JPH0236655Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、加工対象のワークなどを正確に上下
動するための機構に関する。

従来技術 例えばインライン型のトランスフア装置のう
ち、歩み送り方式のものでは、搬送対象のワーク
を持ち上げた状態で移動させるために、上下方向
のストロークが必要となる。ところが、ステーシ
ヨンでの作業が、例えばウエハーの厚さを測定す
るための測定ステーシヨンであると、そのステー
シヨンの上下位置に測定用のプローブが存在する
ため、上下方向のストロークは、あまり大きく採
れず、しかも正確に規制されなければならない。

一方、必要なストロークは、ウエハーの搬送時
に、上下の測定用プローブを後退させることによ
つて、確保できる。しかし、そのような手段によ
ると、測定用プローブの進退可能な支持手段が複
雑になり、またそのプローブ後退完了を待つて、
ウエハーの搬送が行われるため、搬送時間が長く
なり、制御の面でも複雑になる。特に、計測器を
動かすことは、精密測定の障害となる。

考案の目的およびその解決手段 したがつて、本考案の目的は、狭い搬送空間
で、少量の搬送高さを正確に設定できるように
し、しかもその高さの位置決め量を簡単に調整で
きるようにすることである。

そこで、本考案は、基体上に２つのリンク機構
によつて、本体を水平な状態で、しかも上下動自
在に支持し、これらのリンク機構の屈曲角度をモ
ータおよび送りねじユニツトにより変化させ、こ
れによつて上記本体の高さを水平な状態のまま正
確に調整できるようにしている。ここで、上記リ
ンク機構は、送りねじユニツトのナツト側のスラ
イダーに対し、逆ねじ部を有する伸縮手段によつ
て連結されているため、本体の高さは、上記伸縮
手段の有効長さを調整することによつて、簡単
に、しかも正確に設定できる。

実施例の構成 以下、本考案の実施例を図面に基づいて具体的
に説明する。

本考案の上下動機構１は、基体２に対し本体３
を上下動自在に支持するために、２組のリンク機
構４を備えている。これらのリンク機構４は、基
体２の左右端に配置され、連結部としての中点ピ
ン７により互いに回動可能に連結された２つのＨ
状のリンク５，６を備えており、一方のリンク５
の端部つまりリンク機構４の一端は、連結ピン８
によつて本体３の受け部に対し回動自在に連結さ
れており、また他方のリンク６の端部つまりリン
ク機構４の他端は、連結ピン９によつて基体２の
受け部に対して回動自在に連結されている。もち
ろん、これらの中点ピン７および連結ピン８，９
は、互いに平行な状態となつている。

一方、上記基体２は、そのほぼ中間部分の上面
で、支持枠１０によつて垂直方向の一対の案内ロ
ツド１１を固定しており、また、それらの中間部
分で、垂直方向のねじ軸１２をベアリングにより
回転自在に支持している。上記一対の案内ロツド
１１は、スライダー１３を上下動自在に保持して
おり、また、上記ねじ軸１２は、スライダー１３
に回り止め状態で取り付けられたナツト１４と螺
合している。なお上記ねじ軸１２は、上下動用の
モータ１５によつていずれかの方向に駆動され
る。すなわちこのモータ１５は、支持枠１０に取
り付けられたブラケツト１６によつて支持されて
おり、タイミングプーリ１７、およびタイミング
ベルト１８により、上記ねじ軸１２をいずれかの
方向に回転させる。そして、スライダー１３の上
下位置は、スライダー１３に取り付けられた２つ
のドグ１９と、支持枠１０に取り付けられた対応
の光センサー２０によつて検出される。

また、上記スライダー１３は、伸縮手段２１に
よつて、中点ピン７に連結されている。この伸縮
手段２１は、中点ピン７に回動自在に連結された
中介軸２２、スライダー１３の連結軸２３に連結
された中介軸２４、およびこれらのねじ部２５，
２６をねじ対隅のもとに連結する調節ナツト２７
によつて構成されている。ここで上記ねじ部２
５，２６は、互いに逆ねじとなつている。

一方、上記本体３は、水平方向の複数の軸２８
によつて支えられたプーリ２９、および前記連結
ピン８に支えられた下方の補助的なプーリ３１お
よび駆動側のプーリ３２によつて２列の搬送ベル
ト３０を上方の張り側で水平な状態として支持し
ている。これらの搬送ベルト３０は、例えば２つ
の計測器３３の溝３３ａの内部に臨んでいる。な
お上記搬送ベルト３０は、２つの計測器３３の間
で、補助的なプーリ２９ａによつて支持されてい
る。

そして、上記駆動側のプーリ３２は、ブラケツ
ト３５に固定された軸４０によつて支持されてお
り、搬送用のモータ３４によつて駆動される。こ
のモータ３４は、本体３の側面でブラケツト３５
によつて支持されており、その出力軸のギヤ３６
により、プーリ３２の側面に取り付けられたギヤ
３７に噛み合つている。

