JPH02501875A - ゲツタ組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザのレーザ作用ガス中に含まれている汚染ガスを除去するためのゲ ッタ組立体に関するものでアシ、更に詳しくいえば、リングレーザ角度センサ用 、のゲッタ組立体に関するものである。

ゲッタ、とくにゲッタ物質は高真空ガスにおいて用いられるものとして良く知ら れている。アルカリ土類物質、一般にバリウム、はそのような高真空ガス中に残 っているガスを除去するためのゲッタとして広く用いられている。それらの物質 は空気と極めて激しく反応するから、それらのゲッタ物質と、水素等のような空 気中に一般に見出されるガスに対するそれらのゲッタ物質の反応性を低くするた めに、市販されているゲッタ物質はアルミニウムのような他の物質と通常合金に される。

レーザ作用発生空所からまず全てのガスを排出し、それからヘリウム、ネオンま たはそれらの組合わせのようなレーザ作用ガスをそのレーザ作用発生空所に充ス レーザにおいてゲッタ物質およびゲッタ技術が一般に用いられている。不幸なこ とに、そのようの不純物が含まれる。したがって、ゲッタおよびゲッタ技術の使 用が一般に採用されている。

リングレーザ空所を用いるリングレーザ角速度センサはレーザ作用ガスの汚染に よりとくに影響される。リングレーザ角度センサはこの分野において良く知られ ており、キルパトリック（Ｋ１１ｌｐａｔｒｉｃｋ）へ特許された米国特許第３ ，３７３，６５０号および第３，４６７．４７２号と、ボドゴルスキイ（Ｐｏｄ ｏｇｏｒｓｋｉ　）へ特許された米国特許第３，３９０，６０６号にとくに記載 されている。それらの各特許は本発明の譲受人に譲渡されておシ、参考のために ここに記した。

あるリングレーザ角速度センサにおいては、ゲッタ物質を含んでいるゲッタピン へ溶接されたスナップリングで構成されたゲッタ組立体がリングレーザ空所の内 部に留められる。ゲッタ物質が瞬間的に燃焼され、レーザ作用発生空所内にゲッ タ組立体を残してセンサ空所のピンチ管が閉じられる。この装置にはいくつかの 欠点がある。衝撃、震動、温度変化のうちの少くとも１つによシ供給装置から流 入した粒子がセンサを汚染して、そのセンサの有用な寿命を短くすることがある 。更に、ゲッタ物質の瞬間的な燃焼直前にある量の汚染されたガスがゲッタ物質 から放出されることがある。また、ゲッタ供給装置をセンサ内部に挿入している 間にいくらかの汚染ガスがこすれによシ放出されることがある。

ゲッタをリングレーザ空所の中に入れる別の技術が、メイヤーオ７　（Ｍｅｙｅ ｒｏｆｆ　）へ特許された米国特許第４，５３０，８５４号にとくに記載されて いる。この最後に述べた特許は、排気した空間の外部でゲッタ物質を瞬間的に燃 焼させる改良した方法の提供を記載している。レーザ作用発生空所内のある所定 の領域のゲッタ物質の膜を付着するために、その所定領域へ向けて照射されるビ ーム中にゲッタ原子が形成される。

上記のゲッタの概念およびゲッタ技術は有用であるが、多角形のレーザ作用経路 がその多角形経路の各１１１１で約３α（インチ）のオーダーであるような非常 に小型のリングレーザ空所にはとくに適さ、ない。

その理由は、レーザブロックを経てレーザ作用発生空所に入る入口が非常に小さ いからである。

発明の詳細な説明 本発明の目的は、ゲッタ組立体中に含まれているゲッタ物質がレーザ作用発生空 所自体の内部に入ることが阻止される、レーザブロックへ取付けることができる ゲッタ組立体を得ることでおる。

