JPH0239165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0239165U JPH0239165U JP11866288U JP11866288U JPH0239165U JP H0239165 U JPH0239165 U JP H0239165U JP 11866288 U JP11866288 U JP 11866288U JP 11866288 U JP11866288 U JP 11866288U JP H0239165 U JPH0239165 U JP H0239165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- curved surface
- flexible member
- acceleration sensor
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
第１図はこの考案による加速度センサーの実施
例を示す概略断面図、第２図は第１図の―線
に沿つて見た断面図、第３図は従来の加速度セン
サーを示す概略断面図である。 １，１１……メインフレーム、２，１２……ケ
ース、３，１３……本体、４，１４……オイル、
５，１５……空所、５ａ，６ｂ……湾曲面、６，
１６……重り、６ａ……テーパ面、７，１７……
ピン、８，１８……ばね板。
例を示す概略断面図、第２図は第１図の―線
に沿つて見た断面図、第３図は従来の加速度セン
サーを示す概略断面図である。 １，１１……メインフレーム、２，１２……ケ
ース、３，１３……本体、４，１４……オイル、
５，１５……空所、５ａ，６ｂ……湾曲面、６，
１６……重り、６ａ……テーパ面、７，１７……
ピン、８，１８……ばね板。
補正 平１．３．８
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
本体３の内部に形成されてオイル４が充填され
た空所５内に、多面体の重り６を可撓性部材８を
介して配設して変位可能と、前記可撓性部材８の
撓み量あるいは前記重り６の変位量で作用した加
速度を検知するようになつた加速度センサーであ
つて、前記空所５を形成する面のうち前記可撓性
部材８が取付けられた面を、前記重り６の変位方
向に湾曲する湾曲面５ａとするとともに、この湾
曲面５ａに対向する前記重り６の面を前記湾曲面
５ａと同一または小さい曲率の湾曲面６ｂとした
ことを特徴とする加速度センサー。
た空所５内に、多面体の重り６を可撓性部材８を
介して配設して変位可能と、前記可撓性部材８の
撓み量あるいは前記重り６の変位量で作用した加
速度を検知するようになつた加速度センサーであ
つて、前記空所５を形成する面のうち前記可撓性
部材８が取付けられた面を、前記重り６の変位方
向に湾曲する湾曲面５ａとするとともに、この湾
曲面５ａに対向する前記重り６の面を前記湾曲面
５ａと同一または小さい曲率の湾曲面６ｂとした
ことを特徴とする加速度センサー。
Claims (1)
- 本体３の内部に形成されてオイル４が充填され
た空所５内に、多面体の重り６を可撓性部材８を
介して配設して変位可能とし、前記可撓性部材８
の撓み量あるいは前記重り６の変位量で作用した
加速度を検知するようになつた加速度センサーで
あつて、前記空所５を形成する面のうち前記可撓
性部材８が取付けられた面を、前記重り６の変位
方向に湾曲する湾曲面５ａとするとともに、この
湾曲面５ａに対向する前記重りの面を、前記湾曲
面５ａと同一の曲率の湾曲面６ｂとし、さらに、
前記可撓性部材８の中央部を湾曲させたことを特
徴とする加速度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11866288U JPH0632625Y2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 加速度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11866288U JPH0632625Y2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 加速度センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0239165U true JPH0239165U (ja) | 1990-03-15 |
| JPH0632625Y2 JPH0632625Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=31363203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11866288U Expired - Lifetime JPH0632625Y2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 加速度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632625Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111863681A (zh) * | 2019-04-26 | 2020-10-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 搬运装置及其应用的搬运系统及搬运系统的预测保养方法 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP11866288U patent/JPH0632625Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111863681A (zh) * | 2019-04-26 | 2020-10-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 搬运装置及其应用的搬运系统及搬运系统的预测保养方法 |
| CN111863681B (zh) * | 2019-04-26 | 2024-05-24 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 搬运装置及其应用的搬运系统及搬运系统的预测保养方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632625Y2 (ja) | 1994-08-24 |