JPH0232575A - 微小信号検出方法 - Google Patents
微小信号検出方法Info
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- JPH0232575A JPH0232575A JP63183246A JP18324688A JPH0232575A JP H0232575 A JPH0232575 A JP H0232575A JP 63183246 A JP63183246 A JP 63183246A JP 18324688 A JP18324688 A JP 18324688A JP H0232575 A JPH0232575 A JP H0232575A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はホールモビリティ測定等に用いられる微小信号
検出方法に関する。
検出方法に関する。
半導体薄膜の電気特性を評価する上でホール移動度の評
価は欠かすことのできないものであり、半導体薄膜のホ
ール移動度を測定してその結果により半導体薄膜のホー
ル移動度を評価している。
価は欠かすことのできないものであり、半導体薄膜のホ
ール移動度を測定してその結果により半導体薄膜のホー
ル移動度を評価している。
半導体薄膜のホール移動度を測定する場合には半導体薄
膜が高抵抗（１０６Ω・ｃｍ以上）であるので、その測
定信号が微小（ｍＶ〜μ■）となり、かつ安定するまで
に時間がかかってしまい、正確で効率の良い測定がなさ
れていなかった。
膜が高抵抗（１０６Ω・ｃｍ以上）であるので、その測
定信号が微小（ｍＶ〜μ■）となり、かつ安定するまで
に時間がかかってしまい、正確で効率の良い測定がなさ
れていなかった。
本発明はこのような点に鑑み、正確で効率良く微小信号
を検出することができる微小信号検出方法を提供するこ
とを目的とする。
を検出することができる微小信号検出方法を提供するこ
とを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は信号の時間的変化分
を検知し、この時間的変化分の時間的変化が安定したこ
とを検知してその安定時の信号を求める。
を検知し、この時間的変化分の時間的変化が安定したこ
とを検知してその安定時の信号を求める。
本発明の実施例は半導体薄膜のホール移動度を測定した
後にコンピュータでプログラムにより処理して信号を求
めるが、この実施例で用いた装置を第１図に示し、その
動作を第２図に示す。ドライブ装置１１は陰極線管（Ｃ
ＲＴ）を用いた表示装置と入力装置を含むもので、まず
入力装置によりホール移動度の測定に必要なパラメータ
を入力し、コンピュータ（ＣＰ Ｕ）１２が測定データ
を逐次ＣＲＴ上にプロットするためにＣＲＴ上にグラフ
を作成する。次にホール移動度の測定を行うが、半導体
薄膜の試料１３は磁界発生装置により磁場が与えられ、
電流源１４により電流工が供給されてホール移動度に応
じた信号電圧が発生する。この信号電圧は入力インピー
ダンス１０１ｓΩのバッファ増幅器１５．１６を介して
電圧計１７により測定され、ＣＰＵ１２は電圧計１７の
測定電圧を取り込んで逐次ＣＲＴ上のグラフにプロット
する。このホール移動度の測定が終了した後にＣＰＵ１
２が自動的に信号を検出しホール移動度μを次式により
算出してプリンタ１８に出力させる。
後にコンピュータでプログラムにより処理して信号を求
めるが、この実施例で用いた装置を第１図に示し、その
動作を第２図に示す。ドライブ装置１１は陰極線管（Ｃ
ＲＴ）を用いた表示装置と入力装置を含むもので、まず
入力装置によりホール移動度の測定に必要なパラメータ
を入力し、コンピュータ（ＣＰ Ｕ）１２が測定データ
を逐次ＣＲＴ上にプロットするためにＣＲＴ上にグラフ
を作成する。次にホール移動度の測定を行うが、半導体
薄膜の試料１３は磁界発生装置により磁場が与えられ、
電流源１４により電流工が供給されてホール移動度に応
じた信号電圧が発生する。この信号電圧は入力インピー
ダンス１０１ｓΩのバッファ増幅器１５．１６を介して
