JPH02500850A - 基材上に金属被覆を形成する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般に金属被覆の分野に関し、及び特に電気伝導性及び非伝導性基材上 に金属被覆を創出する方法に関する。

非伝導性基材或いは金属基材上のいずれかに金属被覆を形成する事が望ましい事 例が多く存在する。この目的で多数の材料を用いる多数の方法が使用されてきた 。普通に使用される一つの技術は電気めっきである。

他の方法は化学的な析出（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を包含する。析出技術はＲ， Ｆ。

バンシＪＦ　−（Ｂ　ｕｎｓｈａｈ）等（ノイエス［Ｎｏｙｅｓｌ出版、パーク ・リッジ［Ｐａｒｋ　Ｒｉｄｇｅ］、Ｎ、Ｊ、１９８２）によりフィルム及び被 覆のための析出技術（Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ　ｆｏ ｒ　Ｆｉｌｍ　ａｎｄ　Ｃｏａｔｉｎｇｓ）に詳細に総括されている。

電気めっきは一般に金属の薄い層で対象物を被覆するために使用される方法であ る。めっきされる対象物は陰極として印荷され、とりわけめっきされる金属の塩 を含む電解浴中に浸漬される。陽極は同じ金属又は或種の化学的に影響されない 導体で作られていることができる。低電圧電流が電解する浴を貫流し、陰極の物 品を所望の厚さまで金属でめっきする。析出した金属と物品の間の堅固な結合は 、銀と銅のような合金になり易い傾向のある二種の金属を使用することにより最 も良く達成される。

電気めっきの不利な点として、めっきできる金属の型式、絶対的な清潔性、平ら でない表面をめっきすることの困難さのような厳しい基材の要求が数えられる。

他の欠点として均一な温度調節及び電解浴の補充が含まれる。

化学的な蒸着は基材、特にシリコンのような非伝導性材料から作られた基材上に 、極めて薄い金属被覆を着けるために屡々使用される。この方法においては、金 属は高温度（例えば８００ないし９００°Ｃ）を用いて蒸気化され、基材上に析 出される。都合の悪いことには、こうした高温度では、析出が形成されると同時 に金属が下方にある基材中に拡散する。

その結果基材と被覆の間の界面は、鮮明というよりやや拡散していることがある 。鮮明な界面は多くの用途に対し装置の性能を向上させる。

一般に使用されている方法の多くは、伝導性金属基材又は非常に高い温度を許容 できる基材に限定される。これらの方法の多くは又毒性のある金属の蒸発によっ て危険でもある。

従って本発明の目的は電気伝導性であるか或いは非伝導性であるいずれかの基材 に薄い金属の被覆を形成する方法を提供することである。

本発明の別な目的は電流或いは費用のかかる高い温度のいずれをも使用する必要 のない、均一な金属層で基材を被覆する安全な方法を提供することである。

本発明の更に別な目的は、金属の被覆が基材中に殆んど又は全く拡散しないよう な方法で基材を被覆する方法を提供することである。

本発明の更に別な目的は、多重金属層で基材を被覆する方法を提供することであ る。

本発明の他の目的は、基材上に金属被覆のパターン（ｐａｔｔｅｒｎ）を描く方 法を提供することである。

本発明のない別な目的は、金属を精製し、純粋な金属を選択的にドープし、特定 の比率で合金を析出させる方法を提供することである。

本発明の好適な具体化は、（１）加熱された時に金属が溶融塩中に可溶であるよ うな、基材上に被覆されるべき金属を選択し、（２）その溶融塩中に金属を溶解 することによって浴を製造し、（３）一種又は多種の基材を金属−溶融塩浴中に 浸漬し、及び（４）金属が基材上に析出するように基材における浴の温度を低下 させることから成る基材上に均一な金属の被覆を形成する方法である。

溶解法を用いる析出の速度又は範囲は増大させることができる。例えば析出の速 度は、溶解金属−溶融塩浴中に電気分解、電解採取又は電気精練によって金属を 追加して導入することにより増加する。二番目の例としては、金属−溶融塩溶液 中に他の塩を添加することにより金属の沈着が増大する。

