JPH0248472A - 炭化珪素からなる大寸法加工物の結合方法及び装置 - Google Patents
炭化珪素からなる大寸法加工物の結合方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0248472A JPH0248472A JP1160582A JP16058289A JPH0248472A JP H0248472 A JPH0248472 A JP H0248472A JP 1160582 A JP1160582 A JP 1160582A JP 16058289 A JP16058289 A JP 16058289A JP H0248472 A JPH0248472 A JP H0248472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- brazing
- outer shell
- workpieces
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 6
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- GNKTZDSRQHMHLZ-UHFFFAOYSA-N [Si].[Si].[Si].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti] Chemical compound [Si].[Si].[Si].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti] GNKTZDSRQHMHLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 abstract 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ti] Chemical compound [Si].[Ti] UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- AIOWANYIHSOXQY-UHFFFAOYSA-N cobalt silicon Chemical compound [Si].[Co] AIOWANYIHSOXQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N iron silicon Chemical compound [Si].[Fe] XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- PYLLWONICXJARP-UHFFFAOYSA-N manganese silicon Chemical compound [Si].[Mn] PYLLWONICXJARP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/003—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
- C04B37/006—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts consisting of metals or metal salts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/10—Glass interlayers, e.g. frit or flux
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/122—Metallic interlayers based on refractory metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/123—Metallic interlayers based on iron group metals, e.g. steel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/124—Metallic interlayers based on copper
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
- C04B2237/126—Metallic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
- C04B2237/128—The active component for bonding being silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/36—Non-oxidic
- C04B2237/365—Silicon carbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/76—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
- C04B2237/765—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、珪素を浸透させた炭化珪素からなる大寸法の
