JPH023463B2 - - Google Patents

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JPH023463B2
JPH023463B2 JP56200950A JP20095081A JPH023463B2 JP H023463 B2 JPH023463 B2 JP H023463B2 JP 56200950 A JP56200950 A JP 56200950A JP 20095081 A JP20095081 A JP 20095081A JP H023463 B2 JPH023463 B2 JP H023463B2
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JP
Japan
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gas
voltage
circuit
alarm
resistance
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JP56200950A
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JPS58102141A (ja
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Hideaki Hiraki
Masaki Katsura
Masayuki Shiratori
Osamu Takigawa
Norisuke Fukuda
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野) この発明はガス選択性の高いガス検出器、警報
器の検出回路に関する。 (従来技術とその問題点) 金属酸化物半導体は被検ガスに接触するとその
抵抗値が変化する。これを利用したガス検出素子
及びガス検出器等は従来から数多く提案されてい
る。例えば、第1図に示す如き回路が一般に用い
られている。この回路ではガス検出素子1と固定
抵抗2、電源3が直列に接続されれ、ガス検出素
子の抵抗が変化すると前記固定抵抗の両端の電圧
が変化するのを利用してガスの検出を行う。従つ
てこの検出器のガス選択性は、ガス検出素子の選
択性と同一になる。一般に金属酸化物半導体を用
いたガス検出素子は動作温度、半導体材料、添加
物、触媒によつてガス選択性が変化するが、一般
に各種還元性ガスに対しては、大きな選択性を得
る事は難しく、従つて検出器自身のガス選択性も
充分とは言えなかつた。これを改良し、検出器の
ガス選択性を向上させるために第2図に示される
如きブリツジ回路が使用される。この場合第2図
に示す如き測定回路が用いられ、検知素子4と参
照素子5が共通に低抗変化を起こすガスに対して
は出力が低く、一方の素子のみが応答すると高い
出力が出ることにより前述の検知回路に比べて選
択性を向上させることが出来る。第2図の回路の
場合、2つの検出素子の抵抗変化の差が出力電圧
として現れる。しかし乍らこの方法も次のような
弱点をもつ。一般に酸化物を用いた半導体の抵抗
値変化はガス濃度に対し非直線的に変化する。一
例として第3図にn型酸化物半導体を用いた検出
素子に還元性ガスを接触させた場合のガス濃度と
素子抵抗の関係を示す。同図に示した如く、ガス
濃度が小さいときは低抗変化は急であるがガス濃
度が高くなるにつれ傾きはゆるやかになる。この
傾向は2種類以上の混合ガスについても同様であ
る。また還元性雑ガス中に被検ガスを導入した場
合、空気中で同一量の被検ガスを導入した場合に
比べて検出素子の抵抗変化は小さい。すなわち雰
囲気中の還元性雑ガスの濃度が高まるにつれ、素
子の一定量被検ガスに対する抵抗変化は小さくな
る。半導体ガス検知素子はこのようなガス濃度特
性をもつので、単に選択性の異る2個の検知素子
を組合せたのみでは問題を生ずる。例えば空気雰
囲気中の還元性ガスを検出する場合を考えると、
