JPH0237648A - 負電荷発生装置 - Google Patents
負電荷発生装置Info
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- JPH0237648A JPH0237648A JP18464388A JP18464388A JPH0237648A JP H0237648 A JPH0237648 A JP H0237648A JP 18464388 A JP18464388 A JP 18464388A JP 18464388 A JP18464388 A JP 18464388A JP H0237648 A JPH0237648 A JP H0237648A
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- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 13
- -1 copper cations Chemical class 0.000 abstract description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 11
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、アーク放電を利用して負電荷を発生させる
負電荷発生装置に関するものである。
負電荷発生装置に関するものである。
第4図は例えば[応用物理論文誌、61巻。
411.5000−5011頁、1987年6月1日発
行(J、Appl、Phys、、Vol、61 、 p
p5000−5011 、 IJune 1987 )
Jに示された従来の負電荷発生装置の構成図であり、内
部にセシウムの入ったセシウムリザーバ(1)を中心に
して左右対称位置には第1および第2のホロー陰極(2
) 、 (31が設けられている。
行(J、Appl、Phys、、Vol、61 、 p
p5000−5011 、 IJune 1987 )
Jに示された従来の負電荷発生装置の構成図であり、内
部にセシウムの入ったセシウムリザーバ(1)を中心に
して左右対称位置には第1および第2のホロー陰極(2
) 、 (31が設けられている。
真空容器(図示せず)内のこの第1のホロー陰極(2)
と第2のホロー陰極(3)との間には全体形状がUの字
形状をしたコイル(4)が設けられている。コイル(4
)の中央部にはセシウムリザーバ(1)と連通しており
電荷交換を行なうだめのコンバータ(5)が設けられて
いる。この円板状をしたコンバータ(5)には対面して
円板状の陽極(6)が設けられている。この陽極(6)
はその中央部の孔(6a)から負電荷検知器(7)の内
部と通じるようになっている。また、第1のホロー陰極
(2)に対向しており先端部がコイル(4)内に臨んで
イグニッション電極(8)が設ケラれている。
と第2のホロー陰極(3)との間には全体形状がUの字
形状をしたコイル(4)が設けられている。コイル(4
)の中央部にはセシウムリザーバ(1)と連通しており
電荷交換を行なうだめのコンバータ(5)が設けられて
いる。この円板状をしたコンバータ(5)には対面して
円板状の陽極(6)が設けられている。この陽極(6)
はその中央部の孔(6a)から負電荷検知器(7)の内
部と通じるようになっている。また、第1のホロー陰極
(2)に対向しており先端部がコイル(4)内に臨んで
イグニッション電極(8)が設ケラれている。
次K、上記構成の動作について説明する。まず、第1の
ホロー陰極(2)と点線で示したイグニッション電極(
8)との間に発生した放電は、実線で示した位置までイ
グニッション電極(8)を引き下げられることにより引
き伸ばされる結果、第1のホロー陰極(2)と陽極(6
)との間にはアーク放電が発生する。
ホロー陰極(2)と点線で示したイグニッション電極(
8)との間に発生した放電は、実線で示した位置までイ
グニッション電極(8)を引き下げられることにより引
き伸ばされる結果、第1のホロー陰極(2)と陽極(6
)との間にはアーク放電が発生する。
また、第2のホロー陰極(3)と陽極(6)との間に:
もアーク放電が発生し、第1のホロー陰極(2)と第2
のホロー陰極(3)との間にはU字形をしてアーク放電
が形成される。
もアーク放電が発生し、第1のホロー陰極(2)と第2
のホロー陰極(3)との間にはU字形をしてアーク放電
が形成される。
この後、セシウムリザーバ(1)を加熱することにより
セシウムリザーバ(1)内のセシウムは蒸発し、そのセ
シウム蒸気はコンバータ(5)に形成された孔(図示せ