本発明において、空所への通路が、選択されたガスを通すことができる端部カバ ーによシ覆われるような、空所を含んでいるノ蔦つジングにより形成される。ハ ウジングによシ形成されている空所の内部には、空所内の選択されたガスを無く す活性化されたゲッタ物質が含まれる。

図面の簡単な説明 第１図はゲッタを用いるリングレーザ角速度セ／すの略図、第２図は本発明のゲ ッタ組立体の横断面図、第３図はレーザブロックに固定されたゲッタ組立体の側 面図である。

発明の詳細な説明 まず第１図を参照して、米国特許第３，３９０，６０６号に示されているような レーザブロック１０が、相互に連結されたトンネル１１．１２．１３を有するレ ーザブロック１０で構成されたリングレーザ作用発生空所を含む。このセンサは 、レーザビームを発生させ、それらのレーザビームを相互に連結されたトンネル に沿って伝わらせることができるようにする反射鏡１４．Ｉｓ、１６も含む。更 に、陽極１γと１８および陰極１９が、電離電流を供給する電源へ接続されるよ うになっている。電離電流は互いに逆向きに伝わるレーザビームを周知のやり方 で発生する。陽極１７が通路２０を介してトンネル１１に通じ、陽極１８が通路 ２１を介してトンネル１３に通じ、陰極１９が通路２２を弁してトンネル１２へ 通じる。通路２０，２１．２２によシレーザ作用ガスをトンネルの周囲と通路内 を自由に動けるようにして、周知のように一対の陽極と陰極に通じさせる。

第２図は、ゲッタ組立体と、陽極１８と、陰極１９とのうちの少くとも１つとし て機能する本発明のゲッタ組立体を詳しく示すものである。本発明のゲッタ組立 体は別々の部品として使用でき、陽極とじて二重の機能を果さないことが当業者 は理解すべきである。しかし、ゲッタ組立体をここでは二重機能を有するものと して説明することにする。

第２図に示されているゲッタ組立体は、空所２１２を形成するハウジング２１０ で構成される。第２図ではハウジング２１０は円筒形として示されているが、そ の円筒形は単なる例示であって、ハウジングと空所の形は本発明にとっては重要 ではない。ハウジングは第２図に示されておシ、第３図に示されている側面図は 取付はフランジ２１４を含むことができる。取付はフランジには通路を完全に閉 じて空所にする端部カバー２１６が取付けられる。その端部カバーは、たとえば 、ハウジングのフランジ２１４へ溶接できる。ハウジングの頂部は絶縁物質２３ ０を含む。この絶縁物質を電極２４１　と２４３が通って空所２１２の中に入る ことができるようにされる。

空所２１２の内部で電極２４１と２４３の間にゲッタ物質２５０がつるされる。

端部カバー２１６　と絶縁体２３０はハウジング２１０へ取付けられて気密空所 ２１２　を形成する。更に、絶縁体２３０を貫通する電極２４１，２４３　も気 密空所２１２を形成するために構成される。最後に、後述する目的のためにピン チ管２６０　がハウジングへ溶接される。

空所から任意のガスをピンチ管２６０を通じてまず排出することにより、動作の ためにゲッタ組立体が準備される。空所２１２から任意のガスを排出して空所内 部を真空にするために、ガス排出および真空形成のための任意の手段へピンチ管 ２６０を連結できる。この機能が行われた後で、気密空所２１２を形成するため にピンチ管２６０がこの分野で周知のやシ方で単にしぼられる。

次に、ゲッタ物質２５０を周知のやシ方で瞬間的に燃焼させるために、電極２４ １　と　２４３は適当な電源へ接続される。ゲッタ物質が瞬間的に燃焼すると空 所２１２の内部のゲッタ物質が活性化される。