電圧計１７により測定され、ＣＰＵ１２は電圧計１７の
測定電圧を取り込んで逐次ＣＲＴ上のグラフにプロット
する。このホール移動度の測定が終了した後にＣＰＵ１
２が自動的に信号を検出しホール移動度μを次式により
算出してプリンタ１８に出力させる。
μ＝ｄ −Ｒ／ｐ ・Ｂ（Ｒ＝Ｖ／Ｉ）ここにｄは試料
１３の膜厚、Ｒは試料１３の抵抗。
１３の膜厚、Ｒは試料１３の抵抗。
ρは試料１３の抵抗率、Ｂは上記磁場の強さ、工は電流
源１４の電流値、■は試料１３の磁場印加時でのホール
電圧である。
源１４の電流値、■は試料１３の磁場印加時でのホール
電圧である。
第３図はＣＰＵ１２の自動信号検出ルーチンを示す。こ
の自動信号検出ルーチンは具体的には次のようになって
いる。
の自動信号検出ルーチンは具体的には次のようになって
いる。
１０ ＳＵＢ Ｍ −１（Ｄａｔａｌ、Ｄａｔａ２．
Ｄａ、ｔａ３．Ｔ（”）＋Ｖ（”）＋５ｔｅｐｔ、Ｎｒ
ｅａｄ、Ｒ，Ｙｌ、Ｙ２．）ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ＋Ｉ
Ｔｏ ＮｒｅａｄＡＩ＝Ｖ（Ｉ） Ａ２＝Ｖ（Ｉ−１） ＩＦ Ａ２−Ａｌ＜（１／１０００） ＴＨＥＮＤａｔ
ａｌ＝Ｉ ＧＯＴＯ１１０ ＥＮＤ ＩＦ ＮＥＸＴ Ｉ ！ Ｓｔ ＝ ５０ Ｄａｔａ３＝Ｄａｔａｌ＋５ｔ ＳＬ ＝ Ｖ（Ｄａｔａｌ） Ｓ２ ＝ Ｖ （Ｄａｔａ３） Ｙｌ＝ＳＬ／５ｔｅｐｔ Ｙ２＝Ｓ２／５ｔｅｐｔ ＩＦ Ｄａｔａ３＝Ｄａｔａ２ ＴＨＥＮ ２６
０ＩＦ ＡＢＳ（Ｓｌ−３２）＞、０５ ＴＨＥＮＤａ
ｔａｌ＝Ｄａｔａｌ＋ １０ ＩＦ Ｄａｔａｌ＋Ｓｔ＞Ｄａｔａ２ ＴＨＥＮＤａ
ｔａ３＝Ｄａｔａ２ ＧＯＴＯ１３０ ＥＮＤ ＩＦ ＧＯＴＯ１２０ ＥＮＤ ＩＦ ！ ＢＯ＝Ｏ ＴＯ＝Ｏ Ｒ１＝Ｏ Ｒ２＝０ ！ ５ｔ＝Ｄａｔａ３−Ｄａｔａｌ＋１ ！ ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ Ｔｏ Ｄａｔａ３ＢＯ＝ＢＯ
＋Ｖ（１） ＴＯ＝ＴＯ＋Ｔ（１） ＮＥＸＴ Ｉ ＢＯ＝ＢＯ／５ｔ Ｔｏ＝ＴＯ／５ｔ ４００ ！ ４１０ ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ Ｔｏ Ｄａｔ
ａ３４２０ Ｒ１＝Ｒ１＋（Ｔ（Ｉ）−ＴＯ
）＊（Ｖ（丁）−ＢＯ）４３０ Ｒ２＝ＢＯ＋（
Ｔ（Ｉ）−ＴＯ）“２４４０ ＮＩ’ＸＴ Ｉ ４５０ Ｒ＝Ｒ１／Ｒ２ ４６０Ｒｒ＝ＢＯ−Ｒ＊ＴＯ ４７０！ ４８０ Ｙｌ ＝Ｒｒ＋Ｒ＊Ｔ（Ｄａｔａｌ）４
９０ Ｙ２＝Ｒｒ＋Ｒ寧Ｔ（Ｄａｔａ３）５００
！ ５１０ ５ＵＢＥＮＤ この自動信号検出ルーチンではＣＰＵ１２は最初に磁界
発生装置による磁場のオンで変化する測定電圧を追い、
その安定度を見る。この場合ＣＰＵ１２は第４図に示す
ように測定電圧の時間的変化ΔＶがΔｖ≦１／１０〜１
／１０’（、：：（７）例テハ１／１０３）トなる位置
を安定したところとみなして探す。そして測定電圧の時
間的変化ΔＶが安定した位置を探したら、ＣＰＵ１２は
測定電圧の傾きの時間的変化を見る。測定電圧の傾きの
時間的変化は第５図に示すように安定したデータ（測定
電圧）をＡ＝ΔＶ、／Δし、任意の点のデータをＢ＝Δ
Ｖ ２ ／Δｔ（ｎ≧２）とし、その差Ａ−Ｂで判定す
る。測定電圧の傾きの時間的変化が一定になったら、Ｃ
ＰＵ１２はＡからＢまでのデータにより最小自乗法で測
定電圧の傾きを求めてＡ、Ｂの直線上のデータを算出す
る。同様にＣＰＵ１２は磁界発生装置による磁場のオフ
で測定電圧の傾きを求めてＡ、Ｂの直線上のデータを算
出する。
Ｄａ、ｔａ３．Ｔ（”）＋Ｖ（”）＋５ｔｅｐｔ、Ｎｒ
ｅａｄ、Ｒ，Ｙｌ、Ｙ２．）ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ＋Ｉ
Ｔｏ ＮｒｅａｄＡＩ＝Ｖ（Ｉ） Ａ２＝Ｖ（Ｉ−１） ＩＦ Ａ２−Ａｌ＜（１／１０００） ＴＨＥＮＤａｔ
ａｌ＝Ｉ ＧＯＴＯ１１０ ＥＮＤ ＩＦ ＮＥＸＴ Ｉ ！ Ｓｔ ＝ ５０ Ｄａｔａ３＝Ｄａｔａｌ＋５ｔ ＳＬ ＝ Ｖ（Ｄａｔａｌ） Ｓ２ ＝ Ｖ （Ｄａｔａ３） Ｙｌ＝ＳＬ／５ｔｅｐｔ Ｙ２＝Ｓ２／５ｔｅｐｔ ＩＦ Ｄａｔａ３＝Ｄａｔａ２ ＴＨＥＮ ２６