ず)から放出され、コンバータ(5)の表面はセシウム
蒸気で覆わtする。そして、負にノくイアスされたコン
バータ(5)に水素陽イオンが衝突し。
セシウムリザーバ(1)内のセシウムは蒸発し、そのセ
シウム蒸気はコンバータ(5)に形成された孔(図示せ
ず)から放出され、コンバータ(5)の表面はセシウム
蒸気で覆わtする。そして、負にノくイアスされたコン
バータ(5)に水素陽イオンが衝突し。
またコンバータ(5)の表面に吸着されていた水素原子
に水素陽イオンやセシウム陽イオンが衝突する際、水素
陽イオンや水素原子はコンバータ(5)の表面でセシウ
ム蒸気と電荷交換を行なって水素隘イオンとなる。この
水素陰イオンは陽極(6)の孔(6a)を通して負電荷
検知器(7)に導かれ、そこで検知される。
に水素陽イオンやセシウム陽イオンが衝突する際、水素
陽イオンや水素原子はコンバータ(5)の表面でセシウ
ム蒸気と電荷交換を行なって水素隘イオンとなる。この
水素陰イオンは陽極(6)の孔(6a)を通して負電荷
検知器(7)に導かれ、そこで検知される。
〔発明が解決しようとする課題]
従来の負電荷発生装置は以上のように構成されているの
で、コンバータ(5)やセシウムリザーバ(1)を備え
、またセシウムを蒸発させるためのヒータを使用しなけ
れはならず構造が複雑となり、また発生する負電荷は水
素やアルゴン等の気体に限られるなどの問題点があった
。
で、コンバータ(5)やセシウムリザーバ(1)を備え
、またセシウムを蒸発させるためのヒータを使用しなけ
れはならず構造が複雑となり、また発生する負電荷は水
素やアルゴン等の気体に限られるなどの問題点があった
。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、コンバータやセシウムリザーバが不要で簡
単な構成で負電荷を発生できるとともに、金属の負電荷
を発生できる負電荷発生装置を得ることを目的とする。
れたもので、コンバータやセシウムリザーバが不要で簡
単な構成で負電荷を発生できるとともに、金属の負電荷
を発生できる負電荷発生装置を得ることを目的とする。
この発明に係る負電荷発生装置は、真空容器内に対向し
て設けられた陰極および陽極と、この陽極および前記陰
極と接続され陽極と陰極との間にレーザ光により生じた
アークから収縮アークを生じさせるアーク電源とを備え
たものである。
て設けられた陰極および陽極と、この陽極および前記陰
極と接続され陽極と陰極との間にレーザ光により生じた
アークから収縮アークを生じさせるアーク電源とを備え
たものである。
この発明においては、陽極と陰極との間にし〜ザ光によ
り生じたアークから収縮アークを生じさせることにより
、アーク空間内には陽極、陰極からの負電荷が発生する
。
り生じたアークから収縮アークを生じさせることにより
、アーク空間内には陽極、陰極からの負電荷が発生する
。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第1図および第2図はこの発明の一実施例を示すもので
、箱状の真空容器(10)に絶縁支持部(11)で支持
された一対の導電部材(12)、(15)が設けられ、
導電部材(12”l 、(15)の先端に銅製の陰極(
14)と陽極(16)とが対向して取り付けられている
。また、真空容器(10)には、その外部に固定したレ
ーザ発生器(17)から放射されるレーザ光を真空容器
(10)の内部に導入するためにレーザ光の透過窓(1
8)が設けられている。
、箱状の真空容器(10)に絶縁支持部(11)で支持
された一対の導電部材(12)、(15)が設けられ、
導電部材(12”l 、(15)の先端に銅製の陰極(
14)と陽極(16)とが対向して取り付けられている
。また、真空容器(10)には、その外部に固定したレ
ーザ発生器(17)から放射されるレーザ光を真空容器
(10)の内部に導入するためにレーザ光の透過窓(1
8)が設けられている。
真空容器(10)内圧はアーク空間に生じた負電荷を引
き出すためのグリッド(13)が設けられている。グリ
ッド(13)はグリッド(13)Kバイアス電圧を印加
するためのバイアス電源(20)と接続されている。真
空容器(10)の周囲には陰極(14)とグリッド(1
9)との間に磁界を生じさせ負電荷を収束させるコイル
(21)が設けられている。真q容器(10)のグリッ
ド(19)と対向した911+壁面には負電荷を蓄積す
るため凹状のTi積部(22)が形成されている。
き出すためのグリッド(13)が設けられている。グリ
ッド(13)はグリッド(13)Kバイアス電圧を印加
するためのバイアス電源(20)と接続されている。真
