの構造を比較的簡略化するとともに、操作条件の変化に対する適応 性を犠牲にすることなく前記輪郭の比較的大きな偏位（ｅｘｃｕｒｓｉｏｎｓ） にスタイラスを追従させることを可能とする０本発明は、輪郭ならいシステム（ ｐｒｏｆＮｅ−ｃｏｐｙｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ）において輪郭をなられせるため の輪郭測定もしくはデータ発生のだ本発明の実施例は添附の図面を参照して説明 される。ここに、 Ｎ１図はスタイラス・マウントを含む座標測定機紙の正面図、 第２図は５ｉｓｘ図におけるＨ　−ＩＩ線断面図、纂３図はＮ１図におけるＩｎ 　−ＩＩＩ　！！断面であって、スタイラス・マウントの詳細を示す図、 Ｎ４図は’＄ｘ図示の機械の全体的な操作システムのダイアグラムであって、こ のシステムのコンピュータ、モータおよびフィードバックトランスジエーサを示 す図、 ３４ｓ図は３４４図の詳細でありて、スタイラス・マウント内に含まれるモータ に対するコントロールシステムの線図、 Ｎ１６図および第６ｂ図は篤４図示のコンピュータの操作手順を示すフ、ロー図 、 第７図は纂１図の詳細であって、スタイラス・マウントの操作モードの変形例を 説明するための図、第８図は第７図の平面図、 Ｎ９図は３４５図示のコントロールシステムの変形例を示す図である。

発明を実施するための最良の形態 第１図および第２図を参照するに、座標測定機械ＣＭＭは、テーブル１１に支持 されて直交度標茶のＸ。

Ｙ、Ｚの３方向に並進移動（ｔｒａｎｓｌａｔｏｒｙ　ｍｏｖｅ＋５ｅｎｔ）を 行う操作部材１０を具備している０部材１１は、各モータＭＸ、　ＭＹ、　ＭＺ により、それ自体が公知の方法でＸ、Ｙ。

２方向に駆動可能である。操作部材ｌＯにはベースすなわちハウジング２０を具 備したプローブヘッドＰＨが固着され、ハウジング２０がモータＭ１により軸Ａ １に関してハウジング２０に対し回転可能なシャフト２２を支持している（３４ ３図）、シャフト２２は部材すなわちさらなるハウジング２３に固着され、ハウ ジング２３が、軸＾１に直交する軸Ａ２に関してモータＭ２によりハウジング２ ３に対し回転可能なシャフト２４を支持している。シャフト２２゜２４は各ハウ ジング２０．２３内の各ベアリング２２Ａ、２４＾内で回転するように支持され ている。シャフト２４にはフレームすなわちスタイラスホルダ２５が固着され、 ここに軸Ａ２に直交する軸Ａ３を有するスタイラス２６が固定される。スタイラ ス２６は、球状の検知エレメント２７で限界される自由端と、軸Ａ２で本質的に 限界される支持端とを有している。軸Ａｌ、＾２．Ａ３は、好適には共通の交点 ２８を有している（蔦１図、第２図）。

モータ旧、　Ａ２が検知エレメント２７を軸＾ｌまたはＡ２について角度をなし て位置決めできるように、モしてモータＭＸ、　ＭＹ、　ＭＺがヘッドＰＨ，ま たは特に点２８を機械ＣＭＭの操作フィールド内のどの位置にも直線的に位置決 めできるように構成されている。直線位置トランスジユーサＴＸ、　ＴＹ、　Ｔ Ｚが設けられて角方同ｘ、ｙ、ｚ上の部材１０の直線変位が測定される。角位置 トランスジユーサＴ１．　Ｔ２が設けられて各軸Ａｌ、　Ａ２についての、すな わち部材ＩＯに対してのスタイラスの角変位Ｗｌ、　＋１１２が測定される。モ ータＭＸ、　ＭＹ、　ＭＺ、旧、關２は文字Ｍをもりてまとめて参照され、トラ ンスジユーサは文字Ｔをもりてまとめて参照されることもある。