０ＩＦ ＡＢＳ（Ｓｌ−３２）＞、０５ ＴＨＥＮＤａ
ｔａｌ＝Ｄａｔａｌ＋ １０ ＩＦ Ｄａｔａｌ＋Ｓｔ＞Ｄａｔａ２ ＴＨＥＮＤａ
ｔａ３＝Ｄａｔａ２ ＧＯＴＯ１３０ ＥＮＤ ＩＦ ＧＯＴＯ１２０ ＥＮＤ ＩＦ ！ ＢＯ＝Ｏ ＴＯ＝Ｏ Ｒ１＝Ｏ Ｒ２＝０ ！ ５ｔ＝Ｄａｔａ３−Ｄａｔａｌ＋１ ！ ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ Ｔｏ Ｄａｔａ３ＢＯ＝ＢＯ
＋Ｖ（１） ＴＯ＝ＴＯ＋Ｔ（１） ＮＥＸＴ Ｉ ＢＯ＝ＢＯ／５ｔ Ｔｏ＝ＴＯ／５ｔ ４００ ！ ４１０ ＦＯＲＩ＝Ｄａｔａｌ Ｔｏ Ｄａｔ
ａ３４２０ Ｒ１＝Ｒ１＋（Ｔ（Ｉ）−ＴＯ
）＊（Ｖ（丁）−ＢＯ）４３０ Ｒ２＝ＢＯ＋（
Ｔ（Ｉ）−ＴＯ）“２４４０ ＮＩ’ＸＴ Ｉ ４５０ Ｒ＝Ｒ１／Ｒ２ ４６０Ｒｒ＝ＢＯ−Ｒ＊ＴＯ ４７０！ ４８０ Ｙｌ ＝Ｒｒ＋Ｒ＊Ｔ（Ｄａｔａｌ）４
９０ Ｙ２＝Ｒｒ＋Ｒ寧Ｔ（Ｄａｔａ３）５００
！ ５１０ ５ＵＢＥＮＤ この自動信号検出ルーチンではＣＰＵ１２は最初に磁界
発生装置による磁場のオンで変化する測定電圧を追い、
その安定度を見る。この場合ＣＰＵ１２は第４図に示す
ように測定電圧の時間的変化ΔＶがΔｖ≦１／１０〜１
／１０’（、：：（７）例テハ１／１０３）トなる位置
を安定したところとみなして探す。そして測定電圧の時
間的変化ΔＶが安定した位置を探したら、ＣＰＵ１２は
測定電圧の傾きの時間的変化を見る。測定電圧の傾きの
時間的変化は第５図に示すように安定したデータ（測定
電圧）をＡ＝ΔＶ、／Δし、任意の点のデータをＢ＝Δ
Ｖ ２ ／Δｔ（ｎ≧２）とし、その差Ａ−Ｂで判定す
る。測定電圧の傾きの時間的変化が一定になったら、Ｃ
ＰＵ１２はＡからＢまでのデータにより最小自乗法で測
定電圧の傾きを求めてＡ、Ｂの直線上のデータを算出す
る。同様にＣＰＵ１２は磁界発生装置による磁場のオフ
で測定電圧の傾きを求めてＡ、Ｂの直線上のデータを算
出する。
自動信号検出ルーチンについて詳しく説明すると、ＣＰ
Ｕ１２はステップＳＬ（行番号１０〜９０）では測定し
たデータ（電圧計１７より取り込んだ測定電圧）の時間
的変化ΔＶがΔＶ≦１／１０３となる点Ａを求める。こ
れはプログラムでは変数Ｄａｔａｌで示す。次にＣＰＵ
１２はステップＳ２（行番号１１０〜２５０）で測定し
たデータの傾きが一定したかどうかの判定をする。この
場合、上述した任意の点ＢをＤａｔａｌから５０個目（
変数Ｓｔ）とし、この点のデータをＤａｔａ３とした。
Ｕ１２はステップＳＬ（行番号１０〜９０）では測定し
たデータ（電圧計１７より取り込んだ測定電圧）の時間
的変化ΔＶがΔＶ≦１／１０３となる点Ａを求める。こ
れはプログラムでは変数Ｄａｔａｌで示す。次にＣＰＵ
１２はステップＳ２（行番号１１０〜２５０）で測定し
たデータの傾きが一定したかどうかの判定をする。この
場合、上述した任意の点ＢをＤａｔａｌから５０個目（
変数Ｓｔ）とし、この点のデータをＤａｔａ３とした。
このＤａｔａｌとＤａｔａ３での傾きを求めてデータの
傾きが一定したかどうかの判定をする。判定の結果、そ
の範囲でデータの傾きが一定しない場合にはＣＰＵ１２
はＤａｔａｌ、Ｄａｔａ３をそれぞれ１０個ずらして再
び同様な判定を行う。ただし、Ｄａｔａ３が磁場オンの
データ点（Ｄａｔａ２）より大きくなる場合にはＤａｔ
ａ３はその前の値とする。測定したデータの傾きが一定
したと判定したら、次にＣＰＵ１２はステップＳ３（行
番号２７０〜４９ｏ）で最小自乗法によりデータ点（Ｄ
ａｔａｌ、Ｄａｔａ３）間のデータでデータの傾きを求
め、データ点（Ｄａｔａｌ、Ｄａｔａ３）間の直線上の
データの値を算出する。
傾きが一定したかどうかの判定をする。判定の結果、そ
の範囲でデータの傾きが一定しない場合にはＣＰＵ１２
はＤａｔａｌ、Ｄａｔａ３をそれぞれ１０個ずらして再
び同様な判定を行う。ただし、Ｄａｔａ３が磁場オンの
データ点（Ｄａｔａ２）より大きくなる場合にはＤａｔ
ａ３はその前の値とする。測定したデータの傾きが一定
したと判定したら、次にＣＰＵ１２はステップＳ３（行