二種又は多種の金属の合金を基材上に析出させ、析出される金属を精製し、及び 特定の濃度及び組成の不純物を含む金属を析出する方法も用いることができる。

浴の組成及び温度は、析出を促進し、又は金属及び不純物の化学量論を変更する 必要に応じて変えられる。一般に不純物は精製すべき金属と同温度に及び同じ濃 度では析出しない。これらの条件下で析出した金属は溶融塩を伴っていないから 、金属及びもしあれば所望の不純物のみが析出する。

合金又は微量添加物（ｄ（＋ｐａｎｔ）と共に元素、例えば硼素と共にシリコン を基材上に析出させるために末法が使用される際には、析出される金属と共に浴 に添加される微量添加物の量は、特定の温度における基材上の微量添加物対シリ コンの比率から経験的に決定される。

必要に応じて浴の組成及び条件を変えて末法を繰り返すことにより、同−又は異 種の金属を用いる多重被覆を形成することができる。

金属−溶融塩浴中で被覆区域を加熱して金属を再溶解することにより、又は析出 を防ぐために或領域を遮蔽することにより、金属被覆にパターンを描くことがで きる。例えば銅のような金属がシリカ基材上に析出される。パターンは特定の方 式で基材を加熱するレーザーによって銅層中に“蝕刻（ｅｔｃｈ）”される。レ ーザーによって加熱された点で、金属は溶融塩中の溶液中に戻り、基材上に露出 したパターンが残される。

本発明の詳細 な説明は金属−溶融塩溶液中の金属の溶解性の温度依存性を利用することにより 、基材上に金属被覆を形成する方法である。析出される金属は最初に金属−溶融 塩溶液中に溶解され、次いで浴が基材と接触する場所で浴の温度を下げることに よって、金属は溶融塩浴から基材上に沈着する。これは基材を冷却することによ り、浴を冷却することにより、又は基材と浴の両者を冷却することにより達成す ることができる。逆に、被覆された基材を金属−溶融塩浴中に浸漬し、金属被覆 を除去すべき区金属がその溶融塩、並びにその塩を含む混合物中に、同等電流を 通じることなく溶解することは周知の事実である。従って温度の関数として溶融 塩溶液中に溶解する任意の金属が、本発明において使用することができる。金属 −溶融塩溶液の実例としてＫ２ＳｉＦ４中、ＭｇＣ１，中のＳｉ１及びＣｄＣ１ ，中のＣｄが含まれる。溶解及び析出の範囲は通常浴の組成及び温度の関数であ る。通常析出する金属の塩の濃度が高く、浴の温度が高い程、金属の溶解度は大 きい。

金属の溶解は又電気分解、電解採取又は電気精製の際に電流が浴を通る時にも起 こる。かような化学的に溶解した金属は、金属を電解析出することなく電解質に 電流を通じさせる電気伝導性の尺度を付与する。これは電解の電流効率を減退さ せ、ファラディの法則からの逸脱と称される。

本発明は溶融塩溶液の温度を上げることにより溶融塩中の金属の溶解性が増加し 、及び温度を下げると金属の溶解性が減少するという観察に基づいている。低温 度における溶融塩溶液は高温で溶解した金属で過飽和状態にあるから、金属は溶 液から現出する傾向がある。過飽和溶融塩中に引き続き基材を導入すると、溶解 した金属の基材上への沈着が誘発される。これは溶解した金属が成長して表面上 に被覆を形成する臨界的な大きさの核の生成を含むから、表面の性質、即ち、結 晶構造、粗さ、温度等、及び溶解した金属による溶融塩の飽和の程度が被覆の性 質及び程度を決定する。

溶解の度合は、金属−溶融塩溶液の塩濃度を増加させることにより、増加させる ことができる。溶融塩中の金属の溶解性は、溶融物が所与の金属の純粋な塩から 成る時に、いかなる温度においても最高である。従って初期の金属の溶解が生起 した後、浴の組成を変えるために他の塩を添加することにより溶融物からの金属 の排除を大きくすることが可能である。

本発明の方法は又、溶融塩中の各種の元素の溶解度の差異を利用することにより 、金属を精製するｔ；めに、合金又は化合物中の構成元素の化学量論的な比率を 変更するために、及びシリコンのような材料中の微量添加物の濃度を調節するた めに使用することができる。

金属を精製するためには、金属を溶融塩中に溶解する。いかなる温度においても 溶解性の限界がある。逆に言えば、いかなる濃度に溶解した金属に対しても、或 温度以下では金属が溶液から析出する温度がある。