コンピュータ５０　（＄　４図）は、ドライブ信号３２ｘ。

３２Ｙ、３２Ｚ、３２１．３２２　　（まとメチ符号３２テ示す）を出力し、各 モータＭを駆動してスタイラス２７をテーブル１１上に支持されたワークピース １２に対して位置決めし、各トランスジユーサＴからの位置フィードバック信号 ３３Ｘ、３３Ｙ、３３Ｚ、３３１．３３２　　（まとめて符号３３テ示す）を受 容するようにプログラムされている。しかしモータＭｌ、　Ａ２はまた定トルク デバイスでもある。換言すれば、モータＭｌ、　Ａ２はそれぞれのアーマチャを 与えられた角位置に移動させ、アーマチャをその位置に保持し、またはそれらの アーマチャに本質的に定トルクを供給するように動作可能である。モータＭ１． 　ＭＨｆ　２つのモード、すなわち位置決めモードと定トルクすなわちバイアス モードとで動作可能である。バイアスモードでは、エレメント２８とワークピー ス１２との間の保合のために与えられる力Ｆｅ（Ｎ２図）が、この場合モータＭ １によって維持されるように構成されている。力ＦＢが減少するようにデバイス ＰＨがワークピース１２に対して移動するのであれば、モータＭｌはスタイラス ２７を移動させて上記係合を維持させ、力ＦＢが増大するようにデバイスＰＨが 移動するのであれば、モータ旧は力ＦＢを維持しつつその移動を受容する。換言 すれば、スタイラスは、軸Ａ１に関して、モータＭｌのバイアストルクに応答し 、およびこれに抗して回動する。

第５図を参照するに、コンピュータ５０は、デマンド信号としてのドライブ信号 ３２１．３２２が接続される各制御システムＣ１，Ｃ２を介して、ＤＣモータで あるモータＭｌ、　Ｎ２を制御するように構成されている。ここで、フィードバ ック信号３３１，３３２を加算点５２１，５２２により信号３２１，３２２に接 続することが可能である。フィードバック信号°３３１，３３２の接続は、各モ ード制御スイッチ５４１．５４２を介して行われる。コンピュータ５０は各モー ド制御信号５１１Ａ、　５１１ＢＪ５よび５１２＾、　５１２Ｂを発生し、各ス イッチ５４１，５４２を動作させる。すなわち、もし各々の信号５１１Ａ、　５ １２Ａが出力されれば、それぞれスイッチ５４１．５４２が閉じてモータＭｌ、 　Ｎ２は位置決めモードで動作し、一方各々の信号５１１Ｂ、　５１２Ｂが出力 されれば、それぞれスイッチ５４１．５４２が開放されて各モータＭｌ、　Ｎ２ に位置フィードバック信号３３１，３３２が供給されなくなるので、これらがバ イアスモードで動作するようになっている。システムＣ１，Ｃ２は、モータのト ルクをプリセット値に制限するためのフィードフォワード信号を出力するプリセ ットゲイン増幅器５５１．５５２を有している。

機械ＣＭＭおよびプローブヘッドＰＨは、与えられたワークピースデータＤＸ、 　ＤＹに対してワークピース１２の輪郭４０を自動的に決定するスキャニング操 作のために用いられてもよい０例えば、輪郭４０がＸ、Ｙ方向に広がった平面４ １上にあると仮定する。コンピュータプログラマは、平面４１にあり、かつ球状 エレメント２７の中心と点２８との径方向の距離Ｒより小さな距離４３をもフて 輪郭４０から離隔した経路４２（第２図）について位置データを決定する（３４ ６図）、従りて点２８が経路４２を描くようにプローブヘッドＰＨを移動させれ ば、検知端２７は輪郭４０との係合を維持することができる。本例ではワークピ ース１２はロータリ・カムであり、経路４２はカム°輪郭すなわち輪郭４０を取 壱く円であるのが都合がよい。

経路４２は、エレメント２７と輪郭との接点に引いた接１１４４に対し軸Ａ３が ほぼ一定の角度Ｗ３を維持するものであるように予めプログラムされている。こ の場合エレメント２フとワークピースとの間の正方は与えられた公差内にあり、 スタイラスに加わる曲げ力の過度の変動およびその結果として生じる測定°精度 の変動が除去される。しかしスタイラス２６は、加わる曲げ負荷を検出する歪ゲ ージ２６Ａなどの手段と一体であってもよい。