ゲッタ物質２５０は瞬間的な燃焼以外のやシ方で活性化することもできる。たと えば、ゲッタ物質２５０は大きいかたまシとすることができ、大きいかたまシの 物質を加熱するために電極２４１と２４３は電源へ接続される。大きいかたまシ は加熱により活性化される。ゲッタ物質は所期の機能を果すために任意の適当な 種類のものとすることができ、かつ棒状、円板状等のような形にできる。

第２図にはゲッタ組立体２が適当な任意の手段によシレーザブロック１０へ取付 けられている様子が示されている。連結通常合金２１を封じることによシ端部カ バーを通路２１内の任意のガスに通じさせることができるように、ゲッタ組立体 はレーザブロック１０へ取付けねばならない。

リングレーザ角速度センサを構成している各種の部品、とくに反射鏡、陽極、陰 極および本発明のゲッタ組立体を取付けた後で、レーザ作用発生空所はピンチ管 （図示せず）を通じて排気もされ、レーザ作用ガスを充される。ゲッタ組立体１ ８がそれの所期の目的を発揮するのはその時である。

空所２１２のカバーとして機能する端部カバーは通路２１のための端部カバーと しても機能する。端部カバー２１６の材料と厚さは非常に僅かな量のガスを通す ように選択される。端部カバーは非常に薄いこと、水素をカバーを通じて拡散さ せることができ、空所２１２の内部で表面を露出させることが好ましい。たとえ ば、ジルコニウムは端部カバー２１６の所期の機能を果すことができる物質であ る。それの所期の動作においては、レーザガス中の少量の水素汚染ガスが、空所 ２１２の内部のゲッタ物質によシ中和されるようにするために、少量の水素汚染 ガスが端部カバーを分子状で通ることを許される。したがって、このようにして レーザ作用発生空所からガス汚染物質を無くすことができる。端部カバー２１６ の「封じ」機能のために、粒子状ゲッタ物質はレーザブロック１００通路と相互 に連結されている空所の中には決して入ることができない。

ｉ部カバー２１６は、ジルコニウムのような絶縁物質で製作されたとすると、レ ーザ作用ガスを電離する電極の１つとしても機能する。

ここでは本発明の好適な実施例だけを開示したこと、およびその実施例は添附し た請求の範囲で定められている本発明の真の要旨を逸脱することなしに変更およ び修正できることが当業者にはわかるであろう。

補正書の写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）１．特許出願の表示 第ＰＣＴ／ＵＳ８７１０３３１７号 ２、発明の名称 ゲッタ組立体 ３、特許出願人 住　所　アメリカ合衆国５５４０８　ミネンタ州・ミネアポリスハネウエル・プ ラザ（番地なし） 名称　ハネウェル・インコーホレーテッド代表者　プ“ル、７う任・レイ 国籍　アメリカ合衆国 ４、復代理人 〒１００ 居　所　東京都千代田区永田町２丁目４番２号秀和溜池ピル８階 山川国際特許事務所内 居所　同　所 居所　同　所 居所　・同　所 居　所　東京都大田区西六郷４丁目２８番１号山武ハネウェル株式会社蒲田工場 内 氏名（７９２１）弁理士松下義治 ６、補正書の提出年月日 １９８９年２月６日 ７、添付書類の目録 （１）補正書の写しく翻訳文）　１　通浄書（内容に変更なし） 補正請求の範囲 （次の請求の範囲は補正後の全文でちる）１、　内部への通路を含む空所を形成 するハウジングと、 ガスを通す物質で構成され、前記通路を覆う端部カバーと、 前記空所内の選択されたガス汚染物質を無くすために、前記空所内に設けられて いる第１の電極と第２の電極の間に電気的に接続されるようにされた活性化され たゲッタ物質と、 を備えるガス放電装置に使用するゲッタ組立体。