加工物をろう付けにより結合箇所に結合する方法に関す
る。更に本発明はこの方法を実施するための装置に関す
る。
加工物をろう付けにより結合箇所に結合する方法に関す
る。更に本発明はこの方法を実施するための装置に関す
る。
〔従来の技術]
珪素を浸透させた炭化珪素(S i S + C)材料
はその良好な機械的及び化学的特性の故に注目されてき
ている。この材料でできている多数の部品又は加工物の
結合は従来例えばねじなどにより機械的に実施されてい
た。しかしこの結合方法は気密性を高度に要求される場
合には不十分なものである。またこの種の結合はろう付
けにより実施されているやそのため例えばチタン珪素合
金からなる特殊なろうが開発されている。このろう付け
技術は掻めて高い温度(約1400°C)の使用と真空
下又は不活性ガス下での作業を必要とする。このろう付
けは従来、少なくとも2つの相互に結合すべき部品を一
緒に入れるのに十分な大きさのろうがま中で行われてき
た。しかし実際問題としてこのろうがまの大きさには限
界がある。すなわちこのかまは例えば長さ約10m、、
直径約1mの熱交換器のような巨大構成物を収容するに
は十分ではない。
はその良好な機械的及び化学的特性の故に注目されてき
ている。この材料でできている多数の部品又は加工物の
結合は従来例えばねじなどにより機械的に実施されてい
た。しかしこの結合方法は気密性を高度に要求される場
合には不十分なものである。またこの種の結合はろう付
けにより実施されているやそのため例えばチタン珪素合
金からなる特殊なろうが開発されている。このろう付け
技術は掻めて高い温度(約1400°C)の使用と真空
下又は不活性ガス下での作業を必要とする。このろう付
けは従来、少なくとも2つの相互に結合すべき部品を一
緒に入れるのに十分な大きさのろうがま中で行われてき
た。しかし実際問題としてこのろうがまの大きさには限
界がある。すなわちこのかまは例えば長さ約10m、、
直径約1mの熱交換器のような巨大構成物を収容するに
は十分ではない。
本発明の課題は、経費の!ff減下に5iSiCからな
る部材を大構成物にまとめあげることのできる方法を提
供することにある。更に本発明はこの方法を実施するの
に通した装置を提供することを課題とする。
る部材を大構成物にまとめあげることのできる方法を提
供することにある。更に本発明はこの方法を実施するの
に通した装置を提供することを課題とする。
第1の課題は、本発明によれば加工物を結合箇所の範囲
内でそれぞれ密閉可能の外殻によって囲み、個々の外殻
と加熱物との間の空間を真空下に保つか又は不活性ガス
で満たし、またろうを施した結合箇所を局部的にろう付
け温度に加熱することによって解決される。
内でそれぞれ密閉可能の外殻によって囲み、個々の外殻
と加熱物との間の空間を真空下に保つか又は不活性ガス
で満たし、またろうを施した結合箇所を局部的にろう付
け温度に加熱することによって解決される。
装置に関する第2の課題は本発明によれば、個々の加工
物に対して1つの外殻が配置されており、これらの外殻
は共同して加工物を結合箇所の範囲内で空間の形成下に
気密に包囲することができるように構成されており、ま
たこの空間には導管が配設されており、この導管を介し
て空間を真空状態に保つか又は不活性ガスで満たすこと
ができ、更にまた結合箇所を局部的にろう付け温度に加
熱することのできる加熱素子が配設されていることによ
って解決される。
物に対して1つの外殻が配置されており、これらの外殻
は共同して加工物を結合箇所の範囲内で空間の形成下に
気密に包囲することができるように構成されており、ま
たこの空間には導管が配設されており、この導管を介し
て空間を真空状態に保つか又は不活性ガスで満たすこと
ができ、更にまた結合箇所を局部的にろう付け温度に加
熱することのできる加熱素子が配設されていることによ
って解決される。
〔作用効果)
各外殻は互いに結合すべき部材(加工物)のそれぞれの
形状に応じて構成又は成形される。外殻は、主として結
合箇所を限定し周囲から遮断する空間を形成する。この
場合該空間は上記のろう付け処理を実施するために必要
な条件を僅かな経費で作り出すことができるものである
。才ず各部材間の継ぎ目にろうを装入する0次いで結合
箇所のみを局部的に加熱するごとによって、従来の大表
面を加熱する方法に比べてエネルギー消費量を著しく削
減することができる。結合箇所が多数の場合、可能な種
々異なる要求に応して適確りこエネルギー消費量を削減
することができる。
形状に応じて構成又は成形される。外殻は、主として結
合箇所を限定し周囲から遮断する空間を形成する。この
場合該空間は上記のろう付け処理を実施するために必要
な条件を僅かな経費で作り出すことができるものである
。才ず各部材間の継ぎ目にろうを装入する0次いで結合
箇所のみを局部的に加熱するごとによって、従来の大表
面を加熱する方法に比べてエネルギー消費量を著しく削
減することができる。結合箇所が多数の場合、可能な種
々異なる要求に応して適確りこエネルギー消費量を削減
することができる。
結合箇所をろう付け温度に加熱するために使用すること
のできる加熱素子の有利なものは、タングステン、イリ
ジウム又はモリブデンからなる加熱素子である。この場
合加工物は高いa変にも耐え得るものであることから、
構成部材が他の物質で汚染されるおそれは防止される。
のできる加熱素子の有利なものは、タングステン、イリ