その出力は角度Ｗ３の関数であり、角度ｗ３が本貫的に一定となる位置にモータ ＭＸ、　ＭＹ、　ＭＺを！ｉ！！Ｉｌｌするのに用いることができる。スタイラ スには、本願人によりて１９８８年２月１８日に出願された英国特許巴願第８８ ０３８４７号に示されるように、歪ゲージとともにその出力に応答するサーボシ ステムが設けられていてもよい。

経路４２のような経路に対する位置データの法定はそれ自体公知である。また、 そのような経路に沿って操作部材を駆動するための機械ＣＭＭのような機械の構 成も知られている。従って、本例においては、データ５５０が、経路４２上の位 置ｉ　ｓｃ　Ｑおよび１−ｎ（Ｎ２図）間の所定の間隔で与えられるデータＤＸ 、　ＤＹに対する点２８の直交度標位置を具えているということ以上には、その 形態を詳述しない、さらに、プログラマは信号３２１．３２２に対する値である 位置データ５６０　　（Ｎ６図）を決定す、る、これによってスタイラス２６は 、スキャニング操作のために部材１０がそのスタート位置ｉ　ｍ　Ｑにあるとき であフても、ワークピース１２を避けたニュートラル位置に移動させられる。こ の結果部材１０は、スタイラスとワークピースとの衝突の危険なくスタート位置 ｉ雪０に移動することができる０次に、プログラマは信号３２１，３２２に対す る僅である位置データ５７０（第６図）を決定、する、これによってスタイラス ２６はスキャニング動作のためにスタート状態に移動する。すなわち、この状態 は検知エレメント２７がワークピースと係合できる状態である。データ５６０， ５７０には、後に明らかにするように信号５１１Ａ、　５ＩＩＢおよび５１２＾ 、　５１２Ｂが含まれている。プログラマはまた、スタイラスの半径Ｒを決定す る。データ５５０，５６０，５７０　ｂよびＲは通常の方法でコンビエータの記 憶部に転送される。

スキャニング操作の実行に関しては、はじめに点２８は部材１０がワークピース をうまく避けた位置にあると仮定する。その動作自体のために、コンビエータは 次の動作を行うべく記述されたプログラム６００を含んで６０２：信号５１１＾ を出力し、スイッチ５４１を位置決めモードにセットする。

６０４：信号５１２Ａを出力し、スイッチ５４２を位置決めモードにセットする 。

６０６：信号３２１を出力し、モータ旧を予め決定したニュートラル位置に運転 する。

６０８：信号３２２を出力し、そ−タＭ２を予め決定したニュートラル位置に運 転する。

６１０：信号３２Ｘを出力し、部材ｌＯを位置ＬＸ　（ｉ　−０）に移動させる 。

６１２：信号３２Ｙを出力し、部材ｌＯを位置ＬＹ　（ｉ　ｍ　Ｏ）に移動させ る。

注：データ５７０の処理（操作６１４〜６２２）６１４：信号５１１Ａを出力し 、スイッチ５４１を位置決めモードに固定する。

６１６：信号３２１を出力し、モータＭｌを予め定めた角度ｗ１だけ動かす。

６１８：信号５１２Ａを出力し、スイッチ５４２を位置決めモードに固定する。

６２０：信号３２２を出力し、平面４１に軸Ａ３が位置する位置にモータＭ２を 動かす。

６２２：信号５１１Ｂを出力し、モータＭ１をバイアスモード６２４：ｉ　ｗ　 ｉ　＋　１にセット ６２６：信号３２Ｘ　（ｉ）を出力し、点２８を位置Ｘ（ｉ）ニ移動させる。