元素濃度及び温度を厳正に選択することにより、金属が沈着する前に不純物を沈 着させること、又は金属が沈着している間に不純物を溶液中に保持しておくこと が可能である。一連の分別沈着を実施することができ、又は所望の元素成分の最 適な析出が生起する部位で、導入された基材と共に金属−溶融塩浴中に温度勾配 を形成することもできる。

同様にして、特定のモル比で金属合金又は化合物を析出させるため必要な、浴中 に溶解した元素の濃度を最初に決定した後、合金を所望の化学量論的比率で析出 させることができる。基材の表面上への沈着と関連した速度論的方法により、他 の方法では得ることが困難な化学量論的比率で、合金及び化合物を析出させるこ とが可能になる。例えばヒ化ガリウム中の、及びテルル化水銀カドミウム中の非 金属成分の揮発性が高いために、これらの化合物を蒸気相で加工する時には化学 量論的な結果は得難い。同じ方法はシリコンのようなドープ（ｄｏｐｅ）された 材料に適用することができる。温度及び組成の関数として析出した金属又は微量 添加物（ｄｏｐａｎｔ）の量が決定される場合、金属−溶融塩浴について一連の 試験を行うことができる。次に、所望の沈着物組成を得るためには、どのような 温度及びどのような比率の金属−溶融塩浴成分が必要であるかを決定するために 振り返って推定することは、当業者にとっては比較的容易なことである。

本発明の他の具体化においては、適当な化学組成の洛中での繰り返し加工により 、基材に同−又、ｌｉ異種の組成の多重被覆が施される。析出の時間、温度、浴 の組成を変化させること、及び電解によって浴へ塩又は金属を添加する方法を用 いて、厚さ及び均一性に関して多様の被覆を施すことも又可能である。

本方法の他の具体化においては、金属−溶融塩浴を整備し、次いで温度勾配の一 端においては金属が金属−溶融塩浴中に連続的に溶解し、該勾配の他端において は溶液から基材上に析出するように温度勾配を形成し、且つ保持することにより 、一種又は多種の基材に金属被覆が連続的に施される。

本方法の更に他の具体化においては、金属被覆が基材に施され、次いで“パター ン化”される。パターンは金属−溶融塩浴内で、基材上の金属被覆の選択されｊ ；部位を加熱することにより発現する。加熱された金属は溶融塩浴中に溶解して 戻される。レーザーを用いれば、除去される金属の量を制御することができ、極 めて微細なパターンを金属に蝕刻することができる。金属被覆は又基材を金属− 溶融塩浴中に入れる前に被覆しない区域の基材を遮蔽することにより、パターン 状に析出させることができる。

本発明は更に導体及び非導体基材の両者上に金属被覆の析出を示す下記の実施例 によって例示されるが、該実施例は本発明を同等限定するものではない。

実施例　ｌ：　鉄基材上にＭｎ被覆の形成５０モル％のＭｎＣ１ｘ　５０モル％ のＮａＣ１を含む溶融塩浴を、鉄のるつぼ中でＭｎＣ１ｚ　ＮａＣｌを溶融する ことにより製造し！＝、Ｍｎの棒を８１０℃でるつぼ中に沈めた。温度を９００ ℃に上げた。３時間後に、Ｍｎの棒を塩から引き上げた。Ｍｎの溶解度を減少さ せ、溶融塩溶液からＭｎの沈着を促進するために、約２０ｇのＮａＣ１を添加し Ｉ；。温度を８００°Ｃに下げ、この温度で２時間保持しＩ：。次いでるつぼを 室温に冷却した。Ｘ−線によるエネルギー散乱分析（ｅｎｅｒｇｙ　ｄｉｓｐｅ ｒｓｉｖｅ　ａｎａｌｙｓｉｓＸＥＤＡＸ）により測定したところ、るつぼの表 面上にＭｎの被覆が均一に形成されていた。

実施例　２：　銅線基材上にＭｎ被覆の形成２０モル％のＭｎＣＩｇ−８０モル ％のＮａＣｌを含む溶融塩浴を融解石英のるつぼ中で製造した。実施例１のよう にＭｎの棒をるつぼ中に沈め、るつぼを８１０℃に加熱し、温度を８７０℃に２ ０分間上げ、そして棒を取り出した。直径％インチの銅線を、塩浴中に沈めた。

