JPH0246856U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0246856U JPH0246856U JP12538288U JP12538288U JPH0246856U JP H0246856 U JPH0246856 U JP H0246856U JP 12538288 U JP12538288 U JP 12538288U JP 12538288 U JP12538288 U JP 12538288U JP H0246856 U JPH0246856 U JP H0246856U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- vacuum container
- arm
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第1図は、本考案に係る真空成膜装置を示す構
成概略図、第2図は、従来の真空成膜装置を示す
構成概略図である。 尚、図中1は真空容器、2はターゲツト、3は
基板ホルダ、31は基板取付面、4は基板、5は
シリンダ、51は伸縮杆、52はアーム、7はピ
ンである。
成概略図、第2図は、従来の真空成膜装置を示す
構成概略図である。 尚、図中1は真空容器、2はターゲツト、3は
基板ホルダ、31は基板取付面、4は基板、5は
シリンダ、51は伸縮杆、52はアーム、7はピ
ンである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空容器の下部にターゲツト材を配置し、同上
部に基板を保持する基板ホルダを、シリンダの伸
縮杆に固定したアームを介して脱着自在に形成し
たものであつて、 前記基板ホルダは、その基板取付面を上向きに
回転できる様に前記アームに軸承させたことを特
徴とする真空成膜装置の基板ホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12538288U JPH0246856U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12538288U JPH0246856U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0246856U true JPH0246856U (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=31375943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12538288U Pending JPH0246856U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0246856U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0585380U (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-19 | 株式会社鈴木製作所 | ミシンの針留め |
-
1988
- 1988-09-26 JP JP12538288U patent/JPH0246856U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0585380U (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-19 | 株式会社鈴木製作所 | ミシンの針留め |