６２８：信号３２Ｙ　（ｉ）を出力し、点２８を位置Ｙ　（ｉ）に移動させる。

６３０：信号ｏｘ（ｉ）を読み、ストアする。

６３２：信号３３Ｙ　（ｉ）を読み、ストアする。

６３４：信号ＩＩ　（ｉ）を読み、ストアする。

６３６：ｉ　ｍ　ｎか否かを判定し、ＮＯであれば６２４へ、ＹＥＳであれば６ ３８へ進む。

６３８：すべてノ（ｉ）（１）僅ニツイて３３Ｘ　（ｉ）　、３３Ｙ　（ｉ）　 。

１１　（ｉ）およびＲの関数としてのデータＤＸ、　ＤＹに対して、球状エレメ ント２フの中心２７Ａの点の位置を演算し、輪郭４０を定義する。

ステップ６３８の演算は次式に基づいている。

ＰＸ＠ＬＸ＋（Ｒｃｏｓ　１２）ｃｏｓ　１１　　　　　　（１）ＰＹ＝ＬＹ＊ （Ｒｃｏｓ　１２）ｓｉｎ　Ｗｌ　　　　　　（２）ＰＺ−ＬＺ＊（Ｒｃｏｓ　 Ｗ２）　　　　　　　　　（３）ここでｐｘ、　ｐｙ、　ｐｚはエレメント２７ の中心２７Ａの点Ｐの座標である０本例では上式（３）は通用されないが、−膜 化のためにここに掲げた。

球状エレメント２７の半径は考慮されない、何故ならカム１２がならい加工（ｃ ｏｐｙ−ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）の模型であり、かつ加工プロセスで使用されるカ ッタがエレメント２７と同一半径を有している場合にはそれが不要だからである 。しかし所望であればエレメント２７の半径を見込んで上式を普換えることもで きる。

Ｎ７図および第８図を参照するに、いくつかの平面、例えば４１Ａ、４１Ｂでほ ぼ同時にワークピースをスキャニングするのに装置を用いることもできる。この ためにモータＭｌ、　Ｍ２の一方、この場合モータＭ２を発振的に運動させて、 エレメント２７を位置Ｚ１．　Ｚ２を交互にとるように１ｌｌａする。この間、 他のモータ（旧）はバイアスモードにしておく、本例では、ワークピース１２＾ はコーン状であり、位置Ｚ１．２２はコーンの異った直径上にある。

モータＭＸ、　ＭＹは適切な経路４２Ａに沿って点２８を移動させるべく駆動さ れ、エレメント２７は各平面４１に、４１Ｂでコーンと接触を維持することがで きる。プログラム（Ｎ６図）のステップ６２４〜６３４はエレメント２７が位置 ２１またはｚ２にあるとぎ苺に実行され、これによりコーンの輪郭４Ｄ＾は平面 １４Ａ、１４Ｂのそれぞれで決定される。モータＭ２の発振的運動は、コンピュ ータ５０にストアされた各位置Ｚｌ、　Ｚ２を定義するデータによって行われる 。プログラム６００において、データ５８０はモータＭ２に供給され、ステップ ６２４〜６３４の実行に先立ち、エレメント２７が一位置（Ｚｌ、　Ｚ２）から 次位置に移動させられる。データ５８０の供給はＮ６図には図示しないが、隼に 各位置Ｚ１．　ｚ２を定義する適切な値の信号３２２を出力すること、およびス テップ６２４〜６３４の１サイクルを実行するためにその位置にモータＭ２をホ ールドすることだけが必要であることは容易に理解されよう。

スタイラス２６はスタイラスホルダ２５に固着したバランス質量２５Ａによフて つりあいが保たれていてもよく（′ｉ４７図、Ｍａ図）、これによりばモータＭ ２の電力要求量が減少する。

不図示の変形例では、コイルばねによって定義されるモータによりスタイラス２ ６に対し定トルクが与えられるようにＩる。これによってトルクを与えるための 電気モータが不要となる。しかし例えばＭｌのような電気モータは、ばねの力に 関わりなくスタイラスを位置決めするのに用いてもよい。