２、請求項１記載の組立体において、前記ハウジングは絶縁物Ｘｔ−含み、その 絶縁物質を前記第１の電極と前記第２の電極が貫通する組立体。

３、　請求項１記載の組立体において、前記端部カバーはジルコニウムで構成さ れる組立体。

４　相互に連結されて多角形の閉じたループ経路を形成する複数の空所を有する ガス放電レーザブロックと、 相互に連結され、前記ブロックの第１の端部表面内の第１の開口部へ延長する空 所と、 内部への入口通路を含む空所を形成するハウジングであって、この ハウジングは前記第１の端部表面へ固定され、前記入口通路が前記第１の通路に 通じるように前記第１の端面内の前記第１の開口部を囲むハウジングと、 ガスを通す物質で構成され、前記入口通路をふさぐ端部カバーと、 前記空所内の選択されたガス汚染物質を無くすために、前記空所内に設けられて いる第１の電極と第２の電極の間に電気的に接続された前記ハウジング空所内の 活性化されたゲッタ物質とを含むゲッタ組立体と を備えるリングレーザ角速度センサ。

５、請求項４記載のセンサにおいて、エネルギー源からの電流を前記ガスに通じ ている別の電極へ流すようにするために前記端部カバーはエネルギー源へ電気的 に接続されるセンサ。

６、　請求項４記載のセンサにおいて、前記端部カバーはジルコニウムで構成さ れるセンサ。

１゛事件０表示　ヒこＴ／ＵＳｇ７１０３３１”ｉ２、企口目の名称 クーンタ駒１工乍 ３、補正をする者 事件との関係　特　許出願人 名称（氏名）ハネウェル・インコーホレーテッドこ　１　゛ と、補正の対象 ω１■岬私第１ｇ千糸ひ５゛茅１エシメ産シ七ト↓３（イ胎りＩＴ壬ηづＣ酢ム ベ丙有６特許庁長官殿　ｌ″９１２・♂２９８ １°事件（７）＊ｗ　Ｐ（−工／ロＳｇワ１０３’：＞１７２、ぐ頂目の名称 ケ゛ンタ着七１体 ３、補正をする者 事件との関係　特　許出願人 名称（氏名）ハネウェル・インコーホレーテッド５、□の８４寸　平成２年　２ −月　ＺＴ″１日−二　・　・′ Ｕう賽唱二ｍ８−１目丁１（文−ミ千七くこＰ１采耕トｊ０ズ“１し〕国際調査 報告 国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 排他的所有権すなわち排他的権利が請求される発明の実施例が下記のように定め られる。 １．内部への通常合金を含む空所を形成するハウジングと、 ガスを通す物質で構成され、前記通路を覆う端部カバーと、 前記空所内の選択されたガス汚染物質を無くすための前記空所内の活性化された ゲツタ物質と、を備えるゲツタ組立体。 ２．請求項１記載のゲツタ組立体において、前記ハウジングは、 第１の電極と第２の電極を前記ハウジングを通す手段、 を含み、前記ゲツタ物質は前記空所内で前記第１の電極と前記第２の電極の間に 電気的に接続されるゲツタ組立体。 ３．請求項２記載の装置において、前記ハウジングは絶縁物質を含み、その絶縁 物質を前記第１の電極と前記第２の電極が貫通する装置。 ４．請求項１記載のゲツタ組立体において、前記端部カバーはジルコニウムで構 成される組立体。 ５．相互に連結されて多角形の閉じたループ経路を形成する複数の空所を有する レーザブロツクと、前記相互連結されたトンネルおよび前記ブロツクの端部表面 に通じる少くとも第１の通路と、内部への通常合金を含む空所を形成するハウジ ングと、 ガスを通す物質で構成され、前記通路を覆う端部カバーと、 前記空所内の選択されたガス汚染物質を無くすための前記空所内の活性化された ゲツタ物質と、を備えるゲツタ組立体と、 を備えるリングレーザ角速度センサ。 ７．請求項６記載のセンサにおいて、前記端部カバーは、電流を前記ガスに通じ ている別の電極へそれから流すようにするためにエネルギー源へ電気的に接続さ れるセンサ。