空容器(10)の周囲には陰極(14)とグリッド(1
9)との間に磁界を生じさせ負電荷を収束させるコイル
(21)が設けられている。真q容器(10)のグリッ
ド(19)と対向した911+壁面には負電荷を蓄積す
るため凹状のTi積部(22)が形成されている。
以下、上記実施例の動作について説明する。まず、レー
ザ発生器(17)でV−ザ光を発振させ、レンズ(19
)を用いて陰極(14)の表面にレーザ光を集光するこ
とにより、陰極(14)の付近に放電を生じさせる。す
ると、この放@により陽極(16)とKfik (14
)との開にはアーク放電が生じる。そして、陰極(14
)および陽極(16)と接続されたアーク電源(23)
から供給されるアーク電流が小さいとき(一般に拡散ア
ークと呼ばれる。)は陽極(16)、陰極(14)の銅
の負電荷がアーク空間に発生しない。
ザ発生器(17)でV−ザ光を発振させ、レンズ(19
)を用いて陰極(14)の表面にレーザ光を集光するこ
とにより、陰極(14)の付近に放電を生じさせる。す
ると、この放@により陽極(16)とKfik (14
)との開にはアーク放電が生じる。そして、陰極(14
)および陽極(16)と接続されたアーク電源(23)
から供給されるアーク電流が小さいとき(一般に拡散ア
ークと呼ばれる。)は陽極(16)、陰極(14)の銅
の負電荷がアーク空間に発生しない。
しかしながら、発明者等の研究により、アーク電流が十
分に大きくなり陽極(16)から放射される陽極(16
)の銅蒸気や銅陽イオンの量が陰極(14)から放射さ
れる陰極(14)の銅蒸気や銅陰イオンの量よりも多く
なる(この形態のアークは一般に収縮アークと呼ばれる
。)とアーク空間に負電荷である銅陰イオンが発生する
ことが解った。
分に大きくなり陽極(16)から放射される陽極(16
)の銅蒸気や銅陽イオンの量が陰極(14)から放射さ
れる陰極(14)の銅蒸気や銅陰イオンの量よりも多く
なる(この形態のアークは一般に収縮アークと呼ばれる
。)とアーク空間に負電荷である銅陰イオンが発生する
ことが解った。
例えば、陽極(16)、陰極(14)に外径20mの銅
を使用し、陽極(16)と陰極(14)とのギャップ長
を4uにしてアーク電流として10〜20KAの電流を
供給することにより、アーク空間には負゛直荷である@
隘イオンが発生した。こうして、陽極(16)と陰極(
14)との間に発生した負電荷は陰極(14)とグリッ
ド(13)との間に哄他(14)に対してグリッド(1
3)が正になるようにグリッド(13)にバイアス電圧
を印加することにより、アーク空間から容易((負電荷
を取り出すことができる。そして、取り出された負電荷
はグリッド(13)を通過して蓄積部(22)に蓄積さ
れる。
を使用し、陽極(16)と陰極(14)とのギャップ長
を4uにしてアーク電流として10〜20KAの電流を
供給することにより、アーク空間には負゛直荷である@
隘イオンが発生した。こうして、陽極(16)と陰極(
14)との間に発生した負電荷は陰極(14)とグリッ
ド(13)との間に哄他(14)に対してグリッド(1
3)が正になるようにグリッド(13)にバイアス電圧
を印加することにより、アーク空間から容易((負電荷
を取り出すことができる。そして、取り出された負電荷
はグリッド(13)を通過して蓄積部(22)に蓄積さ
れる。
なS、上記実施例ではレーザ光を陰極(14)の表面に
集光したものを示したが、陽極(16)の表面にレーザ
光を集光してもよ−・。また、第3図に示すようにV−
ザ光の透過窓(18)を陰極(14)と対向して配置す
るとともに陽極(16)を陰極(14)に対してグリッ
ド(13)に対向するように唄けて配置してもよい。ま
た、上記実施例では電極の金属の負イオンを生じさせる
場合九ついて説明したが、あらかじめ電極にガスを吸蔵
させておきて、電極の金属の負イオンとともにガスの負
イオンを発生させることもできる。
集光したものを示したが、陽極(16)の表面にレーザ
光を集光してもよ−・。また、第3図に示すようにV−
ザ光の透過窓(18)を陰極(14)と対向して配置す
るとともに陽極(16)を陰極(14)に対してグリッ
ド(13)に対向するように唄けて配置してもよい。ま
た、上記実施例では電極の金属の負イオンを生じさせる
場合九ついて説明したが、あらかじめ電極にガスを吸蔵
させておきて、電極の金属の負イオンとともにガスの負
イオンを発生させることもできる。
以上説明したように、この発明の負電荷発生装置は、陽
極と陰極との間にレーザ光により生じたアークからアー
ク電源を用いて収縮アークを生じさせるという簡単な構
成により、アーク空間に陽極、陰極からの負電荷を発生
させることができるという効果がある。