ジウム又はモリブデンからなる加熱素子である。この場
合加工物は高いa変にも耐え得るものであることから、
構成部材が他の物質で汚染されるおそれは防止される。
上記の外殻を適切な経費で提供するには、この外殻を加
工が簡単で比較的廉価な材料、例えば銅のような金属か
ら構成する必要がある。しかしこの種の材料はろう付け
工程に要求される高い温度に曝すことができない。これ
を達成するため、本発明の実施態様では外殻を冷却可能
に構成する。
工が簡単で比較的廉価な材料、例えば銅のような金属か
ら構成する必要がある。しかしこの種の材料はろう付け
工程に要求される高い温度に曝すことができない。これ
を達成するため、本発明の実施態様では外殻を冷却可能
に構成する。
加工物とケーシングとの間の空間又は隙間を十分に密閉
するには、両部材の異なる熱膨張係数を考慮した場合に
もエラトマー・からなるパツキンを用いることによって
最も1実に実施することができる、その際このパツキン
は結合箇所から僅かに離して、すなわらより低温の箇所
に配設することができる。しかしこの処置は外殻の必要
な寸法を不当に大きなものとする。更にまたパンキン材
に対する許容温度を越えないという保証はない。従って
本発明の別の実施態様によりエラストマーからなるパツ
キンは冷却可能にするのが有利である。
するには、両部材の異なる熱膨張係数を考慮した場合に
もエラトマー・からなるパツキンを用いることによって
最も1実に実施することができる、その際このパツキン
は結合箇所から僅かに離して、すなわらより低温の箇所
に配設することができる。しかしこの処置は外殻の必要
な寸法を不当に大きなものとする。更にまたパンキン材
に対する許容温度を越えないという保証はない。従って
本発明の別の実施態様によりエラストマーからなるパツ
キンは冷却可能にするのが有利である。
これとの関連において更に別の実施態様により、塑性の
変形可能な金属製パツキンを使用すると有利である。こ
の場合金属製パンキンは二重パンキンの半分であり−そ
のもう半分はエラストマー物質から製造される。その際
金属製パンキンは結合箇所に対応する側(すなわち高温
側)に配設される。ここでは特に5iSiC管板中に5
iSiC管をろう付けする方法が有利である。このため
には、管仮に気密に接している第1の外殻とろう付けす
べき管を部分的に包囲する第2の外殻とを配設する。
変形可能な金属製パツキンを使用すると有利である。こ
の場合金属製パンキンは二重パンキンの半分であり−そ
のもう半分はエラストマー物質から製造される。その際
金属製パンキンは結合箇所に対応する側(すなわち高温
側)に配設される。ここでは特に5iSiC管板中に5
iSiC管をろう付けする方法が有利である。このため
には、管仮に気密に接している第1の外殻とろう付けす
べき管を部分的に包囲する第2の外殻とを配設する。
もう一つの実施態様は、管の内部にある加熱素子が管板
の範囲内に配設されていることによって特徴づけられる
。また管をその自由端部で詰め栓により固く閉鎖するこ
とも可能である。更に結合箇所と外殻との間の空間内に
また管の自由端部内にそれぞれ断熱材を配設することも
できる。この処置により結合箇所を大気から遮断するこ
ともまた外殻及びバッキ/を熱線から付加的に保護する
ことも達成される。
の範囲内に配設されていることによって特徴づけられる
。また管をその自由端部で詰め栓により固く閉鎖するこ
とも可能である。更に結合箇所と外殻との間の空間内に
また管の自由端部内にそれぞれ断熱材を配設することも
できる。この処置により結合箇所を大気から遮断するこ
ともまた外殻及びバッキ/を熱線から付加的に保護する
ことも達成される。
しかし管又は管材を突き合わせてろう接合することも可
能である。相当する実施態様は、第1及び第2の管材が
気密な状態で通過することのできる第1及び第2の外殻
を備えているこよによって特徴づけられる。
能である。相当する実施態様は、第1及び第2の管材が
気密な状態で通過することのできる第1及び第2の外殻
を備えているこよによって特徴づけられる。
本発明の他の実施態様によれば、ろう付け箇所をその全
範囲にわたって均一に加熱することを保証するために、
加熱素子を管材の長手軸に対して平行で、これを中心に
してまとめられた多数の電熱線の形で構成することもで
きる。
範囲にわたって均一に加熱することを保証するために、
加熱素子を管材の長手軸に対して平行で、これを中心に
してまとめられた多数の電熱線の形で構成することもで
きる。
[実施例〕
本発明の実施例を以下図面に基づき詳述する。
第1図によれば5iSiCからなる管板I (第1加工
物)内には開口2が存在し、この中に同じ材料からなる
熱交換管3(第2の加工物)が液密に装入される。結合
は予め箔の形で開口2の壁面と管3との間の隙間(結合
箇所)に封入された珪素チタン、珪素コバルト、珪素鉄
、マンハイム金、ガラス又は珪素マンガンから成るろう
4を用いて実施する。ろう4のろう付け温度への必要な
加熱は、管3の末端部に装入されているタングステン、
イリジウム又はモリブデンからなる電気的加熱素子5に
より行う。これは保持体5aを介して直流電源に接続さ
れている。管3の内側を照射することにより管3はその
結合箇所の範囲を加熱される。
物)内には開口2が存在し、この中に同じ材料からなる
熱交換管3(第2の加工物)が液密に装入される。結合
は予め箔の形で開口2の壁面と管3との間の隙間(結合
箇所)に封入された珪素チタン、珪素コバルト、珪素鉄