検出素子4、参照素子5をブリツジに組し込み、
空気中で固定抵抗を調節してブリツジ出力電圧を
適当な値(多くの場合OV)に設定する。このブ
リツジ出力端子を適当な警報回路に接続し、一定
濃度の被検ガスを同時に2つの素子に接触させ、
そのときの出力電圧で警報回路が作動するように
調節する。このような構成をとる検出、警報回路
に雑ガスが接した場合、2つの素子は同様な抵抗
変化を示すので誤解には至らないが、雑ガス濃度
が高い雰囲気中で被検ガスが警報に値する濃度に
達しても、検知素子側が前述の如き還元性ガス濃
度が高いと抵抗変化率が小さくなる特性のため警
報を出すに至らない。この状態で警報を出すには
更に多量の被検ガスが接触しなくてはならず場合
により大変危険な状態になる。また逆にはじめ被
検ガスが規定濃度以上存在し、警報を発している
状態に雑ガスが導入されると、参照素子も抵抗変
化を起こすためブリツジ出力が低下し、被検ガス
が規定以上存在するにもかかわらず警報が停止す
るといつた難点がある。また逆にはじめ被検ガス
が規定濃度以上存在し、警報を発している状態に
雑ガスが導入されると、参照素子も抵抗変化を起
こすため、ブリツジ出力が低下し、被検ガスが規
定以上存在するにもかかわらず警報が停止すると
いつた難点がある。 以上のような雑ガスによる誤報とともにガス濃
度が高い領域では抵抗値のガス濃度変が小さい事
により別な問導を生ずる。通常第1図の如き回路
は検出素子が第3図の如き特性を有するため、そ
の出力電圧は第4図の如き電圧−ガス濃度の関係
になる。 このように出力電圧においてもガス濃度−出力
電圧の関係は高ガス濃度において飽和する傾向を
もち、この事情は残ガスについも同様である。 従つて第4図の如き特性の検出素子は例えば雑
ガス200ppm存在する雰囲気下において第5図の
点線aで示して出力が得られこれに被検ガスを導
入しても被検ガス導入に伴う出力電圧変化は実線
bに示す如くきわめて小さい。このため例えば警
報設定レベルを第5図の点線cの如き位置に設定
する場合、被検ガスの検出精度を高くするために
はきわめて高精度な回路を用いなくてはならず、
また現実の警報器の場合、環境温度、電源電圧の
変動を考えると実用的には現実性を失う。また通
常は電源その他からの電気的雑音があるため、信
号出力レベルが小さいと雑音誤動作の原因となり
易い欠点がある事は知られている。 以上の例ではn型半導体を例にとり還元性ガス
と接触した例について述べたがp型でも同様のこ
とが言え、さらにこれらの如き吸着現象を用いる
半導体ガスセンサでは酸化性ガスに同様の現象が
ある。 (発明の目的) 本発明は上記の事情に鑑み、雑ガス共存下に於
ても被検ガスに接触した場合、確実に警報し、雑
ガスの影響では誤報を発しない信頼性の高いガス
検出回路を提供する事を目的とする。 (発明の概要) 本発明では被検ガスと雑ガスに対して感度を有
する検出素子と被検ガスには事実上感度を有せ
ず、雑ガスにのみ感度を有する参照用素子とを用
い、これらを直接ブリツヂ回路を用いず、参照素
子の出力によつて検知素子の出力抵抗を切りか
え、これに対応した警報レベル設定を行い、雑ガ
スの有無にかかわらず誤報がない、精度の高いガ
ス検出回路が得られる。 以下の説明では簡単のため検知素子、参照素子
ともにn型半導体を用いたものとし、被検ガス、
雑ガスは主として還元性ガスであるとして行う
が、半導体がp型であつても抵抗変化の方向が異
るのみで同様な取扱いが可能である。 また酸化性ガスが対象である場合も同様な取扱
いが可能である。 本発明では雰囲気中の雑ガスを参照素子で測定
し、その抵抗変化を電圧出力に変換し、その電圧
出力に応じて複数個設けられた警報レベル回路
と、検知素子の抵抗・電圧変換回路に複数個設け
られた固定抵抗の各々対応する組合せを自動的に
選定して被検ガスを確実に高精度に検出すること
を特徴とする。 すなわち、本発明は次の2つの特徴をもつ。第
1に前述の如き、特性を有する検知素子と参照素
子を用いて、参照素子が雑ガスに応動する程度に