塩浴を一夜７４４°Ｃに保持した。

次いで銅線を浴から取り出し、ＥＤＡＸによって分析した。分析の結果、銅線上 にＭｎの均一な析出が生じていることが確認された。

実施例　３：　融解石英るつぼ上にマンガンの被覆の形成実施例１及び２の方法 と類似の方法を用いて、４０モル％のＭｎＣｌ。

−６０モル％のＮａＣ１浴を製造した。Ｍｎの棒を塩浴中に沈め、浴の温度を約 ９００°Ｃに上げ、９０分後にＭｎの棒を引き出し、浴を室温に冷却しｆ＝。従 前のように、溶融塩中のＭｎの溶解度を下げるために、Ｍｎの棒を引き出した後 、浴にＮａＣｌを追加して添加した。

ＥＤＡＸにより測定したところ、融解石英るつぼの表面上にＭｎ被覆が均一に形 成された。被覆はディジタル・マルチメーター（ｄｉｇｉｔａｌ　ｍｕｌｔｉｍ ｅｔｅｒ）を用いて測定したところ、極めて低い電気抵抗を持っていた。

るつぼの被覆しない側は無限大の抵抗を有し、金属性被覆の沈着がないことを示 した。

実施例　４　：電着の存在における化学的析出による融解石英表面上へのモリブ デン被覆の形成 Ｋ　ＣＩ　Ｋ　３ＭｏＣ＋、（９３重量％ＫＣｌ−７重量％に、ＭｏｃＩｅ）を 含む浴を黒船のるつぼ中で８００℃に加熱した。Ｍｏの電着は陽極としてＭｏの 棒を用い、及び陰極として黒鉛の棒を使用して、るつぼ中で行なわれＩ：。

融解石英の鐘を黒鉛棒陰極の周囲に置いた。電解に続いて、Ｍｏの被覆が融解石 英鐘の内側上の、陰極に面した側に形成された。被覆はＥＤＡＸにより分析され 、元素状モリフ：デンであることが確認された。

融解石英表面上は極性を帯びず、及び電極として作用することはできなかった事 実に留意することは重要である。電流効率は１００％以下で良好であった。これ は非−７アラディ的作用が電解の間に生起し、ＭＯの被覆が電気化学的作用では なく、化学的作用によって生じｌ；ことを示　。

している。

本発明はその好適な具体化に関して記載されたが、当業者には他の変化及び変更 法は明らかであろう。かような変化及び変更法は総て添付した請求の範囲内に包 含されるものと志向される。

補正音の写しく翻訳文）提出書　（特許法第１８４条の８）平成１年２月ＩＳ日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、特許出願の表示 ＰＣＴ／ＵＳ　８７１０２０６０ ２、発明の名称 基材上に金属被覆を形成する方法 ３、特許出願人 住　所　アメリカ合衆国マサチュセツツ州０２１３９ケンブリッジ・マサチュセ ツツアベニュー７７名称　マサチュセツツ・インスチチュート・オブ・テクノロ ジー ４、代理人　〒１０７ 住　所　東京都港区赤坂１丁目９番１５号５、補正音の提出年月日 １９８８年７月１２日 ６、添付書類の目録 （１）補正音の写しく翻訳文）　１通 ４、該第−の金属をより多く浴に添加することにより、溶融塩から溶解し！；金 金属基材上への析出を促進させることから成る請求の範囲１項記載の方法。