、マンハイム金、ガラス又は珪素マンガンから成るろう
4を用いて実施する。ろう4のろう付け温度への必要な
加熱は、管3の末端部に装入されているタングステン、
イリジウム又はモリブデンからなる電気的加熱素子5に
より行う。これは保持体5aを介して直流電源に接続さ
れている。管3の内側を照射することにより管3はその
結合箇所の範囲を加熱される。
結合箇所は管の下側で第1の例えばなべ型に形成された
外殻6により外気から遮断されている。
外殻6により外気から遮断されている。
管の上側も同様に、すなわち第2の外殻7により外気か
ら遮断される。これは図示されていないパンキンを仲介
させて互いにねじ8により結合される2つの半殻から構
成することができる。双方の半殻間の樽ぎ目はこの図面
の同一面上にある。基本的には第1の外殻6も多部分又
は特に半殻からなっていてもよい。外殻6.7は有利に
は金属からなる。管3はこの第2の外殻7の上面を介し
て導入される。管板1及び管3に対する外殻6.7の密
閉処理は縁側並びに導入側に埋め込まれたエラストマー
パンキン9により行う。結合箇所から比較時隔たってい
る場合、従って熱負荷が僅かな場合にはこの種のパンキ
ン9で十分である。図面の上部には第2外殻7の上面を
介して管3を導入する例が示されている。これに対して
熱伝導によって同様に加熱される管板1の場合には、塑
性の変形可能な金属パツキン10が接続される。
ら遮断される。これは図示されていないパンキンを仲介
させて互いにねじ8により結合される2つの半殻から構
成することができる。双方の半殻間の樽ぎ目はこの図面
の同一面上にある。基本的には第1の外殻6も多部分又
は特に半殻からなっていてもよい。外殻6.7は有利に
は金属からなる。管3はこの第2の外殻7の上面を介し
て導入される。管板1及び管3に対する外殻6.7の密
閉処理は縁側並びに導入側に埋め込まれたエラストマー
パンキン9により行う。結合箇所から比較時隔たってい
る場合、従って熱負荷が僅かな場合にはこの種のパンキ
ン9で十分である。図面の上部には第2外殻7の上面を
介して管3を導入する例が示されている。これに対して
熱伝導によって同様に加熱される管板1の場合には、塑
性の変形可能な金属パツキン10が接続される。
パツキン9.10及び外殻6.7の冷却は、パツキン9
の範囲内の供給管11を介して外殻6.7の空間に導入
されまた排出管12を介して再びこの空間から排出され
る冷却剤、例えば水によって行う。
の範囲内の供給管11を介して外殻6.7の空間に導入
されまた排出管12を介して再びこの空間から排出され
る冷却剤、例えば水によって行う。
細い管17を介して結合箇所の範囲内を真空にすること
ができる。また選択的に管17により結合箇所を保護ガ
ス雰囲気、例えばアルゴン、ヘリウム又は窒素雰囲気下
に置くことも可能である。
ができる。また選択的に管17により結合箇所を保護ガ
ス雰囲気、例えばアルゴン、ヘリウム又は窒素雰囲気下
に置くことも可能である。
管17は外殻6を通って管3の下端に導かれる。
管3の上側の自由端部は例えばゴム製の詰め栓13で閉
鎖されている(第2図には描かれていない)。この詰め
栓13は加圧装置14によりこの管端上に強く押付けら
れている0図示されていない類似の加圧装置を用いて管
板1及び管3に外殻6.7を押付ける。
鎖されている(第2図には描かれていない)。この詰め
栓13は加圧装置14によりこの管端上に強く押付けら
れている0図示されていない類似の加圧装置を用いて管
板1及び管3に外殻6.7を押付ける。
管板1と管3との間の結合箇所の範囲は、断熱材15例
えば炭化珪素ウィスカーで絶縁されている。すなわち外
殻6.7、詰め栓13及びその他ノ部分の熱負荷を僅少
に保つために、管3及び外殻6.7内は絶縁されている
。ろう付け温度の制?1は結合箇所の近くに配設されて
いる熱電対16により行う。この熱電対を用いて加熱素
子5を介して流れる電流を再調整することにより約14
00°Cのここでの最適ろう付け温度を保持することが
できる。
えば炭化珪素ウィスカーで絶縁されている。すなわち外
殻6.7、詰め栓13及びその他ノ部分の熱負荷を僅少
に保つために、管3及び外殻6.7内は絶縁されている
。ろう付け温度の制?1は結合箇所の近くに配設されて
いる熱電対16により行う。この熱電対を用いて加熱素
子5を介して流れる電流を再調整することにより約14
00°Cのここでの最適ろう付け温度を保持することが
できる。
5iSiCからなる管3は製造時の長さで3mまでしか
供給できない。このことは5iSiC材料からなるより
長い管は個々の管材から構成しなければならないこと、
すなわち個々の管材を互いにろう付けしなければならな
いことを意味する。
供給できない。このことは5iSiC材料からなるより
長い管は個々の管材から構成しなければならないこと、
すなわち個々の管材を互いにろう付けしなければならな
いことを意味する。
個々の管材を結合するのに適した装置は第2図に示され
ている。この場合同じ部分に対しては第1図におけるの
と同じ符号を使用する。この図では長手方向で分割され
た2つの半殻7a、7b間の継ぎ目は図面に対して垂直
に生じ、従ってこれはみることができない。5iSiC
からなる2つの管材3a及び3bは互いに突き合わせて
ろう付けされる。ろう4からなる環は加熱前に、管材3
a、3bの互いに相対する端部間に配置される。必要な