なおこのモータ３４が本体３の一端に取り付け
られている関係から、基体２および本体３の他端
部分にバランス用の引きスプリング３８が取り付
けられている。

考案の作用 次に、上記上下動機構１の作用を説明する。

左右のリンク機構４は、例えば外側の方向に屈
曲している。この状態で、上下動用のモータ１５
が回転すると、ねじ軸１２は、モータ１５の回転
方向にしたがつて、スライダーー１３を上方、ま
たは下方に移動させる。このときのスライダー１
３の上下方向の移動は、伸縮手段２１によつて、
リンク機構４の屈曲角度を変化させる運動として
伝達される。リンク機構４が直線となる方向に変
位したとき、本体３は、上方に移動し、また逆に
リンク機構４が鋭角に屈曲する方向に変位したと
き、本体３は下降することになる。このリンク機
構４は、本体３を常に平行移動させるため、搬送
ベルト３０は常に計測器３３の上面で平行移動す
ることになる。なお、左右のリンク６は、常に対
称的な動きのみするが、他のリンク５は、バラン
スによつて、非対称に動く。このため、本体３
は、基体２に対して垂直方向にのみ動くように拘
束されている。その拘束は、例えば案内ロツド１
１を延長するか、または支持枠１０に別の案内ロ
ツドを立て、本体３の滑り孔に滑り対偶で貫通さ
せることによつて実現できる。

一方、搬送用のモータ３４は、その回転をギヤ
３６，３７によつて減速しながら搬送ベルト３０
に伝達し、その上側の部分を搬送方向に移動させ
ている。

したがつて、本体３が上昇位置にあるとき、搬
送ベルト３０の上にウエハーなどのワーク３９が
供給されると、そのワーク３９は搬送ベルト３０
の上に乗り、計測器３３の上を移動することにな
る。搬送過程でこのワーク３９は、図示しないセ
ンサーなどによつて検出され、搬送ベルト３０の
移動を止めることによつて、所定の計測器３３の
位置に送り込まれ、そこで停止する。この状態
で、ねじ軸１２を下降方向に回転させると、本体
３が下降するため、搬送ベルト３０の上のワーク
３９は、搬送ベルト３０の上から、計測器３３の
測定位置に乗り移る。このとき、搬送ベルト３０
は、溝３３ａの内部に沈み込む。

このような動作を繰り返すことによつて、複数
のワーク３９が順次計測器３３の位置に案内され
測定されていく。このとき、本体３の上下方向の
移動量は、搬送用のモータ３４の回転量を設定す
ることによつて、正確に規制できる。

ここで左右の伸縮手段２１は、スライダー１３
の上下運動をリンク機構４に伝達する働きをして
いるが、その伸縮手段２１の有効長さは本体３の
平行度を調節したり、あるいは本体２の上下方向
のストロークを調整し、また高い位置決め精度を
確保するのにも有効である。したがつて、上下の
高さや平行度は、調節ナツト２７を回転させるこ
とによつて、正確に調整できる。

考案の変形例 上記実施例は、上下動機構１を計測のための搬
送用として示されているが、この上下動機構１
は、一般のトランスフアー装置で、微少量の上下
運動を与える場合にも用いられる。またこの実施
例でのバランス用のスプリング３８は、他のバラ
ンス手段、例えば重りなどで構成することもでき
る。もつとも、搬送用のモータ３４がほぼ中心位
置に取り付けられておれば、そのバランス手段
は、必要とされない。

またこの上下動機構１は、搬送手段の上下駆動
機構として最適であるが、搬送手段と組み合わせ
ないで、単なる上下動機構として用いることもで
きる。

考案の効果 本考案では、下記の特有の効果が得られる。

スライダーの上下方向の移動量がねじ軸の回転
によつて正確に規制され、さらにそのスライダー
の運動が中介軸およびリンク機構（トグル機構）
によつて縮少されながら上下方向の変位として伝
達されるため、基体の上下方向の変位量が微少範
囲で、しかも正確に設定できる。

また、上記中介軸の中間に逆ねじ機構による伸
縮手段が介在しているため、本体の水平度および
上下方向の変位量が微調整によつて正確にしかも
簡単に設定できる。

さらに、本体が基体に対し、リンク機構によつ
て上下動自在に支持されているため、その動きが
軽快であり、摺動案内などの機構に比較して摩耗
部分がなく、安定な動作が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の上下動機構の平面図、第２図
は一部破断側面図、第３図はリンク機構の一部破
断正面図、第４図はねじ軸の部分の断面図、第５
図はプーリの支持部分の断面図である。 １……上下動機構、２……基体、３……本体、
４……リンク機構、７……中点ピン、１１……案
内ロツド、１２……ねじ軸、１３……スライダ
ー、１４……ナツト、１５……上下動用のモー
タ、２１……伸縮手段、２２，２４……中介軸、
２５，２６……ねじ部、３０……搬送ベルト、３
４……搬送用のモータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ２つのリンクを互いに回動可能に連結部により
   連結するリンク機構と、このリンク機構を２組備
   えると共にこの２組のリンク機構の各リンク機構
   の一端と連結する基体と、上記２組のリンク機構
   の各リンク機構の他端と連結し上記基体に上下動
   自在に支持された本体と、上記２組のリンク機構
   の間に位置しねじ軸で上下動するスライダーと、
   上記２組のリンク機構の各リンク機構の上記連結
   部と上記スライダーとをリンク機構毎に結ぶ中介
   軸と、この中介軸の中間に両端が逆ねじで螺合し
   た逆ねじ部を設けた伸縮手段と、上記ねじ軸の回
   転駆動手段とからなることを特徴とする上下動機
   構。