５、洛中に取り付けられている、該金属から成る電極を通じて電流を流すことに より浴に金属を追加して添加することから成る請求の範囲４項記載の方法。

６、第一の金属−溶融塩溶液を第一の温度に加熱した後に塩の組成を変更するこ とから成る請求の範囲１項記載の方法。

７、該第−の金属−溶融塩溶液を第二の温度に冷却することから成る請求の範囲 ６項記載の方法。

８、溶解した該第−の金属の溶離が好都合に進むように塩の組成を変更すること から成る請求の範囲７項記載の方法。

９、該第−及び第二の金属が溶融塩混合物中に可溶であるように、基材上に被覆 される第二の金属を選択することから成る請求の範囲１項記載の方法。

１０、ａ）第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であるような、基材上に 被覆されるべき第一の金属を選択し、ｂ）該第−の金属及び溶融塩の浴を、該第 −の金属が溶解する第一の温度に加熱し、 Ｃ）被覆すべき基材を浴中に入れ、 ｄ）溶解した第一の金属が溶融塩から基材上に析出するような、第二の温度まで 基材の箇所の浴の温度を低下させ、ｅ）第三の温度に加熱された時に溶融塩中に 可溶であるような、基材上に被覆されるべき第二の金属を選択し、ｆ）該第二の 金属及び溶融塩の浴を、該第二の金属が溶解する第三の温度に加熱し、 ｇ）被覆すべき基材を浴中に入れ、及びｈ）溶解した第二の金属が溶融塩から基 材上に析出するような、第四の温度まで基材における浴の温度を低下させ、それ により多重金属被覆を有する基材を提供することから成る、基材上に多層金属被 覆を提供する請求の範囲１項記載の方法。

１６、溶解した純粋な金属が基材上に沈殿する前に、純粋な金属が溶液中にあり 、不純物が溶融塩溶液から析出する点まで浴の温度を低下させる工程を追加する ことから成る請求の範囲１項記載の方法。

１７、該第−及び第二の金属は第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であ り、 該第二の金属を溶融塩に添加し、及び 溶融塩浴の温度を低下させると該第−及び第二の金属が沈殿するように、第二の 金属を選択することから成る請求の範囲１項記載の方法。

１８、該第−及び第二の金属が共沈するような該第−の金属対し第二の金属の比 率で溶融塩浴に該第−の金属を添加することから成る請求の範囲１７項記載の方 法。

１９、不純物が金属と共に溶液から析出するように、金属−溶融塩浴に該不純物 を添加することから成る請求の範囲１項記載のの方法。

２０、金属−溶融塩浴中に温度勾配を保持することから成る請求の範囲１項記載 の方法。

２４、金属被覆が除去されるべき部位で該金属−溶融塩浴中で該基材を加熱する ことから成る、次ぎのパターン化工程によりパターン化されている請求の範囲２ ３項記載の金属被覆。

２５、ａ）第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であるような、基材上に 被覆されるべき第一の金属を選択し、ｂ）該第−の金属及び溶融塩の浴を、該第 −の金属が溶解する第一の温度に加熱し、 Ｃ）被覆すべき基材を浴中に入れ、 ｄ）溶解した第一の金属が溶融塩から基材上に析出するような、第二の温度まで 基材の箇所の浴の温度を低下させ、ｅ）第三の温度に加熱された時に溶融塩中に 可溶であるような、基材上に被覆されるべき第二の金属を選択し、ｆ）該第二の 金属及び溶融塩の浴を、該第二の金属が溶解する第三の温度に加熱し、 ｇ）被覆すべき基材を浴中に入れ、及びｈ）溶解した第二の金属が溶融塩から基 材上に析出するような、第四の温度まで基材の箇所の浴の温度を低下させ、それ により多重層的金属被覆を有する基材を提供することにより形成された基材上の 多層金属被覆。