ろう付け温度を得るための加熱素子5はここでは双方の
管端の外部に配設されている。加熱素子5は、管材3a
、3bの長手軸に対しては平行に配置された多数のら旋
状の電熱線を含むものである。半殻7a、7bは、管材
3a、3bの通路が加熱素子5によって加熱される範囲
から十分に、すなわちエラストマーパツキン9のみで十
分であり金属パンキン10は省略し得る程度に離れるよ
うな大きさに構成されている。
ている。この場合同じ部分に対しては第1図におけるの
と同じ符号を使用する。この図では長手方向で分割され
た2つの半殻7a、7b間の継ぎ目は図面に対して垂直
に生じ、従ってこれはみることができない。5iSiC
からなる2つの管材3a及び3bは互いに突き合わせて
ろう付けされる。ろう4からなる環は加熱前に、管材3
a、3bの互いに相対する端部間に配置される。必要な
ろう付け温度を得るための加熱素子5はここでは双方の
管端の外部に配設されている。加熱素子5は、管材3a
、3bの長手軸に対しては平行に配置された多数のら旋
状の電熱線を含むものである。半殻7a、7bは、管材
3a、3bの通路が加熱素子5によって加熱される範囲
から十分に、すなわちエラストマーパツキン9のみで十
分であり金属パンキン10は省略し得る程度に離れるよ
うな大きさに構成されている。
第1図はろう付けにより管仮に管を固定する装置を示す
縦断面図、第2図は2本の管材をろうにより1本の一層
長い管に結合する装置を示す縦断面図である。 1・・・管板 2・・・開口 3・・・熱交換管 4・・・ろう 5・・・加熱素子 5a・・・保持体 6.7・・・外殻 8・・・ねじ 9.10・・・パンキン 11・・・供給管 12・・・排出管 13・・・詰め栓 14・・・加圧装置 15・・・絶縁材 16・・・熱電対 17・・導管
縦断面図、第2図は2本の管材をろうにより1本の一層
長い管に結合する装置を示す縦断面図である。 1・・・管板 2・・・開口 3・・・熱交換管 4・・・ろう 5・・・加熱素子 5a・・・保持体 6.7・・・外殻 8・・・ねじ 9.10・・・パンキン 11・・・供給管 12・・・排出管 13・・・詰め栓 14・・・加圧装置 15・・・絶縁材 16・・・熱電対 17・・導管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)珪素を浸透させた炭化珪素からなる大きな寸法の加
工物(1、3)を結合する方法において、 a)加工物(1、3;3a、3b)を結合箇所の範囲内
でそれぞれ密閉可能の外殻(6、7)によって囲み、 b)個々の外殻(6、7)と加工物(1、3;3a、3
b)との間の空間を真空下に保つ か又は不活性ガスで満たし、 c)ろう(4)を施した結合箇所を局部的にろう付け温
度に加熱する ことを特徴とする炭化珪素からなる大寸法加工物の結合
方法。 2)珪素を浸透させた炭化珪素からなる大きな寸法の加
工物をろうにより結合箇所で結合する請求項1記載の方
法を実施するための装置において、個々の加工物(1、
3;3a、3b)に対して1つの外殻(6、7)が配置
され、これらの外殻は共同して加工物(1、3;3a、
3b)を結合箇所の範囲内で空間の形成下に気密に包囲
し、またこの空間に導管(17)が配設され、この導管
を介して空間を真空状態に保つか又は不活性ガスで満た
すことができ、更にまた結合箇所を局部的にろう付け温
度に加熱することのできる加熱素子(5)が配設されて
いることを特徴とする装置。 3)加熱素子(5)がタングステン、イリジウム又はモ
リブデンからなり、またこれが輻射熱の発生のためにろ
う(4)を有する結合箇所に配設されていることを特徴
とする請求項2記載の装置。 4)外殻(6、7)が冷却装置(11、12)により冷
却可能であることを特徴とする請求項2又は3記載の装
置。 5)外殻(6、7)と加工物(1、3;3a、3b)と
の間に冷却可能のエラストマーからなるパッキン(9)
が配置されていることを特徴とする請求項2ないし4の
1つに記載の装置。 6)外殻(6、7)と加工物(1、3)との間に塑性の
変形可能な金属パッキン(10)が配置されていること
を特徴とする請求項2ないし5の1つに記載の装置。 7)管板(1)の管とは逆の側に気密に接する第1の外
殻(6)が設けられ、管(3)を部分的に包囲しまた管
板(1)の管に対応する側に気密に接する第2の外殻(
7)が設けられることを特徴とする請求項2ないし6の
1つに記載の装置。 8)管(3)の内部の加熱素子(5)が管板(1)の範
囲内に配置されていることを特徴とする請求項7記載の
装置。 9)管(3)がその自由端部を詰め栓(13)で固く閉
鎖されていることを特徴とする請求項7又は8記載の装
置。 10)結合箇所と外殻(6、7)との間の空間内にまた
管(3)の自由端部内にそれぞれ断熱材(15)が配置
されていることを特徴とする請求項7ないし9の1つに
記載の装置。 11)第1及び第2の管材(3a、3b)が気密状態で
通過することのできる第1及び第2の半殻(7a、7b
)を有することを特徴とする請求項2ないし6の1つに
記載の装置。 12)加熱素子(5)が、管材(3a、3b)の長手軸
に対して平行で、これを中心にしてまとめられた多数の
電熱線の形を有することを特徴とする請求項11記載の
装置。 13)半殻(7a、7b)内にまた有利には管材(3a
、3b)内にもそれぞれ1個の断熱材(15)が配置さ
れていることを特徴とする請求項11又は12記載の装