番号２７０〜４９ｏ）で最小自乗法によりデータ点（Ｄ
ａｔａｌ、Ｄａｔａ３）間のデータでデータの傾きを求
め、データ点（Ｄａｔａｌ、Ｄａｔａ３）間の直線上の
データの値を算出する。
なお、任意の数Ｓｔ、行番号１９０のＤａｔａｌの増や
す数２行番号５０，１８０の判定条件は上述の値に限定
されるものではない。また本発明は半導体薄膜のホール
移動度を測定する場合以外の微小信号を測定する場合に
も適用することが可能である。
す数２行番号５０，１８０の判定条件は上述の値に限定
されるものではない。また本発明は半導体薄膜のホール
移動度を測定する場合以外の微小信号を測定する場合に
も適用することが可能である。
以上のように本発明によれば信号の時間的変化分を検知
し、この時間的変化分の時間的変化が安定したことを検
知してその安定時の信号を求めるので、正確で効率良く
微小信号を検出することができる。
し、この時間的変化分の時間的変化が安定したことを検
知してその安定時の信号を求めるので、正確で効率良く
微小信号を検出することができる。
第１図は本発明の実施例で用いた装置を示すブロック図
、第２図は同装置の動作を示すフローチャート、第３図
は間装はにおけるＣＰＵの自動信号検出ルーチンを示す
フローチャート、第４図及び第５図は上記実施例を説明
するための図である。 １２・・・ＣＰ Ｕ。 ノ９ ち７幻 ）Ｚ口
、第２図は同装置の動作を示すフローチャート、第３図
は間装はにおけるＣＰＵの自動信号検出ルーチンを示す
フローチャート、第４図及び第５図は上記実施例を説明
するための図である。 １２・・・ＣＰ Ｕ。 ノ９ ち７幻 ）Ｚ口
Claims (1)
- 信号の時間的変化分を検知し、この時間的変化分の時間
的変化が安定したことを検知してその安定時の信号を求
めることを特徴とする微小信号検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63183246A JPH0232575A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 微小信号検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63183246A JPH0232575A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 微小信号検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0232575A true JPH0232575A (ja) | 1990-02-02 |
Family
ID=16132333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63183246A Pending JPH0232575A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 微小信号検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0232575A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008008081A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Kokuyo Co Ltd | ロック装置 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63183246A patent/JPH0232575A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008008081A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Kokuyo Co Ltd | ロック装置 |
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