極と陰極との間にレーザ光により生じたアークからアー
ク電源を用いて収縮アークを生じさせるという簡単な構
成により、アーク空間に陽極、陰極からの負電荷を発生
させることができるという効果がある。
第1図はこの発明の一実施例である負電荷発生装置の構
成図、第2図は第1図の負電荷発生装置の回路図、第3
図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第4図は従来
の負電荷発生装置の一例を示す構成図である。 (10)・・真空容器、(14)・・陰極、(16)・
・陽極、(17)・・レーザ発生器、(23)・・アー
ク電源。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 元30 兜4ノ
成図、第2図は第1図の負電荷発生装置の回路図、第3
図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第4図は従来
の負電荷発生装置の一例を示す構成図である。 (10)・・真空容器、(14)・・陰極、(16)・
・陽極、(17)・・レーザ発生器、(23)・・アー
ク電源。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 元30 兜4ノ
Claims (1)
- (1)真空容器内に対向して設けられた陰極および陽極
と、この陽極および前記陰極と接続され陽極と陰極との
間にレーザ光により生じたアークから収縮アークを生じ
させ、陽極と陰極との間のアーク空間に陽極、陽極から
の負電荷を生じさせるアーク電源とを備えたことを特徴
とする負電荷発生装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18464388A JP2618006B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 負電荷発生装置 |
US07/279,801 US4924102A (en) | 1987-12-25 | 1988-12-05 | Apparatus for generating negatively charged species |
DE3843334A DE3843334C2 (de) | 1987-12-25 | 1988-12-22 | Einrichtung zur Erzeugung von negativ geladenen Ionen |
DK720388A DK720388A (da) | 1987-12-25 | 1988-12-23 | Apparat til generering af negativt ladede komponenter |
NL8803157A NL192649C (nl) | 1987-12-25 | 1988-12-23 | Inrichting voor het genereren van negatief geladen ionen. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18464388A JP2618006B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 負電荷発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0237648A true JPH0237648A (ja) | 1990-02-07 |
JP2618006B2 JP2618006B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=16156822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18464388A Expired - Lifetime JP2618006B2 (ja) | 1987-12-25 | 1988-07-26 | 負電荷発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2618006B2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP18464388A patent/JP2618006B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2618006B2 (ja) | 1997-06-11 |
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