置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3821804A DE3821804A1 (de) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Verfahren zum stoffschluessigen verbinden von werkstuecken grosser abmessungen aus siliciuminfiltriertem siliciumcarbid und vorrichtung zu dessen durchfuehrung |
DE3821804.6 | 1988-06-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0248472A true JPH0248472A (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=6357438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1160582A Pending JPH0248472A (ja) | 1988-06-28 | 1989-06-22 | 炭化珪素からなる大寸法加工物の結合方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4969592A (ja) |
EP (1) | EP0348748A1 (ja) |
JP (1) | JPH0248472A (ja) |
DE (1) | DE3821804A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE58901423D1 (de) * | 1989-01-23 | 1992-06-17 | Siemens Ag | Verfahren zum stoffschluessigen verbinden von werkstuecken grosser abmessungen aus siliciuminfiltriertem siliciumcarbid durch elektrische widerstandsheizung und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens. |
EP0538417B1 (en) * | 1990-07-12 | 1995-01-25 | Lanxide Technology Company, Lp | Joining methods for ceramic composite bodies |
US5417803A (en) * | 1993-09-29 | 1995-05-23 | Intel Corporation | Method for making Si/SiC composite material |
US5683028A (en) * | 1996-05-03 | 1997-11-04 | Cvd, Incorporated | Bonding of silicon carbide components |
US7690553B2 (en) * | 2005-06-07 | 2010-04-06 | University Of Utah Research Foundation | Methods and systems for mitigating residual tensile stresses |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3153716A (en) * | 1961-11-20 | 1964-10-20 | Continental Oil Co | Method for joining certain metals which spontaneously react with atmospheric elements |
US3557440A (en) * | 1964-05-14 | 1971-01-26 | Texas Instruments Inc | Method of making dielectric bodies with selectively formed conductive or metallic portions and composites therewith |
US3377696A (en) * | 1965-07-26 | 1968-04-16 | Gen Electric | Bonding diamond to molybdenum |
US3813759A (en) * | 1971-09-09 | 1974-06-04 | English Electric Co Ltd | Method of brazing |
US3876852A (en) * | 1973-04-25 | 1975-04-08 | Hydro Tech International Inc | Method and apparatus for underwater welding |
SU580963A1 (ru) * | 1975-06-26 | 1977-11-25 | Предприятие П/Я М-5671 | Устройство дл сжати деталей |