応じて検知素子の出力を比較する基準電圧(警報
しきい値電圧)を後で述べる如く変化させるこ
と、第2に参照素子で測定された雑ガスレベルに
応じて、検出素子の抵抗電圧変換回路における固
定抵抗、すなわち読み取り抵抗を変えると共に、
これに対応した警報レベルと設定回路を自動的に
切りかえる第1の電圧比較回路を具備した事が特
徴である。 以下簡単のため、上述の二つの点について別々
に説明する。 上述の特徴第一点について、すなわち参照素子
の出力により警報設定レベルを変化させる事を説
明するため、第6図を用いる。つまり第6図は本
発明のブロツクダイヤグラムのうちの一部であ
り、単一の警報レベル設定回路を用いて警報しき
い値電圧を調整する動作を説明する。 以下の説明では簡単のため検知素子、参照素子
ともにn型半導体を用いたものとし、被検ガス、
雑ガスは主として還元性ガスであるとして行う
が、半導体がp型であつても抵抗変化の方向が異
るのみで同様な取扱いが可能である。 また酸化性ガスが対象である場合も同様な取扱
いが可能である。 本発明では雰囲気中の雑ガスを参照素子8で測
定し、その抵抗変化を電圧出力に変換し、警報レ
ベル設定回路10に入力し、この警報レベル設定
回路10では後記する如く入力電圧に応じた出力
を出し、電圧比較回路11に入れる。この警報レ
ベル設定回路10の出力電圧が、警報しきい値と
なる。 電圧比較回路11は上述の警報しきい値電圧と
検知素子6から電圧に変換された入力を比較し、
検知素子6からの信号入力が、前の警報しきい値
電圧を起えたとき、警報回路12を駆動し警報を
出す。なお第4図中7と9は抵抗・電圧変換回路
を示す。この場合検知素子も参照素子も雑ガスの
みには同様に応動して抵抗変化するので第1図の
如き回路で測定すると第7図の曲線dの如き特性
となる。このような素子に一定量の被検ガスを導
入すると検知素子は曲線eの如き特性を示す。従
つて曲線dと曲線eの差の電圧が、被検ガスによ
る信号であるが、同図で見られる如く、被検ガス
量は一定でも雑ガスの多少により曲線dと曲線e
との差の電圧は大きく異る。 従来例では雑ガス濃度Oのときに被検ガスのあ
る出力値C(警報しきい値電圧)で警報設定を行
う。すなわち参照素子の出力にBC間に相当する
電圧を単に加えて雑ガス時の設定を行つていたた
め、曲線fで示す如く、設定値が曲線aで示す検
知素子の出力を上まわつてしまう。本発明ではこ
の点を改良し、警報レベル設定回路の出力(警報
しきい値電圧)を参照素子の出力電圧を基準とし
て曲線gの如く変化させる事により、雑ガス濃度
の変化に起因した誤動作を防ぐことができる。 すなわち、検出素子を警報を出すべき濃度の被
検ガス中に設置し、これに徐々に雑ガスを導入し
て、第1図の如き回路を用いて第7図のeに示し
た如き曲線を得る。 次に測定槽中の参照素子を第6図の9,10に
接続し、徐々に雑ガスのみを導入して第7図にd
の如き曲線を得る。このとき各雑ガス濃度におい
て、第6図10中の可変抵抗などを調節して10
の増幅器のその雑ガス濃度に於ける利得を調整
し、その雑ガス濃度近傍に於て、10の出力勾配
が、同じ雑ガス濃度時の第7図eの直線の勾配に
等しくなるべく設定し、さらにその雑ガス濃度に
おける10の出力が第7図eの同じ雑ガスレベル
における動作点と一致するべく直流バイアスを加
える。 この操作を必要な各雑ガスレベルに於て順次く
り返し、雑ガスのみによる第6図10の出力が第
7図eの曲線と一致するべく調整を行う。 次に本発明の前述の第2の特徴点について説明
する。 上述の如き回路により警報器の被検ガスに対す
る警報濃度を雑ガスにかかわらず一定にする事が
できるが、前述の如く雑ガス濃度が高い場合、例
えば第5図の曲線bの線の如く、被検ガスの増減
に対し、出力電圧の変化量は小さくなる。 第5図に見られる如く、雑ガスが多い場合には
被検ガスの増減に伴う検知素子の出力電圧の変化
が小さくなり、先に述べた如く、警報レベル設定
が困難になる。従つてこのような雑ガスの下でも