国際調査報告 入Ｎ？ｌＥ：＜　Ｔｏ　τＥ三　：Ｎ＝＝ｐ−ｑ＝：ｃｘ、Ｌ　ｓ三ＡＲＣＨＲ 三Ｐ○ＲＴ　０ＮＦｏｒ　ｍ口ｒｅ　Ｃｅｔａｉｌｓ　ａｂｏｕｔ　−、ｂｔａ 　ｌ１％＋ｍ％Ｔ　。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ａ）第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であるような、基材上に被 覆されるべき第一の金属を選択し、ｂ）該金属及び溶融塩の浴を、該金属が溶解 する第一の温度に加熱し、 ｃ）被覆すべき基材を浴中に入れ、及びｄ）溶解した金属が溶融塩から基材上に 析出するような、第二の温度まで基材における浴の温度を低下させることから成 る基材上に金属被覆を生成する方法。 ２．電気伝導性の材料及び電気的に絶縁性の材料から構成される群から基材を選 択することから成る請求の範囲１項記載の方法。 ３．Ｍｎ−ＭｎＣｌ２／ＮａＣｌ、Ａｇ−ＡｇＣｌ／ＮａＣｌ、Ｍｏ−Ｋ３Ｍｏ Ｃｌ６／ＫＣｌ、Ｍｇ−ＭｇＣｌ２、Ｃａ−ＣａＣｌ２、Ａｌ−Ｎａ３ＡｌＦ６ 、Ｎａ−ＮａＣｌ、及びＳｉ−Ｋ２ＳｉＦ６／ＫＦから構成される群から金属及 び溶融塩を選択することから成る請求の範囲１項記載の方法。 ４．該第一の金属をより多く浴に添加することにより、溶融塩から基材上への溶 解した金属の析出を促進させることから成る請求の範囲１項記載の方法。 ５．浴中の該金属に電流を通じることにより金属を追加して浴中に添加する、請 求の範囲４項記載の方法。 ６．第一の金属一溶融塩溶液を第一の温度に加熱した後に塩の組成を変更するこ とから成る請求の範囲１項記載の方法。 ７．該第一の金属一浴融塩溶液を第二の温度に冷却することから成る請求の範囲 ６項記載の方法。 ８．溶解した該第一の金属の溶離が好都合に進むように塩の組成を変更すること から成る請求の範囲７灰記載の方法。 ９．該第一及び第二の金属が溶融塩混合物中に可溶であるように、基材上に被覆 される第二の金属を選択することから成る請求の範囲１項記載の方法。 １０．析出した該金属被覆上に毎覆を追加して形成するためにａ−ｃの工程を繰 り返すことから成る請求の範囲１項記載の方法。 １１．浴の化学的性質及び工程要因を変化させて別個の組成の多層被覆を創出す ることから成る請求の範囲１０項記載の方法。 １２．金属被覆を除去すべき部位で基材を金属一溶融塩浴中で加熱することによ り、該金属被覆の一部を除去することから成る請求の範囲１項記載の方法。 １３．該金属被覆の一部を選択的に再溶解するために、該基材をレーザーを用い て加熱する、請求の範囲１２項記載の方法。 １４．金属が基材上に析出する前に基材の一部区域を遮蔽することから成る請求 の範囲１項記載の方法。 １５．純粋な金属が溶融塩溶液から析出し、不純物が溶液中に残る温度まで浴の 温度を低下させる、金属を精製する請求の範囲１項記載の方法。 １６．純粋な金属が溶液中にあり、そして不純物が溶融塩溶液から析出する温度 まで浴の温度を上昇させる、金属を精製する請求の範囲１項記載の方法。 １７．該第一及び第二の金属は第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であ り、 該第二の金属を溶融塩に添加し、及び 溶融塩浴の温度を低下させると該第一及び第二の金属が沈殿するように、第二の 金属を選択することから成る請求の範囲１項記載の方法。 １８．該第一及び第二の金属が共沈するような該第一の金属対談第二の金属の比 率で溶融塩浴に該第一の金属を添加することから成る請求の範囲１７項記載の方 法。 １９．不純物が金属と共に溶液から沈着するように、金属一溶融塩浴に該不純物 を添加することから成る請求の範囲１項記載のの方法。 ２０．金属一溶融塩浴中に温度勾配を保持することから成る請求の範囲１項記載 の方法。 ２１．金属一溶融塩浴に溶解した金属を連続的に補充することから成る請求の範 囲２０項記載の方法。 ２２．温度勾配内の適当な位置に置かれた基材上に該金属を連続的に沈殿させる ことから成る請求の範囲２１項記数の方法。 ２３．ａ）第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であるような、基材上に 被覆されるべき第一の金属を選択し、ｂ）該金属及び該溶融塩の浴を、該金属が 溶解する第一の温度に加熱し、 ｃ）被覆すべき基材を浴中に入れ、 ｄ）溶解した金属が溶融塩から基材上に析出するような、第二の温度まで基材の 箇所の浴の温度を低下させることにより形成された金属被覆。 ２４金属被覆が除去されるべき部位で該金属一溶融塩浴中で該基材を加熱するこ とによって該金属被覆の一部を除去することにより形成されたパターン化された 金属被覆。 ２５．ａ）第一の温度に加熱された時に溶融塩中に可溶であるような、基材上に 被覆されるべき第一の金属を選択し、ｂ）該金属及び溶融塩の浴を、該金属が溶 解する第一の温度に加熱し、 ｃ）被覆すべき基材を浴中に入れ、 ｄ）溶解した金属が溶融塩から基材上に析出するような、第二の温度まで基材に おける浴の温度を低下させ、ｅ）ａ−ｃの工程を繰り返して析出した該金属被覆 上に被覆を追加して形成する ことにより形成された多重金属被覆。