制御システムＣ１，Ｃ２の変形例として、３４９図は制御システムＣＩＡを示す 、ここで、スイッチ５４１は位置デマンドライン３２１Ａと最大電流デマンドラ イン３２１Ｂとにドライブ信号３２１を切換えるのに用いられる。ライン３２１ Ａは位置フィードバック信号３３１に対する加算点５２１を介して加算点５４３ に導かれ、タコメータ５４８からの速度フィードバック信号５４４と加算され、 ここから加算点５４９に導かれて電流センサ５４６からの電流フィードバック信 号５４５　と加算される。ライン３２１Ｂは信号５４５を制御するスイッチ５４ ７を閉成すべく接続され、これによりて電流デマンド信号３２１Ｂがスイッチ５ ４１により選択されているときにのみ電流フィードバックがなされる。この方法 によりてモータＭ１で定トルクが確立される。増幅器５５１は比較的高いゲイン でありてよく、これにより位置制御モードではモータの高い応答速度を得てそ一 夕旧の速度を信号５４４により制限できる。同様な制御システムは勿論ドライブ 信号３２２に対しても設けることができる（不図示）。

国ａａ査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．自由端（２７）と支持端（２８）との間に長さ（Ｒ）を有する表面検知スタ イラス（２６）用のマウントであって、ベース（２０）と、前記スタイラス（２ ６）の長さ方向に直交する軸（Ａ１）について前記ベース（２０）に対し角変位 可能に前記スタイラスを前記支持端（２８）において支持するピボット手段（２ ２）と、前記角変位を測定する測定手段（Ｔ１）と、前記ピボット手段にトルク を作用する駆動手段（Ｍ１）とを具え、前記トルクの下に前記軸（Ａ１）につい て前進方向に、または前記スタイラスに対してより大きな逆向きのトルクを作用 することによって後進方向に、前記スタイラスを駆動可能としたことを特徴とす るマウント。 ２．請求の範囲第１項記載のマウントにおいて、前記ピボット手段はラジアル軸 受（２２Ａ）によって前記ベース（２０）に支持されたシャフト手段（２２）を 具備していることを特徴とするマウント。 ３．請求の範囲第１項記載のマウントにおいて、前記駆動手段は電気モータ（Ｍ １）を具備していることを特徴とするマウント。 ４．請求の範囲第１項記載のマウントにおいて、前記スタイラスを駆動して前記 軸（Ａ１）のまわりの予め定めた角位置に設定する付加的な操作手段（５４１） を具えたことを特徴とするマウント。 ５．請求の範囲第３項記載のマウントにおいて、前記モータ（Ｍ１）を位置決め モードとトルク発生モードとにスイッチングする手段（Ｃ１，５４１）を具えた ことを特徴とするマウント。 ６．請求の範囲第３項記載のマウントにおいて、開ループのトルク発生モードと 閉ループの位置決めモードとに制御システムをスイッチングする手段（５４１） を有する前記制御システム（Ｃ１）を具えたことを特徴とするマウント。 ７．請求の範囲第４項に係る装置であって、第１の前記軸（Ａ１）に直交する第 ２軸（Ａ２）について前記スタイラス（２６）を第２角変位可能に支持する第２ ピボット手段（２４）と、前記第２角変位を測定する測定手段（Ｔ２）と、前記 第２ピボット手段（２４）に定トルクを作用する駆動手段（Ｍ２）とを具え、前 記定トルクの下に前記軸（Ａ２）について前進方向に、またはより大きな逆向き のトルクを作用することによって後進方向に、前記スタイラス（２６）を駆動可 能としたことを特徴とする装置。 ８．請求の範囲第７項記載の装置において、前記スタイラス（２６）は前記第２ 軸（Ａ２）に直交する軸（Ａ３）を有することを特徴とする装置。 ９．請求の範囲第７項記載の装置において、前記第２ピボット手段（２４）を駆 動して前記軸（Ａ２）のまわりの予め定めた角位置に設定する付加的な手段（５ ４２）を具えたことを特徴とする装置。 １０．