検知素子の被検ガスに対する電圧出力が大きく変
わることが望ましい。検知素子の抵抗変化の出力
電圧への変換は第1図に示した如き回路構成をと
るので検知素子の抵抗をRS、読みとり固定抵抗
をRLとし電源電圧をEとしたとき出力電圧VSは VS=ERL/RS+RL=E/RS/RL+1 となる。 従つてRLにくらべてRSが同等程度の大きさで
あればVSもEに近く測定しやすい。ところがRS
が雑ガスも含め高い濃度のガスに接するとRS
RLとなるためRSの変化にくらべてVSの変化は小
さくなる。第5図に出力電圧特性の曲線の勾配が
ガス濃度と共に小さくなる原因は素子特性に加え
てこのことが原因している。 本発明では雑ガスにより検知素子の出力電圧の
第5図における勾配が小さくなり警報濃度の精度
がおちるのを防ぐため、参照素子で検出した雑ガ
スに対応する出力電圧により検知素子の読みとり
抵抗RLの値を順次自動的に切りかえ、それと共
に対応した警報レベル設定回路を用い、雑ガス濃
度が高く、検知素子の抵抗RSが小さい場合には
それに対応したRLを用いることにより、被検ガ
スの増減に対する検知素子の電圧出力の変化を大
きくし、警報の精度を高くするというものであ
る。 第8図に本発明によブロツクダイヤグラムを示
す。 以下に第8図の回路の動作を説明する。図中S1
〜S6は電気的に応動するスイツチとする。まず空
気中に雑ガスがなく、参照素子の抵抗が高いとき
は、RL0の両端の電圧は低い。このときは第1の
電圧比較回路21が作動しS1とS4をONする。こ
のため検知素子6は比較的大きな抵抗RL1を用い
て電圧出力し、警報レベル設定回路22の信号と
第2の電圧比較回路23にて比較される。このよ
うな回路構成で被検ガスが導入されると検知素子
の抵抗は低下するが、参照素子8は抵抗変化をせ
ず、従つて第2の電圧比較回路23にはRL1の両
端の電圧と警報レベル設定回路22の出力が入力
され判断される。この場合は被検ガスのみしか存
在しないため、検知素子の出力飽和の程度も少く
十分安定な警報が得られる。 次に空気中に雑ガスが存在する場合、参照素子
8の抵抗は低下し、従つてRL0の両端の電圧が高
まる。このときはRL0の両端の電圧が第1の電圧
比較回路21の領域をこえると第1の電圧比較回
路21は作動を停止し、従つてS1,S4をOFFに
し、同時に第1の電圧比較回路24が作動しS2
S5がONになり、RL2と警報レベル設定回路25
が作動する。このとき雑ガスによつて検知素子6
の抵抗も減少しているためRL2としてはRL1より
小なるものが用いられる。この状態で被検ガスが
導入されると検出素子6はさらに抵抗変化し、
RL2の両端の電圧は上昇する。これを警報レベル
設定回路24の出力と第2の電圧比較回路23で
比較して判断を行う。この場合雑ガスにより検知
素子6の抵抗値は減少しているので被検ガスによ
る信号はRL1を用いるよりもRL2の方が(RL1
RL2)精度よく読みとれることは先に記したとう
りである。 以下さらに雑ガス濃度が高いときもこの方法を
用いて高精度、確実に被検ガスを捕え、警報を出
す事ができることは言うまでもない。なお第8図
中7,9は抵抗−電圧変換回路をそれぞれ示し、
21,24,26は第1の電圧比較器、22,2
5,27は警報レベル設定回路をそれぞれ示し、
上記と同様に動作する。又12は警報回路を示
す。 (発明の実施例) 半導体素材としてSnO2系素子を用い、Pd触媒
を用いてCO検出素子(検知素子)とし、他方は
ZnC系素子にPt触媒を用いて参照素子とした。又
第8図と同様の回路においてS1〜S6はアナログス
イツチとしてRL0は一定RL1〜RL3は1MΩ、
100KΩ、10KΩとし、他は通常の電子回路を用い
た。 また比較として上記2つの素子をブリツヂにく
み各々の回路で空気中にCO200ppm導入した場
合、警報を出すように設定し、雑ガスとしてのア
ルコールの影響を調べた。
【表】 この結果から本発明のが参考例に比べ警報濃度
の安定性に於てきわめてすぐれている。 なお本発明の例では第8図に示す如く、回路の
