JPH0250090U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第２図は回転体のフリ
ーフリー２次固有振動数の振動モードに対する磁
気軸受の配置を示す説明図、第３図は第１，２，
３，４次固有振動数の振動モードに対する磁気軸
受の配置を示す説明図、第４図は回転体に対する
磁気軸受の減衰特性を示す説明図、第５図は他の
実施例を示す縦断側面図、第６図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図、第７図は磁気軸受
の制御系を示すブロツク図、第８図は磁気軸受の
減衰特性を示す説明図、第９図ａ〜ｅは回転体の
固有振動数の種類を示す説明図である。 １Ｌ，１Ｒ…位置センサ、２Ｌ，２Ｒ…位置フ
イードバツクゲイン、３Ｌ，３Ｒ…制御器、４Ｌ
，４Ｒ…電磁石、５…回転体、６Ｌ，６Ｒ…ジヤ
ーナル磁気軸受、７…外筒、８…軸体、９…円板
、１０…排ガス用翼体、１１…磁性体デイスク、
１２…回転体駆動用モータ、１３…スラスト磁気
軸受、１４…支持円筒体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 円板と同円板の中心部に一端部を固定した軸体
   と同円板の周縁部に固定して同軸体を取り囲み且
   つ外周面に複数の排ガス用翼体を取付けた外筒と
   よりなる回転体と、上記軸体と上記外筒との間の
   空間部に嵌挿した回転体の支持円筒体と、同支持
   円筒体の内周面に取付けた回転体駆動用モータと
   、上記支持円筒体と上記軸体との間に介装した２
   組のジヤーナル磁気軸受及び１組のスラスト磁気
   軸受とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記
   各ジヤーナル磁気軸受を軸方向に間隔を置いて前
   記支持円筒体と前記軸体との間に介装し、前記ス
   ラスト磁気軸受を前記支持円筒体と前記軸体の反
   円板側端部との間に介装し、同スラスト磁気軸受
   の磁性体デイスクの中心部を軸方向に延長し、同
   延長部の半径方向位置を計測する位置センサを前
   記各ジヤーナル磁気軸受のうち、反円板側のジヤ
   ーナル磁気軸受の制御系に接続したことを特徴と
   するターボ分子ポンプ。