JPH0231957U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0231957U JPH0231957U JP11080088U JP11080088U JPH0231957U JP H0231957 U JPH0231957 U JP H0231957U JP 11080088 U JP11080088 U JP 11080088U JP 11080088 U JP11080088 U JP 11080088U JP H0231957 U JPH0231957 U JP H0231957U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- diaphragm
- members
- sealing
- peripheral edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すものであり、第
１図は本考案を適用した燃料ポンプの縦断面図、
第２図は本考案構造を示すための要部縦断面図で
ある。 １……ケーシング、２，３……ケーシング部材
、６，７……結合面、８，９……シール部材、１
０……ダイヤフラム、２８，２９……平坦部、３
０，３１……凹部、３４，３５……突部。
１図は本考案を適用した燃料ポンプの縦断面図、
第２図は本考案構造を示すための要部縦断面図で
ある。 １……ケーシング、２，３……ケーシング部材
、６，７……結合面、８，９……シール部材、１
０……ダイヤフラム、２８，２９……平坦部、３
０，３１……凹部、３４，３５……突部。
Claims (1)
- 相互の結合によりケーシングの少なくとも一部
を構成する２つのケーシング構成部材の結合面間
に、ゴム以外の材料から成るダイヤフラムの周縁
部が、各ケーシング構成部材との間にシール部材
をそれぞれ介在して挾持されるダイヤフラム周縁
部のシール構造において、両ケーシング構成部材
の結合面には、両ケーシング部材の結合時にダイ
ヤフラムに当接する平坦部と、該平坦部の内端に
連なる凹部とがそれぞれ無端状に形成され、両シ
ール部材には、前記凹部にその全周にわたつて密
着、嵌合する突部が設けられることを特徴とする
ダイヤフラム周縁部のシール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11080088U JPH0231957U (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11080088U JPH0231957U (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0231957U true JPH0231957U (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=31348289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11080088U Pending JPH0231957U (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0231957U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007239918A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Tokyo Electron Ltd | ダイヤフラム弁および基板処理装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5418212U (ja) * | 1977-07-08 | 1979-02-06 |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP11080088U patent/JPH0231957U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5418212U (ja) * | 1977-07-08 | 1979-02-06 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007239918A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Tokyo Electron Ltd | ダイヤフラム弁および基板処理装置 |
| JP4705490B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2011-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ダイヤフラム弁および基板処理装置 |