請求の範囲第１項に係る装置であって、第１の前記軸（Ａ１）に直交する 第２軸（Ａ２）について前記スタイラス（２６）を第２角変位可能に支持する第 ２ピボット手段（２４）と、該第２ピボット手段を操作して、前記スタイラス（ ２６）をその自由端が第１および第２の予め定めた角位置（Ｚ１，Ｚ２）をとる ように交互に移動させる手段（６００）とを具えたことを特徴とする装置。 １１．請求の範囲第１項に係り、機械（ＣＭＭ）が組合された装置であって、前 記機械（ＣＭＭ）は前記ベース（２０）が取付けられる操作部材（１０）を有し 、該操作部材はそれ自体が支持部（１１）に対し少くとも２次元の並進が可能に 支持され、前記機械（ＣＭＭ）は前記２次元における予め定めたデータ（ＤＸ， ＤＹ）に対しての前記操作部材（１０）の位置を測定する手段（ＴＸ，ＴＹ）を 含むことを特徴とする装置。 １２．請求の範囲第１１項記載の装置において、輪郭が決定されるべきワークピ ース（１２）に対し予め定めた経路（４２）に沿って前記操作部材（１０）を駆 動する操作手段（ＭＸ，ＭＹ，ＭＺ，６００）と、前記経路（４２）に沿った離 れた点（ｉ）で前記操作部材（１０）の座標位置（ＬＸ，ＬＹ，ＬＺ）を決定す る手段（６００）と、前記点（ｉ）で前記操作部材（１０）に対する前記スタイ ラス（２６）の角度（Ｗ１）を決定する手段（６００）と、前記自由端（２７） の座標位置（Ｐ）を、前記操作部材（１０）の前記座標位置（ＬＸ，ＬＹ，ＬＺ ），前記角度（Ｗ１）および前記長さ（Ｒ）の関数として演算する手段（６００ ）とを具えたことを特徴とする装置。 １３．支持部（１１）に支持されたワークピース（１２）の表面の輪郭（４０） を測定するために請求の範囲第１項に係る装置を使用する方法であって、少くと もほぼ前記輪郭（４０）に似ており、前記スタイラスの前記長さ（Ｒ）より小さ い距離をもって前記輪郭から離隔した経路（４２）を前記操作部材（１０）に対 して決定し、前記経路（４２）上で前記操作部材（１０）を位置決めし、前記経 路（４２）に沿って前記操作部材（１０）を移送すべく機械（ＣＭＭ）を動作さ せることにより前記スタイラスの前記自由端（２７）を前記輪郭（４０）に引寄 せ、２次元の移送の間基準（ＤＸ，ＤＹ）に対する前記操作部材（１０）の位置 の測定値である第１測定値（ＬＸ，ＬＹ）を選択された間隔（ｉ）で決定し、前 記操作部材に対する前記２次元における前記スタイラスの前記自由端（２７）の 測定値である第２位置測定値（Ｗ１，Ｒ）を各々の前記間隔（ｉ）毎に測定し、 前記第１および第２測定値（ＬＸ，ＬＹ；Ｗ１，Ｒ）の和である最終測定値を決 定することを特徴とする方法。 １４．請求の範囲第９項に記載の装置を使用する方法であって、少くともほほ輪 郭（４０Ａ）に似ており、前記スタイラスの前記長さ（Ｒ）より小さい距離をも って前記輪郭から離隔した経路（４２）を前記操作部材（１０）に対して決定し 、前記経路（４２）上で前記操作部材（１０）を位置決めし、前記トルクを作用 させるために前記駆動手段（Ｍ１）を操作し、前記経路（４２）に沿って前記操 作部材（１０）を移送すべく機械（ＣＭＭ）を動作させることにより前記スタイ ラスの前記自由端（２７）を前記輪郭（４０Ａ）に引寄せ、第１および第２の予 め定めた角位置（Ｚ１，Ｚ２）問で交互に前記スタイラスを移動させるべく前記 第２駆動手段（Ｍ２）を操作することにより前記輪郭（４０Ａ）の第１および第 ２平面（４１Ａ，４１Ｂ）に交互に前記自由端（２７）を位置決めし、２次元の 移送の間基準（ＤＸ，ＤＹ）に対する前記操作部材（１０）の位置の測定値であ る第１測定値（ＬＸ，ＬＹ）を選択された間隔（ｉ）で前記平面の各々について 決定し、前記操作部材に対する前記２次元における前記スタイラスの前記自由端 （２７）の測定値である第２位置測定値（Ｗ１，Ｒ）を各々の前記間隔（ｉ）毎 に測定し、前記第１および第２測定値（ＬＸ，ＬＹ；Ｗ１，Ｒ）の和である最終 測定値を決定することを特徴とする方法。