切りかえを3段としたがさらに精度を上げるため
に多段にすることも可能である。また必要に応じ
て2段にすることも可能であることはいうまでも
ない。 また、第8図では説明のため警報レベル設定回
路を3個並列に配置したが、実用の回路では警報
レベル設定回路の利得を付随する固定抵抗によつ
て変化させ零点を移動させるので第9図の如き回
路も全く同等であることは言うまでもない。第9
図に於てR1〜R3は、S1〜S9はアナログスイツチ、
増幅器の利得の設定抵抗、E1〜E3は各雑ガスレ
ベルの零点点移動のための基準電圧であり、B1
B2は前置増幅器を示す。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来のガス検知回路例を示
す図、第3図及び第4図はガス濃度に対する検知
素子の抵抗値変化及び出力電圧の変化を示す曲線
図、第5図は雑ガス雰囲気下における被検ガス濃
度に対する出力電圧を示す曲線図、第6図は本発
明回路を説明するブロツクダイヤグラム、第7図
は本発明回路の動作を説明する曲線図、第8図及
び第9図は本発明回路のブロツクダイヤグラム。 6……検知素子、8……参照素子、7,9……
抵抗−電圧変換回路、21,24,26……第1
の電圧比較回路、RL1,RL2,RL3……固定抵抗、
23……第2の電圧比較回路、22,25,27
……警報レベル設定回路、12……警報回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被検ガス及び雑ガスに対し電気抵抗値が変化
    する検知素子と、 被検ガスに対し、実質的に電気抵抗値が変化せ
    ず、雑ガスに対し電気抵抗値が変化する参照素子
    と、 前記検知素子の電気抵抗値を電圧値に変換し、
    かつ読み取り抵抗値を選択し得る複数の固定抵抗
    を具備した抵抗−電圧変換回路と、 前記参照素子の電気抵抗値を電圧値に変換する
    抵抗−電圧変換回路と、 前記参照素子の出力電圧に応じ選択し得る複数
    の警報レベル設定回路と、 前記参照素子の出力電圧に応じ前記固定抵抗及
    び警報レベル設定回路を選択する第1の電圧比較
    回路と、前記警報レベル設定回路の出力電圧と検
    知素子からの出力電圧とを比較し警報回路を動作
    せしめる第2の電圧比較回路とを具備した事を特
    徴とするガス検出回路。
JP20095081A 1981-12-15 1981-12-15 ガス検出回路 Granted JPS58102141A (ja)

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JPS58102141A JPS58102141A (ja) 1983-06-17
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JP6964650B2 (ja) * 2019-12-20 2021-11-10 財團法人工業技術研究院Industrial Technology Research Institute ガス検出装置およびガス濃度検出方法
TWI702392B (zh) 2019-12-20 2020-08-21 財團法人工業技術研究院 氣體感測裝置及氣體濃度感測方法

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JPS5730935A (en) * 1980-07-31 1982-02-19 Matsushita Electric Works Ltd Alarming device for gas leakage
JPS5788356A (en) * 1980-11-21 1982-06-02 Matsushita Electric Works Ltd Alarm device for gas leakage

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