DE3003186C2 (de) * | 1980-01-30 | 1983-01-27 | Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen | Anwendung des Diffusionsschweißens zur Verbindung von Bauteilen aus Siliciumverbundwerkstoffen |
US4487644A (en) * | 1981-10-02 | 1984-12-11 | Kernforschungsanlage J/u/ lich | Binderless weld-bonding of preshaped sic-base parts into solid bodies |
DE3608559A1 (de) * | 1986-03-14 | 1987-09-17 | Kernforschungsanlage Juelich | Verfahren zum verbinden von formteilen aus sic mit keramik oder metall und zur oberflaechenbehandlung von sisic sowie eine zum verbinden brauchbare legierung |
US4687892A (en) * | 1986-08-11 | 1987-08-18 | Fmc Corporation | Inert atmosphere control for induction heated pressure welding system |
-
1988
- 1988-06-28 DE DE3821804A patent/DE3821804A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-06-15 EP EP89110899A patent/EP0348748A1/de not_active Withdrawn
- 1989-06-21 US US07/369,612 patent/US4969592A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-06-22 JP JP1160582A patent/JPH0248472A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3821804A1 (de) | 1990-01-04 |
EP0348748A1 (de) | 1990-01-03 |
US4969592A (en) | 1990-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5432927B2 (ja) | パッケージ熱電変換モジュール | |
EP1615274A2 (en) | Thermoelectric conversion module | |
JPH0335812B2 (ja) | ||
US2756374A (en) | Rectifier cell mounting | |
CN103775791A (zh) | 高气密性机电装置壳体 | |
JPH0248472A (ja) | 炭化珪素からなる大寸法加工物の結合方法及び装置 | |
CN111843165B (zh) | 一种金刚石微流道的扩散连接方法 | |
US4514614A (en) | Pressure-differential method for sleeve-to-tube joining | |
JP3552553B2 (ja) | 平面状ヒートパイプ及びその製造方法 | |
US5883361A (en) | Diffusion bonding furnace having a novel press arrangement | |
US3897223A (en) | Nb joined to alumina with Ni-Ti eutectic seal | |
CN214384471U (zh) | 一种应用于铝热路板的封口结构 | |
US3599317A (en) | Method of metals joining | |
CN104625289B (zh) | 铝合金密封结构局部火焰加热超声波钎焊方法 | |
JP2006275188A (ja) | 断熱容器及びその製造方法 | |
US3898054A (en) | Brazed assemblies | |
JP2005337386A (ja) | 真空断熱式二重配管の真空シール施工方法、および、真空断熱式二重配管 | |
JP6077376B2 (ja) | ろう付け方法及びろう付け装置 | |
CN112665442B (zh) | 一种应用于铝热路板的封口结构及封口方法 | |
CN212011595U (zh) | 一种适用平行封焊的无氧铜壳体结构 | |
CN212324396U (zh) | 一种电加热器及采用其的空气加热器 | |
CN116252013A (zh) | 一种行波管散热器用连接方法及系统 | |
US20050035092A1 (en) | Method of making a hybrid housing and hybrid housing | |
JP4746899B2 (ja) | 断熱容器の製造方法 | |
JPH01264139A (ja) | 流動体の循環によって冷却される出力電子管 |